JP5950004B2 - 長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置 - Google Patents
長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5950004B2 JP5950004B2 JP2015143663A JP2015143663A JP5950004B2 JP 5950004 B2 JP5950004 B2 JP 5950004B2 JP 2015143663 A JP2015143663 A JP 2015143663A JP 2015143663 A JP2015143663 A JP 2015143663A JP 5950004 B2 JP5950004 B2 JP 5950004B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light source
- predetermined
- lens
- condensing lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 71
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 14
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 29
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
Claims (7)
- 所定方向に並設された複数の光源と、各光源の並設方向に延在するように設けられ、各光源からの光を主に各光源の並設方向と直交する方向に集光する光源側集光レンズとを備え、各光源の光が前記光源側集光レンズを通過して所定の照射位置に線状または帯状に照射される、長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置において、
前記光源側集光レンズと前記所定の照射位置との間に設けられ、光源側集光レンズを通過した光のうち各光源の並設方向における所定の照射角度範囲外の光を前記所定の照射位置に照射されないように遮る遮光手段と、
前記遮光手段と前記所定の照射位置との間に該遮光手段を通過した光を各光源の並設方向と直交する方向に集光する照射位置側集光レンズとを備え、
前記遮光手段はそれぞれ所定の受入角を有する複数の光ファイバーから構成し、
前記所定の照射角度を該所定の受入角とするとともに、該所定の受入角を15°以下とし、
前記複数の光ファイバーの光の入射側である一端が各光源の並設方向に並び、かつ、光源側集光レンズを通過した光の集光位置に並設されるように構成するとともに、光源側集光レンズを通過した光のうち前記受入角内の光が各光ファイバーの一端から光ファイバー内に入り、各光ファイバーの光の出射側である他端から出た光が前記照射位置側集光レンズを通過して前記所定の照射位置に照射されるように構成した
ことを特徴とする長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置。 - 所定方向に並設された複数の光源と、各光源の並設方向に延在するように設けられ、各光源からの光を主に各光源の並設方向と直交する方向に集光する光源側集光レンズとを備え、各光源の光が前記光源側集光レンズを通過して所定の照射位置に線状または帯状に照射される、長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置において、
前記光源側集光レンズと前記所定の照射位置との間に設けられ、光源側集光レンズを通過した光のうち各光源の並設方向における所定の照射角度範囲外の光を前記所定の照射位置に照射されないように遮る遮光手段と、
前記各光源と前記光源側集光レンズとの間に各光源からの光を各光源の並設方向に集光する並行方向集光レンズとを備え、
前記遮光手段はそれぞれ所定の受入角を有する複数の光ファイバーから構成し、
前記所定の照射角度を該所定の受入角とするとともに、該所定の受入角を15°以下とし、
前記複数の光ファイバーの光の入射側である一端が各光源の並設方向に並び、かつ、光源側集光レンズを通過した光の集光位置に並設されるように構成するとともに、光源側集光レンズを通過した光のうち前記受入角内の光が各光ファイバーの一端から光ファイバー内に入り、各光ファイバーの光の出射側である他端から出た光が前記所定の照射位置に照射されるように構成した
ことを特徴とする長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置。 - 所定方向に並設された複数の光源と、各光源の並設方向に延在するように設けられ、各光源からの光を主に各光源の並設方向と直交する方向に集光する光源側集光レンズとを備え、各光源の光が前記光源側集光レンズを通過して所定の照射位置に線状または帯状に照射される、長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置において、
前記光源側集光レンズと前記所定の照射位置との間に設けられ、光源側集光レンズを通過した光のうち各光源の並設方向における所定の照射角度範囲外の光を前記所定の照射位置に照射されないように遮る遮光手段と、
前記遮光手段と前記所定の照射位置との間に該遮光手段を通過した光を各光源の並設方向と直交する方向に集光する照射位置側集光レンズと、
前記各光源と前記光源側集光レンズとの間に各光源からの光を各光源の並設方向に集光する並行方向集光レンズとを備え、
前記遮光手段はそれぞれ所定の受入角を有する複数の光ファイバーから構成し、
前記所定の照射角度を該所定の受入角とするとともに、該所定の受入角を15°以下とし、
前記複数の光ファイバーの光の入射側である一端が各光源の並設方向に並び、かつ、光源側集光レンズを通過した光の集光位置に並設されるように構成するとともに、光源側集光レンズを通過した光のうち前記受入角内の光が各光ファイバーの一端から光ファイバー内に入り、各光ファイバーの光の出射側である他端から出た光が前記照射位置側集光レンズを通過して前記所定の照射位置に照射されるように構成した
ことを特徴とする長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置。 - 前記照明位置側集光レンズはロッドレンズ、シリンドリカルレンズ又はリニアフレネルレンズの何れかからなる
ことを特徴とする請求項1又は請求項3に記載の長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置。 - 前記並行方向集光レンズは各光源のピッチと同一のピッチを有するレンチキュウラーレンズからなる
ことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置。 - 前記各光ファイバーの一端の位置と他端の位置とが各光源の並設方向に互いにずれるように、各光ファイバーが一端と他端の間で互いに交錯するように構成した
ことを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置。 - 前記各光ファイバーの他端側を、ファイバー軸方向が前記所定の照射位置に対して各光源の並設方向に所定の角度だけ傾斜するように配置した
ことを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れか一項に記載の長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015143663A JP5950004B2 (ja) | 2015-07-21 | 2015-07-21 | 長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015143663A JP5950004B2 (ja) | 2015-07-21 | 2015-07-21 | 長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009292965A Division JP5783674B2 (ja) | 2009-12-24 | 2009-12-24 | 長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015215358A JP2015215358A (ja) | 2015-12-03 |
JP5950004B2 true JP5950004B2 (ja) | 2016-07-13 |
Family
ID=54752332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015143663A Active JP5950004B2 (ja) | 2015-07-21 | 2015-07-21 | 長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5950004B2 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0640076B2 (ja) * | 1988-10-20 | 1994-05-25 | 三菱レイヨン株式会社 | ライン状光源を用いた欠陥検査装置 |
JP2562299Y2 (ja) * | 1992-06-05 | 1998-02-10 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 画像読取装置用の照明装置 |
JPH07234187A (ja) * | 1994-02-24 | 1995-09-05 | G T C:Kk | ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置 |
JP4262413B2 (ja) * | 2001-01-29 | 2009-05-13 | 新日本製鐵株式会社 | 疵検査用照明装置 |
JP2003202294A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-07-18 | Ccs Inc | 検査用照明装置 |
JP2003157710A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-05-30 | Kyoto Denkiki Kk | ライトガイド光源装置 |
JP2006301023A (ja) * | 2005-04-15 | 2006-11-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光源装置およびライン光源装置 |
JP2008002836A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Tech Vision:Kk | ライン型照明装置 |
JP5219236B2 (ja) * | 2007-02-26 | 2013-06-26 | 株式会社モリテックス | ラインライトガイド |
-
2015
- 2015-07-21 JP JP2015143663A patent/JP5950004B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015215358A (ja) | 2015-12-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5783674B2 (ja) | 長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置 | |
JP4457100B2 (ja) | 照明装置 | |
JP5559163B2 (ja) | 多結晶ウエハの検査方法 | |
JP2007225591A5 (ja) | ||
JP6302242B2 (ja) | 照明装置 | |
JP2016014632A (ja) | 照明装置 | |
JP2007333563A (ja) | 光透過性シートの検査装置および検査方法 | |
CN106483734B (zh) | 照明组件 | |
JP5950004B2 (ja) | 長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置 | |
JP4717731B2 (ja) | 照明装置及びそれを用いた物体表面検査装置 | |
JP6956004B2 (ja) | 欠陥検査装置、及び、欠陥検査装置の製造方法 | |
JP2013246059A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP2017084747A (ja) | ライン状照明装置 | |
CN112703393B (zh) | 片状物的缺陷检查用照明、片状物的缺陷检查装置和片状物的缺陷检查方法 | |
JP2002214144A (ja) | 疵検査用照明装置 | |
JP2016014669A (ja) | 長尺物の表面をラインセンサカメラを用いて検査する装置における照明装置 | |
JP7221688B2 (ja) | 紫外線照射装置、及び紫外線探傷装置 | |
JP6845562B2 (ja) | 照明システム | |
JP2017125805A (ja) | シートのキズ欠点検査装置 | |
JP2016114602A5 (ja) | 表面形状測定装置、欠陥判定装置、および表面形状の測定方法 | |
JP7061600B2 (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP7082091B2 (ja) | 紫外線照射装置、及び紫外線探傷装置 | |
JP4262413B2 (ja) | 疵検査用照明装置 | |
JP4575225B2 (ja) | 外形検査装置 | |
JP2002214146A (ja) | 疵検査用照明装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150831 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160427 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160428 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160523 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5950004 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |