JP2016114602A5 - 表面形状測定装置、欠陥判定装置、および表面形状の測定方法 - Google Patents
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- 230000003287 optical Effects 0.000 claims description 14
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 2
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims 1
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Description
本発明は、対象物を照明し、対象物の被測定面で反射された反射光を受光する光センサの出力を介して対象物の形状を測定する表面形状測定装置、この表面形状測定装置の測定結果に応じて欠陥判定を行う欠陥判定装置、および表面形状の測定方法に関するものである。
上記課題を解決するため、本発明においては、光源と、前記光源から出射される光を対象物にスポット光として結像するレンズと、前記対象物から反射される反射光が入射される入射面としての長手面をそれぞれ備え、各々の前記長手面が前記対象物の長手方向に沿って隣接してそれぞれ配置され、かつ、各々の前記長手面が互いに沿って配置された複数の導光部材と、前記各導光部材の前記入射面から入射され前記導光部材の出射面から出射される光を受光する光センサと、を有し、前記各導光部材の前記出射面に対向してそれぞれ配置された前記各光センサの出力分布に応じて前記対象物の表面形状を測定する構成を採用した。
Claims (25)
- 光源と、
前記光源から出射される光を対象物にスポット光として結像するレンズと、
前記対象物から反射される反射光が入射される入射面としての長手面をそれぞれ備え、各々の前記長手面が前記対象物の長手方向に沿って隣接してそれぞれ配置され、かつ、各々の前記長手面が互いに沿って配置された複数の導光部材と、
前記各導光部材の前記入射面から入射され前記導光部材の出射面から出射される光を受光する光センサと、を有し、
前記各導光部材の前記出射面に対向してそれぞれ配置された前記各光センサの出力分布に応じて前記対象物の表面形状を測定することを特徴とする表面形状測定装置。 - 請求項1に記載の表面形状測定装置において、前記スポット光を前記対象物の長手方向に走査し、前記対象物に複数のスポット光を入射させる光走査手段をさらに備え、前記対象物から反射される反射光は、前記複数の導光部材の前記入射面に入射されることを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1または2に記載の表面形状測定装置において、隣接して配置された前記導光部材の間に遮光部材を配置したことを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の前記入射面にプリズム構造を有する光学部材を配置したことを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の前記入射面に対向する面に光拡散特性を有する光学部材を配置したことを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の前記入射面、前記入射面の対向面、および前記出射面以外の界面に光反射特性を有する光学部材を配置したことを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材は、前記入射面から前記入射面に対向する面までの距離が5mm以上であることを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材が光透過性が高い材料から構成されることを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1から8のいずれか1項に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の前記入射面の近傍に前記対象物からの前記反射光を結像する結像素子を有し、前記結像素子がマイクロレンズアレイを含むことを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の前記入射面の近傍に前記対象物からの前記反射光を結像する結像素子を有し、前記結像素子が前記導光部材の入射面にほぼ平行な円筒形状の光学面を有するシリンドリカルレンズを含むことを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1から10のいずれか1項に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の前記入射面の近傍に前記対象物からの前記反射光を結像する結像素子を有し、前記結像素子によって結像される前記反射光の結像サイズが前記導光部材の入射面付近において前記導光部材の短手方向の大きさよりも小さくなるよう前記結像素子の結像力が定められていることを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の出射面が前記導光部材の短手面であり、前記光センサが前記短手面から出射される前記反射光を受光するよう配置されることを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の前記出射面が前記各導光部材の入射面に対向する側に配置され、前記光センサが前記出射面から出射される前記反射光を受光するよう配置されることを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項13に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材がその入射面側と出射面側で異なる大きさを有することを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項13または14に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の前記入射面を構成する前記長手面と、前記出射面の間に焦点位置を有する正の屈折力を有する光学部材を配置したことを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項15に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の、前記長手面と前記出射面の間とを結ぶ両側縁が、前記長手面から前記出射面に向かって前記導光部材が先細りとなるよう凹凸形状に形成されていることを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項15または16に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の両側縁の凹凸形状により前記導光部材が先細りとなる部分の入口付近に前記光学部材の焦点位置が位置することを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項15から17のいずれか1項に記載の表面形状測定装置において、前記光学部材がフレネルレンズであることを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の前記長手面と交差する断面が円形である円筒形状を有し、前記長手面に対応する円筒面から前記対象物で反射された反射光を入射させ、前記長手面とは異なる出射面から前記光センサに対して出射させることを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項19に記載の表面形状測定装置において、前記導光部材の前記長手面に対向する円筒面が、前記長手面から入射された光を拡散させる拡散部を構成することを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項20に記載の表面形状測定装置において、前記拡散部が、前記導光部材とは別体の弓型断面の拡散部材から成ることを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項12に記載の表面形状測定装置において、前記光センサに対する複数の前記導光部材の前記反射光の出射面が、複数の前記導光部材の同じ側の端部の短手面であり、これら短手面からそれぞれ出射された前記反射光を受光するよう、複数の前記導光部材の各々につき前記光センサが配置されたことを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項22に記載の表面形状測定装置において、複数の前記導光部材の同じ側の端部の出射面から、複数の前記導光部材の各々につき配置された前記光センサの受光面へと前記反射光をそれぞれ導光する複数の光ガイド部材を備え、複数の前記光ガイド部材は、複数の前記光ガイド部材から出射される前記反射光の光軸が、複数の前記光ガイド部材の外部において交差しないように導光する形状を有することを特徴とする表面形状測定装置。
- 請求項1から23のいずれか1項に記載の表面形状測定装置により測定した前記対象物の表面形状に応じて当該の対象物の欠陥判定を行う欠陥判定部を備えたことを特徴とする欠陥判定装置。
- 対象物にスポット光を入射し、
前記対象物から反射された反射光を複数の導光部材に入射し、
前記反射光が各導光部材を伝搬して、前記各導光部材の出射面から出射される光を光センサが受光し、
前記各光センサの出力分布に応じて前記対象物の表面形状を測定することを特徴とする表面形状の測定方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2015/085433 WO2016098872A1 (en) | 2014-12-16 | 2015-12-14 | Surface shape measuring apparatus and defect determining apparatus |
US15/519,772 US20170241773A1 (en) | 2014-12-16 | 2015-12-14 | Surface shape measuring apparatus and defect determining apparatus |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014254579 | 2014-12-16 | ||
JP2014254579 | 2014-12-16 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016114602A JP2016114602A (ja) | 2016-06-23 |
JP2016114602A5 true JP2016114602A5 (ja) | 2019-01-17 |
JP6671938B2 JP6671938B2 (ja) | 2020-03-25 |
Family
ID=56141655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015236519A Active JP6671938B2 (ja) | 2014-12-16 | 2015-12-03 | 表面形状測定装置、欠陥判定装置、および表面形状の測定方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20170241773A1 (ja) |
JP (1) | JP6671938B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102017186B1 (ko) * | 2018-08-06 | 2019-10-21 | 주식회사 디딤센서 | 3차원 형상 측정 장치 |
CN113686892B (zh) * | 2021-08-20 | 2023-08-25 | 四川轻化工大学 | 新型轴承表面缺陷智能检测系统 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4627734A (en) * | 1983-06-30 | 1986-12-09 | Canadian Patents And Development Limited | Three dimensional imaging method and device |
US5870199A (en) * | 1992-09-02 | 1999-02-09 | Betriebsforschungsinstitut Vdeh Institut Fur Angewandte Forschung Gmbh | Method and apparatus for highly accurate distance measurement with respect to surfaces |
US6098031A (en) * | 1998-03-05 | 2000-08-01 | Gsi Lumonics, Inc. | Versatile method and system for high speed, 3D imaging of microscopic targets |
EP1041402A3 (en) * | 1999-03-31 | 2002-03-13 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Energy subtraction processing method and apparatus |
US6870611B2 (en) * | 2001-07-26 | 2005-03-22 | Orbotech Ltd. | Electrical circuit conductor inspection |
US7327466B2 (en) * | 2003-11-03 | 2008-02-05 | Zygo Corporation | Multi-corner retroreflector |
KR100688497B1 (ko) * | 2004-06-28 | 2007-03-02 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조방법 |
WO2007025362A1 (en) * | 2005-09-02 | 2007-03-08 | Neptec | Imaging system and method |
WO2012123947A2 (en) * | 2011-03-14 | 2012-09-20 | G & D Innovative Analysis, Ltd. | Method and apparatus for morphological analysis |
AU2011375401B2 (en) * | 2011-08-19 | 2015-12-24 | Industries Machinex Inc. | Apparatus and method for inspecting matter and use thereof for sorting recyclable matter |
DE102013016368B4 (de) * | 2013-09-30 | 2024-05-16 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Lichtmikroskop und Mikroskopieverfahren zum Untersuchen einer mikroskopischen Probe |
-
2015
- 2015-12-03 JP JP2015236519A patent/JP6671938B2/ja active Active
- 2015-12-14 US US15/519,772 patent/US20170241773A1/en not_active Abandoned
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