JP5929276B2 - ノズルプレートの製造方法、および液滴吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明を適用した液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。図2は、図1に示す液滴吐出ヘッドの要部の縦断面図であり、図2(a)、(b)は、液滴吐出ヘッドの縦断面図、およびノズルプレートのノズル孔を拡大して示す縦断面図である。
液滴吐出ヘッド10では、駆動制御回路4によって、液滴吐出ヘッド10の個別電極31に電荷を供給して正に帯電させると、振動板22は負に帯電し、個別電極31と振動板22の間に静電気力が発生する。この静電気力によって、振動板22は個別電極31に引き寄せられて撓む。これによって、圧力室21の容積が増大し、リザーバー24の内部に溜まっていたインクがオリフィス23を通じて圧力室21に流れ込む。次に、個別電極31への電荷の供給を停止すると、静電吸引力が消滅し、振動板22はその弾性力により元に戻る。その際、圧力室21の容積が急激に減少して、圧力室21内の圧力が急激に上昇し、圧力室21内のインクの一部がインク滴としてノズル孔11より吐出される。以降、上記の動作が繰り返される。
図3〜図6を参照して、図1に示す液滴吐出ヘッド10の製造方法を説明する。図3は、図1に示すノズルプレート1の製造に用いた基板100の平面図である。図4は、図1に示すノズルプレート1の製造方法を示す工程断面図である。図5は、図4に続いて行うノズルプレート1の製造方法を示す工程断面図である。図6は、図5に続いて行うノズルプレートの製造方法を示す工程断面図である。以下の説明では、平板状の基板100の複数の主面をそれぞれ第1面100aと第2面100bとする。また、図4および図6では、第1面100aおよび第2面100bのうち、ノズルプレート1を形成した際にインク吐出面1aとなる第1面100aを上向きに図示し、図5では、基板100の第1面100aを下向きに図示してある。
以上説明したように、本形態では、第1凹部形成工程において、基板100の第1面100aをエッチングして第1ノズル部形成用の第1凹部12aを形成した後、薄板化工程において、基板100の第2面100b側から薄板化して第1凹部12aを貫通孔12bとする。次に、第2凹部形成工程において、基板100の第2面100bをエッチングして貫通孔12bと重なる領域に貫通孔12bより大径の第2ノズル部形成用の第2凹部14aを形成すると、小径の第1ノズル部11aと大径の第2ノズル部11bとが連通したノズル孔11を備えたノズルプレート1を製造することができ、かかるノズルプレート1は、基板100の第1面100a側がインク吐出面1a側として用いられる。ここで、第1ノズル部11aはインク吐出面1a側で開口するが、インク吐出面1a側(第1面100a側)は、薄板化が施される側とは反対側に位置する。このため、第1ノズル部11aのインク吐出側の開口縁には、研削や研磨による薄板化の際に欠け等が発生しないので、第1ノズル部11aのインク吐出側の開口径がばらつくことを防止することができる。それ故、吐出性能に優れたノズルプレート1を実現することができる。
S1=±0.1μm
S2=±0.2μm
S3=±0.1μm以下
S1=±0.3μm
S2=±0.2μm
S3=±0.3μm以下
S1=±0.1μm
S2=±0.4μm
S3=±0.1μm以下
上記実施の形態では、研削加工や研磨加工により、基板100の薄板化を行ったが、ドライエッチングを利用して、基板100の薄板化を行ってもよい。例えば、図4(e)に示す状態でCF4ガスやCHF3ガス等のエッチングガスを用いたドライエッチングによってSiO2膜からなる保護膜13を基板100の第2面100bから除去した後、SF6ガスをエッチングガスとするドライエッチングにより、第1凹部12aの底部が開口するまで基板100の第2面100bをエッチングしてもよい。
Claims (4)
- 平板状の基板の複数の主面をそれぞれ第1面と第2面とした場合、
前記第1面に形成した第1エッチングマスクを伴って前記第1面をエッチングして第1ノズル部形成用の第1凹部を形成する第1凹部形成工程と、
前記第2面から前記第1面に向かって前記基板を薄板化して前記第1凹部を貫通孔とする薄板化工程と、
前記第2面に形成した第2エッチングマスクを伴って前記第2面をエッチングして前記貫通孔と平面視的に重なる領域に前記貫通孔より大径の第2ノズル部形成用の第2凹部を形成する第2凹部形成工程と、
を有し、
前記第2凹部形成工程において、前記第2エッチングマスクを形成するフォトリソグラフィーでは、前記貫通孔または当該貫通孔と同時形成されたアライメント用貫通孔を基準に露光マスクの位置合わせを行うことを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 前記第2凹部形成工程おいて、前記第1面と、支持部材の一方の主面と、を面接合し、
当該支持部材の面接合していない他方の主面に冷却用気体を供給しながら前記第2面をドライエッチングすることを特徴とする請求項1に記載のノズルプレートの製造方法。 - 前記薄板化工程において、前記第2面から前記第1面に向かって前記基板を研削加工する、あるいは研磨加工することを特徴とする請求項1または2に記載のノズルプレートの製造方法。
- 請求項1乃至3の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法を適用して液滴吐出ヘッドを製造することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
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