JP5918974B2 - 有害ガスの無害化処理方法およびその方法を実施するためのスクラバー - Google Patents
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Description
12 ガス導入口
14 ガス排出口
16 第一の経路
18 第二の経路
20 第三の経路
22 貯留槽
24 処理液循環ポンプ
26 中性水補給装置
30 噴霧器
34 噴霧器
36 アルカリ補給装置
Claims (3)
- エピタキシャルウェハの製造過程において排出される有害ガスのうちアルカリ水溶液と接触すると析出物が発生する処理対象ガスを導入するガス導入口と、
前記処理対象ガスを排出するガス排出口と、
前記ガス導入口において前記処理対象ガスに中性水を接触させる中性水供給手段と、
前記ガス排出口において前記処理対象ガスにアルカリ水溶液を接触させるアルカリ水溶液供給手段と、
前記アルカリ水溶液と前記中性水の混合液を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽に貯留された前記混合液を前記ガス導入口において前記処理対象ガスに接触させる混合液供給手段と、
前記ガス導入口の直下から前記貯留槽の直上まで前記処理対象ガスを鉛直下方に移動させる第一の経路と、
前記第一の経路に隣接し、前記処理対象ガスを鉛直上方に移動させる第二の経路と、
前記第二の経路に隣接し、前記処理対象ガスを鉛直下方に移動させる第三の経路を備え、
前記第一の経路は前記ガス導入口と直結され、
前記第三の経路の下部に前記ガス排出口が設けられ、
前記第一の経路は下部に設けられたガス通孔によって前記第二の経路と連通し、
前記第二の経路は上部に設けられたガス通孔によって前記第三の経路と連通する、
スクラバー。 - 請求項1に記載のスクラバーを使用して前記処理対象ガスに処理液を接触させて無害化処理を施す無害化処理方法であって、
前記第一の経路において前記処理対象ガスに前記中性水および前記混合液からなる処理液を接触させる第一段階処理と、前記第二の経路において前記処理対象ガスに前記混合液からなる処理液を接触させる第二段階処理と、前記第三の経路において前記処理対象ガスに前記アルカリ水溶液からなる処理液を接触させる第三段階処理を施し、各段階において前記処理液のpH値を段階的に高める、方法。 - 前記第一段階処理において、前記処理対象ガスに最初に中性水を接触させ、次に前記処理液を接触させる、請求項2に記載の方法。
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