JP2013099719A - 有害ガスの無害化処理方法およびその方法を実施するためのスクラバー - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 54
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims abstract description 43
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 35
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 24
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 claims abstract description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 99
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 1
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- Gas Separation By Absorption (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明のスクラバー10は、水素化物系ガスを含む処理対象ガスを導入するガス導入口12と、処理対象ガスを排出するガス排出口14と、ガス排出口14においてアルカリ水溶液を補給するアルカリ補給装置36と、ガス導入口12において中性水を補給する中性水補給装置26と、アルカリ水溶液と中性水が混合した処理液を貯留する貯留槽22と、貯留槽22に貯留された処理液をガス導入口12に移送する処理液循環ポンプ24を備えている。
【選択図】図1
Description
12 ガス導入口
14 ガス排出口
16 第一の経路
18 第二の経路
20 第三の経路
22 貯留槽
24 処理液循環ポンプ
26 中性水補給装置
30 噴霧器
34 噴霧器
36 アルカリ補給装置
Claims (8)
- スクラバーに導入された水素化物系ガスを含む処理対象ガスに処理液を接触させて無害化処理を施す無害化処理方法であって、
前記処理液は、処理対象ガスをスクラバーに導入するガス導入口においてアルカリ濃度が最も低く、処理対象ガスをスクラバーから排出するガス排出口においてアルカリ濃度が最も高い、方法。 - 前記処理対象ガスの無害化処理の過程において、前記処理液のアルカリ濃度を段階的に高める、請求項1に記載の方法。
- 前記ガス導入口において中性水を補給する、請求項1または2に記載の方法。
- 前記ガス排出口においてアルカリ水溶液を補給する、請求項1乃至3の何れかに記載の方法。
- 前記ガス導入口において補給した中性水と前記ガス排出口において補給したアルカリ水溶液の混合液を前記ガス導入口に移送する、請求項3または4に記載の方法。
- 前記ガス導入口から前記ガス排出口へ向かう前記処理対象ガスに前記混合液を接触させる、請求項5に記載の方法。
- 水素化物系ガスを含む処理対象ガスを導入するガス導入口と、
前記処理対象ガスを排出するガス排出口と、
前記ガス排出口においてアルカリ水溶液を補給するアルカリ補給手段と、
前記ガス導入口において中性水を補給する中性水補給手段と、
前記アルカリ水溶液と前記中性水の混合液を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽に貯留された前記混合液を前記ガス導入口に移送する混合液移送手段、
を備えた、スクラバー。 - 前記ガス導入口から前記ガス排出口に至る経路に前記貯留槽に貯留された前記混合液を供給する混合液供給手段を備えた、請求項7に記載のスクラバー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011245001A JP5918974B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 有害ガスの無害化処理方法およびその方法を実施するためのスクラバー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011245001A JP5918974B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 有害ガスの無害化処理方法およびその方法を実施するためのスクラバー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013099719A true JP2013099719A (ja) | 2013-05-23 |
JP5918974B2 JP5918974B2 (ja) | 2016-05-18 |
Family
ID=48620915
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011245001A Active JP5918974B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 有害ガスの無害化処理方法およびその方法を実施するためのスクラバー |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5918974B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2011-11-08 JP JP2011245001A patent/JP5918974B2/ja active Active
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