JP5952984B1 - 排ガス処理装置 - Google Patents
排ガス処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5952984B1 JP5952984B1 JP2016507328A JP2016507328A JP5952984B1 JP 5952984 B1 JP5952984 B1 JP 5952984B1 JP 2016507328 A JP2016507328 A JP 2016507328A JP 2016507328 A JP2016507328 A JP 2016507328A JP 5952984 B1 JP5952984 B1 JP 5952984B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust gas
- space
- main body
- reactor
- apparatus main
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/68—Halogens or halogen compounds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/76—Gas phase processes, e.g. by using aerosols
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
- B01D47/06—Spray cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D51/00—Auxiliary pretreatment of gases or vapours to be cleaned
- B01D51/10—Conditioning the gas to be cleaned
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/32—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00
- B01D53/323—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00 by electrostatic effects or by high-voltage electric fields
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/68—Halogens or halogen compounds
- B01D53/70—Organic halogen compounds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/77—Liquid phase processes
- B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
- F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
- F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
- F23G7/061—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating
- F23G7/063—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating electric heating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/20—Halogens or halogen compounds
- B01D2257/206—Organic halogen compounds
- B01D2257/2066—Fluorine
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2258/00—Sources of waste gases
- B01D2258/02—Other waste gases
- B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/12—Methods and means for introducing reactants
- B01D2259/122—Gaseous reactants
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/80—Employing electric, magnetic, electromagnetic or wave energy, or particle radiation
- B01D2259/818—Employing electrical discharges or the generation of a plasma
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G2204/00—Supplementary heating arrangements
- F23G2204/20—Supplementary heating arrangements using electric energy
- F23G2204/201—Plasma
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
Abstract
Description
これに対応することが求められている排ガス処理装置側では、当然、大気圧プラズマの処理能力の増強が求められることになる。
処が、現状では大気圧プラズマの処理能力は小さいため、PFCの流量が100L/分(リットル毎分)以下と小さい場合は対応可能であるが、それ以上、特にPFCの流量が250L/分以上に大きくなるとプラズマトーチに流す電流量もそれに合わせて大きくなり、ランニングコストが急増するだけでなくトーチ寿命が急減するという問題があって、要望に対応し切れていない。
内部が加熱分解室Tとなっている装置本体11と、
装置本体11の天面部11aに設置された非移行型のプラズマ発生装置14と、
装置本体11内に設置され、その上端開口12iを該プラズマ発生装置14のプラズマ噴出口14fに向けて配設され、内部が前記プラズマ発生装置14からの大気圧プラズマPによって処理対象排ガスFの高温分解ガス成分を熱分解する第2空間T2となっている筒状の反応器12と、
装置本体11の入口側に設けられ、前記加熱分解室Tに水分を供給する水分供給部18と、
装置本体11の内周面と反応器12の外周面との間の処理対象排ガスFが供給される第1空間T1に配置された、電気ヒータ15又は前記第2空間T2の熱を第1空間T1に運ぶ熱交換器17の少なくともいずれか一方とで構成され、
前記反応器12は、両端面開口した円筒状のもので中央部分が細く絞られ、細く絞られた中央の細径胴部12bより上の部分が高温反応部12a、下の部分が高温排気部12cとなっており、
熱交換器17は高温排気部12cに設けられていることを特徴とする。
また、処理対象排ガスFには、PFCのような高温分解ガス成分だけでなく、低温分解ガス成分も含まれる場合があるが、この場合でも、まず、低温分解ガス成分を第1空間T1に設置された電気ヒータ15、又は、熱交換器17にて第1空間T1でこれを分解し、同時にPFCのような高温分解ガスも第1空間T1の雰囲気温度まで予熱される。この結果、大気圧プラズマPにて高温分解ガスを第2空間T2で上記のように熱分解する場合でもプラズマ発生装置14に必要な容量は予熱分だけ軽減されることになる。
このように、処理対象排ガスFの高温分解ガス成分が大風量になったとしても、大気圧プラズマPが必要とされる容量は、従来からの小容量のもので足ることになる。なお、熱交換器17には隔壁を介して高温気体と低温気体とを隣接させて通流させ、高温側から低温側に熱を移動させる形式のもののほか、熱媒体を用いて高温部分から低温部分へ 熱を移動させるヒートポンプのようなものも含まれる。本発明ではプラズマ発生装置14は必須であるが、電気ヒータ15と熱交換器17はいずれか一方だけでもよいし、併用してもよい。
水分供給部18は、装置本体11の入口側に設けられ、前記処理対象排ガスFを水洗する前段湿式スクラバ18Aであることを特徴とする。この場合、低温の処理対象排ガスF内に粉塵等が含まれている場合、スクラバ18Aのスプレー水Wに捕集されて次の工程に向かう。同時に、熱分解に必要な水分が処理対象排ガスFに補給されることになる。
水分供給部18は、装置本体11の入口側に設けられ、装置本体11に蒸気を供給する蒸気供給装置18Bであることを特徴とする。この場合、低温の処理対象排ガスF内に粉塵等が含まれている場合、蒸気が粉塵に凝集してこれを捕集することになる。同時に、前述同様熱分解に必要な水分が処理対象排ガスFに補給されることになる。
反応器12の熱を第1空間T1内に放出するフィン12fが反応器12の外周面に設けられていることを特徴とする。
前記反応器12から排出された処理済み排ガスGを水洗する後段湿式スクラバ22が更に設けられていることを特徴とする。
また、処理対象排ガスFが低・高温分解ガス成分で構成される場合、800〜1000℃程度で分解するような低温熱分解ガス成分を電気ヒータ15或いは熱交換器17にて予め処理し、同時に最も分解しにくいPFCのような成分をその雰囲気温度まで予熱する。これにより上記同様プラズマトーチ14aの処理能力を高めることなく、例えば、250L/分以上の大風量の排ガス処理も可能になった。
[化1]
CF4+2H2O→CO2+4HF
[化2]
2C2F6+6H2O+O2→4CO2+12HF
[化3]
2NF3+3H2O→6HF+NO+NO2
[化4]
SF6+4H2O→H2SO4+6HF
なお、上記では排ガスFは低・高温分解ガス成分で構成されている場合を中心に示したが、排ガスFが高温分解ガス成分だけで構成されている場合も同様で、高温分解ガス成分が大幅に増大しても電気ヒータ15或いは熱交換器17で少なくとも予熱された分だけプラズマ発生装置14の容量をセーブすることが出来、小さい容量のプラズマ発生装置14で大風量のPFCに対応することが出来る。この点は以下の実施例でも同様である。
Claims (5)
- 装置本体内部において、水分の存在下で、電気ヒータ又は熱交換器の少なくともいずれか一方からの熱で外部から供給された処理対象排ガスを予熱し、これに続く、大気圧プラズマによって予熱された排ガスを熱分解する排ガス処理装置であって、
内部が加熱分解室となっている装置本体と、
装置本体の天面部に設置された非移行型のプラズマ発生装置と、
装置本体内に設置され、その上端開口を該プラズマ発生装置のプラズマ噴出口に向けて配設され、内部が前記プラズマ発生装置からの大気圧プラズマによって処理対象排ガスの高温分解ガス成分を熱分解する第2空間となっている筒状の反応器と、
装置本体の入口側に設けられ、前記加熱分解室に水分を供給する水分供給部と、
装置本体の内周面と反応器の外周面との間の処理対象排ガスが供給される第1空間に配置された、電気ヒータ又は前記第2空間の熱を第1空間に運ぶ熱交換器の少なくともいずれか一方とで構成され、
前記反応器は、両端面開口した円筒状のもので中央部分が細く絞られ、細く絞られた中央の細径胴部より上の部分が高温反応部、下の部分が高温排気部となっており、
熱交換器は高温排気部に設けられていることを特徴とする排ガス処理装置。 - 水分供給部は、装置本体の入口側に設けられ、前記処理対象排ガスを水洗する前段湿式スクラバであることを特徴とする請求項1に記載の排ガス処理装置。
- 水分供給部は、装置本体の入口側に設けられ、装置本体に蒸気を供給する蒸気供給装置であることを特徴とする請求項1に記載の排ガス処理装置。
- 反応器の熱を第1空間内放出するフィンが反応器の外周面に設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の排ガス処理装置。
- 反応器から排出された処理済み排ガスを水洗する後段湿式スクラバが更に設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の排ガス処理装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2014/005088 WO2016056036A1 (ja) | 2014-10-06 | 2014-10-06 | 排ガス処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5952984B1 true JP5952984B1 (ja) | 2016-07-13 |
JPWO2016056036A1 JPWO2016056036A1 (ja) | 2017-04-27 |
Family
ID=55652700
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016507328A Active JP5952984B1 (ja) | 2014-10-06 | 2014-10-06 | 排ガス処理装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9937467B2 (ja) |
JP (1) | JP5952984B1 (ja) |
KR (1) | KR101995211B1 (ja) |
CN (1) | CN107073392B (ja) |
WO (1) | WO2016056036A1 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106582241A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-04-26 | 江门市崖门新财富环保工业有限公司 | 管式废气处理系统 |
TWI660116B (zh) * | 2017-10-05 | 2019-05-21 | 漢科系統科技股份有限公司 | 尾氣處理設備 |
KR102362761B1 (ko) * | 2017-11-22 | 2022-02-15 | 씨에스케이(주) | 가스 처리 장치 |
JP7176720B2 (ja) * | 2018-06-13 | 2022-11-22 | 株式会社加来野製作所 | 熱分解装置 |
KR102031984B1 (ko) * | 2018-07-13 | 2019-10-14 | (주)플라즈닉스 | 플라즈마 상에서 대상기체 함유 배출기체를 처리하는 방법 및 장치 |
CN108854487B (zh) * | 2018-09-06 | 2024-03-22 | 常州纺织服装职业技术学院 | 一种砷烷/磷烷废气处理装置及砷烷/磷烷废气处理方法 |
JP6950881B2 (ja) * | 2018-11-06 | 2021-10-13 | カンケンテクノ株式会社 | 排ガス導入ノズルと水処理装置及び排ガス処理装置 |
GB2579197B (en) * | 2018-11-22 | 2021-06-09 | Edwards Ltd | Abatement method |
JP6791510B2 (ja) * | 2018-12-14 | 2020-11-25 | カンケンテクノ株式会社 | 排ガスのプラズマ除害方法とその装置 |
EP3897919A4 (en) * | 2018-12-23 | 2022-10-19 | Hydrozonix, Llc | FLARE SYSTEM WITH INJECTION OF PRODUCED WATER AND OZONE |
CN110115917A (zh) * | 2019-05-26 | 2019-08-13 | 宁波市镇海怡福莱文化创意有限公司 | 一种室内空气净化柜 |
CN110170244B (zh) * | 2019-07-06 | 2023-12-19 | 广东风和洁净工程有限公司 | 发光器件填料塔 |
KR102135068B1 (ko) * | 2019-09-03 | 2020-07-17 | (주)다산이엔지 | 폐가스 선별분리 처리장치 및 그 제어방법 |
CN112316571B (zh) * | 2020-09-10 | 2022-03-15 | 江苏吉能达环境能源科技有限公司 | 一种水泥生产用带有反吹装置的除尘器 |
JP7284546B2 (ja) * | 2020-11-10 | 2023-05-31 | カンケンテクノ株式会社 | ガス処理炉及びこれを用いた排ガス処理装置 |
CN113019084A (zh) * | 2021-03-14 | 2021-06-25 | 国网内蒙古东部电力有限公司呼伦贝尔供电公司 | 一种sf6废气介质阻挡放电处理装置 |
CN113144846A (zh) * | 2021-04-07 | 2021-07-23 | 扬州绿泉环保工程技术有限公司 | 一种VOCs焚烧废气处理装置及处理方法 |
TWI811844B (zh) * | 2021-11-15 | 2023-08-11 | 日揚科技股份有限公司 | 尾氣滌氣裝置 |
US20240082777A1 (en) * | 2022-01-28 | 2024-03-14 | Kanken Techno Co., Ltd. | Cylindrical heating unit and exhaust gas processing device including the cylindrical heating unit |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07323211A (ja) * | 1994-05-30 | 1995-12-12 | Kanken Techno Kk | 半導体製造排ガス除害方法とその装置 |
JPH09280540A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 熱交換器及びこれを備えた排煙処理装置 |
JP2000039136A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 排煙処理設備におけるガスガスヒータの再加熱器 |
JP2003010638A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-14 | Kanken Techno Co Ltd | プラズマ排ガス処理方法と該方法を利用した排ガス放電処理塔ならびに前記プラズマ排ガス処理塔を搭載した排ガス処理装置 |
JP2008194674A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-08-28 | Kanken Techno Co Ltd | ガス処理装置およびガス処理方法 |
WO2008136217A1 (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Kanken Techno Co., Ltd. | 熱交換器およびこれを用いたガス処理装置 |
JP2013202422A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Babcock Hitachi Kk | 石炭焚ボイラの燃焼排ガス処理方法及び装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5649985A (en) * | 1995-11-29 | 1997-07-22 | Kanken Techno Co., Ltd. | Apparatus for removing harmful substances of exhaust gas discharged from semiconductor manufacturing process |
DE19600873A1 (de) * | 1996-01-12 | 1997-10-02 | Das Duennschicht Anlagen Sys | Verfahren und Einrichtung zur Reinigung von schadstoffhaltigen Abgasen durch Verbrennen und chemische Umsetzung mit Hilfe einer Flamme in einer Brennkammer |
CN2351151Y (zh) * | 1998-10-16 | 1999-12-01 | 北京理工大学 | 床式放电等离子体空气净化器 |
JP2000334294A (ja) | 1999-05-31 | 2000-12-05 | Shinmeiwa Auto Engineering Ltd | 代替フロンのプラズマアーク分解方法及び装置 |
EP1450936B1 (en) * | 2001-12-04 | 2012-10-03 | Ebara Corporation | Method and apparatus for treating exhaust gas comprising a fluorine compound and carbon monoxide |
KR100446619B1 (ko) * | 2001-12-14 | 2004-09-04 | 삼성전자주식회사 | 유도 결합 플라즈마 장치 |
-
2014
- 2014-10-06 CN CN201480082924.9A patent/CN107073392B/zh active Active
- 2014-10-06 KR KR1020177011400A patent/KR101995211B1/ko active IP Right Grant
- 2014-10-06 WO PCT/JP2014/005088 patent/WO2016056036A1/ja active Application Filing
- 2014-10-06 US US15/516,799 patent/US9937467B2/en active Active
- 2014-10-06 JP JP2016507328A patent/JP5952984B1/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07323211A (ja) * | 1994-05-30 | 1995-12-12 | Kanken Techno Kk | 半導体製造排ガス除害方法とその装置 |
JPH09280540A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 熱交換器及びこれを備えた排煙処理装置 |
JP2000039136A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 排煙処理設備におけるガスガスヒータの再加熱器 |
JP2003010638A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-14 | Kanken Techno Co Ltd | プラズマ排ガス処理方法と該方法を利用した排ガス放電処理塔ならびに前記プラズマ排ガス処理塔を搭載した排ガス処理装置 |
JP2008194674A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-08-28 | Kanken Techno Co Ltd | ガス処理装置およびガス処理方法 |
WO2008136217A1 (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Kanken Techno Co., Ltd. | 熱交換器およびこれを用いたガス処理装置 |
JP2013202422A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Babcock Hitachi Kk | 石炭焚ボイラの燃焼排ガス処理方法及び装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170320012A1 (en) | 2017-11-09 |
WO2016056036A1 (ja) | 2016-04-14 |
US9937467B2 (en) | 2018-04-10 |
CN107073392A (zh) | 2017-08-18 |
KR20170065595A (ko) | 2017-06-13 |
KR101995211B1 (ko) | 2019-07-03 |
CN107073392B (zh) | 2020-08-25 |
JPWO2016056036A1 (ja) | 2017-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5952984B1 (ja) | 排ガス処理装置 | |
JP5307556B2 (ja) | ガス処理装置 | |
KR100919619B1 (ko) | 플라즈마 스크러버 및 유해가스 처리 방법 | |
US7976807B2 (en) | Method for detoxifying HCD gas and apparatus therefor | |
CN101224406A (zh) | 气体处理装置及气体处理方法 | |
JP6336059B2 (ja) | 熱交換器及び該熱交換器を用いた排ガス処理装置 | |
KR20120021651A (ko) | PFCs 가스 분해 장치 및 방법 | |
CN112839730B (zh) | 废气的等离子体除害方法及废气的等离子体除害装置 | |
JP2017124345A (ja) | 排ガス除害装置 | |
JP7021730B1 (ja) | 半導体製造排ガスの処理装置 | |
JP7279985B2 (ja) | ガス処理炉及びこれを用いた排ガス処理装置 | |
JP2004261777A (ja) | 半導体排ガス処理装置 | |
JP4342427B2 (ja) | 半導体製造装置の排ガス除害装置 | |
JP2006175317A (ja) | 半導体製造プロセスからの排気ガスの処理装置 | |
WO2022208901A1 (ja) | 半導体製造排ガスの処理装置 | |
KR101415375B1 (ko) | 가스정화장치 | |
WO2022101981A1 (ja) | ガス処理炉及びこれを用いた排ガス処理装置 | |
WO2023084595A1 (ja) | ガス処理炉及びこれを用いた排ガス処理装置 | |
JP2023002338A (ja) | 排ガス処理装置 | |
JP2010017636A (ja) | スクラバおよびこれを用いた排ガス除害装置 | |
CN111821827A (zh) | 等离子体洗涤装置 | |
JP2005152858A (ja) | フッ素化合物を含有する排ガスの処理方法及び処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20160509 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160610 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5952984 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |