JP6336059B2 - 熱交換器及び該熱交換器を用いた排ガス処理装置 - Google Patents
熱交換器及び該熱交換器を用いた排ガス処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6336059B2 JP6336059B2 JP2016523134A JP2016523134A JP6336059B2 JP 6336059 B2 JP6336059 B2 JP 6336059B2 JP 2016523134 A JP2016523134 A JP 2016523134A JP 2016523134 A JP2016523134 A JP 2016523134A JP 6336059 B2 JP6336059 B2 JP 6336059B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- exhaust gas
- heat exchanger
- fluid passage
- receiving fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 181
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 34
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 22
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 20
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 16
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 13
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 10
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 111
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 76
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 30
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 18
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 14
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 13
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 13
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000013505 freshwater Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 description 4
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000004065 wastewater treatment Methods 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006926 PFC Polymers 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910000953 kanthal Inorganic materials 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 perfluoro compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23J—REMOVAL OR TREATMENT OF COMBUSTION PRODUCTS OR COMBUSTION RESIDUES; FLUES
- F23J15/00—Arrangements of devices for treating smoke or fumes
- F23J15/08—Arrangements of devices for treating smoke or fumes of heaters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
- F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23J—REMOVAL OR TREATMENT OF COMBUSTION PRODUCTS OR COMBUSTION RESIDUES; FLUES
- F23J15/00—Arrangements of devices for treating smoke or fumes
- F23J15/02—Arrangements of devices for treating smoke or fumes of purifiers, e.g. for removing noxious material
- F23J15/04—Arrangements of devices for treating smoke or fumes of purifiers, e.g. for removing noxious material using washing fluids
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23J—REMOVAL OR TREATMENT OF COMBUSTION PRODUCTS OR COMBUSTION RESIDUES; FLUES
- F23J15/00—Arrangements of devices for treating smoke or fumes
- F23J15/06—Arrangements of devices for treating smoke or fumes of coolers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D7/00—Heat-exchange apparatus having stationary tubular conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall
- F28D7/02—Heat-exchange apparatus having stationary tubular conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall the conduits being helically coiled
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D7/00—Heat-exchange apparatus having stationary tubular conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall
- F28D7/02—Heat-exchange apparatus having stationary tubular conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall the conduits being helically coiled
- F28D7/022—Heat-exchange apparatus having stationary tubular conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall the conduits being helically coiled the conduits of two or more media in heat-exchange relationship being helically coiled, the coils having a cylindrical configuration
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23J—REMOVAL OR TREATMENT OF COMBUSTION PRODUCTS OR COMBUSTION RESIDUES; FLUES
- F23J2217/00—Intercepting solids
- F23J2217/50—Intercepting solids by cleaning fluids (washers or scrubbers)
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E20/00—Combustion technologies with mitigation potential
- Y02E20/30—Technologies for a more efficient combustion or heat usage
Description
このような熱交換器は、熱を利用する様々な産業プロセスで使用されており、例えば特許文献1には、排ガス除害装置に熱交換器を設け、該排ガス除害装置の除害処理部における燃焼又は加熱分解により生じた高温のガスと、上記の除害処理部へと通じる配管に導入する不活性ガスとの間で熱交換させる技術が開示されている。
かかる技術によれば、除害処理部から排出されるガスの温度を低下させることができ、排ガスの冷却負担を軽減することができる。また、除害処理部へと通じる配管に導入する不活性ガスの温度を上昇させることができるので、当該配管内での排ガスの温度低下に起因する固形物の生成及び付着を抑制することができる。このため、当該配管へのヒータの設置を不要とすることができ、コストダウンが図れる。
すなわち、従来のこの種の装置に用いられる熱交換器は、一般的に、放熱流体と受熱流体との接触面積(換言すれば「伝熱面積」)を確保すべく、放熱流体の流路又は受熱流体の流路の一方が蛇行するように構成されると共に、他方が並列する多数の細管へと分配するように構成されている。このため、かかる流路を流れる放熱流体及び受熱流体が例えば半導体排ガスのように或る種の粉塵を含んでいる場合、上記流路のうち蛇行するように構成された一方のもののコーナー部分では、流体の流れの方向が反転する際に、当該流体に対して遠心力等が働き、当該流体中から粉塵等が分離して流路のコーナー部分に堆積する。また、上記流路のうち並列する多数の細管へと分配するように構成された他方のものでは、多数の細管へと分配される際に流速が下がるようになるため、この場合も上記と同様に粉塵等が堆積するようになる。その結果、伝熱効率が著しく低下すると共に、上記流路を流体が通流する際の圧力損失が大きくなって流量が減少又は閉塞し、真空ポンプ(或いは送風機)の負担が大きくなると言った問題が生じ得る。
このような問題が生じた場合、熱交換器(ひいては熱交換器を用いた装置)の運転を停止して内部を清掃することになるが、蛇行した流路のコーナー部分や細管内に溜まった粉塵を清掃するのは極めて困難で時間と手間が掛かる作業である。
また、上述のように、放熱流体・受熱流体間の伝熱面積を増やすため、それら流体の流路を大きく蛇行させたり、細管に分配したりすると、必然的に熱交換器が大きくなる。このように熱交換器が大きくなると表面に露出する放熱面積が大となり、実質的に熱交換効率が低下するようになると言う問題も有った。
すなわち、外管12及び内管14からなり、それらの軸が上下方向を向くように立設された二重管構造の本体ケーシング16と、上記外管12と上記内管14との間に形成された内部空間を、上記本体ケーシング16の軸方向全体に亘って螺旋状に形成されると共に上記本体ケーシング16の軸方向にて互いに隣接する受熱流体通流路18及び放熱流体通流路20に区画する伝熱板22とで構成される。上記本体ケーシング16の下端部には、上記受熱流体通流路18に連なる受熱流体入口18aと上記の放熱流体通流路20に連なる放熱流体出口20bとが開設されると共に、上記本体ケーシング16の上端部には、上記受熱流体通流路18に連なる受熱流体出口18bと上記の放熱流体通流路20に連なる放熱流体入口20aとが開設される。
受熱流体通流路18と放熱流体通流路20とが、本体ケーシング16の軸方向にて隣接すると共に、本体ケーシング16の軸方向全体に亘って螺旋状に形成されるので、伝熱板22を介して接触する低温側の受熱流体と高温側の放熱流体との接触面積、すなわち伝熱面積を極大化することができる。
また、受熱流体通流路18と放熱流体通流路20とが、蛇行したもの(つまり、流路が反転するような急激なコーナー部分を有するもの)ではなく、内管14の外周を螺旋状に旋回する形状であるため、そして、受熱流体及び放熱流体が、分岐のない略同一形状の流路内を常に速い速度で流れるため、流路内に前記の粉塵等が溜まり難く、また仮に粉塵等が溜まった場合でも、洗浄水や洗浄エアなどの内部洗浄流体を流すだけで比較的簡単に洗い流すことができる。
さらに、伝熱板22を介して接触する放熱流体と受熱流体とが向流になるため、熱交換効率がより一層向上し、装置をコンパクトにすることができる。また、本体ケーシング16の上端部に設けられた受熱流体出口18b及び放熱流体入口20aのそれぞれに上記の内部洗浄流体を供給するだけで、後は重力等に従って内部洗浄流体が流下して行くことにより、熱交換器10の内部を簡単に清掃することができる。
すなわち、上記本体ケーシング16の上部に、上記受熱流体出口18bと上記放熱流体入口20aとを連通する空間を区画するヘッドボックス24を取り付けると共に、上記本体ケーシング16の上端面に、頂部26aが共通する傾斜面26b,26cで上記受熱流体出口18bと上記放熱流体入口20aとを連結し、上記頂部26aに与えられた流体を上記受熱流体出口18b及び上記放熱流体入口20aへと案内するガイド部材26を装着するのが好ましい。
この場合、ガイド部材26の頂部26aに向けて洗浄水などの熱交換器内部洗浄用の流体を噴射・供給するだけで受熱流体通流路18と放熱流体通流路20のそれぞれに対して自動的に内部洗浄用の流体を供給することができるようになる。
ここで、パージガスとは、放熱流体通流路20(及び受熱流体通流路18)内に堆積する粉塵などの粒子を放熱流体出口20b(及び受熱流体入口18a)に向けて吹き飛ばして洗浄(フラッシング)するためのガスである。このパージガスとしては、窒素ガスのような不活性ガスを用いるのが特に好適である。
すなわち、前記の熱交換器10と、その熱交換器10の受熱流体通流路18を通流してきた処理対象の排ガスEを加熱する加熱手段30とを具備する反応塔32、及び、反応塔32に導入する処理対象の排ガスEを液洗する湿式の入口スクラバー34又は上記反応塔32で熱分解した処理後の排ガスEを液洗する湿式の出口スクラバー36の少なくとも何れか一方を備える。
すなわち、前記の熱交換器10と、その熱交換器10の受熱流体通流路18を通流してきた処理対象の排ガスEを加熱する加熱手段30とで構成された反応塔32を具備する。上記熱交換器10における受熱流体入口18a近傍の受熱流体通流路18内又は放熱流体出口20b近傍の放熱流体通流路20内の少なくとも何れか一方に、排ガスEを液洗する1又は複数のスプレーノズル40が設けられる。
図1は、本発明の熱交換器10を搭載した排ガス処理装置11Aの概略を示すものである。この排ガス処理装置11Aは、図示しない半導体製造装置から排出されたモノシラン(SiH4),塩素系ガス,PFCs(パーフルオロコンパウンド)などを含む排ガスEを除害処理するための装置であり、この図が示すように、排ガス処理装置11Aは、排ガスEの処理フローに沿って、入口スクラバー34,反応塔32及び出口スクラバー36がこの順に設置され、さらに排気ファン42及び水槽44などを加えて構成される。
ここで、図1中の符号Eが付された矢印について、相対的に太い線の矢印は熱分解前のものを示しており、相対的に細い線の矢印は熱分解後のものを示している(後述する図2や図3についても同じ)。
この入口スクラバー34の頂部は、入口ダクト46を介して図示しない半導体製造装置と連結されており、半導体の製造工程で排出された各種排ガスEが入口ダクト46を通り、この入口スクラバー34の頂部に導入されるようになっている。
なお、図1中の符号34cは、スプレーノズル34bから撒布された熱分解前洗浄水PWと排ガスEとの気液接触を促進させるための充填材である。
また、図1では、排ガスEの通流方向とスプレーノズル34bから撒布された熱分解前洗浄水PWの通流方向とが同一方向であるが、これらが対向流となるようにしてもよい。
なお、上記の入口スクラバー34をシャワー水回収槽44a上に立設すると共に、入口スクラバー34の内部と水槽44の内部とが互いに直接連通するようにしてもよい。
ここで、本体ケーシング16を形成する外管12及び内管14の形状は、円管状や角管状など何れの形状であってもよい。尤も、本体ケーシング16の外管12及び内管14の形状を角管状とした場合には、次のような作用・効果を奏することができる。すなわち、受熱流体通流路18及び放熱流体通流路20を流れる受熱流体及び放熱流体がコーナー部分で壁面に対して略直角に突き当たることに因り乱流が生じる。そして、このように乱流が生じることで、伝熱効果(熱伝達率)が数倍に上がり、熱交換器全体の熱交換効率を上げることができると共に、流路壁面への粉塵等の付着を抑制することができる。加えて、受熱流体通流路18及び放熱流体通流路20に(後述する)熱交換器内部洗浄用の流体を供給した場合には、当該流体がコーナー部分で壁面に対して略直角に当たって無数に砕けるようになる。それゆえ、当該流体による洗浄効果をより一層高めることができる。
一方、当該本体ケーシング16の上端部、より具体的には外管12の上端外周面には、受熱流体通流路18に連なる受熱流体出口18bと放熱流体通流路20に連なる放熱流体入口20aとが開設される。このように、本実施形態の熱交換器10では、放熱流体と受熱流体とが向流となるように構成されている。なお、上記の受熱流体出口18b及び放熱流体入口20aも、本体ケーシング16の上端部に設けられるものであれば、その開設位置は上記の位置に限定されるものではなく、例えば、本体ケーシング16の上端面であってもよい。
ここで、本実施形態における熱交換器10全体の流路とその温度分布の配置をみれば、高温側が上部、低温側が下部となっており、放熱が少なく熱交換効率が高い省エネルギー装置として理想的な配置となっている。
なお、図示実施形態の熱交換器10では、上述の本体ケーシング16とヘッドボックス24とが露出した状態となっているが、熱交換器10の熱利用率をより一層向上させるためには、ヘッドボックス24の外表面、及び、上記本体ケーシング16における外管12の外周面と内管14の内部空間とに断熱材を貼設するのが好ましい。また、上述の通り、熱交換器10全体の流路とその温度分布の配置をみれば、高温側が上部、低温側が下部と言った理想的な配置となっていることから、少なくともヘッドボックス24の外表面と本体ケーシング16における外管12の外周面上部に断熱材を貼設しておけば、熱利用効率を十分向上させることができる。
また、図示しないが、加熱手段30たる電熱式のヒーターには、その後端部に給電端子が設けられており、この給電端子にリード線を介して電源装置が接続される。
なお、加熱手段30は、排ガスEの熱分解が可能な高温の熱を供給できるものであれば、その態様は上記の電熱式ヒーターに限定されるものではなく、例えば、火炎式のバーナーや非移行型或いは移行型のプラズマトーチなどであってもよい。また、その設置個数も、上述のように複数ではなく1つであってもよい。
さらに、加熱手段30の如何にかかわらず、排ガスEの除害に酸素や空気などの助燃性ガス等が必要になる場合には、係るガスを排ガスEと共に受熱流体入口18aから反応塔32内へと供給するようにしてもよいし、ヘッドボックス24内に直接供給するようにしてもよい。
この出口スクラバー36は、上述した入口スクラバー34と同様に、図示実施形態では、スプレーノズル36bと水槽44(より具体的には出口スクラバー排水回収槽44b)とが配管60を介して接続されており、この配管60の途中に取り付けられたポンプ62によって、出口スクラバー排水回収槽44b内の洗浄水CWをスプレーノズル36bに揚上するようになっているが、このスプレーノズル36bには、水槽44内の洗浄水CWの他に、必要に応じて新水などの新しい薬液が供給される。
なお、図1中の符号64は、出口スクラバー排水回収槽44bからスプレーノズル36bへと供給される洗浄水CWを冷却する冷却装置である。
また、出口スクラバー排水回収槽44bは、出口スクラバー36のスプレーノズル36bから排出された洗浄水CW及び必要に応じて供給される新水などの新しい薬液を回収するとともに、出口スクラバー36のスプレーノズル36bに供給する水等、つまり洗浄水CWを貯留する水槽である。
続いて、ヘッドボックス24内の排ガスE通流領域の温度が当該排ガスEに含まれる除害対象成分の熱分解温度に達すると、排気ファン42が作動し、排ガス処理装置11Aへの排ガスEの導入を開始させる。すると、排ガスEは、入口スクラバー34,反応器32及び出口スクラバー36をこの順に通過して排ガスE中の除害対象成分が除害される。
すなわち、受熱流体通流路18と放熱流体通流路20とが、本体ケーシング16の軸方向にて隣接すると共に、本体ケーシング16の軸方向全体に亘って螺旋状に形成されるので、伝熱板22を介して接触する受熱流体と放熱流体との接触面積、すなわち伝熱面積を極大化することができる。加えて、伝熱板22を介して接触する放熱流体と受熱流体とが向流になるため、常に低温の受熱流体はそれより高い温度の放熱流体に触れるようになり、熱交換効率を向上させることができる。
上述の排ガス処理装置11Aでは、入口スクラバー34と出口スクラバー36の両方を備える場合を示したが、処理する排ガスEの種類によってはこれらの何れか一方を備えるようにしてもよい。
上述した第1実施形態と異なる部分は、主として、反応塔32前後の入口スクラバー34及び出口スクラバー36を省略すると共に、熱交換器10の下側内部にスプレーノズル40を配置した点である。なお、これら以外の部分は前記第1実施形態と同じであるので、同じ構成については第1実施形態と同じ符号を付すと共に、前記第1実施形態の説明を援用して本実施形態の説明に代える。また、各符号に関し、各部位を上位概念で示す場合にはアルファベットの枝番をつけずアラビア数字のみで示し、各部位を区別する必要がある場合(すなわち下位概念で示す場合)にはアルファベット大文字の枝番をアラビア数字に付して区別する。
ここで、本実施形態の排ガス処理装置11Bでは、スプレーノズル40Bには新水を供給し、スプレーノズル40Aには水槽74に回収された排水Wをポンプ76で汲み上げて供給している。しかしながら、各スプレーノズル40に供給する水はこれらの態様に限定されるものではなく、例えば、全て新水を用いるようにしてもよいし、全て水槽72及び/又は水槽74に回収された排水Wを汲み上げて使用するようにしてもよい。
また、前述の第1実施形態と同様に、この第2実施形態の排ガス処理装置11Bも熱交換器10を備えているので、大容量排ガスの効率的な熱分解(除害)処理が可能となる。具体的には、加熱手段30として出力10kWの電熱ヒーターを用い、風量400L/分の排ガスを850℃に加熱し、排ガス中のNF3を99.5%以上除害可能な排ガス処理装置において、角管状の本体ケーシング16の高さが1000mm,外管12の水平断面形状が1辺400mmの矩形,内管14の水平断面形状が1辺200mmの矩形,1000mm高さの本体ケーシング16に受熱流体通流路18及び放熱流体通流路20が螺旋状にそれぞれ10回転旋回して形成された本発明の熱交換器10を適用した場合、加熱手段30である電熱ヒーターの負荷を75%程度低減させることができた。また、この結果は、電熱ヒーターの負荷を75%程度低減させたのみならず、同時に、放熱流体として使用された後、大気中へと排出される排ガスEの冷却負荷を75%程度低減させていることをも意味する。このように本発明の熱交換器10を用いれば、効率的且つ経済的に排ガスの熱分解処理をすることができる。
上述の排ガス処理装置11Bでは、受熱流体通流路18内及び放熱流体通流路20内の両方にスプレーノズル40を設置する場合を示したが、処理する排ガスEの種類によってはこれらの何れか一方にスプレーノズル40を設置するようにしてもよい。
この実施形態の熱交換器10と、第1及び第2実施形態の熱交換器10との間で異なる点は、本実施形態の熱交換器10には、パージガス供給手段50が設けられている点である。なお、これ以外の部分は上述した各実施形態と同じであるので、同じ構成については第1及び第2実施形態と同じ符号を付すと共に、前記第1及び第2実施形態の説明を援用して本実施形態の説明に代える。
また、上述の実施形態では、放熱流体通流路20に複数の噴射ノズル50aを取り付ける場合を示したが、この噴射ノズル50aの取付個数はこれに限定されるものではなく、例えば、放熱流体通流路20の上部に噴射ノズル50aを一つ取り付けるようにしてもよい。
さらに、上述の実施形態では、パージガス供給手段50を放熱流体通流路20のみに取り付ける場合を示したが、このパージガス供給手段50を放熱流体通流路20のみならず、必要に応じて受熱流体通流路18にも取り付けるようにしてもよい。
11A,11B…排ガス処理装置
12…外管
14…内管
16…本体ケーシング
18…受熱流体通流路
18a…受熱流体入口
18b…受熱流体出口
20…放熱流体通流路
20a…放熱流体入口
20b…放熱流体出口
22…伝熱板
24…ヘッドボックス
26…ガイド部材
26a…(ガイド部材の)頂部
26b,26c…(ガイド部材の)傾斜面
30…加熱手段
32…反応塔
34…入口スクラバー
36…出口スクラバー
40…スプレーノズル
50…パージガス供給手段
E…排ガス
Claims (4)
- 外管(12)及び内管(14)からなり、それらの軸が上下方向を向くように立設された二重管構造の本体ケーシング(16)と、
上記外管(12)と上記内管(14)との間に形成された内部空間を、上記本体ケーシング(16)の軸方向全体に亘って螺旋状に形成されると共に上記本体ケーシング(16)の軸方向にて互いに隣接する受熱流体通流路(18)及び放熱流体通流路(20)に区画する伝熱板(22)とで構成された熱交換器であって、
上記本体ケーシング(16)の下端部には、上記受熱流体通流路(18)に連なる受熱流体入口(18a)と上記の放熱流体通流路(20)に連なる放熱流体出口(20b)とが開設されると共に、上記本体ケーシング(16)の上端部には、上記受熱流体通流路(18)に連なる受熱流体出口(18b)と上記の放熱流体通流路(20)に連なる放熱流体入口(20a)とが開設されており、
更に、上記本体ケーシング(16)の上部に、上記受熱流体出口(18b)と上記放熱流体入口(20a)とを連通する空間を区画するヘッドボックス(24)が取り付けられると共に、
上記本体ケーシング(16)の上端面には、頂部(26a)が共通する傾斜面(26b)(26c)で上記受熱流体出口(18b)と上記放熱流体入口(20a)とを連結し、上記頂部(26a)に与えられた流体を上記受熱流体出口(18b)及び上記放熱流体入口(20a)へと案内するガイド部材(26)が装着される、
ことを特徴とする熱交換器。 - 請求項1の熱交換器において、
前記受熱流体通流路(18)及び前記放熱流体通流路(20)のうち、少なくとも上記放熱流体通流路(20)内に、その内部空間の下方に向かってパージガスを噴射するパージガス供給手段(50)が設けられている、ことを特徴とする熱交換器。 - 請求項1又は2の熱交換器(10)と、その熱交換器(10)の受熱流体通流路(18)を通流してきた処理対象の排ガス(E)を加熱する加熱手段(30)とを具備する反応塔(32)、及び
上記反応塔(32)に導入する処理対象の排ガス(E)を液洗する湿式の入口スクラバー(34)又は上記反応塔(32)で熱分解した処理後の排ガス(E)を液洗する湿式の出口スクラバー(36)の少なくとも何れか一方を備える、
ことを特徴とする排ガス処理装置。 - 請求項1又は2の熱交換器(10)と、その熱交換器(10)の受熱流体通流路(18)を通流してきた処理対象の排ガス(E)を加熱する加熱手段(30)とで構成された反応塔(32)を具備する排ガス処理装置であって、
上記熱交換器(10)における前記受熱流体入口(18a)近傍の受熱流体通流路(18)内又は前記放熱流体出口(20b)近傍の放熱流体通流路(20)内の少なくとも何れか一方に、排ガス(E)を液洗する1又は複数のスプレーノズル(40)が設けられる、
ことを特徴とする排ガス処理装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2014/002768 WO2015181846A1 (ja) | 2014-05-26 | 2014-05-26 | 熱交換器及び該熱交換器を用いた排ガス処理装置 |
JPPCT/JP2014/002768 | 2014-05-26 | ||
PCT/JP2015/002599 WO2015182094A1 (ja) | 2014-05-26 | 2015-05-22 | 熱交換器及び該熱交換器を用いた排ガス処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015182094A1 JPWO2015182094A1 (ja) | 2017-04-20 |
JP6336059B2 true JP6336059B2 (ja) | 2018-06-06 |
Family
ID=54698237
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016523134A Active JP6336059B2 (ja) | 2014-05-26 | 2015-05-22 | 熱交換器及び該熱交換器を用いた排ガス処理装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6336059B2 (ja) |
KR (1) | KR102262643B1 (ja) |
CN (1) | CN106471325B (ja) |
TW (1) | TW201616078A (ja) |
WO (2) | WO2015181846A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019073277A1 (en) * | 2017-10-13 | 2019-04-18 | Volvo Truck Corporation | HEAT EXCHANGER AND ADDITIVE HEAT EXCHANGER MANUFACTURING METHOD |
CN108686612A (zh) * | 2018-08-02 | 2018-10-23 | 汤铁 | 管式逆流换热反应器 |
US20230034971A1 (en) * | 2020-01-10 | 2023-02-02 | Ciro Alfredo Hernandez Olvera | Device for Capturing Oily Emissions |
JP2022006813A (ja) * | 2020-06-25 | 2022-01-13 | 株式会社エーアイテック | 熱交換器 |
JP7279985B2 (ja) * | 2020-07-07 | 2023-05-23 | カンケンテクノ株式会社 | ガス処理炉及びこれを用いた排ガス処理装置 |
KR102489504B1 (ko) * | 2021-07-19 | 2023-01-17 | 한밭대학교 산학협력단 | 연기 및 냄새 제거 효율이 향상된 실내용 로스팅 장치 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1993000982A1 (de) * | 1991-07-12 | 1993-01-21 | Maschinen- Und Anlagenbau Grimma Gmbh | Verfahren und einrichtung zum entgiften der abgase aus müllverbrennungsanlagen |
JP2583502Y2 (ja) * | 1992-01-31 | 1998-10-22 | 愛知機械工業株式会社 | エンジン潤滑油水冷式オイルクーラー |
JPH10288324A (ja) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Tetsuto Tamura | 旋回加熱筒装置 |
JP3877980B2 (ja) * | 2001-06-26 | 2007-02-07 | 株式会社荏原製作所 | Nf3含有排ガスの処理方法及び装置 |
JP2006275421A (ja) | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd | 排ガス除害装置 |
US8162040B2 (en) * | 2006-03-10 | 2012-04-24 | Spinworks, LLC | Heat exchanging insert and method for fabricating same |
JPWO2008096466A1 (ja) * | 2007-02-07 | 2010-05-20 | カンケンテクノ株式会社 | ガス処理装置及び該装置を用いたガス処理システムとガス処理方法 |
JP2008253903A (ja) | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Kanken Techno Co Ltd | ガス処理方法およびガス処理装置 |
JP2010091212A (ja) * | 2008-10-09 | 2010-04-22 | Sanoh Industrial Co Ltd | 熱交換器 |
JP2010270927A (ja) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Kanken Techno Co Ltd | 熱交換器及びそれを用いた排ガス除害装置 |
-
2014
- 2014-05-26 WO PCT/JP2014/002768 patent/WO2015181846A1/ja active Application Filing
-
2015
- 2015-05-22 JP JP2016523134A patent/JP6336059B2/ja active Active
- 2015-05-22 KR KR1020167033092A patent/KR102262643B1/ko active IP Right Grant
- 2015-05-22 WO PCT/JP2015/002599 patent/WO2015182094A1/ja active Application Filing
- 2015-05-22 CN CN201580029176.2A patent/CN106471325B/zh active Active
- 2015-05-26 TW TW104116830A patent/TW201616078A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106471325A (zh) | 2017-03-01 |
WO2015181846A1 (ja) | 2015-12-03 |
KR102262643B1 (ko) | 2021-06-10 |
JPWO2015182094A1 (ja) | 2017-04-20 |
TW201616078A (zh) | 2016-05-01 |
CN106471325B (zh) | 2019-02-15 |
WO2015182094A1 (ja) | 2015-12-03 |
KR20170012265A (ko) | 2017-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6336059B2 (ja) | 熱交換器及び該熱交換器を用いた排ガス処理装置 | |
JP5952984B1 (ja) | 排ガス処理装置 | |
JP2009018290A (ja) | 排ガス洗浄装置 | |
KR20080108992A (ko) | Hcd 가스의 제해방법과 제해장치 | |
JP2017124345A (ja) | 排ガス除害装置 | |
CN114923193B (zh) | 一种有害气体燃烧反应器 | |
JP5430267B2 (ja) | 粉体を同伴する排出ガスの処理装置および処理方法 | |
TWI793614B (zh) | 氣體處理爐及使用其之廢氣處理裝置 | |
JP7021730B1 (ja) | 半導体製造排ガスの処理装置 | |
CA2696258C (en) | Heat recovery device for a boiler assembly | |
KR100743399B1 (ko) | 반도체 제조공정에서 발생하는 염소가스와 과불화물의처리장치 | |
JP2006150281A (ja) | 半導体製造装置の排ガス除害装置 | |
JP4342427B2 (ja) | 半導体製造装置の排ガス除害装置 | |
JP4440754B2 (ja) | 半導体製造装置の排ガス除害装置 | |
WO2017068609A1 (ja) | 排ガス処理装置 | |
WO2022208848A1 (ja) | PFCs含有排ガス処理装置 | |
JP2006175317A (ja) | 半導体製造プロセスからの排気ガスの処理装置 | |
JP2010017636A (ja) | スクラバおよびこれを用いた排ガス除害装置 | |
JP2013166146A (ja) | 排ガス洗浄方法 | |
SU1487957A1 (ru) | Устройство для мокрой очистки и утилизации тепла загрязненных газов | |
JP2006150282A (ja) | 半導体製造装置の排ガス除害装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180126 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20180126 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20180403 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180410 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180501 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6336059 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |