JP3877980B2 - Nf3含有排ガスの処理方法及び装置 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、NF3含有排ガスの処理方法に関し、特に詳しくは、半導体工業で半導体製造装置の内面等をドライクリーニングする工程や、酸化膜等の各種成膜をエッチングする工程などで排出されるNF3含有排ガスを効率よく処理する方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体工業においては、半導体製造工程の中で各種の有害ガスが使用されており、環境汚染が懸念されている。特に、NF3は、エッチングガスやクリーニングガスとして近年その使用量が増大している。NF3は人体に有害(許容濃度として10ppm)であるばかりでなく、地球温暖化ガスとしてその除去システムの確立が急務とされている。NF3を処理する方法として、現在は、NF3と水とを反応させて加熱酸化分解する方法や、NF3を水及びアンモニアガスと反応させて加熱酸化分解する方法などが提案されている。しかしながら、両方法とも、NF3は分解されるものの、副生成物としてフッ化水素以外にNOxやN2Oが多量に発生し、これらの副生成物は安価で確実な処理方法がないため、これらが環境雰囲気中に許容濃度(NO:25ppm、NO2:3ppm、N2O:50ppm)を超えて排出されてしまうという問題がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、上述の従来技術の問題点を解消し、低廉なランニングコストで、有害な副生成物の発生を抑制し、効率的に多量のNF3を分解除去する処理方法及び処理装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、NF3を含む排ガスを、所定温度以上でアンモニア水と反応させることによって、NOxやN2Oなどの副生成物を多量に発生させることなく、NF3を窒素とフッ化物に分解することができることを見出し本発明を完成するに至った。
【0005】
即ち、本発明は、NF3を含む排ガスを処理する方法であって、上記排ガスを加熱した状態でアンモニア水と接触させて、NF3を窒素とフッ化物に分解することを特徴とする排ガスの処理方法に関する。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を更に詳細に説明する。以下の説明は、本発明の好ましい実施形態の具体例を示すものであり、本発明はこれに限定されるものではない。
【0007】
従来法にしたがって、アンモニアガスと水とを用いてNF3の分解を行うと、次式の反応により、N2とHFの他に副生成物としてNOやNO2等の窒素酸化物が多量に発生する。
【0008】
【式1】
【0009】
本発明においては、アンモニア水とNF3とを反応させることにより、上記のような副生成物の生成を起こすことなしに、NF3をN2とHFとに分解できることを見出した。
【0010】
本発明に係るNF3含有排ガスの処理方法においては、NF3を含む排ガスを、所定温度以上に加熱することのできる加熱酸化槽に通し、ここにアンモニア水を導入する。この時、気相中で次の反応によって、NF3はN2とHFとに分解する。
【0011】
【式2】
【0012】
本発明方法において、(2)式の反応により生成したフッ化物(HF)は、その後、スクラバー等の公知の処理装置によって処理することにより簡単に除去することが可能である。
【0013】
本発明において、NF3とアンモニア水との反応を行わせる気相部の温度は、350〜650℃が好ましく、450〜650℃が更に好ましく、550〜600℃が最も好ましい。加熱酸化槽へのアンモニア水の導入量は、NH3量として処理対象のNF3と等モル以上であればよい。なお、用いるアンモニア水としては、工業用の市販品でNH3含有量が10〜40wt%、好ましくは20〜30wt%、特に好ましくは25wt%程度のものを好適に用いることができる。
【0014】
本発明は、また、上記に説明した排ガス処理方法を実施するための装置をも提供する。即ち、本発明の他の態様は、NF3を含む排ガスを処理する装置であって、上記排ガスを通気可能とする中空内部を有し、排ガス導入口及びアンモニア水導入口を具備する加熱酸化槽及び加熱酸化槽の内部雰囲気を加熱するための加熱部材から構成されることを特徴とする装置に関する。
【0015】
本発明に係る排ガス処理装置の一具体例を図1に示す。図1に示す本発明に係る装置は、主要構成要素として、アンモニア水タンク1と、NF3含有排ガスとアンモニア水とを所定の温度で接触させる加熱酸化槽6とを有する。更に、加熱酸化槽6の後段として、図1に示すように、NF3とアンモニア水との反応によって生成したフッ化物を除去するスクラバー8を配置することができる。NF3を含む排ガスは、供給配管10を通して加熱酸化槽6に供給される。アンモニア水は、加熱酸化槽6内の雰囲気温度を下げないために、気化した状態で加熱酸化槽6に供給することが好ましく、図1に示す態様においては、アンモニア水は、タンク1からポンプ2によって気化器4に供給される。気化器4で、アンモニア水が気化され、窒素供給管3を通して供給される窒素ガスによって、気化されたアンモニア水が配管5を通して加熱酸化槽6に圧送される。なお、気化アンモニア水供給配管5には、バンドヒーターなどの加熱手段を配置して、気化されたアンモニア水を予熱することにより加熱酸化槽6内の雰囲気温度の低下を更に抑制することが好ましい。勿論、アンモニア水を液体状態で加熱酸化槽6に供給してもよいが、この場合にも、アンモニア水供給配管5にはバンドヒーターなどの加熱手段を配置してアンモニア水を予熱することが好ましい。また、NF3含有排ガスとアンモニア水とは、加熱酸化槽6に導入する前に予備混合させることもでき、その場合には、加熱酸化槽6の前段に予備混合槽を形成して、ここにNF3含有排ガスとアンモニア水とを供給すればよい。加熱酸化槽6には、セラミック電気管状炉などのセラミックヒーターのような加熱手段9が配置されており、加熱酸化槽6内の中空内部のガス温度が、上述の好適な反応温度に加熱される。また、加熱酸化槽6の内部には、反応物質の接触効率を高めるために、迂流板7を配置することが好ましい。加熱された加熱酸化槽6内において、NF3がアンモニア水と反応してフッ化物(HF)と窒素(N2)とに分解される。
【0016】
次に、排ガスは配管11を通して後段のスクラバー8に送られ、加熱酸化槽6でのNF3分解反応によって生成したフッ化物(HF)が除去される。スクラバー8としては、フッ化物を処理する性能を有する装置であればよく、充填塔やスプレー塔などの水スクラバー装置の他に、合成ゼオライトを充填した乾式吸着筒タイプのものを用いることもできる。スクラバー8によってフッ化物が除去された排ガスは、排出管12より放出される。
【0017】
また、図2〜図6には、加熱酸化槽内でアンモニア水と処理対象のNF3含有排ガスとをより効率的に混合させ、及び/又は、加熱酸化槽内での排ガス/アンモニア水混合物の加熱効率を上げるための種々の構成例を示す。
【0018】
図2に示す構成においては、加熱酸化槽6内にアンモニア水を供給する供給配管5の先端をシャワーノズル20の形状とする。これによって、アンモニア水を霧状に加熱酸化槽6内に導入することができ、排ガスとの混合効率がより向上される。なお、図2〜図6に示す各態様においても、アンモニア水は、液状で導入してもガス状(気化した状態)で導入してもよいが、加熱酸化槽内の雰囲気温度を下げないためには、気化した状態で導入することが好ましい。
【0019】
図3に示す構成は、アンモニア水とNF3含有排ガスとの混合物が加熱酸化槽6内で旋回流を形成するようにしたものである。NF3含有排ガスの供給管30は、複数本に分岐してそれぞれの分岐管が螺旋形状を呈するように形成されて、加熱酸化槽6と接続している(図3a)。図3bは、図3aのA−A’線の断面図3である。加熱酸化槽6の上面部に3本に分岐した排ガス供給管が接続されて、排ガス導入口31を形成している。一方、アンモニア水は、アンモニア水供給配管35から円環形状のアンモニア水導入部材36(図3c)へと供給される。アンモニア水供給配管35は、円環状のアンモニア水導入部材36に斜め方向に接続されており、導入部材36に供給されたアンモニア水は、円環内を旋回する。円環の内側面には複数のアンモニア水ノズル37が開口されており、アンモニア水は、このノズル37から加熱酸化槽6内に噴出される。なお、ノズル37には円環の接線方向に向けた誘導部材(例えば管状のガイド)を配置して、アンモニア水が接線方向に噴出されるようにしてもよいし、或いは酸化加熱槽6の中心部に向かって噴出されるようにしてもよい。アンモニア水は、円環状のアンモニア水導入部材36内で旋回流を形成しているので、ノズル37から噴出された後も、旋回流を形成して加熱酸化槽6内を下向きに流れる。一方、NF3含有排ガスも、螺旋形状の排ガス供給管内を流れる際に旋回流を形成しており、排ガス導入口31から旋回流を形成しながら噴出される。これにより、NF3含有排ガスとアンモニア水とが、混合した旋回流を形成しながら加熱酸化槽6内を下降する(図3d)。これにより、加熱酸化槽6内でNF3含有排ガスとアンモニア水とが極めて効率よく混合・接触せしめられる。
【0020】
図4は、酸化加熱槽6内に案内板を設けた例を示す。案内板は、酸化加熱槽内に排ガスとアンモニア水との混合物が長く滞在するように形成されており、図4に示す態様では、加熱酸化槽6の中心部に中空部52を形成すると共に、その周りに、案内板50が、螺旋を描くように排ガス導入口及びアンモニア水導入口から排出口に向かって形成されている。更に、中空管52の内部に熱電対などのような当該技術において公知の温度検知手段51を配置して、酸化加熱槽6内の温度を監視することができる。図4に示す形態においては、NF3含有排ガスとアンモニア水とが、それぞれ供給配管10及び5を通して加熱酸化槽6内に導入され、ガスとアンモニア水との混合物が案内板50に沿って螺旋状に加熱酸化槽6内を流れる。したがって、NF3含有排ガスとアンモニア水との混合物が加熱酸化槽6内に滞留する時間を増大させることができ、反応をより効率的に進行させることができるのに加えて、加熱媒体9による加熱をより効率的に行うことが可能になる。
【0021】
図5は、加熱酸化槽6内に複数枚の円盤状部材60を配置した例を示す。各円盤状部材60には開口61が形成されており、それぞれの円盤状部材の開口が互い違いに位置するように配置されている。NF3含有排ガスとアンモニア水とは、それぞれ供給配管10及び5を通して加熱酸化槽6内に導入され、第1の円盤状部材60の表面に沿って開口61に向かって流れ、次に第2の円盤状部材60’ の表面に沿って、反対側に設けられた開口61’に向かって流れる。このような構成を採用することにより、NF3含有排ガスとアンモニア水との混合物が加熱酸化槽6内に滞留する時間を増大させることができ、反応をより効率的に進行させることができるのに加えて、加熱媒体9による加熱をより効率的に行うことが可能になる。
【0022】
図6は、加熱酸化槽6を、加熱媒体9に沿ってクランク型に形成した例を示す。NF3含有排ガスとアンモニア水とは、それぞれ供給配管10及び5を通して加熱酸化槽6内に導入され、流路70を通過しながら排出管11に向かって流れる。これにより、NF3含有排ガスとアンモニア水との混合物の流路を長くとることができるので、この混合物が加熱酸化槽6内に滞留する時間を増大させることができ、反応をより効率的に進行させることができるのに加えて、流路70と加熱媒体9との接触面積を大きくとることができるので、加熱をより効率的に行うことが可能になる。
【0023】
【実施例】
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0024】
実施例1
内径110mm、長さ400mmのSUS製の中空カラムの外部にセラミックヒーターを取り付けたものを反応容器として用いた。この反応容器に、NF3を1.5L/min、アンモニア水(25wt%、比重0.898)を5mL/min(NH3として1.5L/min相当)、N2を80L/minの流量で流した。
【0025】
反応容器の気相部の温度を600℃に調整し、通ガス時の出口ガスを分析した。分析は、NF3及びN2Oについてはガスクロマトグラフ質量分析計(アネルバ製、AGS−7000U)、NO及びNO2については化学発光分析計(島津製作所製、NOA−7000)、NH3及びHFについては検知管(ガステック製)を用いて行った。ガス出し後20分経過した次点での出口ガス分析結果を表1に示す。NF3、NO、NO2、N2Oは全て許容濃度以下及至検出限界以下であった。また、NF3の分解によってHFが排出されていた。
【0026】
【表1】
【0027】
比較例1
実施例1と同じ反応容器を用いて、水導入によるNF3の処理性能を調べた。反応容器に、NF3を0.82L/min、水を5mL/min、N2を80L/minの流量で流した。反応容器の気相部の温度を600℃に調整し、通ガス時の出口ガスを分析した。ガス出し後20分経過した次点での出口ガス分析結果を表2に示す。NF3は検出限界以下に処理されたが、NO、NO2、N2Oが許容濃度を超えて多量に生成した。
【0028】
【表2】
【0029】
比較例2
実施例1と同じ反応容器を用いて、アンモニアガスと水の導入によるNF3の処理性能を調べた。反応容器に、NF3を1.5L/min、アンモニアガスを1.5L/min、水を5mL/min、N2を80L/minの流量で流した。反応容器の気相部の温度を600℃に調整し、通ガス時の出口ガスを分析した。ガス出し後20分経過した次点での出口ガス分析結果を表3に示す。NF3は検出限界以下に処理されたが、副生成物としてNO、NO2、N2Oが許容濃度を超えて多量に生成した。
【0030】
【表3】
【0031】
実施例2
実施例1で用いた試験カラムの後段に、水洗浄塔(内径210mm×高さ430mm、ラシヒリング充填高さ170mm)を接続した。試験カラムに、実施例1と同様に、NF3を1.5L/min、アンモニア水(25wt%、比重0.898)を5mL/min(NH3として1.5L/min相当)、N2を80L/minの流量で流した。水洗浄塔での散水量は3L/minとした。実施例1と同様に反応容器の気相部の温度を600℃に調整し、通ガス時の水洗浄塔出口ガスを分析した。ガス出し後20分経過した次点での出口ガス分析結果を表4に示す。NF3、NO、NO2、N2O並びにHFは全て許容濃度以下及至検出限界以下であった。
【0032】
【表4】
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば、NF3を含む排ガスを処理して、有害な副生成物の発生を抑制しながら多量のNF3を低廉なランニングコストで効率的に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施態様に係る排ガス処理装置の構成を示す概念図である。
【図2】本発明において用いることのできる加熱酸化槽の構成例を示す図である。
【図3】本発明において用いることのできる加熱酸化槽の他の構成例を示す図である。
【図4】本発明において用いることのできる加熱酸化槽の他の構成例を示す図である。
【図5】本発明において用いることのできる加熱酸化槽の他の構成例を示す図である。
【図6】本発明において用いることのできる加熱酸化槽の他の構成例を示す図である。
Claims (6)
- NF3を含む排ガスを処理する方法であって、
アンモニア水を加熱する工程と、
加熱されたアンモニア水及びNF3を含む排ガスを加熱した状態で気相中で接触させて、NF3を窒素とフッ化物に分解することを特徴とする排ガスの処理方法。 - NF3 を含む排ガスと加熱されたアンモニア水との反応によって生成するフッ化物をスクラバーによって除去する工程を更に含む請求項1に記載の方法。
- 前記アンモニア水を加熱する工程は、アンモニア水を気化する工程であり、
前記加熱されたアンモニア水は気化状態のアンモニア水である、請求項1又は2に記載の方法。 - NF3を含む排ガスを処理する装置であって、
アンモニア水を加熱する加熱手段を具備するアンモニア水を供給するための配管と、
NF 3 を含む排ガスを通気可能とする中空内部を有し、排ガス導入口及び加熱されたアンモニア水を導入するアンモニア水導入口を具備する加熱酸化槽と、
該加熱酸化槽の内部雰囲気を加熱するための加熱部材と、
を具備することを特徴とするNF 3 含有排ガス処理装置。 - 前記加熱酸化槽の後段として、スクラバーを更に具備することを特徴とする請求項4に記載のNF 3 含有排ガス処理装置。
- 前記加熱手段は気化器である、請求項4又は5に記載のNF 3 含有排ガス処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001192613A JP3877980B2 (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | Nf3含有排ガスの処理方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001192613A JP3877980B2 (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | Nf3含有排ガスの処理方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003001063A JP2003001063A (ja) | 2003-01-07 |
JP3877980B2 true JP3877980B2 (ja) | 2007-02-07 |
Family
ID=19031042
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001192613A Expired - Lifetime JP3877980B2 (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | Nf3含有排ガスの処理方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3877980B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015181846A1 (ja) * | 2014-05-26 | 2015-12-03 | カンケンテクノ株式会社 | 熱交換器及び該熱交換器を用いた排ガス処理装置 |
CN106582229A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-04-26 | 广西红润化工科技有限公司 | 湿法‑加热法联合处理的复合式多级废气处理装置 |
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2001
- 2001-06-26 JP JP2001192613A patent/JP3877980B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003001063A (ja) | 2003-01-07 |
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