KR102135068B1

KR102135068B1 - 폐가스 선별분리 처리장치 및 그 제어방법

Info

Publication number: KR102135068B1
Application number: KR1020200013583A
Authority: KR
Inventors: 신봉금; 조성욱
Original assignee: (주)다산이엔지; 신봉금
Priority date: 2019-09-03
Filing date: 2020-02-05
Publication date: 2020-07-17
Also published as: CN112739444B; WO2021045427A1; US20220203299A1; CN112739444A

Abstract

본 발명은 부식성 및 비 부식성 여부에 따라 폐가스를 선별분리하여 개별적으로 열분해처리할 수 있고, 발열모듈 및 챔버에 고착되는 파우더를 제거하여 작동효율 및 장비의 내구성이 증가되며, 가동중에도 포집된 파우더를 외부로 배출시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

폐가스 선별분리 처리장치 및 그 제어방법{Device for Processing by Separating Waste Gas}

본 발명은 폐가스 선별분리 처리장치에 관한 것으로서, 메인 장비 시그널을 받아 연동하여 부식성 및 비 부식성 폐가스를 선별분리하여 개별적으로 열분해처리할 수 있고, 발열모듈 및 챔버에 고착되는 파우더를 제거하여 폐가스 처리 효율, 작동 효율 및 장비의 내구성이 증가되며, 가동중에도 포집된 파우더를 외부로 배출시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 폐가스 선별분리 처리장치에 관한 것이다.

일반적으로, LCD 및 반도체 제조공정 또는 화학공정에서 배출되는 부식성 및 비 부식성이 있는 폐가스, 예컨대 과불화화합물(PFC:Perfluorocompound) 가스는 무해화 처리된 후 대기 중으로 배출되어야 한다.

무해화 처리를 위해서 폐가스를 열분해하는 건식 및 습식 가스 세정이 이루어지는데, 전술한 무해화 처리 관련 선행기술이 한국등록특허 제10-0937697호(폐가스 처리장치)에 개시되어 있다.

선행기술의 폐가스 처리장치는, 폐가스가 처리되는 챔버(10)와, 폐가스가 유입되는 폐가스 유입부(12)와, 챔버(10) 내부를 통과하는 폐가스를 열분해하는 열처리부(20), 챔버(10)를 통과하면서 열분해된 폐가스를 냉각시키는 냉각부로 구성되어서, 폐가스를 챔버(10) 내부로 직접 노출시켜 열처리부(20)의 고온 발열에 의해 폐가스를 열분해하여 무해화 처리한다.

하지만, 선행기술의 폐가스 처리장치는, 폐가스를 열분해하는 과정에서 발생하는 파우더가 챔버 내부에 고착됨으로써, 작동효율이 떨어지는 동시에 내구성이 현저히 감소되는 문제점이 있었다.

또한, 별도로 파우더를 포집하는 구조가 존재하지 않아 파우더를 포함한 폐기물의 관리가 어렵다는 문제점이 있었다.

특허문헌 1: 대한민국 등록특허공보 제10-0937697호

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 부식성 및 비 부식성 여부에 따라 폐가스를 선별분리하여 개별적으로 열분해처리할 수 있는 폐가스 선별분리 처리장치를 제공하는 것이다.

또한, 스크레버유닛부를 통해 발열모듈의 외측면 및 챔버의 내측면에 고착되는 파우더를 제거함으로써, 작동효율이 증가되고, 장비의 내구성을 확보할 수 있는 폐가스 선별분리 처리장치를 제공하는 것이다

또한, 제1, 2 폐기물저장탱크를 구비하여 장비의 가동중에도 제2 폐기물저장탱크에 포집된 파우더를 외부로 배출시킬 수 있어 연속적인 가동이 이루어져 가동율을 개선할 수 있는 폐가스 선별분리 처리장치를 제공하는 것이다.

또한, 제2 유동관내에 가열된 공정가스를 투입시킴으로써, 파우더가 고착되거나 생성되는 것을 방지하여 원활한 폐가스 처리가 가능해 지고, 추가적인 전기에너지를 사용하지 않아 처리효율이 향상되고 장비의 수명이 연장되는 폐가스 선별분리 처리장치를 제공하는 것이다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 폐가스 선별분리 처리장치는, 선행 공정(10)으로부터 폐가스가 유입되는 유입구(110)와, 상기 유입구(110)로 유입되는 상기 폐가스의 부식성 및 비 부식성 여부에 따라 이동방향을 전환하는 방향전환밸브(120)와, 상기 방향전환밸브(120)에 의해 상기 폐가스가 이동하는 제1 이동관(130) 및 제2 이동관(140)이 형성되는 폐가스분리부(100);와, 상기 제1, 2 유동관(130, 140)을 통과한 폐가스를 열분해하는 다수 개의 발열모듈(210)과, 상기 제1, 2 유동관(130, 140)을 수용하는 챔버(220)로 구성되는 가열탱크부(200);와, 상기 가열탱크부(200)에 설치되어 상기 챔버(220)의 내측면에 고착되는 파우더를 제거하는 스크레퍼유닛부(300);와, 상기 가열탱크부(200)와 연통되되, 내측에 상기 가열탱크부(200)를 통과한 상기 폐가스를 습식 세정 처리하는 세정액이 분사되는 다수 개의 분사 노즐(410)이 형성되는 습식세정처리부(400);로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 스크레퍼유닛부(300)는, 링형상의 베이스레일(310)이 형성되고, 상기 베이스레일(310)의 일측에 모터부(320)가 형성되며, 상기 모터부(320)의 샤프트와 연결되는 제1 기어부(330)가 형성되고, 상기 베이스레일(310)의 내측에 상기 제1 기어부(330)와 맞물리는 링형상의 제2 기어부(340)가 회전가능하게 안착되며, 상기 제2 기어부(340)의 내측면에 상기 챔버(220)의 내측면과 접촉되는 제1 파우더제거바(350)가 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제2 기어부(340)의 내측면에는 상기 발열모듈(210)의 외측면의 일부와 접촉되어 상기 발열모듈(210)의 외측면에 고착된 파우더가 제거되도록 제2 파우더제거바(360)가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 습식세정처리부(400)의 하부측에는 상기 습식세정처리부(400)와 연결되어 파우더 및 세정액이 포집되도록 제1 폐기물저장탱크(500)가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 폐기물저장탱크(500)의 하부측에는 상기 제1 폐기물저장탱크(500)와 연결되어 상기 제1 폐기물저장탱크(500)로부터 이송된 파우더는 포집되고 세정액은 다시 제1 폐기물저장탱크(500)로 이송시키는 제2 폐기물저장탱크(600)가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제2 유동관(140)과 각각의 발열모듈(210) 사이에는 선행 공정(10)으로부터 투입되는 공정가스가 상기 발열모듈(210)을 통해 가열되어 상기 제2 유동관(140)의 내부로 이동되도록 열이동관(230)이 형성되는 것을 특징으로 한다.

이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 부식성 및 비 부식성 여부에 따라 폐가스를 선별분리하여 개별적으로 열분해처리할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 스크레버유닛부를 통해 발열모듈의 외측면 및 챔버의 내측면에 고착되는 파우더를 제거함으로써, 작동효율이 증가되고, 장비의 내구성을 확보할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 제1, 2 폐기물저장탱크를 구비하여 장비의 가동중에도 제2 폐기물저장탱크에 포집된 파우더를 외부로 배출시킬 수 있어 연속적인 가동이 이루어져 가동율을 개선할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 제2 유동관내에 가열된 공정가스를 투입시킴으로써, 파우더가 고착되거나 생성되는 것을 방지하여 원활한 폐가스 처리가 가능해 지고, 추가적인 전기에너지를 사용하지 않아 처리효율이 향상되고 장비의 수명이 연장된다는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 폐가스 선별분리 처리장치의 전체 모습을 보인 정면도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 폐가스 선별분리 처리장치의 평면의 모습을 보인 평면도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 폐가스 선별분리 처리장치의 구성 중 스크레버유닛부의 모습을 보인 평면도
도 4 및 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 폐가스 선별분리 처리장치의 구성 중 스크레버유닛부의 모습을 보인 정면도
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 폐가스 선별분리 처리장치의 구성 중 제1, 2 폐기물저장탱크의 모습을 보인 측면도
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 폐가스 선별분리 처리장치의 구성 중 제2 유동관(140)에 열이동관(230)이 연결된 모습을 보인 정면도
도 8은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 폐가스 선별분리 처리장치의 구성 중 선행공정의 제어 흐름의 모습을 보인 정면도

이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 선별분리 처리장치(1)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 선별분리 처리장치(1)는 크게, 폐가스분리부(100), 가열탱크부(200), 스크레퍼유닛부(300), 습식세정처리부(400), 제1 폐기물저장탱크(500) 및 제2 폐기물저장탱크(600)로 구성된다.

먼저, 폐가스분리부(100)에 대하여 설명한다. 상기 폐가스분리부(100)는 도 1 또는 도 2에 나타낸 것과 같이, 선행공정(10), 예컨대, LCD 제조, 반도체 제조 또는 화학제조 선행 공정에 사용되고 배출되는 다양한 폐가스를 종류에 따라 분리하여 각각 다른 관을 통해 이동시키는 구성요소로서, 상기 선행공정(10)으로부터 배출되는 폐가스가 유입되는 유입구(110)가 형성된다.

또한, 유입구(110)로 유입되는 폐가스의 부식성 및 비 부식성 여부에 따라 유동방향을 전환하는 방향전환밸브(120)가 형성되고, 상기 방향전환밸브(120)에 의해 폐가스가 유동하는 제1 이동관(130) 및 제2 유동관(140)이 후술할 가열탱크부(200)의 내측에 위치하게 된다.

한편, 상기 선행공정(10)으로부터 방향전환신호를 수신하여 방향전환밸브(112)를 선행공정으로부터의 폐가스의 부식성 및 비 부식성 여부와 연동하여 구동하는 구동모듈(미도시)가 더 형성되는 것이 가능하다.

한편, 상기 폐가스분리부(100)의 작동은 먼저, 상기 선행공정(10)으로부터 배출된 폐가스는 상기 유입구(110)로 유입된 후 폐가스가 상기 가열탱크부(200)의 챔버(220) 내부로 투입되기 전에 상기 선행공정(10)으로부터 제공되는 방향전환신호, 예컨대, 폐가스의 부식성 및 비 부식성 여부와 연동한 폐가스 선별분리신호를 수신한다. 이후, 수신한 방향전환신호에 따라, 구동모듈(미도시)은 상기 방향전환밸브(120)를 구동하여 상기 제1 이동관(130) 또는 제2 이동관(140)을 배타적으로 선택하여 개폐한다.

다음으로, 가열탱크부(200)에 대하여 설명한다. 상기 가열탱크부(200)는 도 1에 나타낸 것과 같이, 상기 제1 이동관(130)을 통과한 폐가스 및 상기 제2 이동관(140)을 통과하는 폐가스를 열분해하는 다수 개의 발열모듈(210)과, 상기 제1 이동관(130) 및 상기 제2 이동관(140)을 수용하는 챔버(122)로 이루어진다.

이 경우, 상기 발열모듈(210)은 전기 히터(미도시) 또는 플라즈마 아크 토치(미도시)로 구성되는 것이 가능하다.

여기서, 도 2에 나타낸 것과 같이, 상기 발열모듈(210)은 상기 챔버(220) 내부의 열분포를 균일하게 하도록 균일한 간격으로 이격되어 원형으로 배열되는 것이 바람직하다.

한편, 본 발명에 있어서, 실시예로 6개의 상기 발열모듈(210)이 원형으로 배열되어 있는 것으로 도시하였으나, 상기 챔버(220)의 크기 및 선행공정에 따라 최대한의 열분해 효율을 제공할 수 있는 개수 및 배열이라면 특별히 제한적이지 않다.

한편, 도 6에 나타낸 것과 같이, 상기 제2 유동관(140)과 각각의 발열모듈(210) 사이에는 열이동관(230)이 형성되는 것이 특징으로서, 상기 열이동관(230)으로 인하여 상기 선행 공정으로부터(10) 공급되는 공정가스(예컨대, 질소 등 임.)가 상기 발열모듈(210)을 통해 가열되어 상기 제2 유동관(140)의 내부로 이동되는 것을 가능하게 한다.

이때, 상기 열이동관(230)에는 상기 열이동관(230)으로 이동하는 공정가스의 열 온도를 체크하는 온도계(240) 및 가열된 공정가스의 이동량을 조절하는 체크밸브(250)가 더 형성되는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성을 통해, 상기 제2 유동관(140) 내에 부식 또는 누수현상(LEAK)이 예상되는 경우, 상기 발열모듈(210)을 통해 200℃ 이상 가열된 공정가스를 상기 열이동관(230)을 통해 상기 제2 유동관(140)의 내부로 투입시킴으로써, 상기 제2 유동관(140)의 내, 외측의 온도가 동시에 상승하여 상기 제2 유동관(140) 내에 파우더가 생성되거나 고착되는 것을 방지하는 것을 가능하게 해 준다.

다음으로, 스크레퍼유닛부(300)에 대하여 설명한다. 상기 스크레퍼유닛부(300)는 도 2, 도 3, 도 4 또는 도 5에 나타낸 것과 같이, 상기 가열탱크부(200)의 설치되어 상기 발열모듈(210) 또는 상기 챔버(220)에 고착되는 파우더를 긁어 낙하시키는 구성요소로서, 베이스레일(310), 모터부(320), 제1 기어부(330), 제2 기어부(340), 제1 파우더제거바(350) 및 제2 파우더제거바(360)으로 이루어진다.

상기 베이스레일(310)은 상기 가열탱크부(200)의 상단부에 설치되는 링형상의 구성요소로서, 상기 베이스레일(320)의 내측에는 상기 제2 기어부(340)가 안착된 상태에서 회전이동이 가능하도록 안착홈(311)이 함몰형성된다.

상기 모터부(320)는 상기 베이스레일(310)의 일측에 구비되는 일종의 구동부재이다.

상기 제1 기어부(330)는 상기 모터부(320)의 샤프트와 연결되어 상기 모터부(320)의 구동여부에 따라 회전하는 구성요소로서, 상기 제2 기어부(340)와 맞물림으로써, 상기 모터부(320)의 구동력을 전달하는 역할을 한다.

상기 제2 기어부(340)는 링형상으로 형성되어 외측에 기어가 형성되고, 상기 베이스레일(310)의 내측에 위치되어 상기 모터부(320)의 구동에 따라 회전하는 제1 기어부(330)에 의해 회전함으로써, 상기 제1, 2 파우더제거바(350, 360)가 회전되는 것을 가능하게 한다.

상기 제1 파우더제거바(350)는 상기 제2 기어부(340)의 내측에 수직방향으로 길게 형성되어 상기 챔버(220)의 내측면과 접촉되는 구성요소로서, 상기 제2 기어부(340)가 회전함에 따라 같이 회전하여 회전력에 의해 상기 챔버(220)의 내측면에 고착된 파우더를 긁어 낙하시키는 것을 가능하게 한다.

상기 제2 파우더제거바(360)는 상기 제1 파우더제거바(360)와 마찬가지로 상기 제2 기어부(340)의 내측에 수직방향으로 길게 형성되어 상기 발열모듈(210)의 일부 외측면과 접촉되는 구성요소로서, 상기 제2 기어부(340)가 회전함에 따라 같이 회전하여 회전력에 의해 상기 발열모듈(210)의 외측면에 고착된 파우더를 긁어 낙하시키는 것을 가능하게 한다.

이때, 상기 제2 파우더제거바(360`)는 상기 발열모듈(210)의 외측면과의 접촉면적을 늘리기 위하여, 상기 발열모듈(210) 하나를 기준으로 양측에 대칭하여 형성되는 것이 가능하다.

다음으로, 습식세정처리부(400)에 대하여 설명한다. 상기 습식세정처리부(400)는 도 1에 나타낸 것과 같이, 상기 가열탱크부(200)의 하단과 연통되며 상기 가열탱크부(200)의 하단부에 상단 및 하단이 개방된 테이퍼 형상으로 형성되는 하부 프레임(미도시)과, 상기 하부 프레임(미도시) 내측에 형성되어 상기 가열탱크(200)를 통과한 폐가스를 습식세정처리하는 세정액(예컨대, 물, 정제수 등)이 분사되는 다수 개의 분사 노즐(410)이 형성된다.

이때, 상기 분사노즐(410)은 세정액을 상기 하부 프레임(미도시) 내부로 분사하여 미세 파우더의 낙하를 촉진시키고, 상기 가열탱크부(200)를 통과한 잔여 폐가스를 물로 중화처리하는 것을 가능하게 한다.

다음으로, 제1 폐기물저장탱크(500)에 대하여 설명한다. 상기 제1 폐기물저장탱크(500)는 도 1 또는 도 6에 나타낸 것과 같이, 상기 습식세정처리부(400)의 하부측에 연결되어 상기 습식세정처리부(400)로부터 낙하되는 파우더 및 세정액이 포집되는 구성요소로서, 상기 제1 폐기물저장탱크(500)의 하부에는 후술할 제2 폐기물저장탱크(600)와 연통되도록 배출관(510)이 형성되는 것이 가능하다.

다음으로, 제2 폐기물저장탱크(600)에 대하여 설명한다. 상기 제2 폐기물저장탱크(600)는 도 1 또는 도 6에 나타낸 것과 같이, 상기 제1 폐기물저장탱크(500)의 하부측에 연결되어 상기 제1 폐기물저장탱크(500)로부터 이송된 파우더는 포집되고 세정액은 다시 제1 폐기물저장탱크(500)로 이송시키는 구성요소로서, 연결관(610), 순환관(620), 파우더분산핸들부(640)로 이루어진다.

상기 연결관(610)은 상기 배출관(510)과 볼팅체결되어 상기 제1 폐기물저장탱크(500) 내의 파우더 및 세정액이 상기 제2 폐기물저장탱크(600)로 이송되는 것을 가능하게 한다.

이때, 상기 배출관(510)과 상기 연결관(610) 사이에는 버터플라이밸브(700)를 더 설치함으로써, 장치의 가동중에도 상기 버터플라이밸브(700)를 잠근 후 상기 제2 폐기물저장탱크(600)에 포집된 파우더를 외부로 배출시킬 수 있어 연속적인 가동이 가능하게 효율적인 운용이 가능해 진다.

상기 순환관(620)은 상기 제1 폐기물저장탱크(500)와 상기 제2 폐기물저장탱크(600) 사이에 세정액이 순환할 수 있도록 별도로 설치된 관으로써, 필요에 따라 순환모터(630)에 의해 세정액이 순환시킬 수 있고, 상기 순환관(620)에 설치된 개폐밸브(621)를 통해 세정액의 이동을 제한할 수 도 있다.

상기 파우더분산핸들부(640)는 상기 제2 폐기물저장탱크(600)의 일측에 회전가능하게 설치되어 상기 파우더분산핸들부(640)의 회전을 통해 상기 상기 파우더분산핸들부(640)의 타측에 연결되어 상기 제2 폐기물저장탱크(600) 내에 위치한 분산날개(651)를 회전시켜 상기 제2 폐기물저장탱크(600) 내에 쌓여 있는 파우더를 밀어 평탄하게 포집시키는 것을 가능하게 한다.

한편, 선행공정(10)은, 증착설비(11)와, 각각 서로 다른 크리닝가스가 공급되어 상기 증착설비(11)에 투입되는 크리닝가스 투입관(14a, 14b, 14c)과, 각각의 크리닝가스 투입관(14a, 14b, 14c)을 잠그거나 여는 솔레노이드밸브(15a, 15b, 15c)와, 각각의 상기 솔레노이드밸브(15a, 15b, 15c)와 연결되는 압력센서(18a, 18b, 18c)를 포함하는 MFC(12) 및 진공펌프(13)로 구성되고, 이와 같은 구성은 해당 기술분야에서 일반적을 적용하고 있는 수준의 기술인 것에 유의하여야 한다.

한편, 상기 증착설비(11)의 제어신호를 받고, 크리닝가스의 투입 여부를 관여하되, 각각의 상기 솔레노이드밸브(15a, 15b, 15c)에 연결튜브(17a, 17b, 17c)가 각각 연결되는 제어밸브(16)가 구성된다.

이와 같은 구성을 기본으로 하여 이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 폐가스 선별분리 처리장치의 제어방법에 대하여 설명한다.

도 7를 참고하면, 먼저, 상기 제어밸브(16)가 상기 증착설비(11)의 제어신호를 받아 선택된 크리닝가스 정보를 인지한다. 이후, 외부의 공정가스를 통해 상기 제어밸브(16)를 열게 된다. 다음으로, 공정가스의 압력을 이용하여 선택된 크리닝가스와 연결된 연결튜브(17a)를 통해 상기 솔레노이드밸브(15a)가 열리게 된다. 이후, 상기 솔레노이드밸브(15a)와 연결된 크리닝가스 투입관(14a)을 통해 크리닝가스가 상기 증착설비(11)로 공급된다. 다음으로, 상기 증착설비(11)로 공급되는 크리닝가스 정보를 센싱하여 작업자에게 제공한다.

이와 같은 제어방법을 통해 상기 증착설비(11)에 투입되는 다양한 크리닝가스 중 선택된 크리닝가스를 센싱하고 확인가능하게 됨으로써, 크리닝 공정 후 폐가스를 분리 구분할 수 있어 폐가스 처리에 매우 유용해 진다.

도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

1: 폐가스 선별분리 처리장치
100: 폐가스분리부 110: 유입구
120: 방향전환밸브 130: 제1 이동관
140: 제2 이동관
200: 가열탱크부 210: 발열모듈
220: 챔버 230: 열이동관
240: 온도계 250: 체크밸브
300: 스크레퍼유닛부 310: 베이스레일
311: 안착홈 320: 모터부
330: 제1 기어부 340: 제2 기어부
350: 제1 파우더제거바 360, 360`: 제2 파우더제거바
400: 습식세정처리부
500: 제1 폐기물저장탱크 510: 배출관
600: 제2 폐기물저장탱크 610: 연결관
620: 순환관 621: 개폐밸브
630: 순환모터 640: 파우더분산핸들부
641: 분산날개
700: 버터플라이밸브

Claims

선행 공정(10)으로부터 폐가스가 유입되는 유입구(110)와, 상기 유입구(110)로 유입되는 상기 폐가스의 부식성 및 비 부식성 여부에 따라 이동방향을 전환하는 방향전환밸브(120)와, 상기 방향전환밸브(120)에 의해 상기 폐가스가 이동하는 제1 이동관(130) 및 제2 이동관(140)이 형성되는 폐가스분리부(100);
상기 제1, 2 유동관(130, 140)을 통과한 폐가스를 열분해하는 다수 개의 발열모듈(210)과, 상기 제1, 2 유동관(130, 140)을 수용하는 챔버(220)로 구성되는 가열탱크부(200);
상기 가열탱크부(200)에 설치되어 상기 챔버(220)의 내측면에 고착되는 파우더를 제거하는 스크레퍼유닛부(300); 및
상기 가열탱크부(200)와 연통되되, 내측에 상기 가열탱크부(200)를 통과한 상기 폐가스를 습식 세정 처리하는 세정액이 분사되는 다수 개의 분사 노즐(410)이 형성되는 습식세정처리부(400);로 구성되되,
상기 제2 유동관(140)과 각각의 발열모듈(210) 사이에는 선행 공정(10)으로부터 투입되는 공정가스가 상기 발열모듈(210)을 통해 가열되어 상기 제2 유동관(140)의 내부로 이동되도록 열이동관(230)이 형성되는 것을 특징으로 하는 폐가스 선별분리 처리장치(1).
제1항에 있어서,
상기 스크레퍼유닛부(300)는,
링형상의 베이스레일(310)이 형성되고,
상기 베이스레일(310)의 일측에 모터부(320)가 형성되며,
상기 모터부(320)의 샤프트와 연결되는 제1 기어부(330)가 형성되고,
상기 베이스레일(310)의 내측에 상기 제1 기어부(330)와 맞물리는 링형상의 제2 기어부(340)가 회전가능하게 안착되며,
상기 제2 기어부(340)의 내측면에 상기 챔버(220)의 내측면과 접촉되는 제1 파우더제거바(350)가 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 폐가스 선별분리 처리장치(1).
제2항에 있어서,
상기 제2 기어부(340)의 내측면에는 상기 발열모듈(210)의 외측면의 일부와 접촉되어 상기 발열모듈(210)의 외측면에 고착된 파우더가 제거되도록 제2 파우더제거바(360)가 형성되는 것을 특징으로 하는 폐가스 선별분리 처리장치(1).
제1항에 있어서,
상기 습식세정처리부(400)의 하부측에는 상기 습식세정처리부(400)와 연결되어 파우더 및 세정액이 포집되도록 제1 폐기물저장탱크(500)가 형성되는 것을 특징으로 하는 폐가스 선별분리 처리장치(1).
제4항에 있어서,
상기 제1 폐기물저장탱크(500)의 하부측에는 상기 제1 폐기물저장탱크(500)와 연결되어 상기 제1 폐기물저장탱크(500)로부터 이송된 파우더는 포집되고 세정액은 다시 제1 폐기물저장탱크(500)로 이송시키는 제2 폐기물저장탱크(600)가 형성되는 것을 특징으로 하는 폐가스 선별분리 처리장치(1).
삭제
제1항에 있어서,
상기 선행공정(10)은,
증착설비(11)와, 각각 서로 다른 크리닝가스가 공급되어 상기 증착설비(11)에 투입되는 크리닝가스 투입관(14a, 14b, 14c)과, 각각의 크리닝가스 투입관(14a, 14b, 14c)을 잠그거나 여는 솔레노이드밸브(15a, 15b, 15c)와, 각각의 상기 솔레노이드밸브(15a, 15b, 15c)와 연결되는 압력센서(18a, 18b, 18c)를 포함하는 MFC(12) 및 진공펌프(13)로 구성되고,
상기 증착설비(11)의 제어신호를 받고, 크리닝가스의 투입 여부를 관여하되, 각각의 상기 솔레노이드밸브(15a, 15b, 15c)에 연결튜브(17a, 17b, 17c)가 각각 연결되는 제어밸브(16)가 구성되는 것을 특징으로 하는 폐가스 선별분리 처리장치(1).
제7항의 폐가스 선별분리 처리장치(1)의 상기 증착설비(11)에 선택적으로 투입되는 크리닝가스를 센싱하고 확인하는 폐가스 선별분리 처리장치의 제어방법에 있어서,
상기 제어밸브(16)가 상기 증착설비(11)의 제어신호를 통해 선택된 크리닝가스 정보를 인지하는 단계;
공정가스를 통해 상기 제어밸브(16)를 여는 단계;
공정가스의 압력을 이용하여 선택된 크리닝가스와 연결된 연결튜브(17a)를 통해 상기 솔레노이드밸브(15a)을 여는 단계;
상기 솔레노이드밸브(15a)와 연결된 크리닝가스 투입관(14a)을 통해 크리닝가스가 상기 증착설비(11)로 공급되는 단계; 및
상기 증착설비(11)로 공급되는 크리닝가스 정보를 센싱하여 작업자에게 제공하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 폐가스 선별분리 처리장치의 제어방법.