CN112739444A - 废气分拣分离处理装置及其控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的特征是，根据腐蚀性及非腐蚀性与否分拣分离废气,能够单独地进行热分解处理，而且通过去除发热模块和腔室上固着的粉体来提高操作效率和设备的耐久性，即使运行过程中也能够将捕集到的粉体排出到外部。

Description

废气分拣分离处理装置及其控制方法
技术领域
本发明涉及一种废气分拣分离处理装置，更具体地，涉及接收并联动主设备信号，分拣分离腐蚀性及非腐蚀性废气且能够单独地进行热分解处理，而且通过去除发热模块和腔室上固着的粉体来提高操作效率和设备的耐久性，即使运行过程中也能够将捕集到的粉体排出到外部的废气分拣分离处理装置。
背景技术
通常，LCD及半导体制造工艺或者化学工艺中排出的腐蚀性及非腐蚀性废气，例如全氟化物(PFC：Perfluorocompound)气体应该先进行无害化处理后再排出到大气中。
为了进行无害化处理，需要执行对废气热分解的干式及湿式清洗，与前述无害化处理相关的先行技术已在韩国授权专利第10-0937697号(废气处理装置)中公开。
作为现有技术的废气处理装置由用于处理废气的腔室(10)、废气流入的废气流入部(12)、对通过腔室(10)内部的废气进行热分解的热处理部(20)、对通过腔室(10)的同时被热分解的废气进行冷却的冷却部组成，将废气直接暴露于腔室(10)内部,并通过热处理部(20)的高温发热对废气进行热分解，从而完成无害化处理。
然而，作为现有技术的废气处理装置中，废气热分解的过程中产生的粉体固着到腔室内部，从而存在操作效率下降的同时耐久性明显降低的技术问题。
而且，由于不存在用于另行捕集粉体的结构，因此很难管理包括粉体在内的废弃物。
发明内容
【技术问题】
为了解决如上所述的技术问题，本发明的目的在于提供根据腐蚀性及非腐蚀性与否分拣分离废气并能够单独地进行热分解处理的废气分拣分离处理装置。
另外，本发明的目的在于提供通过刮板单元部去除发热模块的外侧面及腔室的内侧面上固着的粉体以提高操作效率并能够确保设备的耐久性的废气分拣分离处理装置。
另外，本发明的目的在于提供废气分拣分离处理装置，其由于具有第一、第二废弃物存放箱，即使设备运行过程中也能够将捕集到的粉体排出到外部，从而可通过连续运行来改善运行率。
另外，本发明的目的在于提供废气分拣分离处理装置，其通过向第二流动管内注入已加热的工艺气体来防止粉体固着或生成，从而能够使废气处理顺利地进行，而且由于不需要使用附加电能，因此能够改善处理效率，并延长设备寿命。
【技术方案】
为了解决如上所述的技术问题，根据本发明的废气分拣分离处理装置由废气分离部、加热箱部、刮板单元部及湿式清洗处理部组成，所述废气分离部上形成有使先行工艺的废气流入的流入口、根据流入所述流入口的所述废气的腐蚀性及非腐蚀性与否来转换移动方向的方向转换阀、基于所述方向转换阀使所述废气移动的第一移动管及第二流动管,所述加热箱部由用于热分解经过所述第一移动管及第二流动管的废气的多个发热模块和用于容纳所述第一移动管及第二流动管的腔室组成,所述刮板单元部设置于所述加热箱部并用于去除所述腔室的内侧面上固着的粉体,所述湿式清洗处理部与所述加热箱部连通且内侧形成有多个喷嘴，所述多个喷嘴用于喷射对通过所述加热箱部的所述废气进行湿式清洗处理的清洗液。
另外，所述刮板单元部上分别形成有环状的底座轨、电机部、环状第二齿轮部及第一粉体清除杆,所述电机部形成于所述底座轨的一侧，所述第一齿轮部与所述电机部的轴连接,所述环状第二齿轮部可旋转地安装在所述底座轨的内侧并与所述第一齿轮部咬合，所述第一粉体清除杆位于所述第二齿轮部的内侧面且与所述腔室的内侧面接触。
另外，所述第二齿轮部的内侧面形成有第二粉体清除杆,所述第二粉体清除杆与所述发热模块的外侧面的一部分接触用以清除所述发热模块的外侧面上固着的粉体。
另外，所述湿式清洗处理部的下侧形成有第一废弃物存放箱，所述第一废弃物存放箱与所述湿式清洗处理部连接用以捕集粉体和清洗液。
另外，所述第一废弃物存放箱的下侧形成有第二废弃物存放箱，所述第二废弃物存放箱与所述第一废弃物存放箱连接，从而捕集从所述第一废弃物存放箱移送的粉体，并将清洗液重新移送到第一废弃物存放箱。
另外，所述第二流动管与各发热模块之间形成有热移动管，所述热移动管使由先行工艺注入的工艺气体经所述发热模块加热并移动到所述第二流动管的内部。
【有益效果】
根据如上所述的本发明，具有根据腐蚀性及非腐蚀性与否分拣分离废气并能够单独地进行热分解处理的优点。
另外，本发明具有通过刮板单元部去除发热模块的外侧面及腔室的内侧面上固着的粉体以提高操作效率并能够确保设备的耐久性的优点。
另外，由于具有第一、第二废弃物存放箱，即使设备运行过程中也能够将捕集到的粉体排出到外部，从而具有可通过连续运行来改善运行率的优点。
另外，通过向第二流动管内注入已加热的工艺气体来防止粉体固着或生成，从而能够使废气处理顺利地进行，而且由于不需要使用附加电能，因此具有能够改善处理效率并延长设备寿命的优点。
附图说明
图1是根据本发明的优选实施例的废气分拣分离处理装置的整体主视图。
图2是根据本发明的优选实施例的废气分拣分离处理装置的俯视图。
图3是根据本发明的优选实施例的废气分拣分离处理装置的刮板单元部的俯视图。
图4和图5是根据本发明的优选实施例的废气分拣分离处理装置的刮板单元部的主视图。
图6是根据本发明的优选实施例的废气分拣分离处理装置的第一、第二废弃物存放箱的侧视图。
图7是根据本发明的优选实施例的废气分拣分离处理装置的第二流动管140上连接有热移动管230的主视图。
图8是根据本发明的另一优选实施例的废气分拣分离处理装置的先行工艺控制流程的主视图。
具体实施方式
下面，参照附图详细说明根据本发明一实施例的废气分拣分离处理装置1。首先，需要注意的是，附图中相同的组件或者构件尽可能用相同的附图标记表示。为了不使本发明的主旨模糊，在说明本发明时省略了与相关已知功能或组件有关的具体说明。
参照图1，根据本发明一实施例的废气分拣分离处理装置1大体由废气分离部100、加热箱部200、刮板单元部300、湿式清洗处理部400、第一废弃物存放箱500及第二废弃物存放箱600组成。
首先，对废气分离部100进行说明。如图1或图2所示，所述废气分离部100作为将LCD制造、半导体制造或者化学制造等先行工艺10中使用并排出的各种废气按其种类分离并分别通过不同的管道移送的组件，其上形成有供所述先行工艺10中排出的废气流入的流入口110。
另外，形成有方向转换阀120，所述方向转换阀120根据流入到流入口110的废气的腐蚀性及非腐蚀性与否来转换流动方向，并且废气基于所述方向转换阀120流动的第一移动管130及第二流动管140将位于后述的加热箱部200的内侧。
另外，还可以形成有驱动模块(未图示)，所述驱动模块从所述先行工艺10接收方向转换信号，而且与来自先行工艺的废气的腐蚀性及非腐蚀性与否联动并驱动方向转换阀112。
另外，就所述废气分离部100的操作而言，首先，从所述先行工艺10排出的废气流入所述流入口110之后，在废气注入所述加热箱部200的腔室220内部之前，接收来自所述先行工艺10的方向转换信号，例如，与废气的腐蚀性及非腐蚀性与否联动的废气分拣分离信号。然后，驱动模块(未图示)根据接收的方向转换信号来驱动所述方向转换阀120，排他性地选择所述第一移动管130或者第二流动管140并执行开关操作。
其次，对加热箱部200进行说明。如图1所示，所述加热箱部200由多个发热模块210和腔室122组成，所述多个发热模块210热分解通过所述第一移动管130与所述第二流动管140的废气，所述腔室122用于容纳所述第一移动管130及所述第二流动管140。
此时，所述发热模块210可以由电热器(未图示)或等离子电弧焊炬(未图示)组成。
其中，如图2所示，所述发热模块210优选以均匀地间隔相隔布置并排列成圆形以使所述腔室220内部的热分布均匀。
另外，本发明的实施例中虽然图示了6个所述发热模块210排列成圆形的状态，但只要是根据所述腔室220的尺寸及先行工艺能够提供热分解效率，其数量和排列形式没有特别限制。
另外，如图7所示，其特征在于，所述第二流动管140与各发热模块210之间形成有热移动管230，由于设置有所述热移动管230，因此从所述先行工艺10供给的工艺气体(例如，氮气等)被所述发热模块210加热并移动到所述第二流动管140的内部。
此时，所述热移动管230上进一步优选形成有用于测量移动到所述热移动管230的工艺气体的热温度的温度计240及用于调节经加热的工艺气体的移动量的节制阀250。
根据如上所述的结构，当预测到所述第二流动管140内存在腐蚀或漏水现象(LEAK)时，将所述发热模块210加热至200℃以上的工艺气体经所述热移动管230注入到所述第二流动管140内部，从而可防止所述第二流动管140的内外侧温度同时上升使所述第二流动管140内生成且固着粉体。
然后，对刮板单元部300进行说明。如图2、图3、图4或图5所示，所述刮板单元部300作为设置于所述加热箱部200并用于刮落所述发热模块210或所述腔室220上固着的粉体的组件，由底座轨310、电机部320、第一齿轮部330、第二齿轮部340、第一粉体清除杆350及第二粉体清除杆360组成。
所述底座轨310作为设置于所述加热箱部200的上端部的环状组件，所述底座轨320的内侧凹陷地形成有安装槽311，从而在安装有所述第二齿轮部340的状态下可旋转地移动。
所述电机部320是设置在所述底座轨310一侧的一种驱动部件。
所述第一齿轮部330作为与所述电机部320的轴连接并根据所述电机部320的驱动与否进行旋转的组件，起到通过与所述第二齿轮部340咬合来转递所述电机部320的驱动力的作用。
所述第二齿轮部340为环状且其外侧形成有齿轮，而且所述第二齿轮部340位于所述底座轨310的内侧并基于第一齿轮部330旋转，从而可带动所述第一粉体清除杆350、第二粉体清除杆360旋转，所述第一齿轮部330根据所述电机部320的驱动而旋转。
所述第一粉体清除杆350作为在所述第二齿轮部340的内侧沿垂直方向较长地形成并与所述腔室220的内侧面接触的组件，随着所述第二齿轮部340的旋转一同旋转，从而可通过旋转力刮落固着于所述腔室220内侧面上的粉体。
所述第二粉体清除杆360与所述第一粉体清除杆360一样，作为在所述第二齿轮部340的内侧沿垂直方向较长地形成并与所述发热模块210的部分外侧面接触的组件，随着所述第二齿轮部340的旋转一同旋转，从而可通过旋转力刮落固着于所述发热模块210的外侧面上的粉体。
此时，为了扩大与所述发热模块210的外侧面的接触面积，所述第二粉体清除杆360以一个所述发热模块210为基准可对称形成于其两侧。
然后，对湿式清洗处理部400进行说明。如图1所示，所述湿式清洗处理部400上形成有下部框架(未图示)和多个喷嘴410，所述下部框架与所述加热箱部200的下端连通且上端及下端在所述加热箱部200的下部形成为开放的倒锥形状，所述喷嘴410形成于所述下部框架(未图示)的内侧并喷射用于湿式清洗通过所述加热箱部200的废气的清洗液(例如，水、净化水等)。
此时，所述喷嘴410向所述下部框架(未图示)内部喷射清洗液以促进微细粉体下落，并且可以用水中和处理通过所述加热箱部200的残余废气。
然后，对第一废弃物存放箱500进行说明。如图1或图6所示，所述第一废弃物存放箱500作为与所述湿式清洗处理部400的下侧连接并捕集从所述湿式清洗处理部400下落的粉体和清洗液的组件，为了与后述的第二废弃物存放箱600连通，所述第一废弃物存放箱500的下部可形成有排出管510。
然后，对第二废弃物存放箱600进行说明。如图1或图6所示，所述第二废弃物存放箱600作为与所述第一废弃物存放箱500的下侧连接并捕集从所述第一废弃物存放箱500移送的粉体以及将清洗液重新移送至第一废弃物存放箱500的组件，由连接管610、循环管620及粉体分散手柄部640组成。
所述连接管610与所述排出管510以螺栓方式紧固，从而能够将所述第一废弃物存放箱500的粉体与清洗液移送至所述第二废弃物存放箱600。
此时，所述排出管510与所述连接管610之间进一步设置有蝴蝶阀700，即使在装置运行过程中关闭所述蝴蝶阀700之后仍可以将所述第二废弃物存放箱600中捕集到的粉体排出到外部，因此可通过连续运行来实现高效操作。
所述循环管620是为了使清洗液在所述第一废弃物存放箱500与所述第二废弃物存放箱600之间循环而额外设置的管，根据需要可以利用循环电机630使清洗液循环，也可以通过所述循环管620上设置的开关阀621限制清洗液移动。
所述粉体分散手柄部640可旋转地设置于所述第二废弃物存放箱600的一侧，并通过所述粉体分散手柄部640的旋转来带动与所述粉体分散手柄部640的另一侧连接且位于所述第二废弃物存放箱600内的分散叶片651旋转，从而推动所述第二废弃物存放箱600内部堆积的粉体，进而能够平坦地捕集。
另外，先行工艺10由沉积设备11、MFC12及真空泵13组成，所述MFC12包括清洗气体注入管14a、14b、14c，其将分别供给的不同的清洗气体注入到所述沉积设备11；电磁阀15a、15b、15c，其用于关闭或打开各清洗气体注入管14a、14b、14c；以及压力传感器18a、18b、18c，其分别与各所述电磁阀15a、15b、15c连接。需要注意的是，如上所述结构是本技术领域中通常使用的常规技术。
另外，形成有控制阀16，所述控制阀16接收所述沉积设备11的控制信号并参预是否注入清洗气体，且各所述电磁阀15a、15b、15c上分别连接有连接管17a、17b、17c。
在上述结构的基础上，下面对根据本发明的其他实施例的废气分拣分离处理装置的控制方法进行说明。
参照图7，首先，所述控制阀16通过所述沉积设备11的控制信号感知选定的清洗气体信息。然后，通过外部工艺气体打开所述控制阀16。其次，利用工艺气体的压力并通过与所选清洗气体连接的连接管17a打开所述电磁阀15a。之后，通过与所述电磁阀15a连接的清洗气体注入管14a将清洗气体供给至所述沉积设备11。然后，感应供给到所述沉积设备11的清洗气体信息并提供给作业人员。
通过如上所述的控制方法可感应并确认注入到所述沉积设备11的、在各种清洗气体中选择的清洗气体，从而可在清洗工艺之后分拣分离废气，因此对废气处理非常有用。
附图和说明书中公开了最佳实施例。其中，虽然使用了特定术语，但这只是用于说明本发明而非用于限定含义或者限定权利要求书中记载的本发明的范围。因此对于本技术领域普通技术人员而言，应该理解,由此可进行各种变形并实施等同的其他实施例。因此,本发明的真正的技术保护范围应基于附上的权利要求书的技术思想而决定。

Claims (8)

1.一种废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：
所述废气分拣分离处理装置(1)由废气分离部(100)、加热箱部(200)、刮板单元部(300)及湿式清洗处理部(400)组成，
所述废气分离部(100)上形成有使先行工艺(10)的废气流入的流入口(110)、根据流入所述流入口(110)的所述废气的腐蚀性及非腐蚀性与否来转换移动方向的方向转换阀(120)、基于所述方向转换阀(120)使所述废气移动的第一移动管(130)及第二流动管(140),
所述加热箱部(200)由用于热分解经过所述第一移动管(130)和第二流动管(140)的废气的多个发热模块(210)及用于容纳所述第一移动管(130)和第二流动管(140)的腔室(220)组成,
所述刮板单元部(300)设置于所述加热箱部(200)并用于去除所述腔室(220)的内侧面上固着的粉体,
所述湿式清洗处理部(400)与所述加热箱部(200)连通且内侧形成有多个喷嘴(410)，所述多个喷嘴(410)用于喷射清洗液以对经过所述加热箱部(200)的所述废气进行湿式清洗处理。
2.如权利要求1所述的废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：
所述刮板单元部(300)上分别形成有环状的底座轨(310)、电机部(320)、第一齿轮部(330)、环状第二齿轮部(340)及第一粉体清除杆(350),
所述电机部(320)形成于所述底座轨(310)的一侧，
所述第一齿轮部(330)与所述电机部(320)的轴连接,
所述环状第二齿轮部(340)可旋转地安装在所述底座轨(310)的内侧并与所述第一齿轮部(330)咬合，
所述第一粉体清除杆(350)位于所述第二齿轮部(340)的内侧面且与所述腔室(220)的内侧面接触。
3.如权利要求2所述的废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：
所述第二齿轮部(340)的内侧面形成有第二粉体清除杆(360),所述第二粉体清除杆(360)与所述发热模块(210)的外侧面的一部分接触用以清除所述发热模块(210)的外侧面上固着的粉体。
4.如权利要求1所述的废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：
所述湿式清洗处理部(400)的下侧形成有第一废弃物存放箱(500)，所述第一废弃物存放箱(500)与所述湿式清洗处理部(400)连接用以捕集粉体和清洗液。
5.如权利要求4所述的废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：
所述第一废弃物存放箱(500)的下侧形成有第二废弃物存放箱(600)，所述第二废弃物存放箱(600)与所述第一废弃物存放箱(500)连接，从而捕集从所述第一废弃物存放箱(500)移送的粉体，而将清洗液重新移送到第一废弃物存放箱(500)。
6.如权利要求1所述的废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：
所述第二流动管(140)与各发热模块(210)之间形成有热移动管(230)，所述热移动管(230)使由先行工艺(10)注入的工艺气体经所述发热模块(210)加热并移动到所述第二流动管(140)的内部。
7.如权利要求1所述的废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：
所述先行工艺(10)由沉积设备(11)、MFC(12)及真空泵(13)组成，
所述MFC(12)包括清洗气体注入管(14a、14b、14c)，其将分别供给的不同的清洗气体注入到所述沉积设备(11)；电磁阀(15a、15b、15c)，其用于打开或关闭各清洗气体注入管(14a、14b、14c)；以及压力传感器(18a、18b、18c)，其分别与各所述电磁阀(15a、15b、15c)连接，
所述先行工艺(10)上形成有控制阀(16)，所述控制阀(16)接收所述沉积设备(11)的控制信号并参预是否注入清洗气体，且各所述电磁阀(15a、15b、15c)上分别连接有连接管(17a、17b、17c)。
8.一种废气分拣分离处理装置的控制方法，其用于感应并确认权利要求7所述的废气分拣分离处理装置(1)的所述沉积设备(11)中选择性注入的清洗气体，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
所述控制阀(16)通过所述沉积设备(11)的控制信号感知选定的清洗气体信息；
通过工艺气体打开所述控制阀(16)；
利用工艺气体的压力并通过与所选清洗气体连接的连接管(17a)打开所述电磁阀(15a)；
通过与所述电磁阀(15a)连接的清洗气体注入管(14a)将清洗气体供给到所述沉积设备(11)；以及
感应供给到所述沉积设备(11)的清洗气体信息并提供给作业人员。
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