CN217139811U - 废气处理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及环保设备技术领域，本实用新型提供一种废气处理系统，包括：第一除尘装置和第二除尘装置，第一除尘装置设置有第一壳体、第一进气管路和第一排气管路，第一进气管路设置有第一压力传感器；第二除尘装置设置有第二壳体、第二进气管路和第二排气管路，第二进气管路设置有第二压力传感器，第一进气管路与第二进气管路均连接于进气管路，第二排气管路与第一排气管路均连接于排出管路，排出管路设置有第三压力传感器。本实用新型提供的废气处理系统，用以解决相关技术中废气处理效果不佳、生产效率不高的缺陷，通过设置两个并联的除尘装置，即便其中一个除尘装置故障，也不影响废气处理系统的运行，避免系统停机，保证生产效率。

Description

废气处理系统

技术领域

本实用新型涉及环保设备技术领域，尤其涉及一种废气处理系统。

背景技术

在半导体生产工序、化工生产工序以及其他工序中，均存在废气处理需求，但相关技术中的废气处理效果有待改善。

其中，集成电路制造过程中，在化学气相沉积(CVD)工艺制程，如多晶材料加工工艺(poly工艺)用到的硅烷、磷烷、还有清洁气体NF3、ClF3等，这些易燃易爆以及强酸气体在处理过程中不仅产生的粉末比较多而且也会有很多酸性副产物，如HF、HCL，需要进行除尘处理。

一些情况下，废气除尘过程中，使用循环水去除废气中的粉尘，适用于废气中含有粉尘量比较少的情况下，当废气中粉尘含量超过一定量时，粉尘堵塞废气处理设备，导致设备停机。另外，粉尘经过水洗后难以收集，粉尘流入废气处理系统的排水系统，容易堵塞排水管路，造成维护成本增加。粉末附着在设备内部管路，堵塞设备废气流通，影响系统负压，导致设备宕机，降低生产效率。对于需要处理的废气量大并且含粉尘量大的时候，容易导致废气除尘设备的废气出气口堵塞，造成设备停机和报警。

实用新型内容

本实用新型提供一种废气处理系统，用以解决相关技术中废气处理效果不佳、生产效率不高的缺陷，通过设置两个并联的除尘装置，方便对除尘装置进行停机检修或维护，即便其中一个除尘装置故障，也不影响废气处理系统的运行，避免停机，保证系统稳定运行，保证生产效率。

本实用新型提供一种废气处理系统，包括：

第一除尘装置，设置有第一壳体、第一进气管路和第一排气管路，所述第一进气管路设置有第一压力传感器；

第二除尘装置，设置有第二壳体、第二进气管路和第二排气管路，所述第二进气管路设置有第二压力传感器，所述第一进气管路与所述第二进气管路均连接于进气管路，所述第二排气管路与所述第一排气管路均连接于排出管路，所述排出管路设置有第三压力传感器。

根据本实用新型提供的一种废气处理系统，所述第一进气管路设置有第一调节阀，所述第二进气管路设置有第二调节阀。

根据本实用新型提供的一种废气处理系统，所述第一除尘装置与所述第二除尘装置均包括壳体、设于所述壳体内的除尘器、设于所述壳体内的粉尘收集器以及用于冷却粉尘收集器的冷却管路，所述粉尘收集器位于所述除尘器的下方，所述冷却管路设置于所述粉尘收集器的至少一侧。

根据本实用新型提供的一种废气处理系统，所述冷却管路与制程冷却水管路连通。

根据本实用新型提供的一种废气处理系统，所述壳体设置有冷却夹层，所述冷却夹层与制程冷却水管路连通。

根据本实用新型提供的一种废气处理系统，所述冷却管路位于所述粉尘收集器的下方，或，所述冷却管路与所述粉尘收集器集成为一体。

根据本实用新型提供的一种废气处理系统，所述粉尘收集器设置有第二温度传感器，所述冷却管路设置有流量调节阀。

根据本实用新型提供的一种废气处理系统，还包括气体供应管路和用于吹扫所述壳体内粉尘的吹扫管路，所述气体供应管路的出口端设置所述吹扫管路和所述冷却管路。

根据本实用新型提供的一种废气处理系统，还包括反应装置，所述反应装置设置有辅助进气管路，所述辅助进气管路的进口与所述冷却管路的出口连通。

根据本实用新型提供的一种废气处理系统，还包括洗涤装置，所述洗涤装置包括水箱和与所述水箱连通的水洗塔，所述水洗塔与所述排出管路连通，所述水箱连接有加药装置。

本实用新型提供的废气处理系统，包括并联设置在进气管路与排出管路之间的第一除尘装置和第二除尘装置，进气管路可将废气通入第一除尘装置与第二除尘装置中的至少一个，以使废气进行除尘处理，除尘处理后的废气经过排出管路排出。利用两套除尘装置，既可以互为备用，也可以同时工作。在废气量少或者其中一个除尘装置发生故障的情况，使用其中一个除尘装置进行废气除尘处理，另外一台处于待机状态，节省能源。当废气量大时，两套除尘装置同时满载工作，提高废气粉尘处理效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的废气处理系统的结构示意图；

图2是本实用新型提供的废气处理系统中除尘装置、反应装置和洗涤装置的连接关系示意图；其中，图2的冷却管路与图1中冷却管路的冷却流体及冷却流体的流向不同；

其中，图1和图2中箭头均示意了废气的流动方向。

附图标记：

1、进气管路；2、流量传感器；3、吹扫管路；4、冷却管路；5、静电发生器；6、吸附件；7、第二温度传感器；8、粉尘收集器；9、流量调节阀；10、第一除尘装置；11、第一吹扫支路；12、第二吹扫支路；13、第三压力传感器；14、排出管路；15、废气进气口；16、加热件；17、水箱；18、第三温度传感器；19、循环水喷淋部件；20、水洗塔；21、过滤部件；22、新水喷淋部件；23、排放管路；24、高压电源；25、第一液位开关；26、第二液位开关；27、第三液位开关；28、第四液位开关；29、水泵；30、分流部件；31、隔膜阀；32、第一调节阀；33、第二调节阀；34、反应装置；35、第一温度传感器；36、气体供应管路；37、第一吹扫管路；38、第二吹扫管路；39、第一冷却管路；40、第二冷却管路；41、第二除尘装置；42、第一进气管路；43、第二进气管路；44、第一压力传感器；45、第二压力传感器；46、第一排气管路；47、第二排气管路；48、排水管路；49、加药装置；50、第三调节阀；51、第四调节阀；52、第五调节阀。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上。

参考图1和图2所示，本实用新型的实施例，提供一种废气处理系统，包括第一除尘装置10和第二除尘装置41，第一除尘装置10设置有第一壳体、第一进气管路42和第一排气管路46，第一进气管路42设置有第一压力传感器44；第二除尘装置41设置有第二壳体、第二进气管路43和第二排气管路47，第二进气管路43设置有第二压力传感器45，第一进气管路42和第二进气管路43均连接于进气管路1，第二排气管路47与第一排气管路46均连接于排出管路14，排出管路14设置有第三压力传感器13。

第一除尘装置10与第二除尘装置41并联设置于进气管路1与排出管路14之间，进气管路1可将废气通入第一除尘装置10与第二除尘装置41中的至少一个，以使废气进行除尘处理，除尘处理后的废气经过排出管路14排出。

利用两套除尘装置，既可以互为备用，也可以同时工作。在废气量少或者其中一个除尘装置发生故障的情况，使用其中一个除尘装置进行废气除尘处理，另外一台处于待机状态，节省能源。当废气量大时，两套除尘装置同时满载工作，提高废气粉尘处理效率。

第一进气管路42设置第一压力传感器44，第二进气管路43设置第二压力传感器45，排出管路14设置第三压力传感器13，实时检测废气处理系统的压力。以根据第三压力传感器13与第一压力传感器44的压力差、第三压力传感器13与第二压力传感器45的压力差，确认第一除尘装置10和第二除尘装置41是否发生堵塞，以便及时处理，尽量避免设备停机。

本实用新型实施例的废气处理系统，采用两个并联的除尘装置，可解决除尘装置堵塞停机的问题，保证废气处理系统可持续运行，持续稳定的生产。

可以理解的是，第一进气管路42设置有第一调节阀32，第二进气管路43设置有第二调节阀33，以调节第一除尘装置10与第二除尘装置41的废气处理状态。为了确保除尘装置一直处于一个负压状况，在通过第一压力传感器44、第二压力传感器45和第三压力传感器13对除尘装置的气压进行检测。当第一压力传感器44与第三压力传感器13的差值、或第二压力传感器45与第三压力传感器13大于系统预警值，设备停机，进行除尘装置维护。

第一压力传感器44测得的压力值为P1，第三压力传感器13测得的压力值为P3，第一除尘装置10的进气端与出气端的压力差值为P4，即|P1-P3|＝P4。以先运行第一除尘装置10为例，当P4小于压力报警值时，则第一除尘装置10稳定运行，进气管路1的废气进入第一除尘装置10，处理后的废气进入洗涤装置。当P4大于系统压力报警值时，第一除尘装置10的第四调节阀51关闭，第一除尘装置10停止工作，废气处理设备发出预警信号，提示维护人员对第一除尘装置10进行设备维护，同时第二除尘装置41的第五调节阀52打开，废气进入第二除尘装置41进行静电除尘处理，处理完的废气进入洗涤装置，进行降温、除尘和除酸。

第二压力传感器45测得的压力值为P2，第二除尘装置41的进气口与出气端的压力差值为P5，即|P2-P3|＝P5。当P5的值大于系统压力报警值时，第二除尘装置41停止工作，并发出预警维护信号。第一除尘装置10开始工作。除尘装置一用一备，不仅节省耗能，且保证废气处理系统一直处于工作状态，提高了生产效率，降低成本。

废气进入进气管路1，进气管路1的流量传感器2检测出废气流量高于废气流量的设定值时，第四调节阀51和第五调节阀52同时打开，废气同时进入第一除尘装置10和第二除尘装置41进行废气除尘处理，处理完的废气通过排出管路14进入洗涤装置，进行废气降温、除尘和除酸处理。这种废气处理方式，提高了废气处理设备的废气处理量，提升了设备性能。

需要说明的是，第一除尘装置10与第二除尘装置41的结构可以相同或不同，满足除尘需要即可，下面，在第一除尘装置10与第二除尘装置41的结构相同的前提下，以第一除尘装置10为例进行说明

第一除尘装置10包括壳体、设于壳体内的除尘器、设于壳体内的粉尘收集器8以及用于冷却粉尘收集器8的冷却管路4，粉尘收集器8位于除尘器的下方，冷却管路4设置于粉尘收集器8的至少一侧。

第一除尘装置10的壳体内设置有除尘器、粉尘收集器8和冷却管路4，除尘器使得废气中的粉尘分离，废气中分离出的粉尘落入粉尘收集器8，粉尘被收集在粉尘收集器8内，废气处理系统使用粉尘收集器8，集中收集废气中的粉尘，减少粉尘流入下一级处理装置。为粉尘收集器8设置冷却管路4，可对粉尘以及粉尘收集器8进行降温，方便粉尘排放，还可降低第一除尘装置10的温度，同时冷却管路4中的冷却介质吸热后还可将热量二次利用，以提高废气处理系统的热效率。

除尘器可为多种结构，如静电除尘器、过滤除尘器或磁力除尘器，当除尘器采用静电除尘，可使得废气中的粉尘通过干式静电吸附分离，结构简单且粉尘分离效果好。

本实用新型实施例的废气处理系统，通过设置第一除尘装置10和第二除尘装置41，可减少废气处理设备的堵塞，提升设备内废气流通性能，减少废气处理系统的故障率，提高生产效率。

粉尘收集器8可为盘状结构，以承接其上方落下的粉尘，收集效果好。粉尘收集器8的底部可设置为漏斗形，以方便粉尘集中收集。但粉尘收集器8的结构不限定于此，其他能够实现粉尘收集的结构亦可。

冷却管路4包括第一冷却管路39和第二冷却管路40，第一冷却管路39用于冷却第一除尘装置10内的粉尘收集器8，第二冷却管路40用于冷却第二除尘装置41内的除尘装置。

一些情况下，如图1所示，冷却管路4与制程冷却水管路连通，制程冷却水为粉尘收集器8进行冷却降温，冷却管路4内的制程冷却水吸收粉尘收集器8的热量，并为粉尘收集器8和其内的粉尘进行降温。

基于冷却管路4与制程冷却水管路连通，制程冷却水管路还可以为第一壳体与第二壳体中的至少一个进行降温，第一壳体与第二壳体中的至少一个可以设置冷却夹层，制程冷却水管路与冷却夹层连通，为第一壳体与第二壳体中的至少一个降温。

需要说明的是，基于冷却管路4与制程冷却水管路连通，冷却管路4的出口端可与其他设备连通，以利用冷却管路4内水的热量。

上述实施例，以冷却管路4通入冷却水，为粉尘收集器8冷却降温的方式，但冷却管路4内不限于通入冷却水，还可以为气体。

如图2所示，废气处理系统还包括气体供应管路36和用于吹扫壳体内粉尘的吹扫管路3，气体供应管路36的出口端设置吹扫管路3和冷却管路4。气体供应管路36用于向冷却管路4和吹扫管路3供应气体，也就是冷却管路4与吹扫管路3中的气体为气体供应管路36供应的同一种气体，可简化气体供应的结构。其中，吹扫管路3向壳体内吹气，以将壳体内表面、静电除尘器的表面的粉尘吹落，以保证除尘效果。

第一除尘装置10设置有第一吹扫管路37，第二除尘装置41设置有第二吹扫管路38，以保证装置内粉尘分离效果。

一些情况下，气体供应管路36供应的气体为氮气，氮气的性能稳定，不会与废气发生反应，可适用的工况多。

如图2所示，废气处理系统还包括反应装置34，反应装置34设置有反应气管路和辅助进气管路1，辅助进气管路1套设于反应气管路的外侧，以使反应气管路与辅助进气管路1之间形成夹层，辅助进气管路1的进口与冷却管路4的出口连通，冷却管路4内的气体通过夹层进入反应装置34内。冷却管路4内的气体在夹层内可对反应气管路内的反应气体进行加热，解决反应气体的温度降低而产生结晶以及反应气管路堵塞的问题，还利用了冷却管路4中气体的热量，提高热效率。

需要说明的是，当冷却管路4内的气体温度大于或等于反应气管路所需的温度，则冷却管路4内的气体通过夹层直接进入反应装置34，冷却管路4内的气体能为反应气管路内的气体加热，还能为反应气管路的出口端进行吹扫；当冷却管路4内的气体温度小于反应气管路所需的温度，则反应装置34的加热件16对辅助进气管路1内的气体进行加热，以使辅助进气管路1内的气体对反应气管路内的气体进行加热和保温。或，加热件16直接为反应气管路内的气体加热。

参考图2所示，反应装置34设置有用于向辅助进气管路1提供热量的加热件16，反应装置34的加热件16对应于辅助进气管路1设置，如加热件16设置在辅助进气管路1的外壁，或者，加热件16设置在夹层内；加热件16的位置可根据选择，此处不作限定。

参考图2所示，冷却管路4与辅助进气管路1中的至少一个设置有第一温度传感器35，第一温度传感器35用于检测冷却管路4内的气体温度，以便确认加热件16是否需要启动。第一温度传感器35设置在冷却管路4的出口端，或者，第一温度传感器35设置在辅助进气管路1的入口端，以便加热器根据第一温度传感器35检测到的温度确认是否启动，保证夹层内气体的温度满足需求。

进气管路1与反应装置34的排气端连通，也就是第一除尘装置10与第二除尘装置41中的至少一个对反应装置34产生的废气进行除尘处理，反应装置34排出的废气通过第一除尘装置10与第二除尘装置41中的至少一个及时除尘，冷却管路4能够吸收废气中的部分余热，以供给到反应装置34，及时将热量利用。

在上述的冷却管路4通入气体或制程冷却水的实施例，对冷却管路4的其他方面进行说明。

冷却管路4位于粉尘收集器8的下方，冷却管路4与粉尘收集器8相互独立，以方便独立安装和拆卸。

或，冷却管路4与粉尘收集器8集成为一体，也就是粉尘收集器8设置有用于通入冷却流体的通路，以实现粉尘收集器8的冷却降温，还可减少除尘装置的零部件数量。

冷却管路4还可以与第一壳体与第二壳体中至少一个的冷却夹层连通，以使冷却管路4内的流体为第一壳体与第二壳体中至少一个降温，还能通过流体吸收第一壳体与第二壳体中至少一个的热量，热量可二次利用。

可以理解的是，粉尘收集器8设置有第二温度传感器7，第二温度传感器7用于检测粉尘收集器8的温度，冷却管路4设置有流量调节阀9，以使流量调节阀9根据第二温度传感器7测得的温度来调节冷却管路4内的流体流量。

此处需要说明的是，以第一除尘装置10为例，第二温度传感器7还可设置在第一壳体上，第二温度传感器7对应于粉尘收集器8，以便检测粉尘收集器8的温度。

静电除尘器包括高压电源24、静电发生器5和吸附件6，吸附件6螺旋形设置于静电发生器5，高压电源24为静电发生器5供电，高压电源24提供给静电发生器5负高压，静电发生器5发射负静电使得吸附件6带上电荷，当废气从进气管路1进入除尘装置的壳体时，带电的吸附件6使得废气中得粉尘带电，并被吸收在吸附件6上。

吸附件6可采用螺旋的结构，以在空间有限的除尘装置中最大量吸收废气中的粉尘量。吸附在吸附件6的粉尘，通过吹扫管路3中的吹扫气体进行吹扫，以保证吸附件6的除尘效果，吸附件6上的粉尘落入粉尘收集器8中。

其中，吸附件6可为螺旋形分布的盘状结构，也能提升吸附件6的吸附效果。

吹扫管路3设置有多个吹扫支路，每个吹扫支路均设置有吹扫头，每个吹扫支路对应不同的位置进行吹扫。吹扫管路3设置有第二调节阀33，第二调节阀33的开度和通断可根据除尘装置的废气处理量进行设置。其中，第二调节阀33可选用电磁阀，以实现自动控制。

参考图2所示，吹扫管路3连接有第一吹扫支路11和第二吹扫支路12，第一吹扫支路11和第二吹扫支路12对应于不同高度位置进行吹扫，第二吹扫支路12更靠近壳体。第一吹扫支路11从壳体的顶部向下吹扫，主要吹扫静电除尘器表面的粉尘；第二吹扫支路12从壳体的中间部位向下吹扫，第二吹扫支路12可同时吹扫静电除尘器和壳体的粉尘。

以第一除尘装置10为例，第一除尘装置10的壳体内部设置有刮刀，刮掉粘附在壳体内部的粉尘，以便第一除尘装置10内的粉尘及时排出。

一些情况下，废气处理系统还设置有洗涤装置，洗涤装置包括水箱17和水洗塔20，排出管路14排出的气体进入洗涤装置进行洗涤后，通过排放管路23排出。其中，水洗塔20设置有循环水喷淋部件19和新水喷淋部件22，循环水喷淋部件19位于新水喷淋部件22的下方，采用新水和循环水同时除废气中的酸气，不仅降低废气中酸气浓度，而且节省新水的用量。

结合上述内容中的除尘装置和洗涤装置，废气中的粉尘与废气中的酸气采用不同的处理方式，更好的除去了废气中的粉尘，并降低了废气中的酸气，确保了系统更加安全、更加环保，减少了维护成本，提升了客户对设备的满意度。

水洗塔20还设置有过滤部件21，过滤部件21可设置在循环水喷淋部件19和新水喷淋部件22中至少一个的下方，可过滤废气中携带的杂质。

如图2所示，洗涤装置中，经过循环水喷淋部件19的循环水的除去废气中的酸气、过滤装置过滤废气中的粉尘、经过新水喷淋部件22的新水再次对废气进行洗涤、除酸和降温，最后废气通过排放管路23排至厂务中央处理系统。

水洗塔20设置有第三温度传感器18，第三温度传感器18设置在排放管路23上，或，靠近排放管路23的位置，第三温度传感器18用于检测排放管路23排放的气体温度，控制器可根据第三温度传感器18检测到的气体温度来调节喷淋部件的流量，以保证水洗塔20排放的气体温度在预设范围内。

水洗塔20的下方设置水箱17，水箱17用于承接水洗塔20的水，溶于水的酸气流入水箱17。水箱17设置有第一液位开关25、第二液位开关26、第三液位开关27和第四液位开关28，第一液位开关25、第二液位开关26、第三液位开关27和第四液位开关28依次用于测量水箱17从高向低的第一液位、第二液位、第三液位和第四液位，以及根据第一液位、第二液位、第三液位和第四液位控制水箱17排水。

当水箱17的液位达到第一液位时，将隔膜阀31打开，水箱17中的废水排出厂务，新水喷淋部件22的新水进入洗涤系统，再次洗涤废气中的酸气、粉尘和降低废气的温度并且增加的水量流入水箱17，降低水箱17水液的酸性浓度。其中，水箱17连接于水泵29和分流部件30，水箱17内的水通过水泵29排出，可通过分流部件30分流成两个支路，其中一个支路为排水支路，排水支路设置隔膜阀31，以控制通断；另一个支路与循环水喷淋部件19连通，以将水箱17内的水循环利用，此支路设置有第一调节阀32，第一调节阀32可调节循环水通断和流量大小。

基于前述，经过除尘装置处理的废气，通过排气管路通入洗涤装置，废气经过水洗塔20内的循环水喷淋部件19、过滤部件21和新水喷淋部件22洗涤后排出，水洗塔20的液体排入水箱17。

水箱17与排水管路48连通，水箱17连接有加药装置49，加药装置49设置有第三调节阀50，以调节加热管路的通断和开度。加药装置49向水箱17中添加药剂，以调剂水箱17内水的酸碱度，以使水满足排放要求。水箱17内的水满足排放要求后，水箱17可与排水管路48连通，进行排水。根据废水含酸浓度实时调节，降低水箱17内液体的酸度，减少设备腐蚀。

水箱17设置有PH检测传感器，当水箱17中的液体含酸浓度高于设定值时，控制加药装置49的第三调节阀50打开，药液流入水箱17并与水箱17中的水进行酸碱中和，直至PH检测传感器检测出水箱17中液体酸度值低于设定值，控制第三调节阀50关闭。加药装置49中安装药液液位传感器，当药液的液位低于第一预设液位时，废气处理系统发出预警信号，提示工作人员药液系统需要补充药液。当补充的药液液位到达第二预设液位时，废气处理系统解除预警信号。

下面结合图1和图2所示，对废气处理系统用于处理制程废气的工作过程进行说明：

废气处理系统的制程废气从进气口进入反应装置34，反应装置34提供高温环境，以使废气在反应装置34中进行分解还原处理。处理完的高温废气从进气管路1进入除尘装置(第一除尘装置10与第二除尘装置41中的至少一个)，废气在除尘装置中经过静电吸附，处理之后的废气通过排出管路14进入洗涤装置，废气在水洗塔20内进行除酸、稀释以及降温，通过新水和循环水双重洗涤废气中的酸气。处理完的废气从排放管路23流入厂务的中央处理系统。

废气进入进气管路1，在进气管路1内的流量传感器2检测废气的流量，当废气流量低于废气流量的设定值时，第四调节阀51打开，废气进入第一除尘装置10，废气在第一除尘装置10内通过静电吸附除尘，第一除尘装置10内的粉尘通过粉尘收集器8进行收集，第一除尘装置10的壳体内壁的粉尘通过刮刀去除，也被粉尘收集器8收集，处理完的废气通过排出管路14进入洗涤装置。

其中，废气处理系统还包括第二除尘装置41，第二除尘装置41与第一除尘装置10可交替使用，或同时使用，以保证除尘效果，避免系统堵塞。

第一除尘装置10和第二除尘装置41均主要包括静电产生器、吸附件6、粉尘收集器8、以及气体供应管路36，气体供应管路36供应氮气，气体供应管路36向吹扫管路3和冷却管路4供应氮气。当制程废气处理量比较少，吹扫管路3的第一调节阀32间歇打开，定时吹扫吸附件6上的粉尘；当制程废气处理量比较大，第一调节阀32处于常开的状态，不间断的吹扫吸附件6上的粉尘。需要说明的是，废气处理设备在开机时，第一调节阀32打开2分钟，对吸附件6进行清理，设备关机前，设备打开2分钟，对吸附件6再次清理，提高了氮气的利用率。

高温的废气使得粉尘收集器8温度比较高，因此在粉尘收集器8的底部设置冷却管路4，冷却管路4内的氮气进行粉尘降温，其中冷却管路4的流量调节阀9用于控制氮气流量，冷却管路4还设置有流量计，以测量冷却管路4内的氮气流量。在粉尘收集器8表面使用第二温度传感器7检测粉尘收集器8的温度，实时检测粉尘收集器8的温度，以使冷却管路4根据粉尘收集器8的温度调节氮气的流量。其中第二温度传感器7可选用贴片式热电偶。通过对粉尘收集器8的降温使得冷却管路4内的氮气温度比较高，冷却管路4内的氮气在除尘装置(第一除尘装置10与第二除尘装置41中的至少一个)吸热后，通入反应装置34的废气进气口15，氮气在废气进气口15外侧的夹层内对进气进行加热和保温，氮气流入反应装置34内。反应装置34还设置有加热件16(如加热带)，当冷却管路4内氮气的温度不能满足反应装置34的加热需求时，通过加热件16额外补充热量，以保证废气进气口15处废气的温度，以减少废气在废气进气口15处析出的结晶，解决废气进气口15容易堵塞的问题，制程废气进气口15的废气得到加热，提高了制程废气的温度，提高氮气利用率，以及减少氮氧化物的排放。也就是，粉尘收集器8中的粉尘采用氮气降温，处理过粉尘的热氮气被回收利用，提高了氮气的利用率。

除尘装置的排气管路内的废气再进入洗涤装置进行洗涤，以使废气满足排放要求。

结合上述，本实用新型实施例的废气处理系统，可根据废气流量大小，选择第一除尘装置10和第二除尘装置41的运行状态，既可以节省能源浪费同时提高效率，降低维护成本，不仅降低了设备的故障率，提高了设备的废气处理能力，而且降低了系统的腐蚀性，确保了人员安全，更好的避免环境受到污染。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种废气处理系统，其特征在于，包括：

第一除尘装置，设置有第一壳体、第一进气管路和第一排气管路，所述第一进气管路设置有第一压力传感器；

第二除尘装置，设置有第二壳体、第二进气管路和第二排气管路，所述第二进气管路设置有第二压力传感器，所述第一进气管路与所述第二进气管路均连接于进气管路，所述第二排气管路与所述第一排气管路均连接于排出管路，所述排出管路设置有第三压力传感器。

2.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于，所述第一进气管路设置有第一调节阀，所述第二进气管路设置有第二调节阀。

3.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于，所述第一除尘装置与所述第二除尘装置均包括壳体、设于所述壳体内的除尘器、设于所述壳体内的粉尘收集器以及用于冷却粉尘收集器的冷却管路，所述粉尘收集器位于所述除尘器的下方，所述冷却管路设置于所述粉尘收集器的至少一侧。

4.根据权利要求3所述的废气处理系统，其特征在于，所述冷却管路与制程冷却水管路连通。

5.根据权利要求3所述的废气处理系统，其特征在于，所述壳体设置有冷却夹层，所述冷却夹层与制程冷却水管路连通。

6.根据权利要求3所述的废气处理系统，其特征在于，所述冷却管路位于所述粉尘收集器的下方，或，所述冷却管路与所述粉尘收集器集成为一体。

7.根据权利要求3所述的废气处理系统，其特征在于，所述粉尘收集器设置有第二温度传感器，所述冷却管路设置有流量调节阀。

8.根据权利要求3所述的废气处理系统，其特征在于，还包括气体供应管路和用于吹扫所述壳体内粉尘的吹扫管路，所述气体供应管路的出口端设置所述吹扫管路和所述冷却管路。

9.根据权利要求8所述的废气处理系统，其特征在于，还包括反应装置，所述反应装置设置有辅助进气管路，所述辅助进气管路的进口与所述冷却管路的出口连通。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的废气处理系统，其特征在于，还包括洗涤装置，所述洗涤装置包括水箱和与所述水箱连通的水洗塔，所述水洗塔与所述排出管路连通，所述水箱连接有加药装置。

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