JP2005152858A - フッ素化合物を含有する排ガスの処理方法及び処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フッ素化合物を含有する排ガスを導入して加熱分解処理する加熱装置1と、この加熱装置1で加熱分解処理された排ガスを導入して洗浄処理する洗浄装置2とを備えたフッ素化合物を含有する排ガスの処理装置において、排ガスの分解媒体を加熱装置に添加する分解媒体添加装置3を設ける。
【選択図】図2
Description
このPFCガスは、地球温暖化ガスであり、大気放出の規制対象になっているため、種々の分解方法が検討されており、例えば、ヒータによって加熱分解処理した後、水で洗浄処理する処理方法及び処理装置が提案されている。
このフッ素化合物を含有する排ガスの処理方法は、フッ素化合物を含有する排ガスを加熱分解処理した後、洗浄処理するもので、前記加熱分解処理を、水蒸気の存在下で行うようにしている。
加熱装置1の排ガス導入部14は、例えば、複数(本実施例では、3方)の接線方向から排ガスを旋回流として導入することができるマルチチャンバーとなっており、排ガス濃度が高すぎる場合は、N2ガス導入部4から導入されるN2ガスによって希釈することができるようにしている。
また、加熱装置1には、内部温度を制御することができるようにされるとともに、必要に応じて空気を導入する空気導入部5が接続されている。
洗浄後、ミストが除去されたガスは、N2ガスをパージした後、大気中に放出され、また、洗浄装置2でHFなどを吸収した排水は外部に排出される。
なお、図3に示すように、配管33により送られた水蒸気発生媒体を、加熱装置1の炉心管11に直接落として蒸発させることにより水蒸気を発生するようしたり、加熱装置1の外に別途配設した水蒸気発生機構により発生させた水蒸気を加熱装置1に供給するようにすることもできる。
2NF3+3H2O→NO+NO2+6HF
特に、アルカリ性液体、具体的には、アンモニア水、NaOH水、Ca(OH)2水、KOH水、LiOH水等を適用することにより、中和反応によって排ガスの腐食力を一層弱めることができる。
なお、酸性液体としては、塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸、酢酸、HBr水等、アルコールとしては、メタノールやエタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、ブタノール、2−アミノエタノール、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン等を用いることができる。
11 炉心管
12 ヒータ
13 シャフト
14 排ガス導入部
2 洗浄装置
21 タンク
3 水蒸気発生機構
31 添加タンク
32 ポンプ
33 配管
4 N2ガス導入部
5 空気導入部
Claims (6)
- フッ素化合物を含有する排ガスを加熱分解処理するようにしたフッ素化合物を含有する排ガスの処理方法において、前記加熱分解処理を、水蒸気の存在下で行うことを特徴とするフッ素化合物を含有する排ガスの処理方法。
- 加熱分解処理に当たり、水、食塩水、墨汁、尿素水、アンモニア水等のアルカリ性液体、酸性液体、アルコールの1種若しくは2種以上を添加することを特徴とする請求項1記載のフッ素化合物を含有する排ガスの処理方法。
- フッ素化合物を含有する排ガスを導入して加熱分解処理する加熱装置を備えたフッ素化合物を含有する排ガスの処理装置において、前記加熱装置に水蒸気発生機構を設けたことを特徴とするフッ素化合物を含有する排ガスの処理装置。
- 水蒸気発生機構に、水、食塩水、墨汁、尿素水、アンモニア水等のアルカリ性液体、酸性液体、アルコールの1種若しくは2種以上を供給するようにしたことを特徴とする請求項3記載のフッ素化合物を含有する排ガスの処理装置。
- 加熱装置に排ガスを旋回流として導入する排ガス導入部を備えるとともに、前記旋回流の中心位置に水蒸気発生機構を配設したことを特徴とする請求項3又は4記載のフッ素化合物を含有する排ガスの処理装置。
- 加熱装置の炉心管の中心部に、シャフトを配設したことを特徴とする請求項3、4又は5記載のフッ素化合物を含有する排ガスの処理装置。
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