JP5911365B2 - 複合型顕微鏡 - Google Patents
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Description
本実施形態の複合型顕微鏡の構成を図1に示す。
本実施形態の複合型顕微鏡の構成を図9に示す。図9に示すように、本実施形態の複合型顕微鏡は、筐体と照明光源が異なるほかは、図1に示す第一実施形態の複合型顕微鏡と同じである。
Claims (7)
- 倒立型光学顕微鏡と走査型プローブ顕微鏡の複合型顕微鏡であって、
試料を保持した試料基板が載置される試料基板載置面を有するステージと、
サブストレートと、前記サブストレートに支持されたカンチレバーと、前記カンチレバーの自由端に設けられたプローブを備えたカンチレバーチップと、
前記プローブを前記試料基板載置面に対向させ、かつ、前記サブストレートを前記試料基板載置面に対して傾斜させて前記カンチレバーチップを保持するとともに、前記カンチレバーチップを前記試料基板載置面に対して三次元的に走査するスキャナと、
前記カンチレバーの変位を光学的に検出する光学式変位センサーと、
前記倒立型光学顕微鏡による観察のための照明光を、前記サブストレートを基準にして前記カンチレバーの反対側に位置する前記サブストレートの後方から、前記サブストレートと前記試料基板載置面の間を通して、前記試料基板載置面に載置された試料に照射する照明光源とを備えている、複合型顕微鏡。 - 前記スキャナと前記光学式変位センサーを保持した筐体を有し、
前記筐体は、前記試料基板載置面に対して傾斜した傾斜面を備え、前記試料基板載置面に対する前記傾斜面の傾斜角は前記試料基板載置面に対する前記サブストレートの傾斜角以上であり、
前記照明光源は、前記傾斜面と前記ステージの間を通して前記照明光を前記試料に照射する、請求項1に記載の複合型顕微鏡。 - 前記照明光源は、前記傾斜面に保持されている、請求項2に記載の複合型顕微鏡。
- 前記スキャナと前記光学式変位センサーを保持した筐体を有し、
前記筐体は、前記試料基板載置面に対して傾斜した鏡面を備え、前記試料基板載置面に対する前記鏡面の傾斜角は前記試料基板載置面に対する前記サブストレートの傾斜角以下であり、
前記照明光源は、前記照明光を前記鏡面による反射を経て前記試料に照射する、請求項1に記載の複合型顕微鏡。 - 前記照明光源は複数の発光素子を含み、前記複数の発光素子は、それらの光軸が前記試料から広がって延びるように配置されている、請求項1〜請求項4のいずれかひとつに記載の複合型顕微鏡。
- 前記試料基板載置面に対する前記サブストレートの傾斜角は5度ないし15度である、請求項1〜請求項5のいずれかひとつに記載の複合型顕微鏡。
- 前記照明光源は、前記照明光の少なくとも一部が前記サブストレートと前記カンチレバーの少なくとも一方で反射された後に前記試料基板載置面に載置された試料に照射されるように配置されている、請求項1〜請求項6のいずれかひとつに記載の複合型顕微鏡。
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