JP5895643B2 - 弾性波素子の製造方法及び弾性波素子 - Google Patents
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Description
図3に示す弾性表面波素子1の製造方法について、図1〜図3を参照しながら詳細に説明する。
まず、図1に示される弾性表面波チップ10を用意する。弾性表面波チップ10は、例えば、弾性表面波共振子チップや弾性表面波フィルタチップなどである。
、例えば、150μm〜350μm程度であることが好ましく、200μm〜250μm程度であることがより好ましい。圧電基板10aの厚みが薄すぎると、圧電基板10aの機械的耐久性が低くなりすぎるため、後述する弾性波表面波チップの実装工程において圧電基板10aが損傷しやすくなる場合がある。一方、圧電基板10aの厚みが厚すぎると、研削工程に要する時間が長くなりすぎる場合がある。
次に、弾性表面波チップ10を配線基板20上にフェースダウン実装する。本実施形態では、具体的には、複数の弾性表面波チップ10を配線基板20の上にフェースダウン実装する。このとき、圧電基板10aの厚みが薄すぎると、弾性表面波チップが損傷しやすくなる場合がある。
次に、配線基板20の上に、弾性表面波チップ10を封止するように樹脂封止材30を設ける。樹脂封止材30は、例えばモールドにより形成することができる。
次に、図2に示されるように、樹脂封止材30及び圧電基板10aの研削工程を行う。具体的には、樹脂封止材30の配線基板20とは反対側の表面30aから、樹脂封止材30及び圧電基板10aを研削する。これにより、圧電基板10aの配線基板20側の表面が研削されてなる圧電基板10dと、IDT電極10bと、電極パッド10cとを有する弾性表面波チップ11が形成される。
次に、図3に示されるように、露出した圧電基板10dの表面を覆うように絶縁層40を配置する。絶縁層40は、圧電基板10dよりも高い熱伝導率を有する。ここでは、絶縁層40として、窒化アルミニウム基板を、窒化アルミニウムフィラー入りの樹脂層を介して貼りつけている。絶縁層40の熱伝導率は、圧電基板10dの熱伝導率の5倍以上であることが好ましく、20倍以上であることがより好ましい。また、絶縁層40の線膨張係数は、圧電基板10dの線膨張係数よりも小さいことが好ましく、圧電基板10dの弾性波伝搬方向の線膨張係数の1/2倍以下であることがより好ましく、1/4倍以下であることがさらに好ましい。
ケイ素、酸化マグネシウム及びシリコン(高抵抗シリコン)からなる群から選ばれた少なくとも一種からなる絶縁層を用いることができる。
性は十分に改善されうる。すなわち、樹脂封止材の研削時に、圧電基板の研削は必須ではない。
図4は、第2の実施形態において製造された弾性表面波素子2の略図的平面図である。
10,10A,10B…弾性表面波チップ
10a…圧電基板
10b…IDT電極
10c…電極パッド
10d…圧電基板
11…弾性表面波チップ
20…配線基板
20a、20b…電極ランド
30…樹脂封止材
30a…表面
31…樹脂封止材
40…絶縁層
40a…開口
Claims (9)
- 圧電基板と、前記圧電基板上に配されたIDT電極とを有する弾性波チップを用意する工程と、
前記弾性波チップを配線基板上にフェースダウン実装する工程と、
前記配線基板上に、前記弾性波チップを封止するように樹脂封止材を設ける工程と、
前記樹脂封止材の前記配線基板とは反対側の表面から、前記樹脂封止材を削り、前記圧電基板の前記配線基板とは反対側の表面を前記樹脂封止材から露出させる工程と、
前記露出した圧電基板の表面を覆うように、前記圧電基板よりも熱伝導率が高く、かつ前記圧電基板よりも大きな面積を有する絶縁層を配する工程と、
を備え、
前記絶縁層は、窒化アルミニウム基板であり、
前記絶縁層を配する工程において、前記絶縁層を、窒化アルミニウムフィラー入りの樹脂層を介して前記圧電基板に貼りつける、弾性波素子の製造方法。 - 前記樹脂封止材を削る工程において、樹脂封止材とともに前記圧電基板も薄くする、請求項1に記載の弾性波素子の製造方法。
- 前記配線基板上に前記弾性波チップを複数フェースダウン実装し、
前記絶縁層を前記複数の弾性波チップに跨がるように配する、請求項1または2に記載の弾性波素子の製造方法。 - 前記複数の弾性波チップは、ラダー型弾性表面波フィルタチップと、縦結合共振子型弾性表面波フィルタチップと、を含み、
前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタチップの上面は前記絶縁層に覆われていない、請求項3に記載の弾性波素子の製造方法。 - アルミニウムを主成分としたエピタキシャル膜を前記IDT電極の少なくとも一部として形成する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の弾性波素子の製造方法。
- 圧電基板と、前記圧電基板上に配されたIDT電極とを有する弾性波チップと、
前記弾性波チップがフェースダウン実装された配線基板と、
少なくとも、前記弾性波チップの側面を覆うように前記配線基板の上に設けられた樹脂封止材と、
前記圧電基板の前記配線基板とは反対側の主面を覆うように設けられており、前記圧電基板よりも熱伝導率が高く、かつ前記圧電基板よりも大きな面積を有する絶縁層と、
を備え、
前記絶縁層は、窒化アルミニウム基板であり、
前記絶縁層は、窒化アルミニウムフィラー入りの樹脂層を介して前記圧電基板に貼りつけられている、弾性波素子。 - 前記配線基板上に前記弾性波チップが複数フェースダウン実装されており、
前記絶縁層が前記複数の弾性波チップに跨がって配されている、請求項6に記載の弾性波素子。 - 前記複数の弾性波チップは、ラダー型弾性表面波フィルタチップと、縦結合共振子型弾性表面波フィルタチップと、を含み、
前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタチップの上面は前記絶縁層に覆われていない、請求項7に記載の弾性波素子。 - 前記IDT電極が、アルミニウムを主成分としたエピタキシャル膜を含む、請求項6〜8のいずれか一項に記載の弾性波素子。
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