JP5895289B2 - 制御システム及びこの制御システムに用いる位置推定方法 - Google Patents
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Description
ロボット6のアームなどを駆動させる第1モータ41を駆動制御する第1サーボ制御器31と、アライナ7に設けられたターンテーブル71を駆動させる第2モータ43を駆動制御する第2サーボ制御器32と、を有している。
線5を用いた構成でも、多項式補間を用いて位置推定制御を行うことで、高速・高精度の位置決めが可能となり、スループットの短縮に貢献することができると判断できる。
Claims (6)
- 被制御体を駆動するモータと、前記モータの回転角度に基づく前記被制御体の位置データを所定の周期で検出するセンサと、前記モータをサーボ制御するサーボ制御部と、前記サーボ制御部に対して動作指令(位置指令)を発する位置制御部と、を有する制御システムであって、
前記位置制御部は、前記サーボ制御部の動作指令を生成する指令生成手段と、前記センサから取得した前記位置データを取得時刻と共に記憶する位置データ記憶手段と、所定周期内の任意の時刻における前記被制御体の位置を当該任意の時刻の前後に取得した前記位置データに基づいて推定する位置推定手段と、を備え、
前記位置推定手段は、時刻tにおける前記被制御体の位置f(t)を前記位置データに基づいて多項式で表し、多項式補間により前記任意の時刻における前記被制御体の位置を推定することを特徴とする制御システム。 - 前記位置推定手段は、3次の多項式を用いて任意の時刻における前記被制御体の位置を推定することを特徴とする請求項1又は2記載の制御システム。
- 前記位置推定手段は、前記被制御体の位置を推定する任意の時刻の近傍の前記位置データに基づいて該時刻における前記被制御体の位置を推定することを特徴とする請求項3記載の制御システム。
- 前記被制御体に設けられる位置合わせマークを検出するマークセンサを備え、 前記位置推定手段は、前記マークセンサが前記位置合わせマークを検出した時刻における前記被制御体の位置を推定することを特徴とする請求項1から4記載の制御システム。
- 被制御体を駆動するモータと、前記モータの回転角度に基づく前記被制御体の位置データを所定の周期で検出するセンサと、前記モータをサーボ制御するサーボ制御部と、前記サーボ制御部に対して動作指令を発する位置制御部と、を有する制御システムにおいて、
前記位置制御部は、前記サーボ制御部の動作指令を生成するとともに、前記センサから取得した前記位置データを取得時刻と共に記憶し、時刻tにおける前記被制御体の位置f(t)を前記位置データに基づいて多項式で表し、多項式補間により、所定周期内の任意の時刻における前記被制御体の位置を当該任意の時刻の前後に取得した前記位置データに基づいて推定することを特徴とする位置推定方法。
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