JP5891639B2 - 多結晶ダイヤモンドおよびその製造方法、スクライブツール、スクライブホイール、ドレッサー、回転工具、ウォータージェット用オリフィス、伸線ダイス、ならびに切削工具 - Google Patents
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Description
本実施の形態におけるIII族元素添加ナノ多結晶ダイヤモンドは、該多結晶ダイヤモンド本体を構成する炭素中に原子レベルで分散するように添加されたIII族元素を備える。また、本実施の形態のナノ多結晶ダイヤモンドは、バインダーを使わない、ナノサイズの結晶粒径を持つ多結晶ダイヤモンドである。
図2に、本実施の形態におけるナノ多結晶ダイヤモンド中の硼素および不純物分布の一例を示す。なお、図2に示される硼素添加ナノ多結晶ダイヤモンドは、上述のIII族元素である硼素を含有した黒鉛を、10−2Paの真空雰囲気中で、2000℃で熱処理して得られたものである。また、硼素濃度や不純物濃度はSIMS分析にて測定した。
図2に示されるように、ダイヤモンド中の硼素濃度および各不純物の濃度の深さ方向のばらつきが小さくなっているのがわかる。また、本実施の形態におけるナノ多結晶ダイヤモンド中の不純物量が極めて低い値となっていることがわかる。
下記の表1に、硼素源としてのB4Cと、従来の手法で作製した黒鉛とを混合し、10−2Paの真空雰囲気中で、2000℃で熱処理することで、黒鉛に硼素を固溶して得られた硼素添加ナノ多結晶ダイヤモンドと、本実施の形態の硼素添加ナノ多結晶ダイヤモンドについて、B4Cの混入率を比較した結果を示す。
硼素のようなアクセプターが添加されたp型ダイヤモンドでは、4価の炭素の一部を3価の原子が占めることになる。この場合、共有結合電子が、系として、1個不足した状態になるが、外部から電子を得て、ダイヤモンド構造を保つことができる。
粒径2μm以下の純黒鉛とB4Cとを混合し、該混合物を2000℃で焼成して炭素中に硼素を固溶させた。黒鉛中の硼素濃度は0.5質量%であった。この黒鉛を、合成温度2200℃、15GPaで直接多結晶ダイヤモンドに変換した。ところが、該多結晶ダイヤモンドの結晶粒径は、各々1μm〜100μmの大きさであり、結晶粒サイズのばらつきは大きかった。この多結晶ダイヤモンドのヌープ硬度は75GPaであった。また、該多結晶ダイヤモンドから3mm×1mmの大きさの基板を切り出して該基板の電気抵抗を測定したところ、10Ωであった。
粒径2μm以下の純黒鉛を、硼素を含む溶液に12時間浸漬した後に取り出し、該黒鉛に2000℃で加熱処理を施した。熱処理後の黒鉛中の硼素濃度は0.003質量%であった。液をアルカリ性にしても、酸性にしても、有機溶媒にしても、硼素が黒鉛中に取り込まれることはほとんど無かった。
かさ密度0.8g/cm3の黒鉛を用いた場合、体積変化が大きいため、合成途中に異常が生じて装置を停止せざるを得ない状況が発生する頻度が2倍以上であった。
ドーピングをしていない、高純度のグラファイトを原料に8GPaの高圧、2000℃の高温下で保持したところ、グラファイトはダイヤモンドに変換しなかった。
・工具形状:コーナーR0.4mm、逃げ角11°、すくい角0°
・被削材:材質−アルミニウム合金 A390
形状−φ110×500mm U字形状4溝付
・加工方法:円筒外周断続旋削 湿式
・切削液:水溶性エマルジョン
・切削条件:切削速度Vc=800m/min、切込みap=0.2mm、送り速度f=0.1mm/rev、切削距離10km
上記の条件にて切削評価を行った後に、工具刃先を観察し、損耗状態を確認したところ、比較例Aは、逃げ面摩耗量が約45μmと大きく刃先形状が損なわれていたのに対し、本発明例1の場合、5μmの逃げ面摩耗量と良好であった。
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本発明例3では、摩耗量が約1.0μmであり、比較例Dの摩耗量3.5μm、比較例Eの摩耗量3.5μmと比較して非常に良好であり、本発明例3は、従来のノンドープのナノ多結晶ダイヤと同等以上の耐摩耗特性を示し、工具寿命に優れることが分かった。
・工具形状: φ0.5mm 2枚刃 ボールエンドミル
・被削材:材質−STAVAX
・切削液:白灯油
・切削条件:工具回転速度20000rpm、切込みap=0.005mm/ピッチ、送り速度f=100mm/min
上記の条件にて切削評価を行ったところ、本発明品4の工具寿命は、比較例Fの5倍以上、比較例Gの1.5倍以上であり、非常に良好であった。
切削中の工具刃先の切削点は極めて高温になる。ノンドープのナノ多結晶ダイヤモンドに比べて耐酸化性に優れるホウ素添加ナノ多結晶ダイヤモンドは、切削中の摩擦熱による熱劣化や反応摩耗の影響が極めて低い為、高硬度金型材の切削においてもノンドープのナノ多結晶ダイヤモンドや単結晶ダイヤモンドに比べて高い性能が得られる。
以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の実施の形態および実施例を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は上述の実施の形態および実施例に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むことが意図される。
Claims (16)
- III族元素を含む黒鉛の焼結体であり、
炭素と、置換型の孤立原子として前記炭素中に分散するように添加されたIII族元素と、不可避不純物とで構成され、
結晶粒径が500nm以下であり、
前記黒鉛は、混合ガスの熱分解体であって、前記混合ガスは前記III族元素を含むガスと炭化水素ガスを含む、多結晶ダイヤモンド。 - 1500℃以上の温度で、前記III族元素を含むガスと炭化水素ガスとの混合ガスを熱分解して得られた黒鉛を焼結することで作製される、請求項1に記載の多結晶ダイヤモンド。
- 前記III族元素の濃度は、1×1014/cm3以上1×1022/cm3以下である、請求項1または請求項2に記載の多結晶ダイヤモンド。
- III族元素が炭素中に分散するように添加された黒鉛を準備する工程と、
高圧プレス装置内で前記黒鉛に熱処理を施して前記黒鉛をダイヤモンドに変換する工程と、
を備え、
前記黒鉛を準備する工程は、前記真空チャンバ内に前記III族元素を含むガスと炭化水素ガスとの混合ガスを導入し、1500℃以上の温度で前記混合ガスを熱分解して基材上に黒鉛を形成する工程を含む、多結晶ダイヤモンドの製造方法。 - 前記黒鉛の密度が0.8g/cm 3 より大きく、2.0g/cm 3 以下である、請求項4に記載の多結晶ダイヤモンドの製造方法。
- 前記黒鉛をダイヤモンドに変換する工程では、焼結助剤や触媒を添加することなく、前記高圧プレス装置内で前記黒鉛に熱処理を施す、請求項4または請求項5に記載の多結晶ダイヤモンドの製造方法。
- 前記黒鉛をダイヤモンドに変換する工程では、前記基材上に形成された前記黒鉛に8GPa以上の高圧下で1500℃以上の熱処理を施す、請求項4から請求項6のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンドの製造方法。
- 前記混合ガスを、前記基材の表面に向けて流すようにした、請求項4から請求項7のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンドの製造方法。
- 前記炭化水素ガスは、メタンガスである、請求項4から請求項8のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンドの製造方法。
- 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンドを用いたスクライブツール。
- 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンドを用いたスクライブホイール。
- 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンドを用いたドレッサー。
- 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンドを用いた回転工具。
- 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンドを用いたウォータージェット用オリフィス。
- 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンドを用いた伸線ダイス。
- 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンドを用いた切削工具。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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