JP6047925B2 - 多結晶ダイヤモンド砥粒およびその製造方法、スラリー、並びに固定砥粒式ワイヤ - Google Patents
多結晶ダイヤモンド砥粒およびその製造方法、スラリー、並びに固定砥粒式ワイヤ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6047925B2 JP6047925B2 JP2012118609A JP2012118609A JP6047925B2 JP 6047925 B2 JP6047925 B2 JP 6047925B2 JP 2012118609 A JP2012118609 A JP 2012118609A JP 2012118609 A JP2012118609 A JP 2012118609A JP 6047925 B2 JP6047925 B2 JP 6047925B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polycrystalline diamond
- abrasive grains
- diamond
- less
- mass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims description 213
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims description 213
- 239000002002 slurry Substances 0.000 title claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 title 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 95
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 78
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 51
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 45
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 claims description 41
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 35
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims description 18
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 14
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 33
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 33
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 20
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 17
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 9
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 9
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 9
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 8
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 8
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 8
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 8
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 4
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 4
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 2
- -1 sintering aids Substances 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 229910000734 martensite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 238000007873 sieving Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
以下、本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る多結晶ダイヤモンド砥粒は、1種の炭素同位体の濃度が99.9質量%以上であり、かつ、結晶粒径(最大長さ)が1μm未満の多結晶ダイヤモンド(以下、「ナノ多結晶ダイヤモンド」と称する)からなる。該ナノ多結晶ダイヤモンド砥粒の平均二次粒子径が1μm以上200μm程度である。炭素同位体としては、炭素同位体12Cや13C等を挙げることができる。
以下、本発明の実施の形態2について説明する。本実施の形態に係る多結晶ダイヤモンド砥粒は、実施の形態1に係る多結晶ダイヤモンド砥粒と、炭素同位体13Cの濃度が99.9質量%以上であるナノ多結晶ダイヤモンドからなる点で異なる。
Claims (7)
- 結合剤を含まない多結晶ダイヤモンドからなる多結晶ダイヤモンド砥粒であって、
前記多結晶ダイヤモンドの結晶粒径は1μm未満であり、
平均二次粒子径が1μm以上200μm以下であり、
前記多結晶ダイヤモンド中の1種の炭素同位体の濃度が99.9質量%以上であり、
前記多結晶ダイヤモンド中の不可避不純物濃度は、0.001質量%以下である、多結晶ダイヤモンド砥粒。 - 前記1種の炭素同位体が、炭素同位体12Cである、請求項1に記載の多結晶ダイヤモンド砥粒。
- 前記1種の炭素同位体が、炭素同位体13Cである、請求項1に記載の多結晶ダイヤモンド砥粒。
- 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンド砥粒を用いた、スラリー。
- 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の多結晶ダイヤモンド砥粒を用いた、固定砥粒ワイヤ。
- 1種の炭素同位体の濃度が99.9%質量以上である炭素材料を、12GPa以上の圧力、1500℃以上の温度で結合剤を用いずに直接的に変換し、1μm未満の結晶粒径を有する多結晶ダイヤモンドを得る工程と、
前記多結晶ダイヤモンドを、平均二次粒子径が1μm以上200μm以下となるよう加工する工程とを備え、
前記炭素材料は、気相合成法によって準備され、
前記炭素材料の不可避不純物濃度は、0.01質量%以下である、多結晶ダイヤモンド砥粒の製造方法。 - 前記多結晶ダイヤモンドを加工する工程において、
金属、セラミック、またはそれらの複合体を前記多結晶ダイヤモンドに衝突させることで、前記多結晶ダイヤモンドを粉砕する、請求項6に記載の多結晶ダイヤモンド砥粒の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012118609A JP6047925B2 (ja) | 2012-05-24 | 2012-05-24 | 多結晶ダイヤモンド砥粒およびその製造方法、スラリー、並びに固定砥粒式ワイヤ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012118609A JP6047925B2 (ja) | 2012-05-24 | 2012-05-24 | 多結晶ダイヤモンド砥粒およびその製造方法、スラリー、並びに固定砥粒式ワイヤ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013245260A JP2013245260A (ja) | 2013-12-09 |
JP6047925B2 true JP6047925B2 (ja) | 2016-12-21 |
Family
ID=49845307
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012118609A Active JP6047925B2 (ja) | 2012-05-24 | 2012-05-24 | 多結晶ダイヤモンド砥粒およびその製造方法、スラリー、並びに固定砥粒式ワイヤ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6047925B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6277385B2 (ja) * | 2014-03-27 | 2018-02-14 | 福井県 | ソーワイヤの表面形状評価方法及び装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0393694A (ja) * | 1989-09-06 | 1991-04-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 砥粒の製造方法 |
US5295402A (en) * | 1991-10-15 | 1994-03-22 | General Electric Company | Method for achieving high pressure using isotopically-pure diamond anvils |
JPH08323604A (ja) * | 1995-05-31 | 1996-12-10 | Canon Inc | SiCの研磨方法および光学素子の製造方法 |
JP2002274825A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイト粉体の製造方法 |
JP4203900B2 (ja) * | 2002-10-11 | 2009-01-07 | 住友電気工業株式会社 | ダイヤモンド多結晶体およびその製造方法 |
JP2004174680A (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Kanai Hiroaki | 固定砥粒式ソーワイヤ及び砥粒固着方法 |
JP5070688B2 (ja) * | 2005-08-22 | 2012-11-14 | 住友電気工業株式会社 | 高硬度ダイヤモンド多結晶体及びその製造方法 |
JP2009067609A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 高純度ダイヤモンド多結晶体およびその製造方法 |
JP2009007248A (ja) * | 2008-08-15 | 2009-01-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ダイヤモンド多結晶体 |
JP4590513B2 (ja) * | 2008-12-04 | 2010-12-01 | 国立大学法人秋田大学 | ソーワイヤおよびその製造方法 |
JP2011040427A (ja) * | 2009-08-06 | 2011-02-24 | Yamaguchi Seiken Kogyo Kk | 研磨剤組成物 |
JP2011150865A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Hitachi Maxell Energy Ltd | リチウム二次電池用負極材料、その製造方法およびリチウム二次電池 |
GB201004373D0 (en) * | 2010-03-16 | 2010-04-28 | Designed Materials Ltd | method for sythesising diamond |
-
2012
- 2012-05-24 JP JP2012118609A patent/JP6047925B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013245260A (ja) | 2013-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6098044B2 (ja) | 多結晶ダイヤモンド砥粒の製造方法 | |
CN107207363B (zh) | 立方氮化硼多晶材料、切削工具、耐磨工具、研磨工具、和制造立方氮化硼多晶材料的方法 | |
JP5891636B2 (ja) | 多結晶ダイヤモンドおよびその製造方法 | |
JP5891639B2 (ja) | 多結晶ダイヤモンドおよびその製造方法、スクライブツール、スクライブホイール、ドレッサー、回転工具、ウォータージェット用オリフィス、伸線ダイス、ならびに切削工具 | |
US8226922B2 (en) | High-hardness conductive diamond polycrystalline body and method of producing the same | |
EP1921049B1 (en) | High-hardness polycrystalline diamond | |
WO2013015347A1 (ja) | 多結晶ダイヤモンドおよびその製造方法 | |
Sumiya | Novel development of high-pressure synthetic diamonds “Ultra-hard Nano-polycrystalline Diamonds” | |
US20130337248A1 (en) | High density polycrystalline superhard material | |
KR20110136788A (ko) | 초경질/경질 복합체 물질 | |
CN110318030A (zh) | 一种自支撑超细纳米晶金刚石厚膜 | |
JP2018505839A (ja) | 微結晶立方晶窒化ホウ素(CBN)を含む多結晶立方晶窒化ホウ素(PcBN)及び作製方法 | |
JP5674009B2 (ja) | 高硬度導電性ダイヤモンド多結晶体およびその製造方法 | |
US10703636B2 (en) | Composite polycrystal and method for manufacturing the same | |
JP6047925B2 (ja) | 多結晶ダイヤモンド砥粒およびその製造方法、スラリー、並びに固定砥粒式ワイヤ | |
JP6019751B2 (ja) | 多結晶ダイヤモンド砥粒およびその製造方法、スラリー、ならびに固定砥粒式ワイヤ | |
Ma et al. | Transparent β-Si3N4 and γ-Si3N4 compacts synthesized with mixed-size precursor under high pressure and high temperature | |
JP6015129B2 (ja) | 多結晶ダイヤモンド砥粒およびその製造方法、スラリー、ならびに固定砥粒式ワイヤ | |
JP5987629B2 (ja) | 多結晶ダイヤモンドおよびその製造方法 | |
JP2012066980A (ja) | 高硬度導電性ダイヤモンド多結晶体およびその製造方法 | |
US20130202849A1 (en) | Polycrystalline diamond for drawing dies and method for fabricating the same | |
JP6015325B2 (ja) | ダイヤモンド多結晶体およびその製造方法、ならびに工具 | |
TW200925108A (en) | Carbon material and method for producing the same | |
JP2015030816A (ja) | 砥粒、研磨用スラリー、ワイヤーソー、結合体および砥粒の製造方法 | |
JP5891635B2 (ja) | 多結晶ダイヤモンドおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160518 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161025 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6047925 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |