JP5878120B2 - Euv放射システムおよびリソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
[0001] 本願は、2009年8月14日に出願した米国仮出願第61/234,061号および2009年12月11日に出願した米国仮出願第61/285,556号の優先権を主張し、その全体を本願に参考として組み込む。
上の式で、λは使用される放射の波長であり、NAPSはパターンを印刷するために使用される投影システムの開口数であり、k1はレイリー定数とも呼ばれるプロセス依存調整係数であり、CDは印刷されたフィーチャのフィーチャサイズ(またはクリティカルディメンジョン)である。式(1)から、フィーチャの最小印刷可能サイズの縮小は、以下の3つの方法、露光波長λを短縮することによって、開口数NAPSを増加させることによって、あるいはk1の値を低下させることによって達成することができる、と言える。
1.ステップモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度にターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一静的露光)。その後、基板テーブルWTは、Xおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cを露光することができる。
2.スキャンモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。
3.別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTを基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームに付けられているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、通常、パルス放射源が採用されており、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述の型のプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (13)
- EUV放射システムであって、
放射源チャンバと、
ターゲット材料を所定のプラズマ形成位置に供給する供給源と、
前記ターゲット材料が前記所定のプラズマ形成位置に配置された場合、前記ターゲット材料に延在するビームパスを確立する3つの非球面ミラーのみによって形成された光学システムと、
前記ターゲット材料との相互作用のために前記ビームパスに沿ってレーザビームを提供して前記チャンバの中でEUV放射放出プラズマを生成するレーザシステムと
を含み、
前記3つの非球面ミラーは、前記光学システムの焦点における非点収差の量を少なくとも減少させるアナスティグマートを形成する、
EUV放射システム。 - 前記ミラーのうちの1つ以上は、配置を前記焦点に移動させるために回転可能である、請求項1に記載のEUV放射システム。
- 前記ターゲット材料の前記位置を検知するセンサと、前記センサによって検知された前記ターゲット材料の前記位置に応答して前記1つ以上の回転可能なミラーに取り付けられたアクチュエータを制御するコントローラとをさらに含む、請求項2に記載のEUV放射システム。
- 前記ビームパス上の最後にある前記ミラーは回転可能である、請求項2または3に記載のEUV放射システム。
- 前記焦点は、前記所定のプラズマ形成位置と実質的に一致する、請求項1〜4のいずれかに記載のEUV放射システム。
- 前記ミラーのうちの少なくとも1つは、コーティングが設けられた反射面を有する、請求項1〜5のうちのいずれかに記載のEUV放射システム。
- 前記コーティングは、金を含むか、または金によって実質的に形成される、請求項6に記載のEUV放射システム。
- 前記ミラーのうちの少なくとも1つは、前記放射源チャンバの外に配置されている、請求項1〜7のうちのいずれかに記載のEUV放射システム。
- 前記レーザシステムは、前記レーザビームを形成する増幅光子ビームを生成する1つ以上の光学利得媒体を含み、前記増幅光子ビームは、前記光学システムのミラーに直接入射する、請求項1〜8のうちのいずれかに記載のEUV放射システム。
- 前記レーザシステムは、前記レーザビームを形成する増幅光子ビームを生成する1つ以上の光学利得媒体を含み、前記光学利得媒体のうちの少なくとも1つは、前記増幅光子ビームを透過させるウィンドウを有するチャンバに含まれており、前記ウィンドウを透過した前記増幅光子ビームは、前記光学システムの前記ミラーに直接入射する、請求項1〜9のうちのいずれかに記載のEUV放射システム。
- EUV放射システムであって、
放射源チャンバと、
ターゲット材料を所定のプラズマ形成位置に供給する供給源と、
前記所定のプラズマ形成位置に延在するビームパスを確立する3つの非球面ミラーのみによって形成された光学システムと、
前記所定のプラズマ形成位置における前記ターゲット材料との相互作用のために前記ビームパスに沿ってレーザビームを提供して前記チャンバの中でEUV放射放出プラズマを生成するレーザシステムと
を含み、
前記3つの非球面ミラーは、前記光学システムの焦点における非点収差の量を少なくとも減少させるアナスティグマートを形成する、
EUV放射システム。 - 請求項1〜11のうちのいずれかに記載のEUV放射システムが設けられた、リソグラフィ投影装置。
- 前記プラズマによって放出された前記EUV放射を調整する照明システムと、
放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを保持するサポート構造と、
前記パターン付き放射ビームを基板のターゲット部分上に投影する投影システムと
をさらに含む、請求項12に記載のリソグラフィ投影装置。
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