JP5732257B2 - リソグラフィ装置、デバイス製造方法およびコンピュータ読取可能媒体 - Google Patents
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Description
上の式で、λは、使用される放射の波長であり、NAは、パターンを印刷するために使用される投影システムの開口数である。k1は、レイリー定数とも呼ばれているプロセス依存調整係数であり、CDは、プリントされたフィーチャのフィーチャサイズ(またはクリティカルディメンジョン)である。式(1)から、フィーチャの最小印刷可能サイズの縮小は、3つの方法:露光波長λを短くすることによって、開口数NAを大きくすることによって、あるいはk1の値を小さくすることによって達成することができる、と言える。
Claims (15)
- 放射ビームを調整し、前記放射ビームをパターニングデバイス上に誘導し、かつ前記パターニングデバイスからのパターンを基板上に投影する光学システムを含むリソグラフィ装置であって、
前記光学システムは、反射面の裏面に設けられた突起を備えるリフレクタと、前記リフレクタの前記突起を冷却するクーラおよび前記リフレクタの前記突起を加熱するヒータを含む熱アクチュエータとを含み、
前記リソグラフィ装置は、前記リフレクタに力を加えるために、前記リフレクタの前記突起に加えられる加熱および冷却の相対量を変更するために前記熱アクチュエータを制御する制御システムを有する、リソグラフィ装置。 - 前記突起は細長いリッジまたはブリッジである、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記突起は、前記リフレクタの基板または本体と一体的に形成されている、請求項1または2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記リフレクタの前記突起は、前記リフレクタの前記突起の熱膨張係数より高い熱膨張係数を有する材料層がその上に設けられている、請求項1〜3のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記クーラは前記リフレクタと機械的接触していない、請求項1〜4のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記熱アクチュエータは、前記リフレクタに対する前記クーラの位置を調節する位置決めデバイスを含む、請求項5に記載のリソグラフィ装置。
- 前記熱アクチュエータは、前記リフレクタに対する前記クーラの前記位置を検出する位置センサおよび前記リフレクタに対して一定の位置を維持するために前記位置決めデバイスを制御する位置制御システムをさらに含む、請求項6に記載のリソグラフィ装置。
- 前記ヒータは放射ヒータである、請求項1〜7のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記ヒータは前記リフレクタの前記突起と熱接触する抵抗電気(resistive electrical)ヒータを含む、請求項1〜8のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記ヒータは前記クーラと熱接触する抵抗電気ヒータを含む、請求項1〜9のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記ヒータは前記クーラと熱接触するペルティエ素子を含む、請求項1〜7のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- デバイスを製造するリソグラフィ方法であって、前記方法は、放射ビームを調整し、前記放射ビームをパターニングデバイス上に誘導し、かつ前記パターニングデバイスからのパターンを基板上に投影するために光学システムを使用することを含み、
前記光学システムは、反射面の裏面に設けられた突起を備えるリフレクタと、前記リフレクタの前記突起を冷却するクーラおよび前記リフレクタの前記突起を加熱するヒータを含む熱アクチュエータとを含み、
前記放射ビームは前記リフレクタの反射面を通り抜け、前記方法は、
前記リフレクタの前記突起を加熱することと、
前記リフレクタの前記突起を冷却することと、
前記突起の前記加熱および/または前記突起の前記冷却の比率を調節して前記突起の温度を変化させ、かつ前記リフレクタに力を及ぼして前記反射面の形状を変化させることと
を含む、方法。 - 前記調節は、前記反射面の不均一な加熱に起因する、予想される又は測定された前記反射面の形状の変化に応じて実行され、前記リフレクタへ及ぼす力は、不均一な加熱に起因する形状の変化を少なくとも改善するのに効果的である、
請求項12に記載の方法。 - 放射ビームを調整し、前記放射ビームをパターニングデバイス上に誘導し、かつ前記パターニングデバイスからのパターンを基板上に投影する光学システムを含むリソグラフィ装置を制御するための命令を記憶するコンピュータ読取可能メモリを含むコンピュータ読取可能媒体であって、前記光学システムは、反射面の裏面に設けられた突起を備えるリフレクタと、前記リフレクタの前記突起を冷却するクーラおよび前記リフレクタの前記突起を加熱するヒータを含む熱アクチュエータとを含み、
前記命令は、
前記突起の前記加熱および/または前記突起の前記冷却の比率を調節して前記突起の温度を変化させ、かつ前記リフレクタに力を及ぼして反射面の形状を変化させることを含む方法を実行するために効果的である、コンピュータ読取可能媒体。 - 反射面の裏面に設けられた突起を備えるリフレクタと、
前記リフレクタの前記突起を冷却するクーラおよび前記リフレクタの前記突起を加熱するヒータを含む熱アクチュエータと、
前記リフレクタに力を加えるために、前記リフレクタの前記突起に加えられる加熱および冷却の相対量を変更するために前記熱アクチュエータを制御する制御システムと、
を有する、放射源コレクタモジュール。
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