JP5857792B2 - 熱電デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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第1のシート状基板と、
前記第1のシート状基板の表面にp型素子とn型素子とが交互に配置され、直列に接続された複数の熱電素子と、
前記複数の熱電素子を覆って、前記第1のシート状基板に結合された第2のシート状基板と、
前記複数の熱電素子の接続部の位置において、交互に前記第1のシート状基板と前記第2のシート状基板に埋め込まれた熱伝達部材と、
前記第1のシート状基板において、前記直列に接続された複数の熱電素子に沿うように、その側方に形成された空所と、
を有する熱電デバイス
が提供される。
第1のシート状基板の表面に、p型素子とn型素子とが交互に配置され、直列に接続された複数の熱電素子を形成し、
前記直列に接続された複数の熱電素子をマスクとして、前記第1のシート状基板をエッチングし、
前記直列に接続された複数の熱電素子を覆って、前記第1のシート状基板上に、第2のシート状基板を結合する、
熱電デバイスの製造方法であって、前記第1のシート状基板、前記第2のシート状基板には、前記直列に接続された複数の熱電素子の接続部の位置において、交互に前記第1のシート状基板と前記第2のシート状基板に熱伝達部材が埋め込まれている、熱電デバイスの製造方法
が提供される。
(r2+L2) = (r+d)2
d = {(r2+L2)1/2−r}
が成立する。
d > {(r2+L2)1/2−r}
であれば、上面と下面は接触しない。
12 熱電素子、
12p p型熱電素子(パターン)、
12n n型熱電素子(パターン)、
15 金属配線、
16,17 リード線、
19 (下側基板の)熱伝達ビア、
21,23 メタルマスク、
30 上側基板、
35 (上側基板の)熱伝達ビア、
VC 窪み、空所、
VC1 (下側基板の)窪み、空所、
VC2 (上側基板の)窪み、空所、
41 配管、
42 モニタ、
51 リスト、
52 熱電デバイス、
53 モニタ、
FL 詰物、
Claims (9)
- 第1のシート状基板と、
前記第1のシート状基板の表面にp型素子とn型素子とが交互に配置され、直列に接続された複数の熱電素子と、
前記複数の熱電素子を覆って、前記第1のシート状基板に結合された第2のシート状基板と、
前記複数の熱電素子の接続部の位置において、交互に前記第1のシート状基板と前記第2のシート状基板に埋め込まれた熱伝達部材と、
前記第1のシート状基板において、前記直列に接続された複数の熱電素子に沿うように、その側方に形成された空所と、
を有する熱電デバイス。 - 前記第1のシート状基板と前記第2のシート状基板は、フレキシブルな有機シートで形成されている請求項1に記載の熱電デバイス。
- 前記空所は、前記第1のシート状基板の平面視において、前記直列に接続された複数の熱電素子以外の領域を占有する請求項1または2に記載の熱電デバイス。
- 前記空所内に前記第1のシート状基板より熱伝導率の低い材料の詰物が充填されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の熱電デバイス。
- 第1のシート状基板の表面に、p型素子とn型素子とが交互に配置され、直列に接続された複数の熱電素子を形成し、
前記直列に接続された複数の熱電素子をマスクとして、前記第1のシート状基板をエッチングして空所を形成し、
前記直列に接続された複数の熱電素子を覆って、前記第1のシート状基板上に、第2のシート状基板を結合する、
熱電デバイスの製造方法であって、前記第1のシート状基板、前記第2のシート状基板には、前記直列に接続された複数の熱電素子の接続部の位置において、交互に前記第1のシート状基板と前記第2のシート状基板に熱伝達部材が埋め込まれている、熱電デバイスの製造方法。 - 前記直列に接続された複数の熱電素子を形成する際、p型熱電材料のパターン、n型熱電材料のパターン、金属配線のパターンを別個の工程で作成する請求項5記載の熱電デバイスの製造方法。
- 前記p型熱電材料のパターン、n型熱電材料のパターン、金属配線のパターンを別個の工程で作成する際、メタルマスクを用いる請求項6に記載の熱電デバイスの製造方法。
- 前記第1のシート状基板が有機樹脂の基板であり、前記第1のシート状基板をエッチングする際、反応性イオンエッチングを用いる請求項5〜7のいずれか1項に記載の熱電デバイスの製造方法。
- 前記第2のシート状基板を結合する前に、前記第1のシート状基板の前記空所に、前記第1のシート状基板より熱伝導率の低い詰物を充填する請求項5〜8のいずれか1項に記載の熱電デバイスの製造方法。
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