JP5598152B2 - 熱電変換モジュールおよびその製造方法 - Google Patents
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一対の電気的絶縁性基板と、
前記一対の電気的絶縁性基板間に挟持された複数の熱電変換素子と、
前記一対の電気的絶縁性基板の対向面上に形成され、前記複数の熱電変換素子を接続する接続配線と、
前記一対の電気的絶縁性基板間で、前記複数の熱電変換素子間の領域を充填するポーラス絶縁層と、
前記ポーラス絶縁層の高さ方向中間部に配置され、前記熱電変換素子からは電気的に絶縁された反射金属層と、
を有する熱電変換モジュール
が提供される。
接続配線が形成された一方の電気的絶縁性基板上に複数の熱電変換素子の底面を接続し、
前記複数の熱電変換素子を通過させる貫通孔が形成され、かつ、前記貫通孔から離隔した領域表面に反射金属層が形成された絶縁層を、前記熱電変換素子の高さの中間位置に配置し、
接続配線が形成された他方の電気的絶縁性基板を前記複数の熱電変換素子の頂面に接続し、
前記一対の電気的絶縁性基板間で、前記複数の熱電変換素子間の領域にポーラス絶縁層を射出成形する、
熱電変換モジュールの製造方法
が提供される。
2、12 接続配線(局所配線)、
3 熱電変換素子、
5,14 ポーラス絶縁層、
6 フォトレジストマスク、
7、17 反射金属層、
8 (反射金属層の)開口、
9 (絶縁層5の)貫通孔、
13 スペーサ、
15 絶縁層、
19 ポーラス絶縁層、
Claims (4)
- 一対の電気的絶縁性基板と、
前記一対の電気的絶縁性基板間に挟持された複数の熱電変換素子と、
前記一対の電気的絶縁性基板の対向面上に形成され、前記複数の熱電変換素子を接続する接続配線と、
前記一対の電気的絶縁性基板間で、前記複数の熱電変換素子間の領域を充填するポーラス絶縁層と、
前記ポーラス絶縁層の高さ方向中間部に配置され、前記熱電変換素子からは電気的に絶縁された反射金属層と、
を有する熱電変換モジュール。 - 前記反射金属層が、隣接する前記熱電変換素子間で中央から両側に向かって傾斜する表面を有する請求項1記載の熱電変換モジュール。
- 前記反射金属層が、隣接する前記熱電変換素子間で一方から他方に向かって傾斜する表面を有する請求項1記載の熱電変換モジュール。
- 接続配線が形成された一方の電気的絶縁性基板上に複数の熱電変換素子の底面を接続し、
前記複数の熱電変換素子を通過させる貫通孔が形成され、かつ、前記貫通孔から離隔した領域表面に反射金属層が形成された絶縁層を、前記熱電変換素子の高さの中間位置に配置し、
接続配線が形成された他方の電気的絶縁性基板を前記複数の熱電変換素子の頂面に接続し、
前記一対の電気的絶縁性基板間で、前記複数の熱電変換素子間の領域にポーラス絶縁層を射出成形する、
熱電変換モジュールの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010179014A JP5598152B2 (ja) | 2010-08-09 | 2010-08-09 | 熱電変換モジュールおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010179014A JP5598152B2 (ja) | 2010-08-09 | 2010-08-09 | 熱電変換モジュールおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012038980A JP2012038980A (ja) | 2012-02-23 |
JP5598152B2 true JP5598152B2 (ja) | 2014-10-01 |
Family
ID=45850626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010179014A Expired - Fee Related JP5598152B2 (ja) | 2010-08-09 | 2010-08-09 | 熱電変換モジュールおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5598152B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104115294B (zh) * | 2012-02-27 | 2016-11-23 | Kelk株式会社 | 热电模块、热电发电装置以及热电发电器 |
WO2014024945A1 (ja) * | 2012-08-07 | 2014-02-13 | 国立大学法人京都工芸繊維大学 | 熱量計および熱量計の設計方法 |
JP6003998B2 (ja) * | 2012-10-22 | 2016-10-05 | 富士通株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法及び熱電発電電子機器 |
CN104838511B (zh) * | 2012-11-29 | 2017-06-13 | 京瓷株式会社 | 热电模块 |
JP6022927B2 (ja) * | 2012-12-20 | 2016-11-09 | 京セラ株式会社 | 熱電モジュール |
JP6435504B2 (ja) * | 2014-07-24 | 2018-12-12 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 熱電変換モジュール |
JP6255553B2 (ja) * | 2014-10-07 | 2018-01-10 | 株式会社アクトリー | 太陽光発電システム |
KR101989908B1 (ko) * | 2015-10-27 | 2019-06-17 | 주식회사 테그웨이 | 유연 열전소자 및 이의 제조방법 |
CN114556600A (zh) * | 2019-10-24 | 2022-05-27 | 三菱电机株式会社 | 热电转换元件模块以及热电转换元件模块的制造方法 |
CN112768596B (zh) * | 2021-02-05 | 2023-04-07 | 北京航空航天大学杭州创新研究院 | 一种高集成度热电薄膜器件制备方法 |
WO2022196724A1 (ja) * | 2021-03-16 | 2022-09-22 | 古河電気工業株式会社 | 熱電変換モジュール |
WO2023176581A1 (ja) * | 2022-03-16 | 2023-09-21 | 古河電気工業株式会社 | 熱電変換モジュール |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62287678A (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-14 | Matsushita Refrig Co | 熱電効果素子 |
JP2003008087A (ja) * | 2001-04-18 | 2003-01-10 | Suzuki Sogyo Co Ltd | 熱電素子モジュール及びその製法 |
JP4301827B2 (ja) * | 2003-02-03 | 2009-07-22 | パナソニック株式会社 | 熱電モジュールの製造方法 |
JP4481606B2 (ja) * | 2003-08-29 | 2010-06-16 | 株式会社東芝 | 熱電変換装置 |
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2010
- 2010-08-09 JP JP2010179014A patent/JP5598152B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012038980A (ja) | 2012-02-23 |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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