JP5851804B2 - 前処理方法、グラフェンの形成方法及びグラフェン製造装置 - Google Patents
前処理方法、グラフェンの形成方法及びグラフェン製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5851804B2 JP5851804B2 JP2011245747A JP2011245747A JP5851804B2 JP 5851804 B2 JP5851804 B2 JP 5851804B2 JP 2011245747 A JP2011245747 A JP 2011245747A JP 2011245747 A JP2011245747 A JP 2011245747A JP 5851804 B2 JP5851804 B2 JP 5851804B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- graphene
- processing
- metal layer
- plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 215
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 title claims description 193
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 98
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title claims description 50
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 title claims description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 270
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 98
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 98
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 60
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 40
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 claims description 31
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 30
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 19
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 16
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims description 7
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 claims description 5
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 105
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 55
- 230000008569 process Effects 0.000 description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 39
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 32
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 27
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 description 24
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 23
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 19
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 17
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 11
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 6
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 5
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000003426 co-catalyst Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000001976 improved effect Effects 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 3
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical group [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000307 polymer substrate Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/70—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of the iron group metals or copper
- B01J23/74—Iron group metals
- B01J23/75—Cobalt
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/182—Graphene
- C01B32/184—Preparation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/38—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals
- B01J23/40—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals of the platinum group metals
- B01J23/42—Platinum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/38—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals
- B01J23/40—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals of the platinum group metals
- B01J23/44—Palladium
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/38—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals
- B01J23/40—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals of the platinum group metals
- B01J23/46—Ruthenium, rhodium, osmium or iridium
- B01J23/462—Ruthenium
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/70—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of the iron group metals or copper
- B01J23/72—Copper
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/70—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of the iron group metals or copper
- B01J23/74—Iron group metals
- B01J23/755—Nickel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J35/00—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties
-
- B01J35/30—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J37/00—Processes, in general, for preparing catalysts; Processes, in general, for activation of catalysts
- B01J37/02—Impregnation, coating or precipitation
- B01J37/024—Multiple impregnation or coating
- B01J37/0244—Coatings comprising several layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J37/00—Processes, in general, for preparing catalysts; Processes, in general, for activation of catalysts
- B01J37/34—Irradiation by, or application of, electric, magnetic or wave energy, e.g. ultrasonic waves ; Ionic sputtering; Flame or plasma spraying; Particle radiation
- B01J37/349—Irradiation by, or application of, electric, magnetic or wave energy, e.g. ultrasonic waves ; Ionic sputtering; Flame or plasma spraying; Particle radiation making use of flames, plasmas or lasers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/182—Graphene
- C01B32/184—Preparation
- C01B32/186—Preparation by chemical vapour deposition [CVD]
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/511—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using microwave discharges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/38—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals
- B01J23/40—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals of the platinum group metals
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/70—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of the iron group metals or copper
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/734—Fullerenes, i.e. graphene-based structures, such as nanohorns, nanococoons, nanoscrolls or fullerene-like structures, e.g. WS2 or MoS2 chalcogenide nanotubes, planar C3N4, etc.
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/842—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure for carbon nanotubes or fullerenes
- Y10S977/843—Gas phase catalytic growth, i.e. chemical vapor deposition
Description
プラズマ処理がされた触媒金属層の上にCVD法によりグラフェンを成長させる工程と、
を備えている。
まず、本発明の実施の形態にかかる前処理方法及びグラフェンの形成方法に利用可能な処理装置の概要について説明する。図1は、処理装置の一例を模式的に示す断面図である。図1に示す処理装置100は、マイクロ波を平面アンテナの多数のマイクロ波放射孔から放射させて処理容器1内に均質なマイクロ波プラズマを形成できるラジアル・ライン・スロット・アンテナ(Radial Line Slot Antenna)方式のマイクロ波プラズマ処理装置として構成されている。このマイクロ波プラズマはラジカルを主体とする低電子温度プラズマであるため、グラフェンの形成の前処理としての触媒金属層の活性化処理に適している。また、処理装置100は、熱CVD法によりグラフェンの形成を行う熱CVD装置、あるいは、プラズマCVD法によりグラフェンの形成を行うプラズマCVD装置としても使用できる。
処理容器1は、接地電位であり、例えばアルミニウムもしくはその合金、又はステンレス鋼等の金属材料から構成されている。処理容器1の底壁1aの略中央部には円形の開口部15が形成されており、底壁1aにはこの開口部15と連通し、下方に向けて突出する排気室17が設けられている。また、処理容器1の側壁には、ウエハWを搬入出するための搬入出口19と、この搬入出口19を開閉するゲートバルブGとが設けられている。
ステージ3は、例えばAlN等のセラミックスから構成されている。ステージ3は、排気室17の底部中央から上方に延びる円筒状のセラミックス製の支持部材23により支持されている。ステージ3の外縁部にはウエハWをガイドするためのガイドリング25が設けられている。また、ステージ3の内部には、ウエハWを昇降するための昇降ピン(図示せず)がステージ3の上面に対して突没可能に設けられている。
マイクロ波導入部5は、処理容器1の上部に設けられ、多数のマイクロ波放射孔33aが形成された平面アンテナ33と、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生部35と、誘電体からなる透過板39と、処理容器1の上部に設けられた枠状部材41と、マイクロ波の波長を調節する誘電体からなる遅波板43と、平面アンテナ33及び遅波板43を覆うカバー部材45と、を有している。また、マイクロ波導入部5は、マイクロ波発生部35で発生したマイクロ波を平面アンテナ33に導く導波管47及び同軸導波管49と、導波管47と同軸導波管49との間に設けられたモード変換器51とを有している。
ガス供給部7は、処理容器1の内壁に沿ってリング状に設けられた第1のガス導入部としてのシャワーリング57と、このシャワーリング57の下方において、処理容器1内の空間を上下に仕切るように設けられた第2のガス導入部としてのシャワープレート59と、を有している。
排気部11は、排気室17と、この排気室17の側面に設けられた排気管97と、この排気管97に接続された排気装置99とを有している。排気装置99は、図示は省略するが、例えば真空ポンプや圧力制御バルブ等を有している。
処理装置100でプラズマ処理を行う場合、処理容器1内において、マイクロ波を導入する透過板39と、シャワープレート59との間の空間S1に、シャワーリング57からプラズマ生成用の希ガスを導入する構成となっている。従って、空間S1は主にプラズマ生成を行うプラズマ生成空間である。
制御部13は、処理装置100の各構成部を制御するモジュールコントローラである。制御部13は、典型的にはコンピュータであり、例えば図4に示したように、CPUを備えたコントローラ101と、このコントローラ101に接続されたユーザーインターフェース103および記憶部105を備えている。コントローラ101は、処理装置100において、例えば温度、圧力、ガス流量、マイクロ波出力などのプロセス条件に関係する各構成部(例えば、ヒータ電源29、第1ガス供給部7A、第2ガス供給部7B、マイクロ波発生部35、排気装置99など)を制御する制御手段である。
次に、処理装置100において行われる前処理方法、及びグラフェンの形成方法について説明する。図5A〜図5Cは、グラフェンの形成方法の主要な工程を説明するウエハWの表面付近の縦断面図である。本実施の形態のグラフェンの形成方法では、グラフェンの形成に先立って行われる活性化処理を含めている。活性化処理は、触媒金属層の表面を還元性ガスと窒素含有ガスを含む処理ガスのプラズマで処理して活性化する工程である。本実施の形態では、活性化処理をグラフェン形成の「前処理(方法)」と称する。なお、以下に説明する前処理方法及びグラフェンの形成方法において、ガス流量やマイクロ波パワー等の条件は、200mm径のウエハWを被処理体とする場合を想定したものであり、被処理体の大きさに応じて適宜その条件を調整できる。
次に、グラフェンの形成を行う。このグラフェンの形成は、活性化処理によって活性化された活性化触媒金属層307Aが不活性化することを防止するため、活性化処理に引き続き行うことが好ましく、活性化処理と同一の処理容器内において連続して行うことがより好ましい。処理装置100において、グラフェンの形成は、例えばプラズマCVD法、熱CVD法等により行うことができる。以下、グラフェンの形成処理をプラズマCVD法により行う場合と、熱CVD法により行う場合とに分けて説明する。
活性化処理の後、希ガス(例えばArガス)を所定流量で流したまま、マイクロ波発生部35から導波管47及び同軸導波管49を介してマイクロ波を平面アンテナ33に導き、透過板39を介して処理容器1内に導入する。このマイクロ波により、まず、プラズマ生成用の希ガスをプラズマ化し、プラズマが着火したタイミングでシャワープレート59を介して炭素含有ガス(例えばC2H4ガス)および必要に応じH2ガスを処理容器1内に導入し、炭素含有ガス(及びH2ガス)をプラズマ化する。そして、生成したマイクロ波プラズマにより、図5Cに示すように、活性化触媒金属層307Aの上にグラフェン309を形成する。
活性化処理の後、希ガス(例えばArガス;但し、熱CVD処理ではプラズマ生成の目的ではない)を供給したまま、さらにシャワープレート59を介して炭素含有ガス(例えばC2H4ガス)及びH2ガス(必要な場合)を処理容器1内に導入し、空間S2で炭素含有ガスを熱分解させて、図5Cに示すように活性化触媒金属層307Aの上にグラフェン309を形成する。
活性化処理工程とグラフェンの形成工程の間に、処理容器1内をパージする工程(N2パージ処理工程)を設けてもよい。N2パージ処理は、活性化触媒金属層307Aを有するウエハWをステージ3に載置した状態で、排気装置99によって一旦処理容器1内を急速に排気した後、N2ガスを流すことにより実施できる。N2パージ処理を行うことによって、処理容器1内の雰囲気を置換できる。また、N2パージ処理によって、活性化触媒金属層307Aの凝集を抑制してカーボンナノチューブが成長することを防ぎ、グラフェンの正常な成長を促す効果が得られる。このようなN2パージ処理による凝集抑制効果は、特に活性化触媒金属層307AがCoを含む場合に有効である。
プラズマCVD法によるグラフェンの形成:
図5Aと同様に、シリコン基板上に、絶縁層、下地層(2層)及び触媒金属層が積層形成されたウエハWを準備した。ここで、図5Aを参照しながら説明すると、絶縁層301にはTEOS(テトラエトキシシラン)を使用して厚さ約500nmに形成したSiO2膜を用いた。下地層303は、Tiにより厚さ10nmで形成した。下地層305は、TiNにより厚さ5nmで形成した。触媒金属層307は、Ni又はCoにより厚さ30nmで形成した。このウエハWを図1の処理装置100と同様の構成を有する処理装置の処理容器内に搬入し、下記の条件で触媒金属層の表面の活性化処理を行った後、プラズマCVD法によってグラフェンを成長させた。なお、活性化処理とプラズマCVD処理との間に、下記の条件でN2パージ処理を行った。
処理圧力:133Pa(1Torr)
処理ガス:
H2ガス 462mL/min(sccm)
N2ガス 100mL/min(sccm)
Arガス 450mL/min(sccm)
マイクロ波パワー:0.5kW
処理温度:470℃(基板温度として)
処理時間:5分間
処理圧力:400Pa(3Torr)
処理ガス:
N2ガス 200mL/min(sccm)
Arガス 450mL/min(sccm)
処理温度:470℃(基板温度として)
処理時間:2分間
処理圧力:400Pa(3Torr)
処理ガス:
C2H4ガス 6.3mL/min(sccm)
H2ガス 370mL/min(sccm)
Arガス 450mL/min(sccm)
マイクロ波パワー:0.5kW
処理温度:470℃(基板温度として)
処理時間:30分間
実施例1における触媒金属層の活性化処理の条件を表1に示す内容に変更した以外は、実施例1と同様にして、活性化処理、N2パージ処理及びプラズマCVD処理を行うことによりグラフェンを成長させた。なお、表1には実施例1の活性化処理の条件も併記した。
実施例1において、プラズマCVD(グラフェン成長)の時間を1分間、3分間、5分間又は15分間に変えた以外は、実施例1と同様にして、活性化処理、N2パージ処理及びプラズマCVD処理を行うことによりグラフェンを成長させた。なお、触媒金属層の材質としてはNiを用いた。それぞれの時間成長させたグラフェンの断面構造を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した。グラフェン成長時間1分間の結果を図9Aに、同3分間の結果を図9Bに、同5分間の結果を図9Cに、同15分間の結果を図9Dにそれぞれ示した。図9A〜図9Dより、プラズマCVD(グラフェン成長)の時間が1分〜15分間でも、十分に多層構造のグラフェンシートを形成できることが確認された。
実施例1において、処理温度[活性化処理、N2パージ処理及びプラズマCVD(グラフェン成長)処理の温度]をすべて350℃、又は390℃に変えた以外は、実施例1と同様にして、活性化処理、N2パージ処理及びプラズマCVD処理を行うことによりグラフェンを成長させた。なお、触媒金属層の材質としてはNiを用いた。各温度で触媒金属層の活性化処理を行った後で成長させたグラフェンの断面構造を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した。処理温度が350℃の結果を図11Aに、同390℃の結果を図11Bにそれぞれ示した。図11A及び図11Bより、処理温度が350℃でも十分に多層構造のグラフェンシートを形成できることが確認された。なお、グラフェンのドメインサイズは、処理温度を下げるに伴って小さくなる傾向が見られた。
実施例2において、プラズマCVD(グラフェン成長)の時間を1分間に変えた以外は、実施例2と同様にして、活性化処理、N2パージ処理及びプラズマCVD処理を行うことによりグラフェンを成長させた。なお、触媒金属層の材質としてはNiを用いた。成長させたグラフェンの断面構造を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した。その結果を図12に示した。図12より、活性化処理の処理ガスとしてH2ガスとNH3ガスとを組み合わせて用いた場合でも、多層構造のグラフェンシートを形成できることが確認された。
実施例3において、プラズマCVD(グラフェン成長)の時間を1分間に変えた以外は、実施例3と同様にして、活性化処理、N2パージ処理及びプラズマCVD処理を行うことによりグラフェンを成長させた。なお、触媒金属層の材質としてはNiを用いた。成長させたグラフェンの断面構造を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した。その結果を図13に示した。図13より、活性化処理の処理ガスとしてN2ガスとNH3ガスとを組み合わせて用いた場合でも、多層構造のグラフェンシートを形成できることが確認された。
実施例1において、N2パージ処理を実施しなかった以外は、実施例1と同様にして、活性化処理及びプラズマCVD処理を行うことによりグラフェンを成長させた。なお、触媒金属層の材質としてはNi又はCoを用いた。成長させたグラフェンの断面構造を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察した。その結果、多層構造のグラフェンシートの成長が確認された。実施例8において、触媒金属層の材質として、Niを用いた結果を図14Aに、Coを用いた結果を図14Bに、それぞれ示した。図14A及び図14Bより、N2パージ処理を実施しなくても、多層構造のグラフェンシートの成長が可能であったが、触媒金属層の材質としてCoを用いた場合には、わずかにカーボンナノチューブの形成が確認された。この結果から、N2パージ処理は、Coのように凝集を生じやすい金属で活性化触媒金属層を形成した場合に、活性化触媒金属層の凝集を抑制し、カーボンナノチューブの成長を抑制して、グラフェンの成長を促す効果があるものと考えられた。
実施例1におけるプラズマCVD処理に替えて、下記条件で熱CVD処理を行った以外は、実施例1と同様にして、活性化処理、N2パージ処理を行い、熱CVD処理によってグラフェンを成長させた。なお、触媒金属層の材質としてはNi又はCoを用いた。
処理圧力:400Pa(3Torr)
処理ガス:
C2H4ガス 30mL/min(sccm)
H2ガス 200mL/min(sccm)
Arガス 450mL/min(sccm)
処理温度:470℃(基板温度として)
処理時間:60分間
Claims (12)
- 被処理体上に形成された触媒金属層の上にCVD法によってグラフェンを成長させる前に行う前処理方法であって、
前記触媒金属層に還元性ガスと窒素含有ガスとを含む処理ガスのプラズマを作用させて触媒金属層を活性化するプラズマ処理工程、
を備え、前記処理ガスは、
前記還元性ガスが水素ガスであり、前記窒素含有ガスが窒素ガスである組み合わせ;
前記還元性ガスが水素ガスであり、前記窒素含有ガスがアンモニアガスである組み合わせ;
又は、
前記還元性ガスがアンモニアガスであり、前記窒素含有ガスが窒素ガスである組み合わせ;
のいずれかを含むことを特徴とする前処理方法。 - 前記還元性ガスと前記窒素含有ガスとの体積比が、10:1〜1:10の範囲内である請求項1に記載の前処理方法。
- 前記触媒金属層が、Ni、Co、Cu、Ru、Pd及びPtよりなる群から選ばれる1種以上の金属種により構成される請求項1又は2に記載の前処理方法。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の前処理方法により触媒金属層を活性化するプラズマ処理工程と、
前記プラズマ処理がされた触媒金属層の上にCVD法によりグラフェンを成長させる工程と、
を備えているグラフェンの形成方法。 - 前記グラフェンを成長させる工程を、プラズマCVD法により行う請求項4に記載のグラフェンの形成方法。
- 前記プラズマCVD法による処理温度が、300℃〜600℃の範囲内である請求項5に記載のグラフェンの形成方法。
- 複数のマイクロ波放射孔を有する平面アンテナにより処理容器内にマイクロ波を導入して原料ガスのプラズマを生成させ、該原料ガスのプラズマによりグラフェンを成長させる請求項5又は6に記載のグラフェンの形成方法。
- 前記平面アンテナがラジアル・ライン・スロット・アンテナである請求項7に記載のグラフェンの形成方法。
- 前記グラフェンを成長させる工程を、熱CVD法により行う請求項4に記載のグラフェンの形成方法。
- 前記熱CVD法による処理温度が、300℃〜600℃の範囲内である請求項9に記載のグラフェンの形成方法。
- 被処理体上に形成された触媒金属層の上にグラフェンを成長させる前に行う前処理と、前記前処理がされた触媒金属層の上にCVD法によりグラフェンを成長させる工程と、を同一の処理容器内で順次行うグラフェン製造装置であって、
被処理体を処理する上部が開口した処理容器と、
前記処理容器内で、前記被処理体を載置する載置台と、
前記処理容器の前記開口部を塞ぐ誘電体板と、
前記誘電体板の外側に設けられて前記処理容器内にマイクロ波を導入する、多数のマイクロ波放射孔を有する平面アンテナと、
前記載置台上に載置された被処理体に対向して設けられた複数のガス放出孔を有して前記処理容器内に処理ガスを導入するガス導入部と、
前記処理容器内を減圧排気する排気装置に接続される排気口と、
を備え、
前記ガス導入部は、前記前処理に用いる還元性ガスと窒素含有ガスとを含む処理ガスを供給するガス供給源及び前記グラフェンの原料ガスを供給する原料ガス供給源に接続されており、
前記ガス供給源は、
前記還元性ガスである水素ガス供給源と、前記窒素含有ガスである窒素ガスとの組み合わせ;
前記還元性ガスである水素ガス供給源と、前記窒素含有ガスであるアンモニアガス供給源との組み合わせ;
又は、
前記還元性ガスであるアンモニアガス供給源と、前記窒素含有ガスである窒素ガス供給源との組み合わせ;
のいずれかであることを特徴とするグラフェン製造装置。 - 前記誘電体板の下面から前記載置台の上面までの間隔が140mm〜200mmの範囲内であり、かつ、
前記ガス導入部における前記ガス放出孔から前記載置台の上面までの間隔が80mm以上である請求項11に記載のグラフェン製造装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011245747A JP5851804B2 (ja) | 2011-11-09 | 2011-11-09 | 前処理方法、グラフェンの形成方法及びグラフェン製造装置 |
US14/355,601 US20140287155A1 (en) | 2011-11-09 | 2012-11-05 | Pretreatment method, graphene forming method and graphene fabrication apparatus |
KR1020147011658A KR101993019B1 (ko) | 2011-11-09 | 2012-11-05 | 전처리 방법, 그래핀의 형성 방법 및 그래핀 제조 장치 |
PCT/JP2012/078585 WO2013069593A1 (ja) | 2011-11-09 | 2012-11-05 | 前処理方法、グラフェンの形成方法及びグラフェン製造装置 |
TW101141642A TW201328971A (zh) | 2011-11-09 | 2012-11-08 | 前處理方法、石墨烯之形成方法及石墨烯製造裝置 |
US15/294,971 US20170029942A1 (en) | 2011-11-09 | 2016-10-17 | Pretreatment method, graphene forming method and graphene fabrication apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011245747A JP5851804B2 (ja) | 2011-11-09 | 2011-11-09 | 前処理方法、グラフェンの形成方法及びグラフェン製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013100205A JP2013100205A (ja) | 2013-05-23 |
JP5851804B2 true JP5851804B2 (ja) | 2016-02-03 |
Family
ID=48289967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011245747A Active JP5851804B2 (ja) | 2011-11-09 | 2011-11-09 | 前処理方法、グラフェンの形成方法及びグラフェン製造装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20140287155A1 (ja) |
JP (1) | JP5851804B2 (ja) |
KR (1) | KR101993019B1 (ja) |
TW (1) | TW201328971A (ja) |
WO (1) | WO2013069593A1 (ja) |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013159521A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Chube Univ | グラフェン膜の製造方法 |
DE102012015263A1 (de) * | 2012-08-01 | 2014-02-06 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Verfahren zur Herstellung von Graphen |
JP2015013797A (ja) * | 2013-06-07 | 2015-01-22 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | グラフェン透明導電膜の製造方法及び該方法により製造されたグラフェン透明導電膜 |
US20150118416A1 (en) * | 2013-10-31 | 2015-04-30 | Semes Co., Ltd. | Substrate treating apparatus and method |
JP6406811B2 (ja) * | 2013-11-20 | 2018-10-17 | 国立大学法人名古屋大学 | Iii 族窒化物半導体装置の製造装置および製造方法ならびに半導体ウエハの製造方法 |
DE102014104011A1 (de) * | 2014-03-24 | 2015-09-24 | Aixtron Se | Vorrichtung zum Abscheiden von Nanotubes |
JP6411112B2 (ja) * | 2014-07-24 | 2018-10-24 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | グラフェン膜の製造装置 |
JP6039616B2 (ja) | 2014-08-11 | 2016-12-07 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェンの下地膜の生成方法、グラフェンの生成方法及びグラフェンの下地膜生成装置 |
JP6385198B2 (ja) * | 2014-08-21 | 2018-09-05 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板の製造方法 |
US10351429B2 (en) * | 2015-05-13 | 2019-07-16 | Uchicago Argonne, Llc | Direct synthesis of reduced graphene oxide films on dielectric substrates |
KR101751271B1 (ko) * | 2015-06-16 | 2017-06-29 | 광주과학기술원 | 다층 그래핀의 제조방법 |
JP6144300B2 (ja) * | 2015-07-16 | 2017-06-07 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェン製造方法、グラフェン製造装置及びグラフェン製造システム |
WO2017038590A1 (ja) * | 2015-09-02 | 2017-03-09 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェンの製造方法、グラフェンの製造装置及び電子デバイスの製造方法 |
KR20180083641A (ko) | 2017-01-13 | 2018-07-23 | 심재훈 | 그래핀 추출방법 |
JP6960813B2 (ja) | 2017-09-20 | 2021-11-05 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェン構造体の形成方法および形成装置 |
KR102177472B1 (ko) * | 2017-09-29 | 2020-11-11 | 주식회사 테스 | 그래핀 옥사이드 증착용 소스 및 이를 이용한 그래핀 옥사이드 박막 형성 방법 |
JP7109230B2 (ja) | 2018-03-30 | 2022-07-29 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェン構造体を形成する方法および装置 |
US10604844B2 (en) * | 2018-05-14 | 2020-03-31 | Purdue Research Foundation | Graphene production using plasma-enhanced chemical vapor deposition |
KR102563925B1 (ko) * | 2018-08-31 | 2023-08-04 | 삼성전자 주식회사 | 반도체 제조 장치 |
KR102581681B1 (ko) * | 2018-09-05 | 2023-09-22 | 삼성전자주식회사 | 플라즈마 증착 방법 및 플라즈마 증착 장치 |
KR102149831B1 (ko) | 2018-11-12 | 2020-09-01 | 한국과학기술연구원 | 그래핀 패턴의 합성 방법 및 이를 이용한 전광 모듈레이터의 제조 방법 |
BR112021012136B1 (pt) | 2018-12-21 | 2023-10-31 | Performance Nanocarbon,Inc. | Método para produzir um grafeno ou material semelhante ao grafeno |
CN109904473B (zh) * | 2019-02-26 | 2021-08-20 | 南京原磊纳米材料有限公司 | 一种原子层沉积设备及其制备电池催化剂的方法 |
JP7178935B2 (ja) | 2019-03-15 | 2022-11-28 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェン構造体を形成する方法および装置 |
JP7134336B2 (ja) | 2019-03-25 | 2022-09-09 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェンの異常成長を検出する方法および測定装置、ならびに成膜システム |
JP7262263B2 (ja) | 2019-03-25 | 2023-04-21 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェンの異常成長を検出する方法および装置 |
KR20200126721A (ko) * | 2019-04-30 | 2020-11-09 | 삼성전자주식회사 | 그래핀 구조체 및 그래핀 구조체의 형성방법 |
CN114556518A (zh) * | 2019-09-30 | 2022-05-27 | 朗姆研究公司 | 使用远程等离子体的选择性石墨烯沉积 |
KR102274207B1 (ko) * | 2019-11-28 | 2021-07-08 | 한국과학기술연구원 | 마스킹 블록을 이용한 이차원 소재의 패턴 형성 방법, 이를 이용한 커패시터의 제조 방법 및 이차원 소재로 구성된 커패시터 |
JP2023514831A (ja) * | 2020-02-19 | 2023-04-11 | ラム リサーチ コーポレーション | グラフェン集積化 |
JP2022114773A (ja) * | 2021-01-27 | 2022-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法および成膜装置 |
US20220254641A1 (en) * | 2021-02-11 | 2022-08-11 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus of low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition of graphene |
US20230090280A1 (en) * | 2021-09-23 | 2023-03-23 | Applied Materials, Inc. | Selective graphene deposition |
JP2023119615A (ja) * | 2022-02-17 | 2023-08-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Family Cites Families (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5414756B2 (ja) * | 1973-08-24 | 1979-06-09 | ||
JPS5414760B1 (ja) * | 1974-03-04 | 1979-06-09 | ||
KR20010074667A (ko) * | 1998-06-19 | 2001-08-08 | 추후보정 | 자립 정렬형 탄소 나노튜브 및 그 합성방법 |
US6649431B2 (en) * | 2001-02-27 | 2003-11-18 | Ut. Battelle, Llc | Carbon tips with expanded bases grown with simultaneous application of carbon source and etchant gases |
JP4012466B2 (ja) * | 2001-03-28 | 2007-11-21 | 忠弘 大見 | プラズマ処理装置 |
JP4063577B2 (ja) * | 2002-04-26 | 2008-03-19 | 株式会社アルバック | 光触媒被膜を有する複合材料の製造方法 |
WO2005007565A2 (en) * | 2003-06-10 | 2005-01-27 | Nuvotec, Inc. | Continuous production of carbon nanomaterials using a high temperature inductively coupled plasma |
US20070184190A1 (en) * | 2003-08-27 | 2007-08-09 | Mineo Hiramatsu | Method for producing carbon nanowalls, carbon nanowall, and apparatus for producing carbon nanowalls |
WO2005045913A1 (ja) * | 2003-11-05 | 2005-05-19 | Tokyo Electron Limited | プラズマ処理装置 |
JP4324078B2 (ja) * | 2003-12-18 | 2009-09-02 | キヤノン株式会社 | 炭素を含むファイバー、炭素を含むファイバーを用いた基板、電子放出素子、該電子放出素子を用いた電子源、該電子源を用いた表示パネル、及び、該表示パネルを用いた情報表示再生装置、並びに、それらの製造方法 |
US7276796B1 (en) * | 2006-03-15 | 2007-10-02 | International Business Machines Corporation | Formation of oxidation-resistant seed layer for interconnect applications |
US8919428B2 (en) * | 2007-10-17 | 2014-12-30 | Purdue Research Foundation | Methods for attaching carbon nanotubes to a carbon substrate |
US20090273106A1 (en) * | 2008-05-02 | 2009-11-05 | Yuan Ze University | Porous Carbon Membranes and Their Forming Method |
JP5222040B2 (ja) * | 2008-06-25 | 2013-06-26 | 東京エレクトロン株式会社 | マイクロ波プラズマ処理装置 |
WO2011016616A2 (ko) * | 2009-08-03 | 2011-02-10 | 인제대학교 산학협력단 | 신규한 구조의 탄소계 나노복합체 및 이의 제조방법 |
US10167572B2 (en) * | 2009-08-07 | 2019-01-01 | Guardian Glass, LLC | Large area deposition of graphene via hetero-epitaxial growth, and products including the same |
JP2011068513A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Tokyo Electron Ltd | カーボンナノチューブ膜の成膜方法 |
US20110136346A1 (en) * | 2009-12-04 | 2011-06-09 | Axcelis Technologies, Inc. | Substantially Non-Oxidizing Plasma Treatment Devices and Processes |
EP2354272B1 (en) * | 2010-02-08 | 2016-08-24 | Graphene Square Inc. | Roll-to-roll apparatus for coating simultaneously internal and external surfaces of a pipe and graphene coating method using the same |
JP2011201735A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Fujitsu Ltd | グラフェン膜の製造方法及び半導体装置の製造方法 |
JP5660804B2 (ja) * | 2010-04-30 | 2015-01-28 | 東京エレクトロン株式会社 | カーボンナノチューブの形成方法及びカーボンナノチューブ成膜装置 |
DE102010027622B4 (de) * | 2010-05-21 | 2015-03-05 | Fritsch Gmbh | Vorrichtung zum Formen von Teiglingen |
JP5775705B2 (ja) * | 2011-02-25 | 2015-09-09 | 東京エレクトロン株式会社 | カーボンナノチューブの形成方法及び前処理方法 |
KR101872949B1 (ko) * | 2011-05-17 | 2018-07-02 | 삼성전자주식회사 | 상변화 메모리 장치 및 이의 제조 방법 |
JP5414756B2 (ja) * | 2011-09-09 | 2014-02-12 | 株式会社東芝 | 半導体装置とその製造方法 |
JP5414760B2 (ja) * | 2011-09-27 | 2014-02-12 | 株式会社東芝 | 半導体装置およびその製造方法 |
EP2763936A4 (en) * | 2011-10-07 | 2015-07-15 | Purdue Research Foundation | RAPID SYNTHESIS OF GRAPHENE AND FORMATION OF GRAPHENE STRUCTURES |
JP5801221B2 (ja) * | 2012-02-22 | 2015-10-28 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
AU2013231930B2 (en) * | 2012-03-15 | 2017-05-25 | King Fahd University Of Petroleum & Minerals | Graphene based filter |
TWI526559B (zh) * | 2012-04-06 | 2016-03-21 | 中央研究院 | 藉由物理氣相沉積法在基板上成長碳薄膜或無機材料薄膜的方法 |
JP5624600B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2014-11-12 | 株式会社東芝 | 配線及び半導体装置の製造方法 |
KR20190025051A (ko) * | 2013-01-14 | 2019-03-08 | 캘리포니아 인스티튜트 오브 테크놀로지 | 그라펜을 형성시키는 방법 및 시스템 |
JP6002087B2 (ja) * | 2013-05-29 | 2016-10-05 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェンの生成方法 |
US9857328B2 (en) * | 2014-12-18 | 2018-01-02 | Agilome, Inc. | Chemically-sensitive field effect transistors, systems and methods for manufacturing and using the same |
US10269706B2 (en) * | 2016-07-26 | 2019-04-23 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP6793503B2 (ja) * | 2016-09-01 | 2020-12-02 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェンの生成方法 |
JP6960813B2 (ja) * | 2017-09-20 | 2021-11-05 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェン構造体の形成方法および形成装置 |
-
2011
- 2011-11-09 JP JP2011245747A patent/JP5851804B2/ja active Active
-
2012
- 2012-11-05 WO PCT/JP2012/078585 patent/WO2013069593A1/ja active Application Filing
- 2012-11-05 KR KR1020147011658A patent/KR101993019B1/ko active IP Right Grant
- 2012-11-05 US US14/355,601 patent/US20140287155A1/en not_active Abandoned
- 2012-11-08 TW TW101141642A patent/TW201328971A/zh unknown
-
2016
- 2016-10-17 US US15/294,971 patent/US20170029942A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013069593A1 (ja) | 2013-05-16 |
TW201328971A (zh) | 2013-07-16 |
KR20140093939A (ko) | 2014-07-29 |
KR101993019B1 (ko) | 2019-06-25 |
JP2013100205A (ja) | 2013-05-23 |
US20170029942A1 (en) | 2017-02-02 |
US20140287155A1 (en) | 2014-09-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5851804B2 (ja) | 前処理方法、グラフェンの形成方法及びグラフェン製造装置 | |
KR102220272B1 (ko) | 그래핀의 생성 방법 | |
JP5660804B2 (ja) | カーボンナノチューブの形成方法及びカーボンナノチューブ成膜装置 | |
US8728917B2 (en) | Carbon nanotube forming method and pre-treatment method therefor | |
JP6960813B2 (ja) | グラフェン構造体の形成方法および形成装置 | |
TWI803603B (zh) | 形成石墨烯構造體的方法及裝置 | |
WO2011036973A1 (ja) | カーボンナノチューブ膜の成膜方法 | |
JP5779439B2 (ja) | 前処理方法及びカーボンナノチューブの形成方法 | |
KR102650973B1 (ko) | 그래핀 구조체를 형성하는 방법 및 장치 | |
US9850132B2 (en) | Method for growing carbon nanotubes | |
JP2014237557A (ja) | カーボンナノチューブ成長方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150818 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5851804 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |