JP5818452B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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Description
4つのN型半導体領域901〜904は、それぞれ第1〜第4の光電変換部で発生した電荷を蓄積する。4つのN型半導体領域901〜904のそれぞれに対応して、転送ゲート電極905〜908が配される。転送ゲート電極905〜908によって、4つのN型半導体領域901〜904に蓄積された電荷は共通のFD105に転送される。
2 絶縁体
101、102 N型半導体領域
103、104 転送ゲート電極
105 フローティングディフュージョン
106 P型半導体領域
115 活性領域
302 半導体基板と絶縁体との界面
Claims (11)
- 活性領域を含む半導体基板と、
第1導電型の第1半導体領域と、
前記第1導電型とは異なる導電型である第2導電型の第2半導体領域と、
前記第1導電型の第3半導体領域と、
フローティングディフュージョンと、
前記半導体基板上に前記半導体基板と接して配された絶縁体と、
前記半導体基板上に前記絶縁体を介して配され、前記第1半導体領域から前記フローティングディフュージョンへの電荷の転送を制御する転送ゲート電極と、
前記半導体基板上に前記絶縁体を介して配され、前記第3半導体領域から前記フローティングディフュージョンへの電荷の転送を制御する、前記転送ゲート電極とは別の転送ゲート電極と、
前記第1半導体領域、前記第2半導体領域、及び前記第3半導体領域の上に重なるように延在して配された第2導電型の半導体領域と、
を有する固体撮像装置において、
前記第1半導体領域、前記第2半導体領域、前記第3半導体領域、及び前記フローティングディフュージョンが、同一の前記活性領域に配され、
前記第1半導体領域の一部は、前記転送ゲート電極の一部と重なって配され、
前記第3半導体領域の一部は、前記別の転送ゲート電極の一部と重なって配され、
前記第1半導体領域の前記一部と、前記第3半導体領域の前記一部との間に、前記第2半導体領域が、隣接して配され、
前記界面から前記第1半導体領域の前記一部の不純物濃度ピークの位置までの距離が、前記界面から前記第2半導体領域の不純物濃度ピークの位置までの距離と異なり、
前記第1半導体領域と、前記第2半導体領域と、前記第3半導体領域の配列方向が、前記第1半導体領域から前記フローティングディフュージョンへの電荷転送方向及び前記第3半導体領域から前記フローティングディフュージョンへの電荷転送方向のいずれとも異なることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記界面から前記第3半導体領域の前記一部の不純物濃度ピークの位置までの距離が、前記界面から前記第2半導体領域の不純物濃度ピークの位置までの距離と異なることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記第1半導体領域の面積は、前記フローティングディフュージョンの面積よりも大きいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固体撮像装置。
- 前記転送ゲート電極の前記一部とは別の一部が前記第2半導体領域の一部と重なっていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記固体撮像装置は、前記第1半導体領域と重なって配された第1導電型の第4半導体領域をさらに有し、
前記第4半導体領域の不純物濃度ピークの位置と、前記第2半導体領域の不純物濃度ピークの位置とが、前記界面を基準として互いに異なる深さであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の固体撮像装置。 - 前記固体撮像装置は、前記第2半導体領域と重なって配された第2導電型の第5半導体領域をさらに有し、
前記第5半導体領域の不純物濃度ピークの位置と、前記第1半導体領域不純物濃度ピークの位置とが、前記界面を基準として互いに異なる深さであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の固体撮像装置。 - 前記固体撮像装置は、
前記第1半導体領域と重なって配された第1導電型の第4半導体領域と、
前記第2半導体領域と重なって配された第2導電型の第5半導体領域と、をさらに有し
前記第1半導体領域、前記第2半導体領域、前記第4半導体領域、及び前記第5半導体領域の不純物濃度ピークの位置が、前記界面を基準として互いに異なる深さであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の固体撮像装置。 - 前記固体撮像装置は第2導電型の第6半導体領域をさらに有し、
前記第6半導体領域は、前記第1半導体領域及び前記第2半導体領域と重なって配され、かつ、前記第1半導体領域及び前記第2半導体領域よりも前記界面に近い位置に配されたことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の固体撮像装置。 - 前記固体撮像装置は光電変換部を有し、
前記第1半導体領域が、光電変換部の一部を構成することを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の固体撮像装置。 - 前記第2半導体領域は、前記第1半導体領域の電荷に対するポテンシャル障壁として機能することを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
- 前記第2半導体領域は、前記第1半導体領域を別の素子から電気的に分離するための分離領域であることを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
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