JP5816189B2 - 真空成膜装置 - Google Patents
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Description
まず、図1を参照して本実施の形態に係る真空成膜装置100の構成について説明する。図1は本実施の形態に係る真空成膜装置100の概略構成の一例を示す俯瞰図である。
本実施の形態に係る真空成膜装置100は、真空状態とした真空槽1内で基材20にアルミ膜、保護膜等を成膜するように構成されている。そこで、本実施の形態に係る真空成膜装置100は、真空槽1内に基材20が配置されると、この真空槽1内を真空とするように真空排気処理を行なうように構成されている。以下にこの真空排気処理に係る構成について図2、図3を参照して説明する。図2、図3は、本実施の形態に係る真空成膜装置100における真空排気処理に係る構成の一例を示すブロック図である。
次に、再度、図1を参照して上述した基材ユニット2についての搬入および搬出処理に係る構成について説明する。
以下に本実施の形態に係る真空成膜装置100の変形例について、図4および図5を参照して説明する。図4および図5は、本実施の形態の変形例に係る基材ユニット2における基材20の配置の一例を模式的に示す図である。
また、本実施の形態に係る真空成膜装置100は、搬送ベース6上に移動テーブル25が設けられ、入れ替え方向に左右に移動することで、一方の基材ユニット2が成膜処理を行なっている間に他方の基材ユニット2において基材20の着脱が行なわれる構成であった。
2 基材ユニット(搬送ユニット)
4 排気ユニット
5 共通ベース
6 搬送ベース
10 搬入口(開口部)
11 搬入口ドア(ドア部)
12 プラズマ放電電極
13 メインバルブ
14 粗引きバルブ
15 フォアラインバルブ
16 ベントバルブ
17 ゲートバルブ
20 基材
21 蒸着源
23 基材ホルダ(支持部)
24 支持ベース
25 移動テーブル
27 フィラメント
28 蒸着用抵抗加熱電極
31 ルーツポンプ
32 油回転ポンプ
33 油拡散ポンプ
34 コールドトラップ
51 第1レール
52 第2レール
53 真空槽レール
100 真空成膜装置
Claims (5)
- 真空状態で複数の基材を成膜する真空成膜装置であって、
前記基材を支持するための複数の支持部と、
前記複数の支持部を支持して搬送する搬送ユニットと、
前記搬送ユニットを搬入および搬出するための開口部、および該開口部を開閉するためのドア部を有する、真空状態を形成するための真空槽と、を備え、
前記搬送ユニットは、
前記複数の支持部を、前記真空槽に対する搬送方向に直列に配置するように支持するとともに、成膜材料を加熱蒸発させ、前記支持部に支持された基材に膜を形成するための1以上の蒸着源を備え、
前記支持部および前記蒸着源は、前記搬送方向に直列に配置され、かつ該支持部の間に該蒸着源が配されており、
前記開口部が、前記搬送ユニットの寸法に応じて形成されている真空成膜装置。 - 前記支持部は、基材を回転自在に支持する請求項1に記載の真空成膜装置。
- 前記搬送ユニットを載置し、水平面において前記搬送方向とは異なる方向に該搬送ユニットを移動可能とする移動テーブルを備える請求項1または2に記載の真空成膜装置。
- 前記ドア部は、前記開口部に対して左右に移動して、該開口部を開閉する請求項1から3のいずれか1項に記載の真空成膜装置。
- 前記ドア部は、一方の側部が前記真空槽とヒンジにより接合されており、該ヒンジを軸に弧を描いて前記開口部を開閉する請求項1から3のいずれか1項に記載の真空成膜装置。
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