JP5773576B2 - 反射防止構造および光学機器 - Google Patents
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Description
前記第2の層の屈折率をna、前記第1の層の前記第2の層側の有効屈折率をnb、とするとき、
nb−na>0.10
1.10<na<1.35
なる条件を満足することを特徴とする。
図1〜図6には、本発明の実施例1〜6である反射防止構造を示している。ここでは、まず各実施例に共通する反射防止構造の概要について説明する。
nb−na>0.10 …(1)
また、本発明の実施例の反射防止構造は、以下の条件(2)を満足するとよりよい。
さらに、本発明の実施例の反射防止構造は、基板1の屈折率をnsとし、屈折率傾斜層2における基板1側の界面4での有効屈折率をncとするとき、以下の条件(3)を満足するとよりよい。
|ns−nc|<0.10 …(3)
さらに、本発明の実施例の反射防止構造において、λo=550nmであるときに、該屈折率均一層3の屈折率naと低屈折率層3の厚さDaとが以下の条件(4)を満足するとよりよい。
以下、本発明の反射防止構造に関して、下記に理論的な説明を述べる。
強度により低屈折率層3の屈折率の下限が制約されるため、空気との屈折率差が生じる。このため、空気との界面3aでフレネル反射が生じる。
2 屈折率傾斜層
3 低屈折率層
4,5 界面
Claims (19)
- 基板上に配置され該基板から離れるに従って屈折率が低くなる第1の層と、該第1の層の上に配置され屈折率が一様な第2の層と、を有し、
前記第2の層の屈折率をna、前記第1の層の前記第2の層側の有効屈折率をnb、とするとき、
nb−na>0.10
1.10<na<1.35
なる条件を満足することを特徴とする反射防止構造。 - 1.10<na<1.30
なる条件を満足することを特徴とする請求項1に記載の反射防止構造。 - 前記基板の屈折率をns、前記第1の層の前記基板側の有効屈折率をnc、とするとき、
|ns−nc|<0.10
なる条件を満足することを特徴とする請求項1又は2に記載の反射防止構造。 - 前記第1の層の前記基板側の有効屈折率をncとするとき、
nc>1.80
なる条件を満足することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の反射防止構造。 - 前記基板と前記第1の層との間に配置され屈折率が一様な第3の層を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の反射防止構造。
- 前記基板の屈折率をnsとするとき、
ns>1.80
なる条件を満足することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の反射防止構造。 - 前記第1の層は、入射光の波長以下の微細な凹凸形状から成るベース層と、該ベース層よりも低い屈折率を有し前記ベース層に充填される第1の媒質と、を含み、前記第1の層における前記第1の媒質の充填率は、前記基板から離れるに従って高くなることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の反射防止構造。
- 前記ベース層は、前記基板と同じ媒質であることを特徴とする請求項7に記載の反射防止構造。
- 前記第1の媒質は、前記第2の層と同じ媒質であることを特徴とする請求項7又は8に記載の反射防止構造。
- 前記第2の層は、多孔質層であることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の反射防止構造。
- 前記第2の層は、シリカもしくはフッ化マグネシウムを含むことを特徴とする請求項10に記載の反射防止構造。
- 前記第2の層は、メソポーラス層であることを特徴とする請求項10に記載の反射防止構造。
- 前記第2の層の厚さをDa、λo=550nm、とするとき、
0.1<na・Da/λo<0.5
なる条件を満足することを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の反射防止構造。 - nb−na>0.17
なる条件を満足することを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の反射防止構造。 - 1.10<na<1.25
なる条件を満足することを特徴とする請求項1から14のいずれか一項に記載の反射防止構造。 - 前記第1の層と前記第2の層との間に界面を有することを特徴とする請求項1から15のいずれか一項に記載の反射防止構造。
- 前記界面での反射光と、前記第2の層と空気との界面での反射光と、が互いに干渉して打ち消し合うことを特徴とする請求項16に記載の反射防止構造。
- 前記基板と、請求項1から17のいずれか一項に記載の反射防止構造と、を有することを特徴とする光学素子。
- 請求項18に記載の光学素子と、撮像素子と、を備えることを特徴とする光学機器。
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