JP5772134B2 - 回路基板、その製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Description
20、30、40 コア部材
21 コア板
21a 貫通孔
22、23 両面銅貼りシート
22b 第1の樹脂シート
22b−1 ビアホール
22d 第1の銅箔
22d−1、26u−1 開口
22u 第2の銅箔
23b 第2の樹脂シート
23u、23d 銅箔
24 電子部品
25 モールド樹脂成形体
26、26u、26d 接着材
27 スルービア
27a スルーホール
27b 絶縁層
27c 導電層
27d 充填材
28 ビア
28a 電極
31、32 多層配線層
31a、31b,31c、31d 樹脂シート
32a、32b,32c、32d 樹脂シート
33u 第1の配線
33d 第2の配線
34 スタックドビア
35 外部接続用電極
50 金型
50u 上型
50d 下型
51 キャビティ
60 搭載領域
120、121 回路基板
130、131 半導体装置
Claims (8)
- 上面に半導体部品を搭載する搭載領域が設けられた回路基板において、
第1の樹脂シートと、
前記第1の樹脂シートの下面に密着し、前記搭載領域の直下に開口を有する第1の銅箔と、
前記開口内に形成され、前記第1の樹脂シートを上下に貫通する複数のビアと、
前記ビアの下端に接続されて、前記第1の樹脂シートの下面に配置された電子部品と、
前記第1の樹脂シートの上面に密着して設けられた第2の銅箔をパターニングして形成された、前記ビアの上端に接続する電極と、
前記第1の樹脂シートの下面に密着しかつ前記電子部品を封止するようにモールド成形され、平面視したとき前記搭載領域を内側に含む平面形状を有するモールド樹脂成形体と、
前記モールド樹脂成形体が嵌挿される貫通孔が設けられた剛性を有するコア板と、
前記貫通孔に前記モールド樹脂成形体を嵌挿した前記コア板を、前記第1の銅箔の下面に貼着する接着材と、
を備えたコア部材を有することを特徴とする回路基板。 - 前記開口は、前記モールド樹脂成形体の平面形状の内側に含まれることを特徴とする請求項1記載の回路基板。
- 前記コア部材は、前記コア板および前記モールド樹脂成形体の下面に、上下面にそれぞれ密着する銅箔が設けられた第2の樹脂シートが貼着されていることを特徴とする請求項1または2記載の回路基板。
- 前記コア部材の上面に形成され、上面に前記搭載領域が設けられた第1の多層配線層と、
前記第1の多層配線層を貫通して設けられ、下端が前記電極の上端に接続し、上端が前記搭載領域に表出するスタックドビアと、
前記コア部材の下面に形成された第2の多層配線層と、
前記コア部材を貫通し、前記第1及び第2の多層配線層内の配線を接続するスルービアと、
前記第2の多層配線層内の配線に接続し、前記第2の多層配線層の下面に設けられた外部接続用電極と、
を有することを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の回路基板。 - 請求項4に記載の回路基板と、
該回路基板の前記搭載領域に搭載され、前記スタックドビアの上端に接続された端子を備えた半導体素子と、
を有することを特徴とする半導体装置。 - 下面に第1の銅箔が、上面に第2の銅箔が設けられた第1の樹脂シートの前記第1の銅箔をパターニングして、前記第1の銅箔に開口を形成する工程と、
前記開口内に表出する前記第1の樹脂シートを貫通して、上面に前記第2の銅箔を表出するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホールを導電材料で埋め込み、上端が前記第2の銅箔に接続し、下端が前記第1の樹脂シートの下面に突出する複数のビアを形成する工程と、
電子部品を前記ビアの下端に接続する工程と、
前記第1の樹脂シートの下面に、前記電子部品を封止するモールド樹脂成形体を成形する工程と、
貫通孔が開設された剛性を有するコア板を、前記モールド樹脂成形体を前記貫通孔に嵌挿させて前記第1の銅箔の下面に貼着し、前記第1の銅箔、前記第1の樹脂シート、前記第2の銅箔、前記コア板、および、前記電子部品を封止するモールド樹脂成形体を一体化したコア部材を形成する工程と、
を有することを特徴とする回路基板の製造方法。 - 前記コア板を貼着する工程と同時に、上下面にそれぞれ第3および第4の銅箔が設けられた第2の樹脂シートを前記コア板の下面に貼着して、前記第1の銅箔、前記第1の樹脂シート、前記第2の銅箔、前記コア板、前記第3の銅箔、前記第2の樹脂シート、前記第4の銅箔、および、前記モールド樹脂成形体を一体化したコア部材を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項6記載の回路基板の製造方法。 - 前記コア部材を貫通するスルービアを形成する工程と、
上面に半導体素子を搭載する搭載領域と、前記スルービアの上端に接続する第1の配線と、下端が前記ビアの上端に接続し、上端が前記搭載領域に表出するスタックドビアとを備える第1の多層配線層を、ビルドアップ工法を用いて前記コア部材の上面に形成する工程と、
前記スルービアの下端に接続する第2の配線と、下面に前記第2の配線に接続された外部接続用電極とを備える第2の多層配線層を、ビルドアップ工法を用いて前記コア部材の下面に形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項6又は7記載の回路基板の製造方法。
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