JP5768924B2 - 振動片、振動子、発振器、及びリアルタイムクロック - Google Patents
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Description
本発明のある形態に係る振動片は、基部、及び前記基部の一方の端部に接続し、所定の方向と交差する方向に沿って並び、且つ、平面視で互いに接近と離反とを交互に繰り返して屈曲振動する一対の振動腕を含む本体と、平面視で、前記基部の前記一方の端部とは反対側の他方の端部に接続している短辺部と、平面視で、前記短辺部に接続し、一対の前記振動腕と並んで配置している長辺部と、を含み、前記短辺部は、平面視で、一方の側へ延出している第1の延出部と、他方の側へ延出している第2の延出部と、を有し、前記長辺部は、平面視で、一対の前記振動腕の先端よりも前記基部側にあるマウント部と、前記マウント部と前記短辺部との間に前記マウント部よりも前記交差する方向に沿った幅が狭い部分と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記長辺部は、一対の前記長辺部を有し、一対の前記長辺部の一方は、前記第1の延出部の先端と接続し、一対の前記長辺部の他方は、前記第2の延出部の先端と接続していることを特徴とする。
本発明の別の形態に係る振動片は、平面視で、前記短辺部の前記交差する方向の長さは、前記基部の前記交差する方向の長さよりも長いことを特徴とする。
本発明の別の形態に係る振動片は、前記マウント部は、前記所定の方向において、前記本体と、前記短辺部と、前記長辺部と、を含む系の重心よりも前記振動腕の先端側に設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、基部、及び前記基部の一方の端部に接続し、所定の方向と交差する方向に沿って並び、且つ、平面視で互いに接近と離反とを交互に繰り返して屈曲振動する一対の振動腕を含む本体と、平面視で、前記基部の前記一方の端部とは反対側の他方の端部側に接続している短辺部と、平面視で、前記短辺部に接続し、一対の前記振動腕と並んで配置している長辺部と、を含み、前記長辺部は、平面視で、一対の前記振動腕の先端よりも前記基部側にあるマウント部と、前記マウント部と前記短辺部との間に前記マウント部よりも前記交差する方向に沿った幅が狭い部分と、を有し、前記マウント部は、前記所定の方向において、前記本体と、前記短辺部と、前記長辺部と、を含む系の重心よりも前記振動腕の先端側に設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、平面視で、前記振動腕と前記長辺部との間隔は、前記振動腕の前記交差する方向へ振動する振幅よりも広いことを特徴とする。
本発明の別の形態に係る振動片は、前記マウント部は、前記長辺部に2箇所以上設けられているはことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕に溝が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記交差する方向は、前記所定の方向と直交する方向であることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕に設けられている励振電極と、前記マウント部に設けられている接続電極と、前記長辺部に設けられ、前記励振電極と前記接続電極とに接続している引出し電極と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が実装されているパッケージと、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動腕に設けられている励振電極と、
前記マウント部に設けられている接続電極と、前記長辺部に設けられ、前記励振電極と前記接続電極とに接続している引出し電極と、前記パッケージに設けられているマウント電極と、を有し、前記マウント電極と前記接続電極とが接合材により接続されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記接合材は、導電性接着剤、導電性シート、導電性フィルム、金バンプ、及び合金のいずれかであることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記接合材は、シリコーン系の導電性接着剤であることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記パッケージは真空封止されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る発振器は、前記振動片を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係るリアルタイムクロックは、前記振動片を含むことを特徴とする。
〔適用例1〕音叉型圧電振動片をパッケージに収容した圧電振動子であって、前記音叉型圧電振動片は、複数の振動腕を有する音叉型圧電振動片本体と、前記振動腕の延びる方向と交わる方向に沿って形成され、前記圧電振動片本体に接続する第1の短辺部と、前記第1の短辺部から前記振動腕の延びる方向に向かって前記振動腕の先端より先まで前記振動腕の延びる方向に沿って形成された長辺部と、前記長辺部の先端を、前記振動腕の前記先端より先において前記振動腕の延びる方向と交わる方向に沿って延設して形成された第2の短辺部と、を備え、前記第2の短辺部の下面が前記パッケージに固定されていることを特徴とする圧電振動子。
適用例1によれば、圧電振動子に衝撃が加わった場合は、長辺部が衝撃緩和部となって湾曲しながら上下に振動することにより衝撃を緩和することができる。このため音叉型圧電振動片本体は激しく振られることがなく、僅かに上下に動くだけなので、パッケージに衝突することがない。よって音叉型圧電振動片本体がパッケージに衝突するのを防止できる。
適用例2によれば、衝撃が加わった際に長辺部が衝撃緩和部となって優先的に湾曲し、音叉型圧電振動片自体の変位が抑えられるため、音叉型圧電振動片がパッケージに衝突するのを防止することができる。また、振動腕から漏れた振動を長辺部において減衰させることができるので、振動特性の優れた圧電振動子とすることができる。
適用例3によれば、第1、第2の短辺部と第1、第2の長辺部により枠部が形成されたことにより、音叉型圧電振動片をパッケージベースに実装するときは枠部をマウントすることができる。音叉型圧電振動片に衝撃が加わった場合は、長辺部が衝撃緩和部となって湾曲しながら上下に振動するので衝撃を緩和することができる。そして音叉型圧電振動片本体は僅かに上下に動くだけなので、音叉型圧電振動片本体がパッケージに衝突するのを防止することができる。
適用例4によれば、音叉型圧電振動片の大きさや重心位置等に応じて衝撃緩和部の太さや厚さ、または穴部や凹部の大きさ等を設計することにより、音叉型圧電振動片に衝撃が加わっても、この衝撃を衝撃緩和部で緩和することができる。
適用例5によれば、マウント部は音叉型圧電振動片の重心よりも振動腕の先端側に位置することになる。したがって音叉型圧電振動片に加わった衝撃を長辺部で緩和することができ、音叉型圧電振動片本体がパッケージに衝突するのを防止できる。振動腕が長辺部に衝突してワレ、カケ等の破損が生じることがない。さらに音叉型圧電振動片は基部を有しないので、小型化にすることができる。
そして音叉型圧電振動片本体16の上下面には励振電極(不図示)が形成され、該励振電極と前記接続電極とが衝撃緩和部22に設けられた引出し電極(不図示)により導通した構成となっている。
また金バンプを用いるとガスが発生しないので、パッケージ32を真空封止するのに好適となる。なお所望の電気伝導度が得られない場合には、ボンディングワイヤを介して導電性を得るようにしてもよい。そしてパッケージベース24の上端面に低融点ガラスを介してまたはシーム溶接によりリッド34を接合し、音叉型圧電振動子36を構成する。
そして、上述した音叉型圧電振動片10を用いて音叉型圧電発振器やリアルタイムクロックを形成することができる。
そして、上述した音叉型圧電振動片50を用いて音叉型圧電発振器やリアルタイムクロックを形成することができる。
そして上述した音叉型圧電振動子に音叉型圧電振動片200,220を発振させる回路を搭載すると、音叉型圧電発振器を得ることができる。
そして上述した音叉型圧電振動子に音叉型圧電振動片240を発振させる回路を搭載すると、音叉型圧電発振器を得ることができる。
Claims (17)
- 基部、及び前記基部の一方の端部に接続し、所定の方向と交差する方向に沿って並び、且つ、平面視で互いに接近と離反とを交互に繰り返して屈曲振動する一対の振動腕を含む本体と、
平面視で、前記基部の前記一方の端部とは反対側の他方の端部に接続している短辺部と、
平面視で、前記短辺部に接続し、一対の前記振動腕と並んで配置している長辺部と、
を含み、
前記短辺部は、平面視で、一方の側へ延出している第1の延出部と、他方の側へ延出している第2の延出部と、を有し、
前記長辺部は、平面視で、一対の前記振動腕の先端よりも前記基部側にあるマウント部と、
前記マウント部と前記短辺部との間に前記マウント部よりも前記交差する方向に沿った幅が狭い部分と、
を含むことを特徴とする振動片。 - 請求項1において、
前記長辺部は、一対の前記長辺部を有し、
一対の前記長辺部の一方は、前記第1の延出部の先端と接続し、一対の前記長辺部の他方は、前記第2の延出部の先端と接続していることを特徴とする振動片。 - 請求項1または2において、
平面視で、前記短辺部の前記交差する方向の長さは、前記基部の前記交差する方向の長さよりも長いことを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至3の何れか一項において、
前記マウント部は、
前記所定の方向において、前記本体と、前記短辺部と、前記長辺部と、を含む系の重心よりも前記振動腕の先端側に設けられていることを特徴とする振動片。 - 基部、及び前記基部の一方の端部に接続し、所定の方向と交差する方向に沿って並び、且つ、平面視で互いに接近と離反とを交互に繰り返して屈曲振動する一対の振動腕を含む本体と、
平面視で、前記基部の前記一方の端部とは反対側の他方の端部側に接続している短辺部と、
平面視で、前記短辺部に接続し、一対の前記振動腕と並んで配置している長辺部と、
を含み、
前記長辺部は、平面視で、一対の前記振動腕の先端よりも前記基部側にあるマウント部と、
前記マウント部と前記短辺部との間に前記マウント部よりも前記交差する方向に沿った幅が狭い部分と、を有し、
前記マウント部は、前記所定の方向において、前記本体と、前記短辺部と、前記長辺部と、を含む系の重心よりも前記振動腕の先端側に設けられている
ことを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至5の何れか一項において、
平面視で、前記振動腕と前記長辺部との間隔は、
前記振動腕の前記交差する方向へ振動する振幅よりも広いことを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至6の何れか一項において、
前記マウント部は、
前記長辺部に2箇所以上設けられているはことを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至7の何れか一項において、
前記振動腕に溝が設けられていることを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至8の何れか一項において、
前記交差する方向は、前記所定の方向と直交する方向であることを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至9の何れか一項において、
前記振動腕に設けられている励振電極と、
前記マウント部に設けられている接続電極と、
前記長辺部に設けられ、前記励振電極と前記接続電極とに接続している引出し電極と、
を含むことを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至9の何れか一項に記載の振動片と、
前記振動片が実装されているパッケージと、
を含むことを特徴とする振動子。 - 請求項11において、
前記振動腕に設けられている励振電極と、
前記マウント部に設けられている接続電極と、
前記長辺部に設けられ、前記励振電極と前記接続電極とに接続している引出し電極と、
前記パッケージに設けられているマウント電極と、を有し、
前記マウント電極と前記接続電極とが接合材により接続されていることを特徴とする振動子。 - 請求項12において、
前記接合材は、
導電性接着剤、導電性シート、導電性フィルム、金バンプ、及び合金のいずれかであることを特徴とする振動子。 - 請求項12において、
前記接合材は、シリコーン系の導電性接着剤であることを特徴とする振動子。 - 請求項11乃至14の何れか一項において、
前記パッケージは真空封止されていることを特徴とする振動子。 - 請求項1乃至10の何れか一項に記載の振動片を含むことを特徴とする発振器。
- 請求項1乃至10の何れか一項に記載の振動片を含むことを特徴とするリアルタイムクロック。
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