JP5767315B2 - レーザー光をフォーカシングするためのビーム整形ユニット、および、ビーム整形ユニットの駆動方法 - Google Patents
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Description
したがって、本発明の課題は、構造技術的に簡単で、焦点直径および焦点位置をフレキシブルに調整できるビーム整形ユニットおよびその駆動方法を提供することである。特に、焦点位置を後方領域へ拡張できることが望ましい。
この課題は、レーザー材料加工のためのレーザー光を被加工材へフォーカシングするために、レーザー光の入射する第1の光学素子と、光伝搬方向で第1の光学素子に後置される第2の光学素子と、光伝搬方向で第2の光学素子に後置されるフォーカシング光学系と、第1の光学素子に対応し、この第1の光学素子を制御することによって焦点直径を設定する第1の焦点設定装置と、第2の光学素子に対応し、この第2の光学素子を制御することによってレーザー光の光伝搬方向での焦点位置を設定する第2の焦点設定装置とを備える、本発明のビーム整形ユニットにおいて、レーザー光が第1の光学素子を通り中間焦点を経て第2の光学素子へ結像されることにより解決される。
Claims (12)
- レーザー材料加工のために、レーザー光(3)を被加工材(9)へフォーカシングするビーム整形ユニット(1)であって、
前記ビーム整形ユニット(1)は、
拡散するレーザー光(3)の入射する第1の光学素子(5)と、
光伝搬方向で前記第1の光学素子(5)に後置された第2の光学素子(7)と、
前記光伝搬方向で前記第2の光学素子(7)に後置されたフォーカシング光学系(8)と、
を含み、
前記第1の光学素子(5)に、前記第1の光学素子(5)を制御することによって焦点直径(D)を設定する第1の焦点設定装置(10)が対応しており、
前記第2の光学素子(7)に、前記第2の光学素子(7)を制御することによって前記レーザー光(3)の光伝搬方向での焦点位置を設定する第2の焦点設定装置(12)が対応している、
ビーム整形ユニット(1)において、
前記拡散するレーザー光(3)は、前記第1の光学素子(5)を通り、中間焦点(6)を経て、前記第2の光学素子(7)へ結像され、
前記光伝搬方向で前記フォーカシング光学系(8)に後置される別の光学系(20)が、前記ビーム整形ユニット(1)をガス圧に対して遮閉するために設けられており、
前記フォーカシング光学系(8)と前記別の光学系(20)とのあいだに、衝突防止のための分離部(21a)が設けられており、前記分離部(21a)の領域は弾性を有するシース(21)によって覆われている、
ことを特徴とするビーム整形ユニット(1)。 - 前記第1の光学素子(5)は、50mmより小さい焦点距離を有するレンズ(5)によって形成されている、
請求項1記載のビーム整形ユニット(1)。 - 前記第1の光学素子(5)は、前記焦点直径(D)を設定する前記第1の焦点設定装置(10)により、前記レーザー光(3)の光軸(11)に沿って移動可能である、
請求項1または2記載のビーム整形ユニット(1)。 - 前記第2の光学素子(7)は、レンズ(7)によって形成されており、前記第2の光学素子(7)は、前記焦点位置を設定する前記第2の焦点設定装置(12)により、前記レーザー光(3)の光軸(11)に沿って移動可能である、および/または、その結像特性を変更可能である、
請求項1から3までのいずれか1項記載のビーム整形ユニット(1)。 - 前記第1の焦点設定装置(10)および/または前記第2の焦点設定装置(12)をアプリケーション固有の設定値(23)およびその時点の補正値(24)に基づいて駆動する制御ユニット(22)が設けられており、前記設定値および前記その時点の補正値は、プロセス監視装置(25)の測定データに基づいている、
請求項1から4までのいずれか1項記載のビーム整形ユニット(1)。 - さらに、前記第1の光学素子(5)および前記第2の光学素子(7)および各素子の支承部材(13,14)によって複数の室(17,18,19)に分割されたケーシング(2)が設けられており、前記複数の室(17,18,19)間でのガス交換および圧力交換のために上方流路(15,16)が設けられている、
請求項1から5までのいずれか1項記載のビーム整形ユニット(1)。 - 前記ビーム整形ユニット(1)は、光伝搬方向で見て前記第1の光学素子(5)に前置された輸送ファイバ(4)を含み、前記輸送ファイバ(4)から前記レーザー光(3)が拡散するように出射される、
請求項1から6までのいずれか1項記載のビーム整形ユニット(1) - 複数の焦点設定装置(10,12)をアプリケーション固有の設定値(23)に基づいて駆動する、請求項1から7までのいずれか1項記載のビーム整形ユニット(1)の駆動方法において、
前記複数の焦点設定装置(10,12)を駆動する際に、その時点の補正値(24)を考慮する、
ことを特徴とする駆動方法。 - 前記その時点の補正値(24)を用いて、熱によって前記ビーム整形ユニット(1)に発生する結像誤差を補償する、
請求項8記載の駆動方法。 - 前記その時点の補正値(24)を、照射時間と、前記ビーム整形ユニット(1)の少なくとも1つの光学部品(20)に供給されるレーザーパワーと、に基づいて求める、
請求項8または9記載の駆動方法。 - 前記その時点の補正値(24)を前記ビーム整形ユニット(1)の少なくとも1つの光学部品での温度測定によって求める、
請求項8から10までのいずれか1項記載の駆動方法。 - 前記少なくとも1つの光学部品は、光伝搬方向の最後方に配置された光学部品(20)である、
請求項11記載の駆動方法。
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