JP2003200286A - レーザマイクロスポット溶接装置 - Google Patents

レーザマイクロスポット溶接装置

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JP2003200286A
JP2003200286A JP2001400309A JP2001400309A JP2003200286A JP 2003200286 A JP2003200286 A JP 2003200286A JP 2001400309 A JP2001400309 A JP 2001400309A JP 2001400309 A JP2001400309 A JP 2001400309A JP 2003200286 A JP2003200286 A JP 2003200286A
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incident
condenser lens
laser
condensed
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Masayuki Imakado
正幸 今門
Naohisa Matsushita
直久 松下
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/073Shaping the laser spot

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スポット径を変える場合、集光レンズと被加
工物との間の距離を変化させる機構が不要なレーザマイ
クロスポット溶接装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 レーザ光源21から出射したビームを集
光レンズ23で集光し、集光したビームを光ファイバ2
5に入射させ、光ファイバ25から出射したビームを集
光光学系31に導き、集光光学系31を用いてビームを
被加工物33上に集光し、溶接を行なうレーザマイクロ
スポット溶接装置において、光ファイバ25の出射面で
のビームの拡がり角を変える調整手段35を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光源から出
射したビームを集光レンズで集光し、集光したビームを
光ファイバに入射させ、前記光ファイバから出射したビ
ームを集光光学系に導き、該集光光学系を用いて前記ビ
ームを被加工物上に集光し、溶接を行なうレーザマイク
ロスポット溶接装置に関する。
【0002】
【従来の技術】レーザマイクロスポット溶接装置におい
て、装置の構造の柔軟性や軽量化を目的として光ファイ
バを用いてビームを被加工物近傍まで伝送するものがあ
る。
【0003】その第1の例を図4を用いて説明する。図
において、略平行ビームを出射するYAGレーザ光源1
から出射したビームは、集光レンズ5で集光されて、光
ファイバ7に入射する。
【0004】尚、集光レンズ5は、光ファイバ7の入射
面7aで光ファイバ7のコアの径以下になるように、光
ファイバ7の出射面7bが焦点となるようにビームを集
光するように設定されている。
【0005】光ファイバ7を出射したビームは、コリメ
ータレンズ9で略平行ビームとされ、集光レンズ12に
より被加工物15上に集光され、スポット溶接が行なわ
れる。
【0006】また、第2の例として図5を用いて説明す
る。尚、図4と同一部分には同一符号を付し、重複する
説明は省略する。光ファイバ7を出射したビームは、コ
リメータレンズ9で略平行ビームとされ、ガルバノスキ
ャナ(ガルバノミラー)11で反射し、テレセントリッ
クタイプのfθレンズ13により被加工物15上に集光
され、スポット溶接が行なわれる。
【0007】そして、ガルバノスキャナ11を走査する
ことにより、被加工物15上のビームの集光位置が移動
し、被加工物15上に連続的に複数のスポット溶接を行
なうことができる。
【0008】これら2つのレーザマイクロスポット溶接
装置において、被加工物15の材質により、スポット径
(ナゲット径)を変える場合がある。この場合、集光レ
ンズ12またはfθレンズ13の焦点位置と被加工物1
5との間の距離を変化させることで、被加工物15上の
スポット径を変えている。
【0009】具体的には、図4に示す構成の場合は、集
光レンズ12を光軸方向に沿って矢印I方向に、図5に
示す構成の場合は、ガルバノスキャナ11とfθレンズ
13(以下、ガルバノヘッド17という)を光軸方向に
沿って矢印I方向に移動させることにより行なってい
る。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成のレ
ーザマイクロスポット溶接装置においては、以下のよう
な問題点がある。 (1)スポット径を変えるために、被加工物15と集光
レンズ12またはfθレンズ13との距離を変化させる
機構が必要である。 (2)fθレンズ13は、被加工物15に対して略垂直
にビームを照射するが、若干の誤差がある。被加工物1
5とfθレンズ13との距離を変化させると、被加工物
15上のスポット位置がずれる。
【0011】よって、図5に示すようなガルバノスキャ
ナ11を用いて連続的なスポット溶接を行なう場合、光
軸方向をZ軸とした場合、被加工物15とfθレンズ1
3との距離を変化させる度に、ガルバノヘッド17のX
−Y座標の再定義が必要となる。
【0012】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その第1の課題は、スポット径を変える場合、集光
レンズと被加工物との間の距離を変化させる機構が不要
なレーザマイクロスポット溶接装置を提供することにあ
る。
【0013】第2の課題は、ガルバノスキャナを用いた
レーザマイクロスポット溶接装置で、スポット径を変え
てもガルバノヘッドの座標の再定義が不要なレーザマイ
クスポット溶接装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】図1は請求項1記載の発
明の原理図である。図において、21はレーザ光源、2
3はレーザ光源から出射したビームを集光する集光レン
ズ、25は集光レンズで集光されたビームが入射する光
ファイバである。光ファイバ25から出射したビーム
は、例えば、コリメータレンズ27と集光レンズ29と
からなる集光光学系31に導かれ、被加工物33上に集
光され、溶接が行なわれる。
【0015】そして、本原理図では、レーザ光源21と
集光レンズ23との間に、光ファイバ25の出射面25
bでのビームの拡がり角を変える調整手段35が設けら
れている。
【0016】図に示すように、調整手段35を用いて光
ファイバ25の出射面でのビームの拡がり角を例えば、
α°からβ°に変化させると、集光レンズ29で集光さ
れたビームの焦点位置が変化する。すなわち、ビームの
被加工物33上でのスポット径を調整することができ
る。
【0017】したがって、従来のように、集光レンズ2
9と被加工物との間の距離を変化させる機構が不要とな
る。また、ガルバノスキャナを用いたレーザマイクロス
ポット溶接装置に用いると、スポット径を変えてもガル
バノヘッドの座標の再定義も不要となる。
【0018】請求項2記載の発明は、前記調整手段は、
前記光ファイバの入射面に入射するビームの収束角、前
記光ファイバの入射面に入射するビームの入射位置のう
ちの、いずれかを変化させるものであることを特徴とす
る請求項1記載のレーザマイクロスポット溶接装置であ
る。
【0019】光ファイバにおいては、入射面に入射する
ビームの収束角が異なると、出射面から出射するビーム
の拡がり角が異なることが知られている。また、入射面
でのビームの入射位置によって、出射面から出射するビ
ームの拡がり角が異なる現象も知られている。
【0020】したがって、光ファイバの入射面に入射す
るビームの収束角、または、入射するビームの入射位置
を変えることによって、出射面から出射するビームの拡
がり角を変えることができる。
【0021】尚、これらの現象は、中心に向かうに従っ
て屈折率が高くなるGI(グレーデッド・インデック
ス)光ファイバで顕著に表れるので、光ファイバとして
は、GI光ファイバが好ましい。
【0022】請求項3記載の発明は、前記調整手段は、
前記レーザ光源と前記集光レンズとの間に設けられ、出
射ビームの拡がり角を変化させるビームエキスパンダで
あることを特徴とする請求項2記載のレーザマイクロス
ポット溶接装置である。
【0023】調整手段であるビームエキスパンダを出射
したビームは集光レンズで集光されて光ファイバに入射
する。ここで、ビームエキスパンダを出射するビームの
拡がり角が異なっていると、集光レンズで集光されて光
ファイバに入射するビームの収束角も異なり、光ファイ
バの出射面から出射するビームの拡がり角も異なる。
【0024】請求項4記載の発明は、前記調整手段は、
前記レーザ光源と前記集光レンズとの間に設けられ、出
射ビーム径を変化させるビームエキスパンダであること
を特徴とする請求項2記載のレーザマイクロスポット溶
接装置である。
【0025】調整手段であるビームエキスパンダを出射
したビームは集光レンズで集光されて光ファイバに入射
する。ここで、ビームエキスパンダを出射するビームの
径が異なっていると、集光レンズで集光されて光ファイ
バの入射面上のスポット径が異なる。すなわち、集光レ
ンズで集光されて光ファイバに入射するビームの収束角
も異なり、光ファイバの出射面から出射するビームの拡
がり角も異なる。
【0026】請求項5記載の発明は、前記調整手段は、
前記光ファイバに入射するビーム、前記光ファイバの入
射面のうち、少なくとも一方を前記光ファイバの入射面
と平行な平面上で移動させるものであることを特徴とす
る請求項2記載のレーザマイクロスポット溶接装置であ
る。
【0027】前記調整手段は、前記光ファイバに入射す
るビーム、前記光ファイバの入射面のうち、少なくとも
一方を前記光ファイバの入射面と平行な平面上で移動さ
せることにより、入射面でのビームの入射位置が異な
り、光ファイバの出射面から出射するビームの拡がり角
が異なる。
【0028】
【発明の実施の形態】次に図面を用いて本発明の実施の
形態例を説明する。 (第1の実施の形態例)図2において、略平行ビームを
出射するYAGレーザ光源101から出射したビーム
は、調整手段としてのビームエキスパンダ103に入射
する。本実施形態例のビームエキスパンダ103は出射
ビームの径を変化させるものである。
【0029】ビームエキスパンダ103を出射したビー
ムは集光レンズ105で集光されて、光ファイバ107
に入射する。光ファイバ107を出射したビームは、集
光光学系のコリメータレンズ109で略平行ビームとさ
れ、集光光学系の集光レンズ112により被加工物15
上に集光され、スポット溶接が行なわれる。
【0030】ここで、ビームエキスパンダ103を出射
するビームの径を実線から破線へ変えると、集光レンズ
105で集光されて光ファイバ107の入射面107a
上のスポット径が異なる。すなわち、集光レンズ105
で集光されて光ファイバ107に入射するビームの収束
角が異なり、光ファイバ107の出射面107bから出
射するビームの拡がり角も異なる。
【0031】光ファイバ107の出射面107bでの出
射ビームの拡がり角が変わることにより、集光レンズ1
12で集光されたビームの焦点位置が変化する。すなわ
ち、ビームの被加工物115上でのスポット径を調整す
ることができる。
【0032】このように、ビームエキスパンダ103を
出射するビームの径を調整して、所望のスポット径が得
られる。上記構成によれば、従来のように、集光レンズ
112と被加工物115との間の距離を変化させる機構
が不要となる。 (第2の実施の形態例)図3において、略平行ビームを
出射するYAGレーザ光源201から出射したビーム
は、調整手段としてのビームエキスパンダ203に入射
する。本実施形態例のビームエキスパンダ203は出射
ビームの拡がり角を変化させるものである。
【0033】ビームエキスパンダ203を出射したビー
ムは集光レンズ205で集光されて、光ファイバ207
に入射する。光ファイバ207を出射したビームは、コ
リメータレンズ209で略平行ビームとされ、集光光学
系であるガルバノヘッド217、すなわち、ガルバノス
キャナ(ガルバノミラー)211で反射し、テレセント
リックタイプのfθレンズ213により被加工物215
上に集光され、スポット溶接が行なわれる。
【0034】そして、集光光学系であるガルバノスキャ
ナ211を走査することにより、被加工物215上のビ
ームの集光位置が移動し、被加工物215上に連続的に
複数のスポット溶接を行なうことができる。
【0035】ここで、ビームエキスパンダ203を出射
するビームの拡がり角を実線から破線へ変えると、集光
レンズ205で集光されて光ファイバ207の入射面2
07a上のスポット径が異なる。すなわち、集光レンズ
205で集光されて光ファイバ207に入射するビーム
の収束角が異なり、光ファイバ207の出射面207b
から出射するビームの拡がり角も異なる。
【0036】光ファイバ207の出射面207bでの出
射ビームの拡がり角が変わることにより、集光レンズで
あるfθ213で集光されたビームの焦点位置が変化す
る。すなわち、ビームの被加工物215上でのスポット
径を調整することができる。
【0037】このように、ビームエキスパンダ203を
出射するビームの拡がり角を調整して、所望のスポット
径が得られる。上記構成によれば、従来のように、ガル
バノヘッド217を矢印I方向に移動させ、fθレンズ
213と被加工物215との間の距離を変化させる機構
が不要となる。
【0038】また、ガルバノヘッド217の座標の再定
義も不要となる。尚、本発明は、上記実施の形態例に限
定するものではない。上記実施の形態例では、光ファイ
バ107,207の入射面に入射するビームの収束角を
変化させて、スポット径の調整を行なうようにしたが、
光ファイバの入射面に入射するビームの入射位置を変え
て、光ファイバの出射面でのビームの拡がり角を変えて
スポット径の調整を行なってもよい。この場合、光ファ
イバの入射面に入射するビームの入射位置を変える調整
手段は、光ファイバに入射するビームを移動させてもよ
いし、光ファイバ側を移動させてもよい。また、両方移
動させてもよい。
【0039】また、上記第1の実施の形態例や第2の実
施の形態例で、長期間稼動させたり、YAGレーザ光源
101,201を交換したりすると、被加工物115,
215上のスポット径が設定した値から変化する場合が
ある。このような場合、第1の実施の形態例の場合で
は、集光光学系のコリメータレンズ109と集光レンズ
112との間にアパーチャ(絞り)117を挿入し、ア
パーチャ117を挿入した場合と、挿入しない場合とで
のスポット径が形成される場所におけるビームエネルギ
をパワーメータ等で計測する。
【0040】そして、アパーチャの有無によるエネルギ
変化が一番少なくなるように、光ファイバ107の入射
面107aを光ファイバ107の入射面107aと平行
な平面上で移動させる。このような調整を行なうこと
で、スポット径の調整を行なうこともできる。
【0041】同様に、第2の実施の形態例の場合では、
コリメータレンズ209とガルバノスキャナ211との
間にアパーチャ219を挿入し、同様にスポット径の調
整を行なうことができる。
【0042】
【発明の効果】以上述べたように請求項1記載の発明に
よれば、光ファイバの出射面での前記ビームの拡がり角
を変える調整手段を設けたことにより、従来のように、
集光レンズ29と被加工物との間の距離を変化させる機
構が不要となる。
【0043】また、ガルバノスキャナを用いたレーザマ
イクロスポット溶接装置に用いると、スポット径を変え
てもガルバノヘッドの座標の再定義も不要となる。請求
項2記載の発明によれば、光ファイバの入射面に入射す
るビームの収束角、または、入射するビームの入射位置
を変えることによって、出射面から出射するビームの拡
がり角を変えることができる。
【0044】請求項3記載の発明によれば、調整手段で
あるビームエキスパンダを出射したビームは集光レンズ
で集光されて光ファイバに入射する。ここで、ビームエ
キスパンダを出射するビームの拡がり角が異なっている
と、集光レンズで集光されて光ファイバに入射するビー
ムの収束角も異なり、光ファイバの出射面から出射する
ビームの拡がり角も異なる。
【0045】請求項4記載の発明によれば、調整手段で
あるビームエキスパンダを出射したビームは集光レンズ
で集光されて光ファイバに入射する。ここで、ビームエ
キスパンダを出射するビームの径が異なっていると、集
光レンズで集光されて光ファイバの入射面上のスポット
径が異なる。すなわち、集光レンズで集光されて光ファ
イバに入射するビームの収束角も異なり、光ファイバの
出射面から出射するビームの拡がり角も異なる。
【0046】請求項5記載の発明によれば、前記調整手
段は、前記光ファイバに入射するビーム、前記光ファイ
バの入射面のうち、少なくとも一方を前記光ファイバの
入射面と平行な平面上で移動させることにより、入射面
でのビームの入射位置が異なり、光ファイバの出射面か
ら出射するビームの拡がり角が異なる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理図である。
【図2】第1の実施の形態例の構成図である。
【図3】第2の実施の形態例の構成図である。
【図4】従来の第1の例を説明する構成図である。
【図5】従来の第2の例を説明する構成図である。
【符号の説明】
21 レーザ光源 23 集光レンズ 25 光ファイバ 27 コリメータレンズ 29 集光レンズ 31 集光光学系 33 被加工物 35 調整手段

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光源から出射したビームを集光レ
    ンズで集光し、集光したビームを光ファイバに入射さ
    せ、前記光ファイバから出射したビームを集光光学系に
    導き、該集光光学系を用いて前記ビームを被加工物上に
    集光し、溶接を行なうレーザマイクロスポット溶接装置
    において、 前記光ファイバの出射面での前記ビームの拡がり角を変
    える調整手段を設けたことを特徴とするレーザマイクロ
    スポット溶接装置。
  2. 【請求項2】 前記調整手段は、 前記光ファイバの入射面に入射するビームの収束角、前
    記光ファイバの入射面に入射するビームの入射位置のう
    ちの、いずれかを変化させるものであることを特徴とす
    る請求項1記載のレーザマイクロスポット溶接装置。
  3. 【請求項3】 前記調整手段は、 前記レーザ光源と前記集光レンズとの間に設けられ、出
    射ビームの拡がり角を変化させるビームエキスパンダで
    あることを特徴とする請求項2記載のレーザマイクロス
    ポット溶接装置。
  4. 【請求項4】 前記調整手段は、 前記レーザ光源と前記集光レンズとの間に設けられ、出
    射ビーム径を変化させるビームエキスパンダであること
    を特徴とする請求項2記載のレーザマイクロスポット溶
    接装置。
  5. 【請求項5】 前記調整手段は、 前記光ファイバに入射するビーム、前記光ファイバの入
    射面のうち、少なくとも一方を前記光ファイバの入射面
    と平行な平面上で移動させるものであることを特徴とす
    る請求項2記載のレーザマイクロスポット溶接装置。
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Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005066628A (ja) * 2003-08-22 2005-03-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 加工装置及び加工方法とこれを用いた生産設備
JP2006218487A (ja) * 2005-02-08 2006-08-24 Nissan Motor Co Ltd レーザ溶接装置、レーザ溶接システム、およびレーザ溶接方法
JP2011020143A (ja) * 2009-07-15 2011-02-03 Keyence Corp レーザ加工装置
JP2015500571A (ja) * 2011-12-09 2015-01-05 ジェイディーエス ユニフェイズ コーポレーションJDS Uniphase Corporation レーザービームのビームパラメータ積を変動させること
WO2018217308A1 (en) * 2016-09-29 2018-11-29 Nlight, Inc. Frequency-converted optical beams having adjustable beam characteristics
US10434600B2 (en) 2015-11-23 2019-10-08 Nlight, Inc. Fine-scale temporal control for laser material processing
US10520671B2 (en) 2015-07-08 2019-12-31 Nlight, Inc. Fiber with depressed central index for increased beam parameter product
US10535973B2 (en) 2015-01-26 2020-01-14 Nlight, Inc. High-power, single-mode fiber sources
US10656440B2 (en) 2016-09-29 2020-05-19 Nlight, Inc. Fiber optical beam delivery device producing output exhibiting intensity distribution profile having non-zero ellipticity
US10677984B2 (en) 2016-09-29 2020-06-09 Nlight, Inc. Production of temporally apparent intensity distribution by rapid perturbation of variable beam characteristics optical fiber
US10684487B2 (en) 2016-09-29 2020-06-16 Nlight, Inc. Frequency-converted optical beams having adjustable beam characteristics
US10732439B2 (en) 2016-09-29 2020-08-04 Nlight, Inc. Fiber-coupled device for varying beam characteristics
US10730785B2 (en) 2016-09-29 2020-08-04 Nlight, Inc. Optical fiber bending mechanisms
US10971884B2 (en) 2015-03-26 2021-04-06 Nlight, Inc. Fiber source with cascaded gain stages and/or multimode delivery fiber with low splice loss
US10971885B2 (en) 2014-06-02 2021-04-06 Nlight, Inc. Scalable high power fiber laser
US11179807B2 (en) 2015-11-23 2021-11-23 Nlight, Inc. Fine-scale temporal control for laser material processing

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100445014C (zh) * 2002-12-05 2008-12-24 浜松光子学株式会社 激光加工装置
JP3862664B2 (ja) * 2003-03-19 2006-12-27 ミヤチテクノス株式会社 レーザ溶接方法およびレーザ溶接装置
DE10328399A1 (de) * 2003-06-25 2005-01-20 Institut für Lasertechnologien in der Medizin und Meßtechnik an der Universität Ulm Verfahren zur gerichteten Bestrahlung und/oder zur richtungaufgelösten Detektion von Strahlung
JP4357944B2 (ja) 2003-12-05 2009-11-04 トヨタ自動車株式会社 固体レーザ加工装置およびレーザ溶接方法
CA2489941C (en) 2003-12-18 2012-08-14 Comau S.P.A. A method and device for laser welding
US7528342B2 (en) * 2005-02-03 2009-05-05 Laserfacturing, Inc. Method and apparatus for via drilling and selective material removal using an ultrafast pulse laser
US7420772B1 (en) 2005-11-17 2008-09-02 Magnecomp Corporation Integral anvil for pre-loading a disk drive suspension assembly
US20080169273A1 (en) * 2007-01-12 2008-07-17 Nickolas Bizzio Laser cavity particularly for laser welding apparatus
DE202010006047U1 (de) * 2010-04-22 2010-07-22 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Strahlformungseinheit zur Fokussierung eines Laserstrahls
CN102000917B (zh) * 2010-10-25 2013-04-24 苏州德龙激光股份有限公司 Led晶圆激光内切割划片设备
EP2478990B1 (de) * 2011-01-21 2019-04-17 Leister Technologies AG Verfahren zum Einstellen eines Laserlichtspots zur Laserbearbeitung von Werkstücken sowie Laseranordnung zur Durchführung des Verfahrens
US10100393B2 (en) 2013-02-21 2018-10-16 Nlight, Inc. Laser patterning of multi-layer structures
US10464172B2 (en) 2013-02-21 2019-11-05 Nlight, Inc. Patterning conductive films using variable focal plane to control feature size
US10618131B2 (en) 2014-06-05 2020-04-14 Nlight, Inc. Laser patterning skew correction
CN107107268A (zh) * 2014-12-23 2017-08-29 麦格纳国际公司 激光束局部化涂覆的方法
WO2017127573A1 (en) 2016-01-19 2017-07-27 Nlight, Inc. Method of processing calibration data in 3d laser scanner systems
WO2018187489A1 (en) 2017-04-04 2018-10-11 Nlight, Inc. Optical fiducial generation for galvanometric scanner calibration
DE102018204814A1 (de) * 2018-03-29 2019-10-02 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von Laserstrahlungen mit unterschiedlicher Leistung und Brillanz
US11318558B2 (en) 2018-05-15 2022-05-03 The Chancellor, Masters And Scholars Of The University Of Cambridge Fabrication of components using shaped energy beam profiles

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4564736A (en) * 1984-05-07 1986-01-14 General Electric Company Industrial hand held laser tool and laser system
US4681396A (en) * 1984-10-09 1987-07-21 General Electric Company High power laser energy delivery system
US4707073A (en) * 1985-09-04 1987-11-17 Raytheon Company Fiber optic beam delivery system for high-power laser
US4799755A (en) * 1987-12-21 1989-01-24 General Electric Company Laser materials processing with a lensless fiber optic output coupler
US5179269A (en) * 1989-03-01 1993-01-12 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Bar code reader having an automatically actuated visible light laser beam
DE69021436T2 (de) * 1989-05-15 1996-01-25 Fuji Photo Film Co Ltd Optische Wellenlängenkonvertereinrichtung.
JPH0497374U (ja) * 1990-07-16 1992-08-24
US5370643A (en) 1992-07-06 1994-12-06 Ceramoptec, Inc. Multiple effect laser delivery device and system for medical procedures
US5245682A (en) 1992-09-25 1993-09-14 General Electric Company Fiber optic delivered beam quality control system for power lasers
US5513201A (en) * 1993-04-30 1996-04-30 Nippon Steel Corporation Optical path rotating device used with linear array laser diode and laser apparatus applied therewith
JP3531199B2 (ja) * 1994-02-22 2004-05-24 三菱電機株式会社 光伝送装置
US5815626A (en) 1994-10-14 1998-09-29 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Optical transmission device, solid state laser device, and laser beam processing device
JP2948773B2 (ja) 1997-02-24 1999-09-13 株式会社川口光学産業 リングビーム拡がり角連続可変装置
JP2000263267A (ja) * 1999-03-16 2000-09-26 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ加工装置用ファイバ入射光学系
US6606173B2 (en) * 2000-08-01 2003-08-12 Riake Corporation Illumination device and method for laser projector

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005066628A (ja) * 2003-08-22 2005-03-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 加工装置及び加工方法とこれを用いた生産設備
US8796582B2 (en) 2005-02-08 2014-08-05 Nissan Motor Co., Ltd. Laser welding apparatus and method
JP2006218487A (ja) * 2005-02-08 2006-08-24 Nissan Motor Co Ltd レーザ溶接装置、レーザ溶接システム、およびレーザ溶接方法
JP2011020143A (ja) * 2009-07-15 2011-02-03 Keyence Corp レーザ加工装置
JP2015500571A (ja) * 2011-12-09 2015-01-05 ジェイディーエス ユニフェイズ コーポレーションJDS Uniphase Corporation レーザービームのビームパラメータ積を変動させること
KR101908079B1 (ko) * 2011-12-09 2018-12-10 루멘텀 오퍼레이션즈 엘엘씨 레이저 빔의 빔 파라미터 곱을 변화시키는 장치
US10971885B2 (en) 2014-06-02 2021-04-06 Nlight, Inc. Scalable high power fiber laser
US10916908B2 (en) 2015-01-26 2021-02-09 Nlight, Inc. High-power, single-mode fiber sources
US10535973B2 (en) 2015-01-26 2020-01-14 Nlight, Inc. High-power, single-mode fiber sources
US10971884B2 (en) 2015-03-26 2021-04-06 Nlight, Inc. Fiber source with cascaded gain stages and/or multimode delivery fiber with low splice loss
US10520671B2 (en) 2015-07-08 2019-12-31 Nlight, Inc. Fiber with depressed central index for increased beam parameter product
US11179807B2 (en) 2015-11-23 2021-11-23 Nlight, Inc. Fine-scale temporal control for laser material processing
US10434600B2 (en) 2015-11-23 2019-10-08 Nlight, Inc. Fine-scale temporal control for laser material processing
US11331756B2 (en) 2015-11-23 2022-05-17 Nlight, Inc. Fine-scale temporal control for laser material processing
US11794282B2 (en) 2015-11-23 2023-10-24 Nlight, Inc. Fine-scale temporal control for laser material processing
WO2018217293A1 (en) * 2016-09-29 2018-11-29 Nlight, Inc. Fiber optical beam delivery device producing output exhibiting intensity distribution profile having non-zero ellipticity
US10677984B2 (en) 2016-09-29 2020-06-09 Nlight, Inc. Production of temporally apparent intensity distribution by rapid perturbation of variable beam characteristics optical fiber
US10684487B2 (en) 2016-09-29 2020-06-16 Nlight, Inc. Frequency-converted optical beams having adjustable beam characteristics
US10732439B2 (en) 2016-09-29 2020-08-04 Nlight, Inc. Fiber-coupled device for varying beam characteristics
US10730785B2 (en) 2016-09-29 2020-08-04 Nlight, Inc. Optical fiber bending mechanisms
US10663767B2 (en) 2016-09-29 2020-05-26 Nlight, Inc. Adjustable beam characteristics
US10656440B2 (en) 2016-09-29 2020-05-19 Nlight, Inc. Fiber optical beam delivery device producing output exhibiting intensity distribution profile having non-zero ellipticity
US10423015B2 (en) 2016-09-29 2019-09-24 Nlight, Inc. Adjustable beam characteristics
WO2018217300A1 (en) * 2016-09-29 2018-11-29 Nlight, Inc. Fiber-couple device for varying beam characteristics
WO2018217304A1 (en) * 2016-09-29 2018-11-29 Nlight, Inc. Production of temporally apparent intensity distribution by rapid perturbation of variable beam characteristics optical fiber
WO2018217308A1 (en) * 2016-09-29 2018-11-29 Nlight, Inc. Frequency-converted optical beams having adjustable beam characteristics

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