JP5751752B2 - 凍結乾燥機の棚 - Google Patents

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Description

本発明は、凍結乾燥機の棚に関するものであり、更には凍結乾燥機の棚の製造方法に関するものである。
凍結乾燥機の棚は、凍結乾燥されるべき製品を入れた複数の容器または瓶を収容するために凍結乾燥機の凍結乾燥チャンバー(すなわち凍結乾燥室)内に配置される。凍結乾燥チャンバー内には、一般に、多数の棚が収納される。各棚は、凍結乾燥チャンバー内において上昇及び下降せしめられ得る。複数の棚を装着する際には、これらの棚は、先ずチャナバーの下部に畳まれ(すなわち集積され)、次いで先ず最上配置の棚が装着位置へと移動せしめられる。この棚が装着された後に、機構は、装着済みの棚を自動的に上昇させて、次の棚が装着位置へと移動できるようにする。この移動シーケンスは、凍結乾燥チャンバーでの棚装着が完了するまで続けられる。凍結乾燥チャンバーから棚を除去する(すなわち脱着する)には、上記装着シーケンスを逆に行い、先ず最下配置の棚を除去する。
棚は、また、アルコール、グリセロールまたはシリコーンオイルなどの伝熱流体と凍結乾燥されるべき製品との間で熱を移動させるよう機能する。凍結乾燥プロセスの間に、製品内に存在する水分が凍結せしめられる。製品から伝熱流体へと熱を移動させるために、外部回路により凍結乾燥機の棚の内部を循環する伝熱流体が冷却せしめられ、これにより、製品内に含まれる水分の凍結が引き起こされる。凍結の後、凍結乾燥チャンバー内を典型的には1mbar未満の圧力にまで減圧し、外部ヒーターにより伝熱流体を加熱してサンプル(製品)内の氷を水蒸気へと昇華させる。
複数の凍結乾燥機の棚は、容器内へとストッパーを押し込むのにも共用される。このストッパーは、凍結乾燥プロセスの間、サンプルからの水蒸気の昇華を可能にする容器の開口上にルーズに配置される。凍結乾燥プロセスの完了後、複数の棚は互いに移動せしめられる。ある棚上に配置された容器のストッパーの上面は、その棚の上に配置された別の棚の下面に接触している。棚同士の相対移動を繰り返すうちに、ストッパーが容器内へと押圧されて気密シールが形成されるようになる。これは、制御された環境下で容器をシールするという利点を有する。
凍結乾燥機の棚は、典型的には、互いに対向する2枚のステンレススチール製の板(すなわちプレート)を有し、これらの板の間にステンレススチール製の複数のリブが配置され、板間に典型的には高さ10〜20mmのスペースが形成されると共に伝熱流体の流通チャンネルが形成されている。リブは、棚の自重及びその上に配置される容器の重さを支持するのに必要な強度を棚に付与する機能を持つ。更に、リブは、ストッパーの押圧の間に板にかかる1.5kg/cmにもなる力に対して棚を耐久性のあるものにしなければならない。
容器のストッパーは、一般に、例えばブチルゴムなどのゴム材料から形成されるが、ここに適量のシリコーンオイルを添加することで容器内へストッパーを挿入しやすくしてもよい。容器へのストッパーの押圧の間にストッパーにかかる圧力は、シリコーンオイルの小さな分子をストッパーの外面へと移動させ、これにより、ストッパーと凍結乾燥機の表面との間の界面に擬似粘性層(または準粘性層)[quasi−viscous layer]が形成される。更に、多くのストッパーの設計、とくに医薬サンプルを含む容器のためのものでは、中央に位置し、隆起した、針挿入のための目標領域を規定する、目標リングまたは照準[bulls−eye]が設けられている。このようなストッパーが凍結乾燥機の棚の下面により容器内へと押圧されると、目標リングに作用する力により、目標領域が下方へと曲げられ、これにより、ストッパーと凍結乾燥機の棚との間に真空空隙が生成せしめられる。
このような効果は、単独でまたは複合して、容器閉じ手順の間、とくに圧力が比較的長い時間ストッパーに印加されている場合、或いは閉じ圧力が比較的高い場合に、ストッパーを凍結乾燥機の棚の下面に付着させる(すなわち密着させる)[stick]ことを引き起こす。従って、続いて凍結乾燥機の棚同士の間の相対移動によりストッパーから圧力が開放されると、容器閉じ手順の間に上方の棚に付着したストッパーはそのまま上方の棚に取り付いて残り、かくして、当該ストッパーの位置する容器が下方の棚から物理的に離隔せしめられる。ストッパーと上方の棚の下面との間の付着は時間と共に弱まるので、容器は上方の棚から落下し、かくして、下方の棚での衝撃により破損し及び/または下方の棚上に位置する他の容器に打ち付けられる。或いは、脱着手順の間、これらの容器を上方の棚から除去することができるが、その際にも、同様に、容器は破損し及び/または他の容器に打ち付けられる。落下した容器または破損したガラスは脱着システムを阻害するので、作業者がシステムを清掃する必要があり、これは費用のかかる休止時間及び材料の損失を生じさせる。
本発明の第1の局面によれば、
互いに対向して平行に配置された第1及び第2の板を有する凍結乾燥機の棚を製造する方法であって、
前記方法は、容器内へとゴム製のストッパーを押し込むように前記ストッパーに圧力を印加する間に前記ストッパーが前記第1及び第2の板のうちの一方の板の表面に押し付けられて付着せしめられるのを阻止するように、前記表面を処理する工程を有していることを特徴とする、凍結乾燥機の棚の製造方法、
が提供される。
以上のようにして棚の表面を処理することにより、棚が凍結乾燥機内に配置されたときに、棚の表面が他の棚の上に配置された容器のストッパーに面して位置することになり、棚がストッパーを容器内へと押し込むのに用いられる際の棚へのストッパーの付着が防止される。このことは、凍結乾燥機を広範囲の互いに異なるストッパーと共に使用することを可能にするので、容器のためのストッパーの上面を個別に処理することに比べて有利である。
1つの実施態様においては、前記表面は、容器内へとゴム製のストッパーを押し込むように前記ストッパーに圧力を印加する間に前記ストッパーが前記第1及び第2の板のうちの一方の板の表面に押し付けられて前記棚に付着せしめられるのを阻止するようなコーティングを前記表面に形成することにより、処理される。このコーティングは、好ましくは、疎水性または非濡れ性の(すなわち撥水性の)材料を含む。これにより、棚がストッパーへと押し付けられる際にコーティングとストッパーとの間に形成される擬似粘性層を介してストッパーが棚に付着することが阻止される。好ましい非濡れ性の材料の例としては、テフロン[登録商標]が挙げられる。
前記コーティングは、前記表面に溶射により形成することができる。これによれば、コーティングを現存する凍結乾燥機の棚に適用することが可能である。すなわち、棚が配置された現存する凍結乾燥機のチャンバーから棚を取り外し、その棚の表面にコーティングを形成することができる。或いは、凍結乾燥機のチャンバー内の棚に対して、その場でコーティングを形成してもよい。
前記コーティングは、少なくとも2つの材料の複合コーティングであってもよい。例えば、前記表面にはセラミック材料の第1の層が形成され、前記第1の層には非濡れ性の材料の第2の層が形成され、次いで、例えば150乃至350℃の範囲内、好ましくは200乃至250℃の範囲内の温度で、前記第1及び第2の層が加熱処理されて、前記コーティングが形成されてもよい。前記第1の層は熱溶射及びプラズマ溶射のうちの1つの技術を用いて前記表面に形成されてもよい。前記セラミック材料はカーボン、タングステンカーバイド及びシリコンカーバイドのうちの1つを含むものであってもよい。このような溶射技術においては、前記表面の温度は部分的に700℃にまで達することがある。材料のひずみ開放による棚の屈曲を避けるために、溶射技術の実施の際に適宜の冷却を確保すべく前記第1及び第2の板の間で伝熱流体を流してもよい。
別法として又は付随的に、前記コーティングは、それが形成される前記表面より大きな粗さを有してもよい。棚の表面の粗さが大きくなると、ストッパーが容器内へと押し込まれる際に棚とストッパーとの間の接触面積が減少する。これにより、ストッパーと容器との間での付着が減少する。更に、粗さの程度によっては、棚とストッパーとの間での真空空隙の形成を阻止することができる。
第2の実施態様においては、前記表面の粗さを増大させるために表面にコーティングを形成するのではなく、前記表面自体が、容器内へとゴム製のストッパーを押し込むように前記ストッパーに圧力を印加する間に前記ストッパーが前記第1及び第2の板のうちの一方の板の表面に押し付けられて前記棚に付着せしめられるのを阻止するように、粗面化される。前記表面の粗さを増大させるように該表面から材料を除去すべく、該表面はレーザービーム、電子ビーム及び化学エッチングのうちの1つを用いて処理されてもよい。或いは、表面の粗さを増大させるために、該表面に材料を堆積または付着させてもよい。ストッパーによる閉じ手順の間にストッパーと接触する前記表面における“ピーク”のサイズ及び/または間隔に対する良好な制御を提供すべく、前記処理により前記表面に規則的な表面パターンが形成されてもよい。前記表面パターンは、クロスハッチング、平行線及びドット配列のうちの1つを含むものであってもよい。例えば、表面に対する材料の付加を棚の表面に対するワイヤーメッシュの付着により行い、これによりストッパーと接触するピークの規則的パターンを提供してもよい。ストッパーは、比較的少ない例えば2つまたは3つのピークから圧力を受けて容器内に挿入されてもよい。そこで、1つの例においては、ピークは2乃至3mmの範囲の周期を持つ。
凍結乾燥機の棚の製造方法は、好ましくは、前記第1及び第2の板の間に伝熱流体を流すための少なくとも1つの流通チャンネルを規定するように前記第1及び第2の板の間にスペーサーを配置する工程と、前記スペーサーを前記第1及び第2の板に取り付ける工程とを有し、前記板への前記スペーサーの取り付けの後に、前記表面を処理する。前記スペーサーは、好ましくは、接着剤を用いて又は真空ロウ付けの技術を用いて、前記板に取り付けられる。
本発明の第2の局面によれば、
互いに対向して平行に配置された第1及び第2の板を有しており、
これら第1及び第2の板の間には、伝熱流体を流すための少なくとも1つの流通チャンネルが形成されており、
前記第1及び第2の板のうちの一方の板は、容器内へとゴム製のストッパーを押し込むように前記ストッパーに圧力を印加する間に前記ストッパーが前記第1及び第2の板のうちの一方の板の表面に押し付けられて前記棚に付着せしめられるのを阻止するように処理された表面を有することを特徴とする、凍結乾燥機の棚、
が提供される。
上記のように、1つの実施態様においては、前記表面には、容器内へとゴム製のストッパーを押し込むように前記ストッパーに圧力を印加する間に前記ストッパーが前記第1及び第2の板のうちの一方の板の表面に押し付けられて前記棚に付着せしめられるのを阻止するコーティングが形成されている。他の実施態様においては、前記表面は、容器内へとゴム製のストッパーを押し込むように前記ストッパーに圧力を印加する間に前記ストッパーが前記第1及び第2の板のうちの一方の板の表面に押し付けられて前記棚に付着せしめられるのを阻止するように、粗面化されている。
本発明の第3の局面によれば、
複数の棚を収納するチャンバーを有する凍結乾燥機であって、前記棚のそれぞれは、
互いに対向して平行に配置された第1及び第2の板を有しており、
これら第1及び第2の板の間には、伝熱流体を流すための少なくとも1つの流通チャンネルが形成されており、
前記第1及び第2の板のうちの一方の板は、容器内へとゴム製のストッパーを押し込むように前記ストッパーに圧力を印加する間に前記ストッパーが前記第1及び第2の板のうちの一方の板の表面に押し付けられて前記棚に付着せしめられるのを阻止するように処理された表面を有する、
ことを特徴とする凍結乾燥機の棚、
が提供される。
本発明の方法的局面に関して上述した特徴は、装置(棚及び凍結乾燥機)の局面に関しても当てはまる。逆も同様である。
1枚の板を取り外して示す、凍結乾燥機の棚の平面図である。 図1の凍結乾燥機の棚の部分斜視図である。 本発明の第1の実施形態を示す、図2の凍結乾燥機の棚の部分拡大図である。 本発明の第2の実施形態を示す、図2の凍結乾燥機の棚の部分拡大図である。 図4の凍結乾燥機の棚の板12の露出表面を示す平面図である。 本発明の第3の実施形態を示す、図2の凍結乾燥機の棚の部分拡大図である。
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい特徴につき説明する。
図1及び図2を参照して、凍結乾燥装置の棚10は、1組の第1及び第2の板12,14を有する。双方の板は平坦で互いに平行に隔てられて配置されている。第1及び第2の板12,14の間に形成されるスペースには、複数のリブ16が配置されている。これらのリブ16は、互いに離隔しており、第1及び第2の板12,14の間を流される伝熱流体のための少なくとも1つの流通チャンネル18を規定する。これに関して、リブ16は、実質上互いに平行で千鳥状に配置されており、棚10を通るジグザグ流通路を形成する。これにより、圧力低下を最小限にする。リブ16は、好ましくは、矩形状の中空管であるが、第1及び第2の板12,14と接する細長い平面を持つものであれば、他の形状のものであってもよい。
棚10は、バーまたはロッド26,28,30,32からなるフレーム24により周囲をシールされている。各バーまたはロッドは、実質上正方形または矩形状の断面を有する。ロッドは端部同士を接続されており、第1及び第2の板12,14に固定されている。伝熱流体は流体入口及び流体出口により棚へと入り及び棚から出る。流体入口及び流体出口は、内部孔を備えた入口及び出口のタブ部38,40に接続された入口及び出口のパイプ34,36により形成される。伝熱流体は、タブ部38,40の内部孔のそれぞれと接続され、ロッド26,28中に画定された開口部(アパーチャ)を通じて、流通チャンネル18に入り又そこから出る。入口及び出口のパイプ34,36は、ホースに接続される。ホースは、伝熱流体用外部回路に接続される。外部回路は、一般に、伝熱流体を循環させるポンプ、凍結乾燥プロセスの凍結段階の間に冷媒流体を冷却する冷却回路、及び凍結乾燥プロセスの昇華段階の間に冷媒流体を加熱する電気ヒーターを含む。凍結乾燥機のチャンバー内にて棚10を他の棚に接続する支持ロッドを受け入れるために、棚10の外周に支持ブロックを設けることができる。
凍結乾燥機の棚10の上記全てのコンポーネントは、好ましくは、ステンレススチールからなる。棚10を製造するには、接着剤を用いて又はロウ付けにより板12,14をリブ16に取り付けることができる。ロウ付けにより棚を組み立てるには、第1の板12とリブ16の下面22との間、及び第2の板14とリブ16の上面20との間に、それぞれ、自己接着型のバッキングまたはロウ付けのテープ上のニッケルまたは銅系の粉末をサンドイッチする。得られた組立体を、グラファイトブロックまたは適宜の伝熱性材料の間にサンドイッチして、真空炉内に置く。この組立体を、炉中で室温からニッケルの融点約482℃の約10℃以内の温度まで加熱する。次いで、温度を安定化させ、再び、ニッケルの融点及びステンレススチールの結晶化温度まで加熱する。この温度で15乃至20分間安定化させ、コンポーネントの組立体の応力緩和を行う。その後、炉を約12時間かけて204℃まで冷却し、この温度で窒素などの不活性なガスで組立体全体をクエンチする。その後、組立体を室温まで放冷する。次に、端板30,32を板12,14に溶接し、好ましくは、研削し、平滑化し、研摩する。
棚10の上記コンポーネントの組立に続いて、第1の板12の露出面(図では下側の面)50に対するゴム製ストッパー付着防止の処理を行う。このようなストッパーの付着は、容器内へとゴム製のストッパーを押し込むようにストッパーに圧力を印加する間にストッパーが表面50に押し付けられるときに発生することがある。図3乃至図6を参照して後述するように、棚の表面50は、容器閉じ手順の間、棚10にゴム製ストッパーが付着するのを防止するために、各種のやり方で処理を施すことができる。
図3に示される第1の実施形態では、表面50は、容器閉じ手順の間、棚10にゴム製ストッパーが付着するのを防止するコーティング60を形成することで処理されている。本実施形態において、コーティングは2つの互いに異なる材料の複合コーティングである。第1層は、セラミック材料たとえばカーボン、タングステンカーバイド及びシリコンカーバイドからなり、表面50に熱溶射またはプラズマ溶射の技術を用いて形成される。この溶射技術においては、表面50の温度は部分的に700℃にもなる。そこで、溶射の間に棚10を通って伝熱流体を流して表面50から熱を除去し、これにより棚の反りを防止すことができる。表面50へのセラミック材料の溶射の終了後、疎水性または非濡れ性の材料たとえばテフロン(Teflon)[登録商標]からなる第2の層を第1の層上に形成する。そして、第1及び第2の層を150乃至350℃の範囲内好ましくは200乃至250℃の範囲内の温度で加熱処理して、コーティング60を形成する。
コーティング60は、2つの機能を発揮する。第1に、コーティング60は、疎水性界面を形成する。これにより、棚10がストッパーに押圧されるとき、コーティング60とストッパーとの間に形成される擬似粘性層を介してストッパーが棚10に付着するのを防止する。第2に、コーティング60は、それが付されているステンレススチールの表面より大きな表面粗さを有する。容器閉じ手順の間ストッパーと接触する棚10の表面の粗さが大きくなると、ストッパーが容器内へと押し込まれるときに、棚10とストッパーとの間の接触面積が減少し、このためストッパーと容器との間の付着が低減される。さらに、粗さの程度によっては、棚10とストッパーとの間の真空空隙の形成が阻止される。
図4及び図5は、表面50がレーザービーム、電子ビーム及び化学エッチングのうちの1つを用いて処理される第2の実施形態を示す。図4にピット70として示されるように、表面50から材料を除去することで粗さが増大し、これにより容器閉じ手順の間に表面50へと押し付けられるゴム製ストッパーが棚10に付着するのを阻止する。この表面処理により、閉じ手順の間にストッパーと接触する表面50における“ピーク”のサイズ及び/または間隔に対する制御を提供するような規則的な表面パターン70が表面50に形成される。表面パターンは、クロスハッチング(図5に示されるようなもの)、平行線及びドット配列のうちの1つを含むものであってもよい。図5に示される例においては、ピークは2乃至3mmの範囲の周期を持つ。
図6は、表面50がワイヤーメッシュ80の付加により粗面化される第3の実施形態を示す。ここでも、表面50の粗さが増大し、閉じ手順の間にストッパーと接触する表面50におけるピークのサイズ及び/または間隔に対する制御が提供される。

Claims (8)

  1. 互いに対向して平行に配置された第1及び第2の板を有する凍結乾燥機の棚を製造する方法であって、
    前記方法は、容器内へとゴム製のストッパーを押し込むように前記ストッパーに圧力を印加する間に前記ストッパーが前記第1及び第2の板のうちの一方の板の表面に押し付けられて付着せしめられるのを阻止するように、前記表面を処理する工程を有しており、
    前記表面を処理する工程は、前記表面を粗面化する工程を含み、
    前記表面を粗面化する工程は、容器内へとゴム製のストッパーを押し込むように前記ストッパーに圧力を印加する間に前記ストッパーが前記第1及び第2の板のうちの一方の板の表面に押し付けられて前記棚に付着せしめられるのを阻止するようなコーティングを前記表面に形成することにより行われ、前記コーティングは、前記表面に適用され、前記コーティングは、2つの層からなる複合コーティングであり、前記表面にはセラミック材料の第1の層が溶射され、前記第1の層には非濡れ性の材料の第2の層が適用され、次いで前記第1及び第2の層が加熱処理されて、前記コーティングが形成され、前記表面から熱を除去し、これにより棚の反りを防止するために、溶射により前記表面に前記第1の層を形成する際に、前記第1及び第2の板の間に伝熱流体を流すことを特徴とする、凍結乾燥機の棚の製造方法。
  2. 前記コーティングは、前記第1及び第2の板のうちの一方の板の前記表面より大きな粗さを有することを特徴とする、請求項1に記載の凍結乾燥機の棚の製造方法。
  3. 前記第1の層は熱溶射及びプラズマ溶射のうちの1つの技術を用いて前記表面に形成されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の凍結乾燥機の棚の製造方法。
  4. 前記セラミック材料はカーボン、タングステンカーバイド及びシリコンカーバイドのうちの1つを含むことを特徴とする、請求項1乃至のいずれか一項に記載の凍結乾燥機の棚の製造方法。
  5. 前記非濡れ性の材料はテフロン(登録商標)であることを特徴とする、請求項1乃至のいずれか一項に記載の凍結乾燥機の棚の製造方法。
  6. 前記第1及び第2の層は、150乃至350℃の範囲内、好ましくは200乃至250℃の範囲内の温度に加熱されることを特徴とする、請求項1乃至のいずれか一項に記載の凍結乾燥機の棚の製造方法。
  7. 前記第1及び第2の板の間に伝熱流体を流すための少なくとも1つの流通チャンネルを規定するように前記第1及び第2の板の間にスペーサーを配置する工程と、前記スペーサーを前記第1及び第2の板に取り付ける工程とを有し、
    前記板への前記スペーサーの取り付けの後に、前記第1及び第2の板のうちの一方の板の表面を処理することを特徴とする、請求項1乃至のいずれか一項に記載の凍結乾燥機の棚の製造方法。
  8. 前記スペーサーは、接着剤を用いて又は真空ロウ付けの技術を用いて、前記板に取り付けられることを特徴とする、請求項に記載の凍結乾燥機の棚の製造方法。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011008245A1 (en) * 2009-07-14 2011-01-20 Ima Life North America Inc. Enhanced freeze dryer shelf manufacturability through the use of open shape or line contact spacers
CN101839621A (zh) * 2010-03-16 2010-09-22 上海东富龙制药设备制造有限公司 一种冻干机钎焊板层结构
CN101782310A (zh) * 2010-03-16 2010-07-21 上海东富龙制药设备制造有限公司 一种冻干机钎焊板层
US9604428B2 (en) 2010-08-24 2017-03-28 James Walker Ventilated structural panels and method of construction with ventilated structural panels
US9091049B2 (en) * 2010-08-24 2015-07-28 James Walker Ventilated structural panels and method of construction with ventilated structural panels
CN102029477A (zh) * 2010-12-01 2011-04-27 上海共和真空技术有限公司 一种用于冻干机的板层的焊接结构及其焊接方法
JP6659591B2 (ja) * 2014-06-09 2020-03-04 テルモ ビーシーティー、インコーポレーテッド 凍結乾燥
US9823018B2 (en) * 2014-10-08 2017-11-21 Robert M. Parker Heated shelf apparatus and freeze dry cart using same
EP3765805A4 (en) * 2018-03-14 2021-12-01 SP Industries, Inc. MEANS AND PROCEDURES FOR SELECTIVE SHELF TEMPERATURE CONTROL
CN110953863B (zh) * 2019-12-05 2020-11-27 太湖县银丰棉业有限公司 一种棉花加工用烘干装置组件
CN117367040A (zh) 2023-11-03 2024-01-09 甘肃省药品检验研究院 一种中药材冷冻干燥的加工装置

Family Cites Families (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB922493A (en) * 1960-04-12 1963-04-03 Edwards High Vacuum Ltd Improvements in or relating to freezedrying of foodstuffs
BE621641A (ja) * 1961-08-22
US3264756A (en) * 1964-06-01 1966-08-09 Pennsalt Chemicals Corp Drying tray
US3448556A (en) * 1965-12-06 1969-06-10 Everett Ray Taggart Apparatus for preserving biological and like preparations
US3419414A (en) * 1966-08-29 1968-12-31 Boeing Co Wear-resistant repellent-finished article and process of making the same
US3545097A (en) * 1968-12-09 1970-12-08 Pennwalt Corp High thermal conductivity plastic tray for freeze drying of products
US3876729A (en) * 1971-05-03 1975-04-08 Ciba Geigy Corp Graft copolymers of a backbone polmer and a perfluoroalkyl group containing monomer derived from fumaric and related acids
US3837895A (en) * 1972-05-18 1974-09-24 Olin Corp Organic resin-glass-metal composite
US4109396A (en) * 1976-12-06 1978-08-29 Fts Systems, Inc. Method and apparatus for an improved shelf and tray assembly for a freeze dryer
US4204021A (en) * 1978-12-26 1980-05-20 Ferro Corporation Article of manufacture having composite layer affording abrasion resistant and release properties
JPS6015867B2 (ja) * 1980-07-04 1985-04-22 日本真空技術株式会社 真空凍結乾燥装置
US4311755A (en) * 1980-12-29 1982-01-19 E. I. Du Pont De Nemours And Company Non-stick coated steel article
US4434197A (en) * 1982-08-25 1984-02-28 N. F. Industries, Inc. Non-stick energy-modifying cooking liner and method of making same
US4897439A (en) * 1986-07-01 1990-01-30 Edlon Products, Inc. Polymer-metal bonded composite and method of producing same
JPH0694200B2 (ja) * 1988-10-04 1994-11-24 フジマル工業株式会社 アルミニウム面の被覆方法
US4993171B1 (en) * 1989-11-22 1996-07-02 Boc Group Inc Covering for a hydraulic ram of a freeze dryer
JPH07106747B2 (ja) 1990-05-11 1995-11-15 東京シリコーン株式会社 接着剤収納容器、カッター、焼菓子用スチールベルト、移送パイプ、タイヤ製造用の治具、タイヤ製造用機械設備の部品、防汚体、未加硫ゴムの付着防止方法および粘着物の付着防止方法
JPH05228423A (ja) 1992-02-20 1993-09-07 Nippon Futsuso Kogyo Kk 非粘着性コーティング層
US5519946A (en) * 1992-03-12 1996-05-28 The Boc Group, Inc. Freeze dryer shelf
US5411771A (en) * 1993-04-29 1995-05-02 Tsai; Tung-Hung Method for coating metal cookware
IT231979Y1 (it) * 1993-10-01 1999-08-10 Zanussi Elettrodomestici Apparecchio frigorifero con dispositivo perfezionato di congelazione
US5545439A (en) * 1994-12-02 1996-08-13 Deng; Chih-Chiang Method for coating a metal cookware
WO1996019300A1 (en) * 1994-12-22 1996-06-27 E.I. Du Pont De Nemours And Company Cookware with smooth-rough pattern
US5728455A (en) * 1994-12-22 1998-03-17 E. I. Du Pont De Nemours And Company Randomly patterned cookware
US5874162A (en) * 1996-10-10 1999-02-23 International Business Machines Corporation Weighted sintering process and conformable load tile
US5874489A (en) * 1996-10-15 1999-02-23 E. I. Du Pont De Nemours And Company Nonstick finish for molding articles
US5701745A (en) * 1996-12-16 1997-12-30 Praxair Technology, Inc. Cryogenic cold shelf
US5827573A (en) * 1997-03-17 1998-10-27 Tsai; Tung-Hung Method for coating metal cookware
US6123999A (en) * 1997-03-21 2000-09-26 E. I. Du Pont De Nemours And Company Wear resistant non-stick resin coated substrates
JPH1147234A (ja) 1997-07-29 1999-02-23 Naniwa Rubber Kogyo Kk 医療用ゴム栓
JPH11124535A (ja) * 1997-10-24 1999-05-11 Daikin Ind Ltd 架橋性含フッ素樹脂水性分散組成物
DE69823051T2 (de) * 1997-10-24 2005-03-17 Daikin Industries, Ltd. Wässrige harzdispersionszusammensetzung
JP3271567B2 (ja) * 1997-11-18 2002-04-02 ダイキン工業株式会社 合成樹脂水性分散組成物
US6291054B1 (en) * 1999-02-19 2001-09-18 E. I. Du Pont De Nemours And Company Abrasion resistant coatings
US6403213B1 (en) * 1999-05-14 2002-06-11 E. I. Du Pont De Nemours And Company Highly filled undercoat for non-stick finish
JP4601127B2 (ja) * 2000-06-06 2010-12-22 住友ゴム工業株式会社 医療用ゴム栓
JP3530832B2 (ja) * 2001-05-11 2004-05-24 住友ゴム工業株式会社 医療用ゴム栓
GB0113783D0 (en) * 2001-06-06 2001-07-25 Int Coatings Ltd Powder coating process
US6797223B2 (en) * 2001-09-10 2004-09-28 Wrh Industries, Ltd. Non-stick food processing, domestic and industrial equipment and process of using same
US6638600B2 (en) * 2001-09-14 2003-10-28 Ferro Corporation Ceramic substrate for nonstick coating
US6846504B1 (en) * 2002-07-19 2005-01-25 Elizabeth Gail Yarnell Method of cooking complete meal in one vessel
DE20212324U1 (de) * 2002-08-09 2002-12-19 Schott Glas Reinigungsfreundliche Vorrichtung
US20040115477A1 (en) * 2002-12-12 2004-06-17 Bruce Nesbitt Coating reinforcing underlayment and method of manufacturing same
CN1240331C (zh) * 2004-02-02 2006-02-08 吉林大学 不粘炊具
US7488515B2 (en) * 2004-03-19 2009-02-10 All-Clad Metalcrafters Llc Method of making non-stick cookware
JP4372594B2 (ja) * 2004-03-30 2009-11-25 富士フイルム株式会社 セルロース微細多孔質膜の製造方法
GB0417309D0 (en) * 2004-08-03 2004-09-08 Micropharm Ltd Freeze-drying apparatus
US20060272511A1 (en) * 2005-03-21 2006-12-07 Samantha Dreimann Electric cooking apparatus having interchangeable cooking inserts and method for using same
PT103353B (pt) * 2005-09-21 2007-10-24 Faria & Bento Lda Cerâmica para chama directa com revestimento interior e exterior antiaderente

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