KR20190009839A - 마이크로파 경화에 의한 폴리머 열 팽창 계수(cte) 튜닝을 위한 방법들 - Google Patents

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Abstract

열 팽창 계수를 튜닝하기 위해 폴리이미드를 경화시키는 방법들이 본원에 제공된다. 일부 실시예들에서, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법은: (a) 폴리머 층 및 기판을 제1 온도로 가열하도록 가변 주파수 마이크로파 에너지를 기판에 인가하는 단계; 및 (b) 폴리머 층 및 기판의 온도를 제2 온도로 증가시켜 폴리머 층을 경화시키도록 가변 주파수 마이크로파 에너지를 조정하는 단계를 포함한다.

Description

마이크로파 경화에 의한 폴리머 열 팽창 계수(CTE) 튜닝을 위한 방법들
[0001] 본 개시내용의 실시예들은 일반적으로, 마이크로파 에너지를 사용하여 폴리머들을 경화(cure)시키는 것에 관한 것이다.
[0002] 다양한 전도성 및 비-전도성 폴리머성(polymeric) 재료들의 층들이 생산을 위한 다양한 스테이지들 동안 반도체 웨이퍼들에 적용된다. 폴리이미드는, 반도체 제조에서 빈번하게 사용되는 폴리머 재료이다. 폴리이미드는 종종, 반도체 웨이퍼들을 위한 절연 재료로서 사용된다.
[0003] 열팽창 계수(CTE; coefficient of thermal expansion)는, 반도체 산업에서의 폴리머 응용에서 중요한 폴리머 특성이다. 예컨대, 팬-아웃(fan-out) 웨이퍼 레벨 패키징에서, 종종 다수의 폴리이미드 층들이 사용된다. 열적 프로세스들 동안, 다른 인접 재료들(이를테면, 에폭시 또는 금속들)에 대한 폴리이미드 CTE의 미스매치(mismatch)는, 웨이퍼 뒤틀림, 패턴 균열들, 및 폴리머/금속 박리를 증가시킴으로써 수율 손실을 야기할 수 있다.
[0004] 따라서, 본 발명자들은, 열 팽창 계수를 튜닝하기 위해 폴리머들(이를테면, 폴리이미드)을 경화시키는 개선된 방법들을 개발하였다.
[0005] 열 팽창 계수를 튜닝하기 위해 폴리이미드를 경화시키는 방법들이 본원에 제공된다. 일부 실시예들에서, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법은: (a) 폴리머 층 및 기판을 제1 온도로 가열하도록 가변 주파수 마이크로파 에너지를 기판에 인가하는 단계; 및 (b) 폴리머 층 및 기판의 온도를 제2 온도로 증가시켜 폴리머 층을 경화시키도록 가변 주파수 마이크로파 에너지를 조정하는 단계를 포함한다.
[0006] 일부 실시예들에서, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법은: (a) 폴리머 층 및 기판을 제1 시간 기간 동안 약 섭씨 170 도 내지 약 섭씨 200도의 제1 온도로 가열하도록 가변 주파수 마이크로파 에너지를 기판에 인가하는 단계; 및 (b) 폴리머 층 및 기판의 온도를 제2 시간 기간 동안 약 섭씨 300 도 내지 약 섭씨 400도의 제2 온도로 증가시켜 폴리머 층을 경화시키도록 가변 주파수 마이크로파 에너지를 조정하는 단계를 포함하며, (a)-(b)는 진공 하에서 마이크로파 프로세싱 챔버 내에서 수행된다.
[0007] 일부 실시예들에서, 기판 상의 폴리이미드 층을 경화시키는 방법은: (a) 폴리이미드 층 및 기판을 약 섭씨 170 도 내지 약 섭씨 200 도의 제1 온도로 가열하기 위해, 약 5.85 GHz 내지 약 6.65 GHz의 범위의 마이크로파 주파수들 및 주파수당 약 0.25 마이크로초 스윕 레이트(sweep rate)의 가변 주파수 마이크로파 에너지를 기판에 인가하는 단계 ― 폴리이미드 층 및 기판은 초당 약 섭씨 0.01 도 내지 약 섭씨 4 도의 제1 레이트로 약 섭씨 25 도로부터 제1 온도로 가열되고, 폴리이미드 층은, 약 10 분 내지 약 60 분의 제1 시간 기간 동안 제1 온도로 유지됨 ―; 및 (b) 폴리이미드 층 및 기판의 온도를 약 섭씨 300 도 내지 약 섭씨 400 도의 제2 온도로 증가시켜 폴리이미드 층을 경화시키도록 가변 주파수 마이크로파 에너지를 조정하는 단계를 포함하며, 폴리이미드 층 및 기판은 초당 약 섭씨 0.01 도 내지 약 섭씨 4 도의 제2 레이트로 제1 온도로부터 제2 온도로 가열되고, 폴리이미드 층은, 약 5 분 내지 약 60 분의 제2 시간 기간 동안 제2 온도로 유지되고, (a)-(b)는 진공 하에서 마이크로파 프로세싱 챔버 내에서 수행된다.
[0008] 본 개시내용의 다른 그리고 추가의 실시예들이 아래에서 설명된다.
[0009] 앞서 간략히 요약되고 하기에서 보다 상세히 논의되는 본 개시내용의 실시예들은 첨부된 도면들에 도시된 본 개시내용의 예시적인 실시예들을 참조하여 이해될 수 있다. 첨부된 도면들은 본 개시내용의 단지 통상적인 실시예들을 예시하는 것이므로 범위를 제한하는 것으로 간주되지 않아야 하는데, 이는 본 개시내용이 다른 균등하게 유효한 실시예들을 허용할 수 있기 때문이다.
[0010] 도 1은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른, 반도체 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법에 대한 흐름도를 도시한다.
[0011] 도 2는 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른, 폴리머 마이크로파 경화 프로세스를 위한 프로세스 챔버의 개략적인 측면도를 도시한다.
[0012] 도 3은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른, 폴리머 마이크로파 경화 프로세스에 대한 온도 프로파일들의 표를 도시한다.
[0013] 이해를 용이하게 하기 위해, 도면들에 공통된 동일한 엘리먼트들을 지정하기 위해 가능한 경우 동일한 참조 번호들이 사용되었다. 도면들은 실척대로 도시되지 않았으며, 명확성을 위해 단순화될 수 있다. 일 실시예의 엘리먼트들 및 피쳐(feature)들은 추가의 언급 없이 다른 실시예들에 유익하게 포함될 수 있다.
[0014] 열 팽창 계수를 튜닝하기 위해 폴리이미드를 경화시키는 개선된 방법들이 본원에 개시된다. 본 개시내용의 실시예들은 유리하게는, 인접한 재료들의 열 팽창 계수(CTE)와 매칭하거나 실질적으로 매칭하도록 넓은 범위에 걸쳐 폴리머(이를테면, 폴리이미드)의 CTE를 튜닝하는 능력을 갖는다. 폴리이미드의 CTE를 튜닝하는 능력은, 임의의 후속하는 열적 프로세스에 대한 프로세스 마진을 넓히고, 기판에서의 균열 및 응력을 감소시키고, 그리고 웨이퍼 수율 및 신뢰성을 개선한다. 본 개시내용의 실시예들은 추가로, 유리하게는, 폴리이미드의 이미드화(imidization) 반응 효율을 개선하고, 폴리이미드 분자 정렬을 개선하고, 경화 후의 폴리이미드 막에서의 응력을 감소시키고, 그리고 경화 프로세스로부터의 휘발성 잔류물을 제거한다. 본 개시내용의 실시예들은 유리하게는, 반도체 제조 응용들, 이를테면, 팬 아웃 웨이퍼 레벨 패키징 애플리케이션들에서 사용될 수 있다.
[0015] 도 1은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른, 반도체 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법(100)의 흐름도를 도시한다. 폴리머 층을 갖는 반도체 기판이 도 2에 관하여 아래에 논의되는 바와 같은 적절한 마이크로파 프로세싱 챔버 내에 배치된다. 일부 실시예들에서, 폴리머 층은 폴리이미드이다. 폴리이미드는, 예컨대, 반도체 웨이퍼들을 위한 절연 재료로서 반도체 제조에서 빈번하게 사용된다.
[0016] 방법(100)은 진공(예컨대, 약 50 내지 약 1e-6 Torr 또는 그 미만)에서 수행된다. 본 발명자들은, 진공에서 방법(100)을 수행하는 것이, 경화 프로세스 동안 형성되는 휘발성 전구체(예컨대, 가스들 및 증기들) 잔류물을 제거하는 것을 돕는다는 것을 관측하였다. 종래의 비-마이크로파 경화는 고압(예컨대, 약 1 기압, 또는 약 760 Torr)에서 발생하며, 그에 따라, 고온을 사용하여 잔류물들을 제거한다.
[0017] 방법(100)은 102에서 시작되며, 여기서, 폴리머 층(예컨대, 폴리이미드 층) 및 기판을 제1 온도로 가열하기 위해 가변 주파수 마이크로파 에너지가 기판(예컨대, 반도체 기판)에 인가된다. 폴리머 층은, 대략 실온(예컨대, 약 섭씨 25 도)으로부터 약 섭씨 170 도 내지 약 섭씨 200 도의 제1 온도로 가열된다. 폴리머 층이 가열되어, 폴리머 층에 있는 임의의 잔류 용매들이 제거된다. 일부 실시예들에서, 폴리머 층은, 초당 약 섭씨 0.01 도 내지 약 섭씨 4 도, 이를테면, 초당 약 섭씨 2 도의 제1 레이트로 실온으로부터 제1 온도로 가열된다. 폴리머 층은, 임의의 잔류 용매들을 제거하기에 충분한 제1 시간 기간 동안 제1 온도로 유지된다. 일부 실시예들에서, 제1 시간 기간은 약 10 분 내지 약 60 분이다. 또한, 폴리머 층은, 폴리머 층의 CTE를 튜닝하거나 제어하도록 선택된 제1 시간 기간 동안 제1 온도로 유지된다. 이론에 구속되도록 바라지 않으면서, 본 발명자들은, 폴리머 층을 제1 시간 기간 동안 제1 온도로 유지하는 것이, 폴리머 층의 일부 분자 정렬 또는 하드닝(hardening)이 발생할 수 있게 한다고 여긴다. 폴리머 층이 더 높은 온도(이를테면, 아래에 논의되는 제2 온도)로 가열될 때, 분자들 중 다수가 정렬된 포지션에 고정되어, 분자들 사이의 자유 공간이 거의 없는 것의 결과로서 더 낮은 CTE가 초래된다.
[0018] 폴리머 층 및 반도체 기판의 온도는, 폴리머 층 및 반도체 기판에 인가되는 마이크로파 에너지의 양에 의해 제어된다. 공급되는 마이크로파 에너지의 양이 클수록 폴리머 층 및 반도체 기판의 온도가 높다. 일부 실시예들에서, 반도체 기판은, 넓은 C-밴드 소스로부터 약 5.85 GHz 내지 약 6.65 GHz의 범위의 마이크로파 주파수들로 마이크로파 에너지를 받게 된다. 일부 실시예들에서, 스윕 레이트는, C-밴드의 4096개의 주파수들에 걸쳐 주파수당 약 0.25 마이크로초이다. 가변 주파수 및 고속 스위핑의 사용은, 정재파(standing wave) 형성 및 전하 축적을, 그리고 회전 열 부하(rotating thermal load)에 대한 필요성을 방지한다. 가변 주파수의 사용은 또한, 기판에 걸친 균일한 온도 분포를 허용한다. 마이크로파 에너지의 인가는 또한, 기판(예컨대, 실리콘 웨이퍼)이 직접 가열기 자체가 되는 것을 초래한다.
[0019] 다음으로, 104에서, 가변 주파수 마이크로파 에너지는, 폴리머 층을 경화시키기 위해, 폴리머 층 및 반도체 기판의 온도를 제1 온도보다 높은 제2 온도로 증가시키도록 조정된다. 폴리머 층 및 반도체 기판의 온도는, 약 섭씨 300 도 내지 약 섭씨 400 도의 제2 온도로 증가된다. 일부 실시예들에서, 폴리머 층은, 초당 약 섭씨 0.01 도 내지 초당 약 섭씨 4 도, 이를테면, 초당 약 섭씨 2 도의 제2 레이트로 제1 온도로부터 제2 온도로 가열된다. 폴리머 층은, 약 5 분 내지 약 60 분의 제2 시간 기간 동안 제2 온도로 유지된다.
[0020] 이미드화는, 폴리머 경화 동안 발생하는 주요 화학 반응이다. 본 발명자들은, 종래의 비-마이크로파 경화 방법들과 달리, 마이크로파 경화 방법들은, 폴리이미드 분자들 상의 분극가능 쌍극자들에 직접 에너지를 전달함으로써(이는, 반응 부위들에서 작용기 회전을 야기함) 이미드화를 돕는다는 것을 관측하였다. 부가하여, 마이크로파 경화는, 경화된 폴리머 층에 내재하는 응력을 감소시킬 수 있는 낮은 열 버짓(thermal budget)을 제공한다. 마이크로파 경화는 또한, 폴리머 분자 정렬을 개선한다. 마이크로파 전력은 부가적인 분자 진동을 제공하여, 분자가 더 낮은 에너지 상태(즉, 정돈된(ordered) 층)로 배열되는 경향을 갖는 것을 초래한다. 폴리머 분자 정렬을 개선하는 것은 폴리머 층의 CTE를 낮춘다. 본 발명자들은, 위에 설명된 파라미터들을 제어하는 것이 폴리머 분자 정렬의 양에 대한 제어를 가능하게 하고, 그에 따라, 유리하게는, 폴리머 층의 CTE의 제어 또는 튜닝을 가능하게 한다는 것을 알게 되었다.
[0021] 일부 실시예들에서, 104에 후속하여, 가변 주파수 마이크로파 에너지는 선택적으로, 폴리머 층 및 반도체 기판의 온도를 제2 온도보다 낮은 제3 온도로 감소시키도록 조정될 수 있다. 일부 실시예들에서, 제3 온도는 약 섭씨 250 도 내지 약 섭씨 350 도이다. 일부 실시예들에서, 폴리머 층 및 반도체 기판의 온도는, 초당 약 섭씨 0.01 도 내지 초당 약 섭씨 4 도, 이를테면, 초당 약 섭씨 2 도의 제3 레이트로 감소된다. 폴리머 층은, 약 30 분의 제3 시간 기간 동안 제3 온도로 유지되지만, 다른 시간 기간들이 사용될 수 있다.
[0022] 본 발명자들은, 폴리머 층을 경화시키기 위해 마이크로파 에너지를 인가하고 그리고 온도 프로파일(예컨대, 폴리머 층의 온도, 온도 램프(ramp) 레이트, 및 소크(soak) 시간)을 조정함으로써, 폴리머 층의 열 팽창 계수(CTE)가 넓은 범위(예컨대, 약 21 내지 약 58)에 걸쳐 튜닝될 수 있다는 것을 관측하였다.
[0023] 도 3은, 위에 언급된 넓은 전체 범위 내의 폴리이미드 CTE를 제공하는 몇몇 예시적인 온도 프로파일들의 표(300)를 도시한다. 도면(300)은, 실온으로부터 열(304)에 도시된 제1 온도까지의 온도 램프 레이트를 도시하는 열(302)을 도시한다. 열(306)은, 반도체 기판이 제1 온도로 유지되는 제1 시간량을 도시한다. 도면(300)은 추가로, 제1 온도로부터 열(310)에 도시된 제2 온도까지의 온도 램프 레이트를 도시하는 열(308)을 도시한다. 열(312)은, 반도체 기판이 제2 온도로 유지되는 제2 시간량을 도시한다. 열(314)은, 제2 온도로부터 열(316)에 도시된 제3 온도까지의 온도 램프 레이트를 도시한다. 열(318)은, 반도체 기판이 제3 온도로 유지되는 제3 시간량을 도시한다. 열(320)은, 각각의 행에 사용된 예시적인 온도 프로파일로부터의 CTE 값을 도시한다.
[0024] 도 2는, 위에 설명된 방법(100)을 수행하기 위한 적절한 마이크로파 프로세싱 챔버(200)를 도시한다. 마이크로파 프로세싱 챔버(200)는 팔각형 바디(body)(202)를 포함한다. 팔각형 바디(202)는, 마이크로파 챔버로서 사용하기에 충분한 두께를 갖는다. 팔각형 바디(202)는, 제1 볼륨(volume)(206)을 갖는 팔각형 캐비티(cavity )(204)를 포함한다. 재료들이 마이크로파 경화될 하나 이상의 기판들(210)(예컨대, 반도체 웨이퍼들 또는 다른 기판들)은, 경화 동작들 동안 팔각형 캐비티(204) 내에 배치될 수 있다. 팔각형 바디(202)의 최상부(218)는 제1 볼륨(206)을 시일링(seal)하기 위해 리드(lid)(220)를 갖는다.
[0025] 팔각형 바디(202)는, 가변 주파수 마이크로파 에너지를 수신하는 데 적절하다. 팔각형 바디(202)는, 제1 볼륨(206)에 유체유동가능하게(fluidly) 커플링되는 복수의 개구들(208)을 더 포함한다. 복수의 개구들(208)은, 제1 볼륨(206)으로의 마이크로파 에너지의 전달을 가능하게 한다. 복수의 개구들(208)은 적절한 가변 주파수 마이크로파 소스(238)에 커플링된다. 일부 실시예들에서, 각각의 개구(208)는 직사각형일 수 있다. 일부 실시예들에서, 각각의 개구(208)는, 제1 볼륨(206)에 대면하는 개구쪽의 개구를 확장시키는 각진(angled) 측벽들을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 개구들(208)은 팔각형 바디(202)를 따라, 엇갈리게 있거나 이격된다. 일부 실시예들에서, 팔각형 바디(202)는 4개의 개구들(208)을 포함하며, 여기서, 4개의 개구들(208) 중 2개는 서로 대향하게 팔각형 바디(202)를 따라 배치되고, 나머지 2개의 개구들(208)은 서로 대향하지만 처음 2개의 개구들(208)에 대향하지는 않게 팔각형 바디(202)를 따라 배치된다. 일부 실시예들에서, 각각의 개구(208)는 팔각형 바디(202)를 따른 단일 개구이다. 일부 실시예들에서, 각각의 개구(208)는 팔각형 바디(202)를 따른 다수의 개구들을 포함한다.
[0026] 팔각형 바디(202)는, 제1 볼륨(206)에 유체유동가능하게 커플링되는 하나 이상의 포트들(212)을 포함한다. 하나 이상의 온도 센서들(214, 216)이 포트들(212) 내에 배치되어, 제1 볼륨(206) 내의 하나 이상의 반도체 기판들의 온도를 측정한다. 온도 센서들(214, 216)은 PID 제어기(236)에 커플링되고, PID 제어기(236)는, 마이크로파 프로세싱 챔버(200)에 공급되는 마이크로파 전력량을 제어하기 위해 가변 주파수 마이크로파 소스(238)에 커플링된다. 배기 포트(도시되지 않음)가 팔각형 바디(202)에 커플링될 수 있고, 방법(100)을 수행하기에 적절한 제1 볼륨(206) 내에 진공을 생성하기 위해 제1 볼륨(206)에 유체유동가능하게 커플링될 수 있다.
[0027] 마이크로파 프로세싱 챔버(200)는, 하부 챔버(224)를 갖는 기판 이송 장치(222)를 더 포함한다. 하부 챔버(224)는, 팔각형 바디(202) 아래에 배치되고 그리고 팔각형 바디(202)에 커플링된다. 하부 챔버(224)는, 하나 이상의 기판들(210)(이를테면, 반도체 기판들)을 홀딩(hold)하는 제2 볼륨(226)을 포함한다. 제2 볼륨(226)은 제1 볼륨(206)에 유체유동가능하게 커플링된다. 일부 실시예들에서, 하나 이상의 기판들(210)은 스택형(stacked) 구성으로 서로 평행하게 정렬된다.
[0028] 하부 챔버(224)로부터 팔각형 캐비티(204)의 제1 볼륨(206) 내로 하나 이상의 기판들(210)을 리프팅(lift)하기 위해 리프트 메커니즘(228)이 제공된다. 리프트 메커니즘(228)은, 액추에이터(actuator), 모터 등과 같은 임의의 적절한 리프트 메커니즘일 수 있다. 일부 실시예들에서, 리프트 메커니즘(228)은, 하부 챔버(224)에 배치될 수 있거나 팔각형 캐비티(204)의 제1 볼륨(206) 내로 이동될 수 있는 기판 지지부(230)에 커플링된다.
[0029] 일단 하나 이상의 기판들(210)이 팔각형 캐비티(204)의 제1 볼륨(206) 내로 상승되면, 기판 지지부(230)에 커플링된 하부 플레이트(232)는, 제1 볼륨(206) 내의 미리 결정된 압력을 유지하고 마이크로파들이 빠져 나가는 것을 방지하기 위해, 하부 챔버(224)의 제2 볼륨(226)을 팔각형 캐비티(204)의 제1 볼륨(206)으로부터 시일링한다. 하부 플레이트(232)는, 하부 플레이트(232)와 어댑터(adapter)(234) 사이에 갭이 존재하지 않거나 최소의 갭이 존재하고 그에 따라 제1 볼륨(206)을 시일링하도록, 어댑터(234)에 맞닿게 버트 업(butt up against)하거나 그와 정합(mate)된다. 어댑터(234)는 하부 챔버(224)의 내측 표면에 커플링된다.
[0030] 전술한 내용들이 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이지만, 본 개시내용의 다른 그리고 추가적인 실시예들이 본 개시내용의 기본적인 범위로부터 벗어나지 않으면서 안출될 수 있다.

Claims (15)

  1. 기판 상의 폴리머 층을 경화(cure)시키는 방법으로서,
    (a) 폴리머 층 및 기판을 제1 온도로 가열하도록 가변 주파수 마이크로파 에너지를 상기 기판에 인가하는 단계; 및
    (b) 상기 폴리머 층 및 상기 기판의 온도를 제2 온도로 증가시켜 상기 폴리머 층을 경화시키도록 상기 가변 주파수 마이크로파 에너지를 조정하는 단계를 포함하는, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 폴리머 층은 폴리이미드인, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 온도는 약 섭씨 170 도 내지 약 섭씨 200 도인, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 폴리머 층 및 상기 기판은, 초당 약 섭씨 0.01 도 내지 약 섭씨 4 도의 제1 레이트(rate)로 약 섭씨 25 도로부터 상기 제1 온도로 가열되는, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 폴리머 층은, 약 10 분 내지 약 60 분의 제1 시간 기간 동안 상기 제1 온도로 유지되는, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가변 주파수 마이크로파 에너지는, 약 5.85 GHz 내지 약 6.65 GHz의 범위의 마이크로파 주파수들로 제공되는, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 가변 주파수 마이크로파 에너지는, 주파수당 약 0.25 마이크로초의 스윕 레이트(sweep rate)로 제공되는, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 온도는 약 섭씨 300 도 내지 약 섭씨 400 도인, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 폴리머 층 및 상기 기판은, 초당 약 섭씨 0.01 도 내지 초당 약 섭씨 4 도의 제2 레이트로 상기 제1 온도로부터 상기 제2 온도로 가열되는, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  10. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 폴리머 층은, 약 5 분 내지 약 60 분의 제2 시간 기간 동안 상기 제2 온도로 유지되는, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  11. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 폴리머 층 및 상기 기판의 온도를 상기 제2 온도보다 낮은 제3 온도로 감소시키도록 상기 가변 주파수 마이크로파 에너지를 조정하는 단계를 더 포함하는, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제3 온도는 약 섭씨 250 도 내지 약 섭씨 350 도인, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 폴리머 층 및 상기 기판의 온도는, 초당 약 섭씨 0.01 도 내지 초당 약 섭씨 4 도의 제3 레이트로 상기 제2 온도로부터 상기 제3 온도로 감소되는, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 폴리머 층은, 약 30 분의 제3 시간 기간 동안 상기 제3 온도로 유지되는, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
  15. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 (a) 단계 내지 상기 (b) 단계는 진공 하에서 마이크로파 프로세싱 챔버 내에서 수행되는, 기판 상의 폴리머 층을 경화시키는 방법.
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