JP5750259B2 - 導電性金属ペースト - Google Patents
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 438
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 438
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 314
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 claims description 276
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 claims description 254
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 claims description 225
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 180
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 167
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 164
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 127
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 107
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 94
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 62
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 62
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 50
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 46
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 claims description 35
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 239000002052 molecular layer Substances 0.000 claims description 24
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 23
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 22
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 19
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 16
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 16
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical group [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 15
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 15
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 14
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 14
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 13
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 12
- 150000003973 alkyl amines Chemical group 0.000 claims description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 6
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 133
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 49
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 45
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 description 26
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 15
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 15
- JRBPAEWTRLWTQC-UHFFFAOYSA-N dodecylamine Chemical compound CCCCCCCCCCCCN JRBPAEWTRLWTQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 14
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 10
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 10
- MWKFXSUHUHTGQN-UHFFFAOYSA-N decan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCO MWKFXSUHUHTGQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 7
- OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N alpha-ethylcaproic acid Natural products CCCCC(CC)C(O)=O OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- -1 amine compound Chemical class 0.000 description 6
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 6
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 6
- 239000010946 fine silver Substances 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 238000009766 low-temperature sintering Methods 0.000 description 6
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 6
- OBETXYAYXDNJHR-SSDOTTSWSA-M (2r)-2-ethylhexanoate Chemical compound CCCC[C@@H](CC)C([O-])=O OBETXYAYXDNJHR-SSDOTTSWSA-M 0.000 description 5
- 239000005968 1-Decanol Substances 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000011370 conductive nanoparticle Substances 0.000 description 5
- 239000013530 defoamer Substances 0.000 description 5
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N Dodecane Natural products CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 4
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N Silver ion Chemical compound [Ag+] FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- KQNPFQTWMSNSAP-UHFFFAOYSA-N isobutyric acid Chemical compound CC(C)C(O)=O KQNPFQTWMSNSAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 3
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N octanoic acid Chemical compound CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- LAIUFBWHERIJIH-UHFFFAOYSA-N 3-Methylheptane Chemical compound CCCCC(C)CC LAIUFBWHERIJIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 150000007933 aliphatic carboxylic acids Chemical class 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid group Chemical group C(CCCCC)(=O)O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000005065 mining Methods 0.000 description 2
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N silver oxide Chemical compound [O-2].[Ag+].[Ag+] NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000005068 transpiration Effects 0.000 description 2
- YPIFGDQKSSMYHQ-UHFFFAOYSA-N 7,7-dimethyloctanoic acid Chemical compound CC(C)(C)CCCCCC(O)=O YPIFGDQKSSMYHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- MHZGKXUYDGKKIU-UHFFFAOYSA-N Decylamine Chemical compound CCCCCCCCCCN MHZGKXUYDGKKIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N mesitylene Substances CC1=CC(C)=CC(C)=C1 AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001827 mesitylenyl group Chemical group [H]C1=C(C(*)=C(C([H])=C1C([H])([H])[H])C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- IOQPZZOEVPZRBK-UHFFFAOYSA-N octan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCN IOQPZZOEVPZRBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001820 oxy group Chemical group [*:1]O[*:2] 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 239000003495 polar organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 150000003141 primary amines Chemical class 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910001923 silver oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000002345 surface coating layer Substances 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 description 1
- 238000005292 vacuum distillation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
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Description
バインダー樹脂成分を含有していない導電性金属ペーストであって、
該導電性金属ペーストは、金属微細粉末、その表面に被覆剤分子層を有する金属ナノ粒子を、分散溶媒中に均一に分散してなる分散液であり、
該導電性金属ペーストは、150℃〜250℃の範囲に選択する温度で焼結処理を施すことで、前記金属微細粉末と金属ナノ粒子の焼結体からなる導電体層の形成が可能であり;
前記金属微細粉末が、該金属微細粉末を構成する金属種は、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケルからなる群から選択される、一種の金属からなる金属微細粉末、二種以上の金属種からなる金属微細粉末の混合物、あるいは、二種以上の金属種からなる合金からなる金属微細粉末のいずれかであり;
前記金属ナノ粒子は、該金属ナノ粒子を構成する金属種は、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケルからなる群から選択される、一種の金属からなる金属ナノ粒子、二種以上の金属種からなる金属ナノ粒子の混合物、あるいは、二種以上の金属種からなる合金からなる金属ナノ粒子のいずれかであり;
前記金属微細粉末の平均粒子径dmetal-particleは、作製する導電体層の膜厚tconductive-layerに対して、(1/3・tconductive-layer)≧dmetal-particle≧(1/100・tconductive-layer)の範囲に選択され;
前記金属ナノ粒子自体の平均粒子径d nano-particle は、前記金属微細粉末の平均粒子径dmetal-particleに対して、(1/10・dmetal-particle)≧dnano-particle≧(1/100・dmetal-particle)の範囲に選択され;
該導電性金属ペースト中に含有される、前記金属微細粉末の体積比率をVmetal-particle、金属ナノ粒子の体積比率をVnano-particle、その被覆剤分子層の形成に利用される被覆剤分子の体積比率をVcoating-molecule、分散溶媒の体積比率をVsolventとすると、
金属微細粉末の体積比率Vmetal-particleと、金属ナノ粒子の体積比率Vnano-particleの和(Vmetal-particle:Vnano-particle)は、30体積%〜55体積%の範囲に選択され;
比Vmetal-particle:(Vnano-particle+Vcoating-molecule+Vsolvent)は、1:1〜1:4.6の範囲に選択され;
比(Vnano-particle+Vcoating-molecule):Vsolventは、1:0.7〜1:3の範囲に選択され;
比(Vmetal-particle:Vnano-particle)は、90:10〜60:40の範囲に選択され;
前記分散溶媒は、沸点が150℃〜300℃の範囲の炭化水素溶媒、あるいは、沸点が150℃〜300℃の範囲のアルコール溶媒からなる群より選択され;
前記被覆剤分子層の形成に利用される被覆剤分子は、前記金属ナノ粒子の表面との非共有結合的に分子間結合の形成に利用される原子団として、アミノ基またはカルボキシル基を有し、前記炭化水素溶媒またはアルコール溶媒中の炭化水素基と親和性を有する炭化水素基と、前記アミノ基またはカルボキシル基とで構成される有機化合物であって、その沸点が130℃〜250℃の範囲のアミノ基またはカルボキシル基を有する有機化合物からなる群より選択されている
ことを特徴とする、導電性金属ペーストである。
前記金属ナノ粒子は、該金属ナノ粒子を構成する金属種は、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケルからなる群から選択される、一種の金属からなる金属ナノ粒子であり、
前記金属微細粉末を構成する金属種と、前記金属ナノ粒子を構成する金属種は、同一の金属種である形態とすることができる。
前記被覆剤分子層の形成に利用される被覆剤分子は、その沸点が130℃〜250℃の範囲のアルキルアミンからなる群より選択されることが好ましい。
比Vmetal-particle:(Vnano-particle+Vcoating-molecule+Vsolvent)は、1:1.2〜1:4の範囲に選択されることが好ましい。
前記導電性金属ペースト中に含有される、前記金属微細粉末の表面積の総和ΣSmetal-particleと、前記金属ナノ粒子自体の表面積の総和ΣSnano-particleの比(ΣSmetal-particle:ΣSnano-particle)は、1:5〜1:60の範囲に選択されていることが望ましい。
本発明の導電性金属ペーストは、目標とする導電体膜の膜厚tconductive-layerを、50μm≧tconductive-layer≧10μmの範囲に選択する際、その作製に利用することを目的としている。従って、目標とする導電体膜の膜厚tconductive-layerに応じて、前記金属微細粉末の平均粒子径dmetal-particleを、0.3μm〜6μmの範囲、好ましくは、0.5μm〜5μmの範囲に選択することが望ましい。
本発明の導電性金属ペーストは、例えば、下記の手順に従って調製することができる。
本実施例1の導電性銀ペーストは、下記の原料を用いて調製されている。
本実施例2の導電性銀ペーストは、下記の手順で調製されている。
本実施例3の導電性銀ペーストは、下記の手順で調製されている。
本実施例4の導電性銀ペーストは、下記の手順で調製されている。
比較例の導電性銀ペーストは、Agナノ粒子を含有してなく、銀微細粉末を高沸点溶媒中に分散させたものである。該比較例の導電性銀ペーストは、下記の手順で調製されている。
Claims (13)
- バインダー樹脂成分を含有していない導電性金属ペーストであって、
該導電性金属ペーストは、金属微細粉末、その表面に被覆剤分子層を有する金属ナノ粒子を、分散溶媒中に均一に分散してなる分散液であり、
該導電性金属ペーストは、150℃〜250℃の範囲に選択する温度で焼結処理を施すことで、前記金属微細粉末と金属ナノ粒子の焼結体からなる導電体層の形成が可能であり;
前記金属微細粉末は、該金属微細粉末を構成する金属種は、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケルからなる群から選択される、一種の金属からなる金属微細粉末、二種以上の金属種からなる金属微細粉末の混合物、あるいは、二種以上の金属種からなる合金からなる金属微細粉末のいずれかであり;
前記金属ナノ粒子は、該金属ナノ粒子を構成する金属種は、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケルからなる群から選択される、一種の金属からなる金属ナノ粒子、二種以上の金属種からなる金属ナノ粒子の混合物、あるいは、二種以上の金属種からなる合金からなる金属ナノ粒子のいずれかであり;
前記金属微細粉末の平均粒子径dmetal-particleは、作製する導電体層の膜厚tconductive-layerに対して、(1/3・tconductive-layer)≧dmetal-particle≧(1/100・tconductive-layer)の範囲に選択され;
前記金属ナノ粒子自体の平均粒子径d nano-particle は、前記金属微細粉末の平均粒子径dmetal-particleに対して、(1/10・dmetal-particle)≧dnano-particle≧(1/100・dmetal-particle)の範囲に選択され;
該導電性金属ペースト中に含有される、前記金属微細粉末の体積比率をVmetal-particle、金属ナノ粒子の体積比率をVnano-particle、その被覆剤分子層の形成に利用される被覆剤分子の体積比率をVcoating-molecule、分散溶媒の体積比率をVsolventとすると、
金属微細粉末の体積比率Vmetal-particleと、金属ナノ粒子の体積比率Vnano-particleの和(Vmetal-particle+Vnano-particle)は、30体積%〜55体積%の範囲に選択され;
比Vmetal-particle:(Vnano-particle+Vcoating-molecule+Vsolvent)は、1:1〜1:4.6の範囲に選択され;
比(Vnano-particle+Vcoating-molecule):Vsolventは、1:0.7〜1:3の範囲に選択され;
比(Vmetal-particle:Vnano-particle)は、90:10〜60:40の範囲に選択され;
前記分散溶媒は、沸点が150℃〜300℃の範囲の炭化水素溶媒からなる群より選択され;
前記被覆剤分子層の形成に利用される被覆剤分子は、前記金属ナノ粒子の表面との非共有結合的に分子間結合の形成に利用される原子団として、アミノ基またはカルボキシル基を有し、前記炭化水素溶媒中の炭化水素基と親和性を有する炭化水素基と、前記アミノ基またはカルボキシル基とで構成される有機化合物であって、その沸点が130℃〜250℃の範囲のアミノ基またはカルボキシル基を有する有機化合物からなる群より選択されており、
該導電性金属ペーストは、前記分散溶媒中に、その表面を前記被覆剤分子で覆われている前記金属微細粉末と、前記その表面に被覆剤分子層を有する金属ナノ粒子のみが分散している分散液である
ことを特徴とする、導電性金属ペースト。 - 前記金属微細粉末は、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケルからなる群から選択される、一種の金属からなる金属微細粉末であり、
前記金属ナノ粒子は、該金属ナノ粒子を構成する金属種は、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケルからなる群から選択される、一種の金属からなる金属ナノ粒子であり、
前記金属微細粉末を構成する金属種と、前記金属ナノ粒子を構成する金属種は、同一の金属種である
ことを特徴とする、請求項1に記載の導電性金属ペースト。 - 前記被覆剤分子層の形成に利用される被覆剤分子は、その沸点が130℃〜250℃の範囲のアルキルアミンからなる群より選択される
ことを特徴とする、請求項1または2に記載の導電性金属ペースト。 - 前記分散溶媒は、沸点が150℃〜300℃の範囲の鎖式炭化水素溶媒からなる群より選択されている
ことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の導電性金属ペースト。 - 前記金属ナノ粒子自体の平均粒子径d nano-particle は、1nm〜100nmの範囲に選択される
ことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の導電性金属ペースト。 - 前記金属微細粉末の平均粒子径dmetal-particleは、0.3μm〜6μmの範囲に選択される
ことを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の導電性金属ペースト。 - 前記金属ナノ粒子自体の平均粒子径d nano-particle は、2nm〜50nmの範囲に選択される
ことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の導電性金属ペースト。 - 前記金属微細粉末の平均粒子径dmetal-particleは、0.5μm〜5μmの範囲に選択される
ことを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の導電性金属ペースト。 - 比Vmetal-particle:(Vnano-particle+Vcoating-molecule+Vsolvent)は、1:1.2〜1:4の範囲に選択される
ことを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の導電性金属ペースト。 - 比(Vnano-particle+Vcoating-molecule):Vsolventは、1:0.8〜1:3の範囲に選択される
ことを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の導電性金属ペースト。 - 比(Vmetal-particle:Vnano-particle)は、80:20〜65:35の範囲に選択される
ことを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の導電性金属ペースト。 - 前記導電性金属ペーストの粘度は、30Pa・s〜150Pa・sの範囲に選択されている
ことを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の導電性金属ペースト。 - 前記導電性金属ペースト中に含有される、前記金属微細粉末の表面積の総和ΣSmetal-particleと、前記金属ナノ粒子自体の表面積の総和ΣSnano-particleの比(ΣSmetal-particle:ΣSnano-particle)は、1:3〜1:60の範囲に選択されている
ことを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の導電性金属ペースト。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010266991A JP5750259B2 (ja) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 導電性金属ペースト |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010266991A JP5750259B2 (ja) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 導電性金属ペースト |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012119132A JP2012119132A (ja) | 2012-06-21 |
JP5750259B2 true JP5750259B2 (ja) | 2015-07-15 |
Family
ID=46501746
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010266991A Active JP5750259B2 (ja) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 導電性金属ペースト |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5750259B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6049121B2 (ja) * | 2012-01-10 | 2016-12-21 | 有限会社 ナプラ | 機能性材料、電子デバイス、電磁波吸収/遮蔽デバイス及びそれらの製造方法 |
JP5988762B2 (ja) * | 2012-08-10 | 2016-09-07 | ハリマ化成株式会社 | 金属被膜の形成方法、スルーホール用導電性被膜の形成方法及び電子部品の固定方法 |
WO2019065965A1 (ja) | 2017-09-29 | 2019-04-04 | ハリマ化成株式会社 | 導電性ペースト |
WO2020184107A1 (ja) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 導電性インクジェットインク |
JP7302487B2 (ja) * | 2020-01-14 | 2023-07-04 | トヨタ自動車株式会社 | 複合粒子、及び複合粒子の製造方法 |
CN117043889A (zh) | 2021-03-24 | 2023-11-10 | 住友电木株式会社 | 导电性膏和半导体装置 |
CN114414640B (zh) * | 2022-01-24 | 2024-08-02 | 深圳汇北川科技股份有限公司 | 氮氧传感器芯片用Pt-Au复合电极及制备方法和芯片 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4157468B2 (ja) * | 2003-12-12 | 2008-10-01 | 日立電線株式会社 | 配線基板 |
JP4812370B2 (ja) * | 2005-08-29 | 2011-11-09 | 地方独立行政法人 大阪市立工業研究所 | 貴金属ナノ粒子の製造方法 |
JP4821396B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2011-11-24 | 住友金属鉱山株式会社 | 導電性組成物及び導電膜形成方法 |
JP4986745B2 (ja) * | 2007-07-05 | 2012-07-25 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 銀ペースト |
JP4897624B2 (ja) * | 2007-09-11 | 2012-03-14 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 低温焼結性銀微粉および銀塗料ならびにそれらの製造法 |
JP2010095789A (ja) * | 2007-12-26 | 2010-04-30 | Dowa Electronics Materials Co Ltd | 金属粒子分散液、塗膜、金属膜および導電ペースト並びに金属膜の製造方法 |
JP2010275580A (ja) * | 2009-05-27 | 2010-12-09 | Dowa Electronics Materials Co Ltd | 低温焼結性金属ナノ粒子の製造方法および金属ナノ粒子およびそれを用いた分散液の製造方法 |
JP5468885B2 (ja) * | 2009-12-01 | 2014-04-09 | ハリマ化成株式会社 | 導電性アルミニウムペースト |
JP5426413B2 (ja) * | 2010-01-28 | 2014-02-26 | ハリマ化成株式会社 | 銀ナノ粒子の製造方法 |
WO2011155055A1 (ja) * | 2010-06-11 | 2011-12-15 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 低温焼結性接合材および該接合材を用いた接合方法 |
KR20110139941A (ko) * | 2010-06-24 | 2011-12-30 | 삼성전기주식회사 | 금속 잉크 조성물 및 이를 이용한 금속 배선 형성 방법, 그리고 상기 금속 잉크 조성물로 형성된 도전성 패턴 |
-
2010
- 2010-11-30 JP JP2010266991A patent/JP5750259B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012119132A (ja) | 2012-06-21 |
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