JP5734713B2 - 観察光学系 - Google Patents
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Description
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、高倍率観察時と広視野観察時における画像の明るさの差を低減し、観察し易い観察光学系を提供することを目的としている。
本発明は、観察対象からの光を集光するアフォーカルな光学系からなる対物光学系と、該対物光学系により集光された光を結像させる正パワーの結像光学系と、これら対物光学系と結像光学系との間の光路に択一的に挿脱可能に設けられた第1光学系と第2光学系とを備える中間光学系とを備え、前記第1光学系が、正パワーのコリメート光学系であり、前記第2光学系が、略アフォーカルな光学系である観察光学系を提供する。
1<|FOVmic・βmac・βob 2/(NA・Fcol)|<3
ここで、FOVmicは、前記第1光学系が光路に挿入されたときの実視野、βmacは、前記第2光学系のアフォーカル倍率、βobは、前記対物光学系の倍率、NAは、前記第1光学系が前記光路に挿入されたときの前記対物光学系の物体側開口数、Fcolは、前記第1光学系の焦点距離である。
|FOVmic・βmac・βob 2/(NA・Fcol)|=2
このようにすることで、高倍率観察時と広視野観察時における像面側の開口数を同一に設定することができる。
このようにすることで、高倍率観察時の作動距離を実際の観察状態に合わせて調節することができる。
このようにすることで、広視野観察時の作動距離を実際の観察状態に合わせて調節することができる。
本実施形態に係る観察光学系1は、図1に示されるように、対物光学系2と、中間光学系3と、正パワーを有する結像光学系4とを備えている。図1〜図3において、光束は、マージナル線を実線で、軸外主光線を破線でそれぞれ示している。図中符号5は光検出器である。
また、望遠鏡系の場合には、角倍率γob=α2/α1=−F1/F2である。
なお、対物光学系2は、完全なアフォーカル光学系ではなくてもよい。この場合、例えば、後述する第1項が矩形3aである正パワーを有するコリメート光学系の焦点距離をFcol、対物光学系2全体の焦点距離をFobとして、
0≦|Fcol/Fob|≦0.005
を満たしていればよい。
第1光学系3aは、正パワーを有するコリメート光学系であり、対物光学系2により集光され、レンズ群G2の後側焦点位置を通過した光を略平行光束として結像光学系4に入射させるようになっている。すなわち、第1光学系3aの前側焦点位置は、対物光学系2のレンズ群G2の後側焦点位置と一致させられ、第1光学系3aの後側焦点位置は、結像光学系4の前側焦点位置と略一致させられている。
Δcol=(F2/F1)2/n・Δmic
により示される移動量だけ調節することができる。
ここで、n:対物光学系の物体側に存在する媒質の屈折率、Δcol:第1光学系3aの移動量、Δmic:高倍率観察時のピント位置の移動量である。
第1光学系3aは、対物光学系2が結像系として使用される場合に光路に挿入されるようになっている。
βtotal=βob・Ftl/Fcol=(F2/Ftl)/(F1/Fcol)
となる。ここで、
Fcol:第1光学系3a(正パワーを有するコリメート光学系)の焦点距離、
Ftl:結像光学系4の焦点距離
である。
この式から、
(F2/Ftl)>(F1/Fcol)
の場合には拡大観察が可能となる。
これにより、対物光学系2から平行光束として入射されてきた光をレンズ群G3によって中間結像させた後、レンズ群G4によって略平行光として結像光学系4に入射させるようになっている。
α1=|βob・βmac・Dim/Ftl|
となる。ここで、
βmac=−F4/F3=1/γmac、
βmac:第2光学系3bのアフォーカル倍率、
γmac:第2光学系3bの角倍率
である。
ΔG3=n・(F3・F1/F2)2/Δmac
により示される移動量だけ調節することができる。
ここで、ΔG3:レンズ群G3の移動量、Δmac:広視野観察時のピント位置の移動量(レンズ群G1の前側焦点位置を原点とする。)である。
1<|FOVmic・βmac・βob 2/(NA・Fcol)|<3 (1)
なお、理想的には、
|FOVmic・βmac・βob 2/(NA・Fcol)|=2 (2)
である。
本実施形態に係る観察光学系1を用いて観察対象の高倍率観察を行うには、図1に示されるように、中間光学系3に備えられた第1光学系3aを光路上に挿入する。
FOVmic=|(Dim・Fcol)/(Ftl・βob)|
である。
対物光学系2を構成するレンズ群G1の前側焦点位置より十分に離れた位置に配置されている観察対象Aからの光は、対物光学系2によって集光された後に、中間光学系3の第2光学系3bに入射する。
また、実際の観察においては、高倍率観察時と広視野観察時とで像面側開口数が厳密に一致している必要はなく、上記条件式(1)が満たされていればよい。
図5(a)は高倍率観察時の観察光学系1の各光学系2〜4および主光線を示す図であり、図5(b)は図5(a)の対物光学系2を拡大して示す図である。
また、図6(a)広視野観察時の観察光学系1の各光学系2〜4および主光線を示す図であり、図6(b)は図6(a)の対物光学系2を拡大して示す図である。
本実施例においては、以下のような条件A)および条件B)の下でのレンズデータを示している。
条件B)高倍率観察時の開口数NAと広視野観察時の半画角α1とを以下のように設定する。
NA=sinα1
図8(a)は高倍率観察時の観察光学系1の各光学系2〜4および主光線を示す図であり、図8(b)は図8(a)の対物光学系2を拡大して示す図である。
また、図9(a)広視野観察時の観察光学系1の各光学系2〜4および主光線を示す図であり、図9(b)は図9(a)の対物光学系2を拡大して示す図である。
本実施例においても、第1の実施例と同様に条件A),B)の下でのレンズデータを示している。
本実施例においては、図10(a)に示されるように、第2光学系3bのレンズG3として、負パワーを有するレンズが使用されている点において第1の実施例と相違している。
また、本実施例によれば、負パワーを有するレンズG3により、高倍率観察時と広視野観察時の両方において像が反転せず、また全長を短縮することができるという利点がある。
図11(a)は高倍率観察時の観察光学系1の各光学系2〜4および主光線を示す図であり、図11(b)は図11(a)の対物光学系2を拡大して示す図である。
また、図12(a)広視野観察時の観察光学系1の各光学系2〜4および主光線を示す図であり、図12(b)は図12(a)の対物光学系2を拡大して示す図である。
本実施例においても、第1、第2の実施例と同様に条件A),B)の下でのレンズデータを示している。
本実施例によれば、図13(a)に示されるように、理想の条件式(2)を満たしてはいないが、条件式(1)を満たしており、像面側開口数の差は大きくなっているが、広視野観察時においても従来よりも明るい画像を取得して、観察を容易にすることができる。
図14(a)は高倍率観察時の観察光学系1の各光学系2〜4および主光線を示す図であり、図14(b)は図14(a)の対物光学系2を拡大して示す図である。
また、図15(a)広視野観察時の観察光学系1の各光学系2〜4および主光線を示す図であり、図15(b)は図15(a)の対物光学系2を拡大して示す図である。
本実施例においても、第1、第2、第3の実施例と同様に条件A),B)の下でのレンズデータを示している。
本実施例によれば、図16(a)に示されるように、理想の条件式(2)を満たしてはいないが、条件式(1)を満たしており、広視野観察より高倍率観察を少し明るく観察したい場合に有利である。
1 観察光学系
2 対物光学系
3 中間光学系
3a 第1光学系
3b 第2光学系
4 結像光学系
Claims (4)
- 観察対象からの光を集光するアフォーカルな光学系からなる対物光学系と、
該対物光学系により集光された光を結像させる正パワーの結像光学系と、
これら対物光学系と結像光学系との間の光路に択一的に挿脱可能に設けられた第1光学系と第2光学系とを備える中間光学系とを備え、
前記第1光学系が、正パワーのコリメート光学系であり、
前記第2光学系が、略アフォーカルな光学系であり、
以下の条件式を満たす観察光学系。
1<|FOVmic・βmac・βob 2 /(NA・Fcol)|<3
ここで、
FOVmicは、前記第1光学系が光路に挿入されたときの実視野
βmacは、前記第2光学系のアフォーカル倍率
βobは、前記対物光学系の倍率
NAは、前記第1光学系が前記光路に挿入されたときの前記対物光学系の物体側開口数 Fcolは、前記第1光学系の焦点距離
である。 - 以下の条件式を満たす請求項1に記載の観察光学系。
|FOVmic・βmac・βob2/(NA・Fcol)|=2 - 前記第1光学系を構成する1以上のレンズが光軸方向に移動可能に設けられている請求項1または請求項2に記載の観察光学系。
- 前記第2光学系を構成する1以上のレンズが光軸方向に移動可能に設けられている請求項1から請求項3のいずれかに記載の観察光学系。
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