JP2009069689A5 - - Google Patents

Description

また、上記発明においては、Ｄ１ａ＝０であることとしてもよい。
このようにすることで、作動距離を変化させたときの倍率の変化を非常に小さくすることができる。
また、上記発明においては、前群光学系が固定され、後群光学系のみが光軸方向に移動させられ、以下の条件式（２）を満たすこととしてもよい。
｜Ｄ1×δｓ｜／（Ｆｌａ）² ≦０．０５ （2）
ここで、δｓ：後群光学系の全移動距離、Ｄ１：前記対物光学系の後側焦点と前記前群光学系の前側焦点との間隔、Ｆｌａ：前群光学系の焦点距離である。

Claims (13)

1. 試料からの光を略平行光に変換する対物光学系と、該対物光学系からの略平行光を所定の位置に結像する結像光学系とを備える顕微鏡システムに使用され、前記対物光学系と前記結像光学系との間に配置され、前記対物光学系の作動距離を変化させるためにフォーカス調整ユニットであって、
   前記対物光学系側を前側、結像光学系を後側として、
   少なくとも前側から順に配置された、屈折力を有する前群光学系および後群光学系と、
   該前群光学系および後群光学系の少なくとも一方を光軸方向に駆動して、両光学系の光軸方向の距離を相対的に変化させるレンズ駆動手段とを備え、
   前記前群光学系は、その前側焦点が前記対物光学系の後側焦点の近傍に位置するように配置されているフォーカス調整ユニット。
2. 前記前群光学系および前記後群光学系が、互いにアフォーカル光学系として成立する位置を中心として移動させられる請求項１に記載のフォーカス調整ユニット。
3. 前記前群光学系のみが光軸方向に移動させられ、前記後群光学系が固定され、
   以下の条件式（１）を満たす請求項１または請求項２に記載のフォーカス調整ユニット。
   ｜Ｄ１ａ×Δｓ｜／（Ｆｌａ）² ≦０．０５ （1）
   ここで、
   Δｓ：前群光学系の全移動距離、
   Ｄ１ａ：前群光学系の移動で中間位置に来たときの前記対物光学系の後側焦点と前記前群光学系の前側焦点との間隔、
   Ｆｌａ：前群光学系の焦点距離
   である。
4. Ｄ１ａ＝０
   である請求項３に記載のフォーカス調整ユニット。
5. 前群光学系が固定され、後群光学系のみが光軸方向に移動させられ、
   以下の条件式（２）を満たす請求項１または請求項２に記載のフォーカス調整ユニット。
   ｜Ｄ1×δｓ｜／（Ｆｌａ）² ≦０．０５ （2）
   ここで、
   δｓ：後群光学系の全移動距離、
   Ｄ１：前記対物光学系の後側焦点と前記前群光学系の前側焦点との間隔、
   Ｆｌａ：前群光学系の焦点距離
   である。
6. 前群光学系の前側焦点が、前記対物光学系の後側焦点に一致している請求項５に記載のフォーカス調整ユニット、
7. ｜Ｆｌａ｜＞｜Ｆｌｂ｜
   である請求項２から請求項６のいずれかに記載のフォーカス調整ユニット。
8. 前記前群光学系の焦点距離が負の値である請求項７に記載のフォーカス調整ユニット。
9. 前記対物光学系の後側焦点が前記対物光学系の胴付位置より後側にある請求項８に記載のフォーカス調整ユニット。
10. 前記対物光学系の後側焦点と前記前群光学系の前側焦点の間隔を調整する調整機構を有する請求項１から請求項９のいずれかに記載のフォーカス調整ユニット。
11. 前記後群光学系の後側焦点が、前記結像光学系の前側焦点の近傍に配置されている請求項１から請求項１０のいずれかに記載のフォーカス調整ユニット。
12. 前記後群光学系の後側焦点と前記結像光学系の前側焦点の間隔を調整する調整機構を有する請求項１から請求項１１のいずれかに記載のフォーカス調整ユニット。
13. 試料からの光を集光する対物光学系と、
    該対物光学系により集光された光を所定の位置に結像する結像光学系と、
    請求項１から請求項１２のいずれかのフォーカス調整ユニットと、
    前記結像レンズの後側に配置され該結像レンズで所定の位置に結像された試料の像を平行光束にする瞳投影光学系と、
    該瞳投影光学系により略平行光束にされた光を横方向に走査する横方向走査手段と、試料を照明または励起する光を射出する光射出部と、試料からの光を受光する光受光部と、前記光射出部からの光を略平行光にする第１のコリメート光学系と、前記試料からの光を前記光受光部に集光する第２のコリメート光学系と、前記光射出部からの光と試料からの光とを分離する検出光分離手段とを備えるスキャン光学系と、
    該スキャン光学系を前記瞳投影光学系の光軸方向に移動させて前記横方向走査手段近傍に瞳位置を一致させる瞳位置合わせ手段とを備える光走査型顕微鏡。