JP5725023B2 - サファイア基板とその製造方法及び窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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Description
すなわち、近年、発光ダイオードの高出力化が進むにつれ、従来の発光ダイオードでは顕在化しなかったような結晶欠陥による問題が顕在化するようになってきている。
また、本発明は、結晶性に優れた窒化物半導体を有し、かつ光取り出し効率に優れた窒化物半導体発光素子を提供することを目的とする。
前記第1マスクを除去して下凸部の上面を露出させる前記第1マスク除去工程と、
前記上面を露出させた下凸部をさらにエッチングすることにより、下凸部の上に先端の尖った錐形状の上凸部を形成する第2エッチング工程と、
を含むことを特徴とする。
以上のように構成された実施形態の窒化物半導体発光素子は、詳細後述するように、先端が尖った錐形状の複数の凸部(ディンプル)1が設けられた基板10の表面にそれぞれ窒化物半導体からなる下地層21、第1導電型層(n型層)22、活性層(発光層)23、第2導電型層(p型層)24が成長されているので、当該半導体層を結晶性良く成長させることができる。
また、実施形態の半導体発光素子は、さらに発光層23で発光した光を先端が尖った錐形状の複数の凸部1によって出射方向に効率よく反射させることが可能になり、光の取り出し効率を高くできる。
具体的には、横方向に伝播する光を凸部1、特に凸部1の傾斜した傾斜面で、反射・回折させることができる。
(i)凸部底面が略三角形状(各辺11,12,13が円弧状に外側に膨らんだ略三角形状)であり、
(ii)凸部1の3つの傾斜面11k,12k,13kはそれぞれ外側に膨らんだ略三角形状であり、かつその途中にそれぞれ傾斜変更線(エッチング切替線)L11,L12,L13を有しており、その傾斜変更線を境に傾斜が不連続に変化している。
より具体的には、各傾斜面11k,12k,13kにおいて、傾斜変更線L11,L12,L13でそれぞれ傾斜面11k,12k,13kが折れ曲がっており、傾斜変更線L11,L12,L13より上(頂点側)の傾斜が下(底面側)の傾斜より緩やかになっている。
また、凸部(ディンプル)1は略三角錐形状であって、その頂点t1は尖っている。
ここで、本明細書において、頂点が尖っているとは、凸部(ディンプル)1の頂点から窒化物半導体が成長しない程度に凸部1の頂点部分(上面)が小さくなっていることをいう。
特に、本実施形態の凸部1の傾斜面11k,12k,13kは、図2(a)(b)に示すように、外側に膨らんだ曲面となっているので所謂凸面鏡のように入射された光が拡がるように拡散されて反射され、さらに傾斜変更線11k,12k,13kを境に傾斜が不連続に変化するので、入射された光はより広い範囲に拡散される。
図3は、三角格子点配置であり、図4は、正方格子点配置である。
尚、この規則構造は、基板面内全体に同一の規則で配列してもよいし、基板上に形成する半導体素子構造の、例えば、電極配置に応じて、異なる規則構造に配置してもよい。
凸部1の底面の一辺(底面の頂点間の直線距離)は、0.5μm以上3μm以下、好ましくは0.7μm以上2μm以下とすることが好ましい。
本製造方法では、まず、図5に示すように、サファイア基板10のC面(0001)上に円形の第1マスク19を形成して、基板をエッチングした後、第1マスク19を除去する。
これにより、略三角形状の上面を有する略三角錐台形状の下凸部1aが形成される(図6)。
エッチングには、ウェットエッチングと、ドライエッチングがあるが、本発明ではいずれのエッチング方法を用いてもよい。ドライエッチングとして具体的には気相エッチング、プラズマエッチング、反応性イオンエッチングを用いることもでき、その際のエッチングガスとしては、Cl系、F系ガス、例えばCl2、SiCl4、BCl3、HBr、SF6、CHF3、C4F8、CF4、などの他、不活性ガスのArなどが挙げられる。
ウェットエッチングのエッチング溶液としては、例えば実施例のサファイア基板の場合、リン酸、若しくはピロリン酸、又はそれに硫酸を加えた混酸、又は水酸化カリウムを用いることができる。この時、マスク材料としては、SiO2などのケイ素酸化物の他、基板材料、そのエッチング液に応じて適宜選択され、例えば、V,Zr,Nb,Hf,Ti,Ta,Alからなる群から選択される少なくとも一つの元素の酸化物、Si,B,Alからなる群から選択される少なくとも一つの元素の窒化物を挙げることができる。
次に、図7に示すように、第1マスク19を除去した後、下凸部1aの上面に円形の第2マスク20を形成して、又は第2マスク20を形成することなくさらに基板1をエッチングする。
このエッチングステップにおいては、少なくとも下凸部の上面に尖った先端を有する上凸部が形成されるまでエッチングを進める。
なお、このエッチングは、第1エッチング工程と同様、ウェットエッチングであってもよいしドライエッチングであってもよい。
また、エッチング方法は、第1エッチング工程と異なるエッチング方法を採用することもできる。すなわち、第1エッチング工程がウェットエッチングで、第2エッチング工程がドライエッチングであってもよいし、またその逆でもよい。
また、第1エッチング工程と第2エッチング工程とで、エッチングガス又はエッチング液を変更してもよい。
これにより、凸部1間のサファイアC面(0001)表面から成長した窒化物半導体が凸部1の傾斜面上を横方向に成長して、成長が進むにつれて凸部1を覆い結晶欠陥の少ない平坦なGaN表面が得られ、その結晶欠陥の少ない平坦なGaN表面上に、結晶欠陥の少ない窒化物半導体層が積層された発光素子構造を形成することが可能になる。
発光素子構造は、例えば、図1に示すように、基板上に、第1,2導電型層22,24の間に活性層23が設けられた積層構造2を有し、活性層23及び第2導電型層24の一部を除去して露出させた第1導電型層22の上と第2導電型層24の上とに、第1電極と第2電極とが形成されてなる。また、第2電極は、第2導電型層24上のほぼ全面に形成された透光性オーミック電極とその透光性オーミック電極の上に形成されたパッド及び拡散電極とからなる。
〔実施例1〕
サファイア基板のC面(0001)上にSiO2膜を成膜、パターンニングすることにより、直径約1.5μmの円形状の第1マスク19を周期的に形成した。
続いて、エッチング液としてリン酸と硫酸の混酸を用いたエッチング浴に基板を浸漬し、溶液の温度約290℃で深さ(凸部高さ)が約1μmとなるまで約5分エッチングした。
これにより、下凸部1aが形成された。
以上の工程により、高さ約1μm、テーパー角が2段階の凸部1が形成された。
具体的には、上記下地層21の上に、第1導電型層22(n型層)として、膜厚5μmのSi(4.5×1018/cm3)ドープGaNのn側コンタクト層と、0.3μmのアンドープGaN層と、0.03μmのSi(4.5×1018/cm3)ドープGaN層と、5nmのアンドープGaN層と、4nmのアンドープGaN層と2nmのアンドープIn0.1Ga0.9N層とを繰り返し交互に10層ずつ積層された多層膜を形成した。n型層22の上の活性層23として、膜厚25nmのアンドープGaNの障壁層と、膜厚3nmのIn0.3Ga0.7Nの井戸層とを繰り返し交互に6層ずつ積層し、最後に障壁層を積層した多重量子井戸構造を形成した。活性層の上の第2導電型層(p型層)24として、4nmのMg(5×1019/cm3)ドープのAl0.15Ga0.85N層と2.5nmのMg(5×1019/cm3)ドープIn0.03Ga0.97N層とを繰り返し5層ずつ交互に積層し、最後に上記AlGaN層を積層したp側多層膜層と、膜厚0.12μmのMg(1×1020/cm3)ドープGaNのp側コンタクト層を形成した。
1a 下凸部
1b 上凸部
2 半導体積層構造
10 基板
t1 頂点
L11,L12,L13 傾斜変更線
11k,12k,13k 傾斜面
19 第1マスク
20 第2マスク
21 下地層
22 n型層(第1導電型層)
23 活性層
24 p型層(第2導電型層)
Claims (10)
- 一方の主面に複数の凸部を備え、その一方の主面に窒化物半導体が成長されて窒化物半導体発光素子が形成されるサファイア基板であって、
前記凸部は先端が尖った錐形状を有し、その凸部の傾斜表面はそれぞれ、隣接する凸部間に位置する基板表面に比較して前記窒化物半導体の成長が抑制される結晶成長抑制表面からなり、かつ傾斜角が不連続に変化する傾斜変更線を有することを特徴とするサファイア基板。 - 前記凸部の底面は、それぞれ外側に膨らんだ円弧形状の3以上の辺を有する略多角形であり、前記傾斜表面は、前記各辺の両端と前記尖った先端を頂点とする略三角形の複数の傾斜面からなり、該傾斜面がそれぞれ前記傾斜変更線において傾斜角が不連続に変化する請求項1に記載のサファイア基板。
- 前記凸部の傾斜面はそれぞれ、前記傾斜変更線より上の傾斜面の傾斜角が前記傾斜変更線より下の傾斜面の傾斜角より小さくなっている請求項1又は2に記載のサファイア基板。
- 前記凸部が、前記一方の主面上において相互に分離して設けられた請求項1〜3のうちのいずれか1つに記載のサファイア基板。
- 前記凸部が、前記一方の主面上において周期的に配置されている請求項1〜4のうちのいずれか1つに記載のサファイア基板。
- 前記凸部が、三角形格子、四角形格子又は六角形格子の頂点に配置された請求項5記載のサファイア基板。
- 請求項1〜6のうちのいずれか1つに記載のサファイア基板と、該サファイア基板の一方の主面上に窒化物半導体を成長させることにより形成された窒化物半導体層と、を備えた窒化物半導体発光素子。
- 複数の凸部を有する窒化物半導体発光素子用サファイア基板の製造方法であって、
サファイア基板のC面上に円形状の第1マスクを形成して、その第1マスクをエッチングマスクとしてサファイア基板をウエットエッチングすることにより、略三角形状の上面を有する略三角錘台形状の下凸部を形成する第1エッチング工程と、
前記第1マスクを除去して下凸部の上面を露出させる前記第1マスク除去工程と、
前記上面を露出させた下凸部をさらにウエットエッチングすることにより、下凸部の上に先端の尖った錐形状の上凸部を形成する第2エッチング工程と、
を含み、
前記第2エッチング工程によって、傾斜角が不連続に変化する傾斜変更線を傾斜表面に有する前記凸部が形成されることを特徴とする窒化物半導体発光素子用サファイア基板の製造方法。 - 前記第1マスク除去工程と第2エッチング工程の間に、前記露出させた下凸部の上面に円形状の第2マスクを形成する第2マスク形成工程を含み、
第2エッチング工程において、前記第2マスクをエッチングマスクとして前記下凸部をさらにウエットエッチングする請求項8記載の窒化物半導体発光素子用サファイア基板の製造方法。 - 前記第2エッチング工程によって、前記傾斜変更線より上の傾斜が下の傾斜よりも緩やかな傾斜表面からなる前記凸部が形成されること請求項8又は9記載の窒化物半導体発光素子用サファイア基板の製造方法。
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JPN6014042317; Haiyong Gao et al.: 'Enhancement of the light output power of InGaN/GaN light-emitting diodes grown on pyramidal patterne' JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 103, 20080115, pp.014314 * |
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