JP5721109B2 - 研磨システムおよび研磨材寿命判別方法 - Google Patents
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Description
ここで実験Iを説明する。図4に示すように、研磨システム10においてセリア研磨材が含まれた研磨材スラリー12を使用して、被研磨基板14を1分間研磨する研磨を異なる被研磨基板14に替えて60回行い、その10回目すなわち図4に示す10分研磨使用、その30回目すなわち図4に示す30分研磨使用、その60回目すなわち図4に示す60分研磨使用における被研磨基板14の表面粗さRa(nm)、研磨速度(nm/min)および研磨材スラリー12中のセリア研磨材のピーク強度Pを測定した。なお、研磨システム10においてセリア研磨材が含まれた研磨材スラリー12は、スラリー供給装置18を使用して循環されて繰り返し研磨に使用されている。
12:研磨材スラリー
14:被研磨基板(被研磨材料)
48:電子収量法XAFS測定部(電子収量法XAFS測定工程)
50:研磨材寿命判別部(研磨材寿命判別工程)
56:研磨材投入量計算部
h:ピークの高さ(ピークの大きさ)
X:投入量
Claims (3)
- 金属酸化物研磨材の寿命を判別可能な研磨システムであって、
前記金属酸化物研磨材にX線を照射して該金属酸化物研磨材の表面から放出される電子を収集することによって、該金属酸化物研磨材のX線吸収特性を測定する電子収量法XAFS測定部を有し、
前記電子収量法XAFS測定部によって測定された前記X線吸収特性を分析することにより、該金属酸化物研磨材の表面における金属原子とそれに近接する酸素との動径分布のピークを求め、該ピークの大きさに基づいて前記金属酸化物研磨材の寿命を判別することを特徴とする研磨システム。 - 請求項1に記載の研磨システムであって、
前記研磨システムは、前記金属酸化物研磨材を含む研磨材スラリーを循環させて該研磨材スラリー中の金属酸化物研磨材により被研磨材料を研磨するものであり、
前記金属酸化物研磨材の表面における金属原子とそれに近接する酸素との動径分布のピークの大きさに基づいて算出された前記金属酸化物研磨材の寿命に関連する定量値から、所望する前記被研磨材料の研磨状態を満たすために新たに必要な前記金属酸化物研磨材の投入量を自動計算する研磨材投入量計算部を有することを特徴とする研磨システム。 - 金属酸化物研磨材の寿命を判別する研磨材寿命判別方法であって、
前記金属酸化物研磨材にX線を照射して該金属酸化物研磨材の表面から放出される電子を収集することによって、該金属酸化物研磨材のX線吸収特性を測定する電子収量法XAFS測定工程と、
前記電子収量法XAFS測定工程によって測定された前記X線吸収特性を分析することにより、該金属酸化物研磨材の表面における金属原子とそれに近接する酸素との動径分布のピークを求め、該ピークの大きさに基づいて前記金属酸化物研磨材の寿命を判別する研磨材寿命判別工程と
を有することを特徴とする研磨材寿命判別方法。
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