JP5707039B2

JP5707039B2 - グラファイト複合フィルム

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Publication number: JP5707039B2
Application number: JP2009517893A
Authority: JP
Inventors: 太田　雄介; 雄介太田; 卓稲田; 典也金田; 西川　泰司; 泰司西川
Original assignee: Kaneka Corp
Current assignee: Kaneka Corp
Priority date: 2007-06-07
Filing date: 2008-06-05
Publication date: 2015-04-22
Anticipated expiration: 2028-06-05
Also published as: WO2008149920A1; JPWO2008149920A1

Description

本願発明は、電子機器、精密機器などで放熱部材として使用されるグラファイト複合フィルムに関し、特に放熱特性を損なわず難燃性を付与したグラファイト複合フィルムに関する。

近年、内部スペースが少ない電子機器や局所的に発熱量が高い部分を有する機器において、小スペース、小サイズで熱を拡散できる材料が必要とされ、その材料として面方向の熱伝導性に優れるグラファイトフィルムが注目されている。このようなグラファイトフィルムとして、黒鉛粉末をバインダー樹脂と混合してシートや膨張黒鉛を圧延してシート状にするものが知られている。また、ポリイミドフィルムを原料として熱処理及び圧延処理によって柔軟性のあるグラファイトシートを直接的に得る方法が知られている（特許文献１）。この方法で得られるグラファイトフィルムは、高品質で折れ曲げに強く柔軟性に富んでおり、電気伝導性、熱伝導性といった特性に優れている。

一方、グラファイトフィルムを放熱部材として使用する場合、グラファイトの優れた熱伝導性を発揮させるためには、発熱源と十分密着させる必要がある。グラファイトフィルムを機器に組み込む場合、一般的な方法としてグラファイトフィルムと発熱源をエポキシ樹脂、アクリル樹脂またはポリイミド樹脂のような接着剤、粘着材等を用いて接合する事も知られている（特許文献２）。

また、グラファイトシートをそのまま電子機器の内部で熱伝導材として使用する際には、グラファイトシートが電気伝導性を有するために、電子部品間の電気的ショートを発生する可能性、また摩耗により表面から炭素粉が分散し、その炭素粉が同様に電気的に悪影響する可能性がある。さらに、機械的強度の点においても、使用方法によっては、破断強度、引っ張り強度などが十分でない場合がある。これらの不都合を防ぐために、グラファイトフィルムの表面に保護フィルムを形成した／または樹指でコーティングしたグラファイト複合フィルムが提案されている（特許文献３）。
特開昭６１−２７５１１６号公報特開平１１−３１７４８０号公報特開２００２−０１２４８５号広報

電気・電子部品、機械機構部品、自動車部品などの工業用材料は一般の化学的、物理的諸特性のバランス以外に火炎に対する安全性、すなわち難燃性が要求され、ＵＬ−９４規格のＶ−２あるいはＶＴＭ−２以上を示す高度な難燃性が必要とされる場合が多い。

グラファイトフィルム単体の難燃性は非常に高く、ＵＬ−９４規格のＶ−０相当であるものの、従来のグラファイト複合フィルムは、前述した表面に形成する粘着層、保護フィルム層の難燃性が非常に悪いため、複合材料としてＵＬ９４規格のＶ−２あるいはＶＴＭ−２規格を達成することができなかった。

このような問題点を解決するために、難燃性の高い難燃剤を高充填した粘着層、保護フィルム層を使用するといった改善策が考えられるが以下に示す＜１＞〜＜２＞のように難燃性、安全性、放熱性など様々な点で十分ではなかった。

＜１＞難燃剤を高充填した粘着層は粘着力が減少するため、厚みを増やす必要がある。発熱体とグラファイトの接触は、粘着層あるいは保護フィルム層を介しておこなわれるために、粘着層、保護フィルム層の厚みを増加させると発熱体の熱をグラファイトフィルムに伝えにくく放熱特性が損なわれる場合があった。

＜２＞また、通常高い難燃性を有する粘着層、保護フィルム層は、ハロゲン系難燃剤と酸化アンチモンとを粘着剤中に配合しているものが一般的である。しかしながら、ハロゲン系難燃剤は、焼却時に有毒な含ハロゲン系ガスを発生したり、金属を腐食させたりする問題があり、又、酸化アンチモンは、人体に悪影響があると指摘されている等の問題があることから、ハロゲン系難燃剤と酸化アンチモンを使用していない粘着層を使用したグラファイト複合フィルムの作製が求められている。しかしながら、ハロゲン系難燃剤以外の難燃剤はハロゲン系難燃剤よりも難燃効果が遙かに劣っており、難燃性を向上するためには多量の難燃剤を配合する必要がある。そのため、放熱特性が損なわれないグラファイト複合フィルムの作製は困難であった。

そこで、本願発明では、グラファイトフィルムの熱輸送能力に着目して、上記２点の問題点を解決した。本願発明の手法を用いれば、複合材（粘着層、保護フィルム層）は必ずしも難燃性を示さなくてもよく、可燃性の複合材を熱輸送能力の大きなグラファイトと複合することで難燃性が発現する場合があることを見出した。本願発明の難燃性が発現するメカニズムは以下１）〜３）のように考えられる。

１）材料を燃焼させる際、材料に着火させるためには、着火ポイントの温度が局所的にある温度以上まで加熱されなければならない。

２）一端着火しても燃え続けるためには、燃焼部分の温度が常にある温度以上に保たれなければならない。

３）通常では燃える材料でも、グラファイトフィルムのように熱輸送能力の高い材料と複合すれば、局所的な加熱に対してグラファイトフィルムが熱を素早く拡散してくれるために燃焼が抑制できるのである。

このように、本願発明では高い難燃性を示す複合材を使用しなくてよいので、粘着層に難燃剤を混合する必要がなくなる。そのため、粘着層の厚みを増加しなくてよく、上記の問題点を解決できる。また、難燃剤使用は少量よいため、粘着層を増加させなくても十分な粘着力が得られる。さらに、ハロゲン系難燃剤以外の難燃剤を使用した場合でも十分な効果が得られる。ただし、単にグラファイトフィルムと複合材を組み合わせてもグラファイト複合フィルムの難燃性は十分に向上させることができない。難燃性は十分に向上させるためには、（複合材の燃え難さと厚み）に対して、（グラファイトフィルムの熱輸送能力）のバランスが重要となる。

よって、本願発明のグラファイト複合フィルムは、熱輸送能力の大きなグラファイトフィルムを用い、複合材の燃え難さと厚みをグラファイトフィルムの熱輸送能力のバランスを制限するなどの工夫をし、難燃性を示すグラファイト複合フィルムを作製した。また、複合材の厚みを制限したことで、結果的に放熱特性が損なわれないグラファイト複合フィルムが作製できた。

すなわち、本願発明は、（１）グラファイトフィルムと粘着層を有する材料を含むグラファイト複合フィルムにおいて、前記グラファイトフィルムの熱伝導率２００Ｗ／ｍＫ以上であり、かつ、前記グラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gと前記粘着層を有する材料の厚みＴ_Aの比Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aが１５０以上３０００００以下であることを特徴とするグラファイト複合フィルムであり、
（２）前記グラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gと前記粘着層を有する材料の厚みＴ_Aと難燃性を示す係数β_Aの積の比Ｔ_G・λ_G／Ｔ_A・β_Aが６００以上であることを特徴とする前期グラファイト複合フィルムに関する。

さらに好ましくは、（３）前記グラファイトフィルムの熱伝導率４００Ｗ／ｍＫ以上、厚みが１０μｍ以上１５０μｍ以下であり、前記粘着層を有する材料の厚みが３μｍ以上１００μｍ以下であり、さらに前記グラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gと前記粘着層を有する材料の厚みＴ_Aと難燃性を示す係数β_Aの積の比Ｔ_G・λ_G／Ｔ_A・β_Aが２０００以上であることを特徴とする（１）または（２）に記載のグラファイト複合フィルムである。
また、（４）前記粘着層を有する材料が、粘着層からなるフィルム、粘着層／基材からなるフィルム、粘着層／基材／粘着層の群からなるフィルムの少なくとも１種類であり、（５）前記粘着層が、シリコーン系、アクリル系、合成ゴム系からなる群の少なくとも１種類を含み、かつ、厚みが１μｍ以上５０μｍ以下であり、（６）前記基材が、ポリイミド系樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系樹脂、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）系樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）系樹脂、ポリエステル系樹脂の群からなる少なくとも１種類であり、かつ、厚み１μｍ以上３０μ以下のフィルムであることが好ましい。

そして、（７）上記記載のグラファイト複合フィルムは、総厚みが２００μｍ以下であることが好ましい。

放熱特性を損なわず難燃性を付与したグラファイト複合フィルムを提供する。

難燃性を示す係数βを求めるための燃焼試験用サンプル難燃性を示す係数βを求めるための燃焼試験粘着層を有する材料構成グラファイト複合フィルムの構成スモールパーツ難燃試験サンプルスモールパーツ難燃試験サンプル固定冶具スモールパーツ難燃試験サンプル固定方法スモールパーツ難燃試験サンプルの接炎方法放熱性テスト

符号の説明

１１燃焼試験用サンプル
１２粘着層を有する材料
１３炭化フィルム
１４上図
１５断面図
２１ガズバーナー
２２保持クランプ
３１粘着層からなるフィルム
３２粘着層／基材からなるフィルム
３３粘着層／基材／粘着層からなるフィルム
３４粘着層
３５基材（プラスチックフィルム）
４１粘着層を有する材料／グラファイトフィルム
４２粘着層を有する材料／グラファイトフィルム／粘着層を有する材料
４３グラファイトフィルムの片面に粘着層を有する材料が２層以上形成された構造
４４グラファイトフィルム
４５粘着層を有する材料
５１スモールパーツ用難燃試験サンプル
５２グラファイトフィルム
５３粘着層を有する材料
６１銅板
６２ボルト固定用の穴
７１ボルト
９１セラミックヒーター
９２放熱用ゲルシート
９３グラファイト複合フィルム

本願発明の第一は、グラファイトフィルムと粘着層を有する材料を含むグラファイト複合フィルムにおいて、前記グラファイトフィルムの熱伝導率２００Ｗ／ｍＫ以上、厚みが５μｍ以上５００μｍ以下であり、前記粘着層を有する材料の厚みが１μｍ以上２００μｍ以下であり、さらに前記グラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gと前記粘着層を有する材料の厚みＴ_Aの比Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aが１５０以上３０００００以下であることを特徴とするグラファイト複合フィルムである。

＜本願発明に使用するグラファイトフィルム＞
本願発明で使用するグラファイトフィルムの構造、性能等に特に制限を受けることなく、一般に市販されているグラファイトフィルムが使用可能である。本願発明のグラファイトフィルムは、高分子を熱処理して得られるグラファイトフィルム、天然黒鉛を原料とするエキスパンドして得られるグラファイトフィルム等がある。高分子熱分解法とは、ポリオキサジアゾール、ポリイミド、ポリフェニレンビニレン、ポリベンゾイミダゾール、ポリベンゾオキサゾール、ポリチアゾールまたはポリアミド等の高分子フィルムをアルゴン、ヘリウム等の不活性雰囲気下や減圧下で熱処理する方法である。また、エキスパンド法は、粉状、燐片状の天然黒鉛を酸に浸漬後、加熱によりグラファイト層間を拡げることによって得られる膨張黒鉛をロールプレス加工する方法である。

本願発明に使用するグラファイトフィルムは、高分子分解法により得られるグラファイトフィルムが特に適している。なぜなら、高分子分解法で得られるグラファイトフィルムは、熱伝導性に優れたものが得られやすく、複合フィルムを作製した際、燃焼ポイントの熱をグラファイトフィルムがすばやく拡散してくれるために、グラファイト複合フィルムの難燃性は高くなる。

一方、天然黒鉛を原料とするエキスパンド法で作成されるグラファイトフィルムは、粉状、燐片状の天然黒鉛を酸に浸漬後、加熱によりグラファイト層間を拡げることによって得られた膨張黒鉛をロールプレス加工する方法であり、出発原料に粉末を使用しているために、熱輸送能力が小さなものが多い。ただし、エキスパンド法で作成されるグラファイトフィルムでも熱輸送能力に応じて、複合材の厚みを制限すれば、燃え難いグラファイト複合フィルムが作製できる。

＜グラファイトフィルムの熱伝導率＞
本願発明のグラファイトフィルムの面方向の熱伝導率は、２００Ｗ／ｍ・Ｋ以上、好ましくは４００Ｗ／ｍ・Ｋ以上である。特に、高分子フィルムを熱処理して得られるグラファイトフィルムにおいては、５００Ｗ／ｍ・Ｋ以上、好ましくは１０００Ｗ／ｍ・Ｋ以上、さらに好ましくは１２００Ｗ／ｍ・Ｋ以上であると良い。

熱伝導率は、２００Ｗ／ｍ・Ｋ以上であると、粘着層や保護フィルム層を形成した複合品を作製しても、グラファイト複合フィルムの難燃性は高くなる。一方、２００Ｗ／ｍ・Ｋ未満であると、粘着層や保護フィルム層単体の難燃性が非常に高くなければグラファイト複合品フィルムとして難燃性は高くない。

また、グラファイトフィルムの熱伝導率が５００Ｗ／ｍ・Ｋ以上になると、難燃性があまり高くない複合材を用いてグラファイト複合フィルムを作製した場合でも、複合品として高い難燃性を示すために好ましい。

＜グラファイトフィルムの熱拡散率＞
本願発明で使用するグラファイトフィルムの面方向の熱拡散率は、３．０×１０^-4ｍ²／ｓ以上、好ましくは５．０×１０^-4ｍ²／ｓ以上、さらに好ましくは７．０×１０^-4ｍ²／ｓ以上であると良い。３．０×１０^-4ｍ²／ｓ以上になると、グラファイトフィルムの熱伝導率が向上するため、粘着層、保護フィルム層を形成したグラファイト複合フィルムも、十分高い難燃性を示すことができる。

このような熱拡散率は、グラファイト化の進行状況の指標となり、例えば、フィルム面方向の熱拡散率が高いほど、グラファイト化が顕著であることを意味している。そして、熱拡散率は、光交流法による熱拡散率測定装置（アルバック理工（株）社から入手可能な（商品名）「ＬａｓｅｒＰｉｔ」）を用いて、２０℃の雰囲気下、１０Ｈｚにおいて測定できる。

＜グラファイトフィルムの厚み＞
本願発明のグラファイトフィルムの厚みは、５μｍ以上５００μｍ以下、好ましくは１０μｍ以上１５０μｍ以下、さらに好ましくは２０μｍ以上７０μｍ以下である。

厚みが５μｍ以下のグラファイトフィルムは熱輸送能力が小さいために、グラファイト複合フィルムを作製した場合の難燃性は向上しない。一方、厚みが５μｍ以上になると、熱輸送能力が大きくなるために、燃焼ポイントの熱をグラファイトフィルムが拡散してくれるためにグラファイト複合フィルムが燃え難くなる。

また、５００μｍより大きいグラファイトフィルムを使用してグラファイト複合フィルムを作製すると、複合フィルムの厚みが非常に厚くなるために、小型化された電子機器の小スペースに搭載できない（搭載するためにはグラファイト複合フィルムを搭載するスペースを予め設計しなければならない）。また、厚みの厚いグラファイトフィルムを使用したグラファイト複合フィルムは屈曲特性も悪いために、取り付け時に折れが発生したり、屈曲部での使用が困難になったりなどの不具合が生じるので、熱輸送能力がある程確保できる範囲で、グラファイトフィルムはできるだけ薄いものが適している。グラファイトフィルムの熱輸送能力は熱伝導率の項で稼いだほうがよい。

グラファイトフィルムの厚みの測定方法としては、５０ｍｍ×５０ｍｍのフィルムを厚みゲージ（ハイデンハイン（株）社から入手可能な「厚みゲージ」）を用い、室温２５℃の恒温室にて、任意の１０点を測定し、平均して測定値とした。

＜グラファイトフィルムの密度＞
本願発明に使用するグラファイトフィルムの密度は、１．０ｇ／ｃｍ³以上、好ましくは１．３ｇ／ｃｍ³以上、さらに好ましくは１．５ｇ／ｃｍ³以上である。一般的に密度が大きいグラファイトフィルムは熱伝導率が大きく熱輸送能力に優れるために、グラファイト複合フィルムの難燃性は向上する。また、同じ熱輸送能力でも厚みを薄くできるので、小型電子機器への搭載もし易くなる。

グラファイトフィルムの密度の測定は、グラファイトフィルムの重量（ｇ）をグラファイトフィルムの縦、横、厚みの積で算出した体積（ｃｍ³）の割り算により算出できる。

＜グラファイトフィルムの比熱＞
本願発明に使用するグラファイトフィルムの５０℃における比熱は、７００Ｊ／Ｋｇ・Ｋ以上、好ましくは７３０Ｊ／Ｋｇ・Ｋ以上、さらに好ましくは７５０Ｊ／Ｋｇ・Ｋ以上である。グラファイトフィルムの比熱が大きい程、熱輸送能力が大きくなる。グラファイトフィルムの比熱測定は、ＤＳＣ法により測定できる。

＜グラファイトフィルムの熱輸送能力＞
本願でたびたび使用した、熱輸送能力とは、ある材料がどれだけ熱を輸送できるかの量である。この熱輸送能力は、材料（シート状）の熱伝導率と、厚みがわかれば相対的に比較できる。熱伝導率が大きいほど、厚みが厚いほど、材料の熱輸送能力は大きくなる。材料の熱伝導率は上述のように、熱拡散率、比熱、密度を掛け合わせた値なので、材料の熱輸送能力は、熱拡散率、比熱、密度、厚みが大きい程熱輸送能力は大きくなる。具体的には、グラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積に比例する値である。

＜本願発明の粘着層を有する材料の厚みＴ_A＞
本願発明の粘着層を有する材料の厚みは、１μｍ以上２００μｍ以下、好ましくは３μｍ以上１００μｍ以下、さらに好ましくは５μｍ以上８４μｍ以下である。粘着層を有する材料の厚みが２００μｍ以下であれば、グラファイトフィルムの熱輸送能力に対して、燃料となる粘着層を有する材料の量が少なくなるために、熱の拡散効果が十分となりグラファイト複合フィルムの難燃性は向上する。一方、粘着層を有する材料の厚みが２００μｍより大きい場合は、グラファイトフィルムの熱輸送能力が足りず、燃焼ポイントの熱を拡散出来なくなり、グラファイト複合フィルムの難燃性は悪くなる。

＜本願発明の粘着層を有する材料の難燃性を示す係数β_A＞
本願発明の粘着層を有する材料の難燃性を示す係数β_Aは、材料の難燃性を示し、その値が大きい程燃えやすく、値が小さい程燃えにくい材料と言える。

本願発明の粘着層を有する材料の難燃性を示す係数β_Aの具体的レベルは、０．３以下、好ましくは０．２５以下、さらに好ましく０．２１以下であるとよい。β_Aが０．３以下であれば、粘着層を有する材料の難燃性がある程度有することを示し、グラファイトへ複合する量を増加させることができる。つまり、ある程度の厚みを有する材料を複合した場合であっても、グラファイト複合フィルムは燃えにくくなる。

難燃性を示す係数の求める方法は、図１のように幅１２．５ｍｍ×１２５ｍｍの複合材（両面テープ、保護テープなど）を同じサイズの厚み６２μｍの炭化フィルム基板に貼り合わせる（炭化フィルム基板は７５μｍのポリイミドフィルムを１０００℃まで２．５℃／ｍｉｎで処理したもの）。図２のように、４５°傾けた状態でサンプルを貼り合わせた炭化フィルム基板をクランプで固定し、試験片の下端にバーナー炎をあてて５秒間保ち、その後バーナー炎を試験片から離す。炎を離してから炎が消えるまでの時間Ｌを測定する。

さらに次式にて、粘着層を有する材料の難燃性を示す係数β_Aを算出する。

β_A＝Ｌ² ／２５（Ｌ≦５） β_A＝１（Ｌ≧５）
＜本願発明の粘着層を有する材料の構成＞
本願発明の粘着層を有する材料の構成は、粘着層からなるフィルム、粘着層／基材からなるフィルム、粘着層／基材／粘着層などが想定される。これらの粘着層を有する材料の構成は、図３に示すように粘着層、基材を面状に貼り合わせた形態である。上述の一例としては、それぞれ、基材なしの両面テープ、片面のプラスチックテープ、基材ありの両面テープなどがある。ただし、ここに示した粘着層を有する材料の構成は、あくまでも一例であり、これらに限定されるものではない。

＜粘着層の材質＞
本願発明の粘着層の材質は、シリコーン系、アクリル系、合成ゴム系の群から選ばれる少なくとも１種類の粘着材を含有している。難燃性が高いシリコーン系の粘着層を使用するとグラファイト複合フィルムの難燃性は向上するが、シリコーン系の粘着剤は、汎用品のアクリル系の粘着剤と比較して高コストであること、また電子機器の短絡欠陥などを招くシロキサン問題で使用が難しい場合もあるため、アクリル系の粘着材を用いたグラファイト複合フィルムの作製が求められる場合が多い。合成ゴム系の粘着層は熱劣化しやすいことから、このような用途での使用はシリコーン系、アクリル系と比較して向いていない。ここに示した粘着層を有する材料の構成は、あくまでも一例であり、これらに限定されるものではない。

＜粘着層に添加する難燃剤＞
本願発明で使用される粘着層に添加する難燃剤は、様々な難燃剤を使用することができる。通常高い難燃効果を有するハロゲン系難燃剤と酸化アンチモンとを粘着剤中に配合して、粘着テープを難燃化するのが一般的であるが、ハロゲン系難燃剤は、焼却時に有毒な含ハロゲン系ガスを発生したり、金属を腐食させたりする問題があり、又、酸化アンチモンは、人体に悪影響があると指摘されている等の問題があることから、ハロゲン系難燃剤と酸化アンチモンを使用していない粘着層を使用してグラファイト複合フィルムを作製するほうがよい。以下にハロゲン系難燃剤と酸化アンチモンを使用していない粘着層の一例を例示する。

粘着層に添加する難燃剤の種類はハロゲン系難燃剤以外の難燃剤としては、水酸化アルミニウムや水酸化マグネシウム等の金属水酸化物系難燃剤を用いる方法が知られているが、金属水酸化物系難燃剤は、ハロゲン系難燃剤よりも難燃効果が遙かに劣っている。又、ハロゲン系難燃剤程の高い難燃性ではないが、比較的難燃効果が高いリン系化合物を用いることが行われている。中でも、難燃効果が高いポリリン酸アンモニウム等の窒素元素を含有したリン系難燃剤と赤リンとの組み合わせが提案されている。窒素含有リン系化合物以外のリン系難燃剤として、リン酸エステル系難燃剤を用いることが知られている。リン酸エステル系難燃剤を難燃剤に使用した粘着層の具体的一例として、粘着剤ベースポリマー１００質量部に対して、難燃剤２０〜３００質量部と、芳香族含有付与樹脂５〜５０質量部を添加した粘着層などがある。ここに示した難燃剤はあくまでも一例であり、これらに限定されるものではない。

以上、ハロゲン系難燃剤と酸化アンチモンを使用していない粘着層をいくつか例示したが、このような粘着材の難燃性はあまり高くない。しかしながら、熱伝導率が高く、厚みの厚い熱輸送能力に優れたグラファイトフィルムと複合することで、局所的に加熱される熱を拡散できるため複合材の燃焼が抑制される。ただし、燃焼を抑制するためには、（複合材の燃えにくさと厚み）、（グラファイトフィルムの熱輸送能力）のバランスなどが重要であり、本願発明のように、複合材の厚みをグラファイトフィルムの熱輸送能力に応じて制限するなどの工夫をしなければならない。

＜粘着層に添加する難燃剤の添加量＞
本願発明の粘着層に添加される難燃剤の添加量は、９０％以下、好ましくは８０％以下、さらに好ましく６５％以下である。粘着層に添加される難燃剤の添加量が９０％より多いと、粘着層の粘着力が大きく劣化するために、粘着層の厚みを増加させなければならない。このような粘着層を用いたグラファイト複合フィルムでは、発熱体の熱をグラファイトにスムーズに伝えることができないために、放熱特性が劣化してしまう。なお、「％」は「質量％」を示すものであり、粘着材のベースポリマーに対する難燃剤の割合である。

＜粘着層の厚み＞
本願発明の粘着層の厚みが１μｍ以上５０μｍ以下、好ましくは３μｍ以上４０μｍ以下、さらに好ましくは５μｍ以上３０μｍ以下である。粘着層の厚みが５０μｍより厚い場合、グラファイトフィルムの熱輸送能力に対する粘着層を有する材料の厚みが増加するため、難燃性が悪くなる場合がある。また、粘着層を有する材料の厚みが増加すると、発熱体の熱をグラファイトにスムーズに伝えることができないために、グラファイト複合フィルムの放熱特性が劣化してしまう。また、粘着層の厚みが１μｍより薄い場合は、粘着力が十分でないためよくない。

＜基材の材質＞
本願発明の基材の材質は高分子フィルムであるとよい。一例として、ポリイミド系樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系樹脂、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）系樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）系樹脂、ポリエステル系樹脂の群からなる少なくとも１種を含む高分子フィルムなどが挙げられる。これらの内、ポリイミド系樹脂フィルムは非常に高い難燃性を示すため、ポリイミド系樹脂フィルムを基材としたグラファイト複合フィルムの難燃性は向上するためこのような用途には特に適している。しかしながら、汎用品であるであるＰＥＴ系樹脂フィルムなどと比較して高価であるため、敬遠される場合もある。ＰＥＴ系樹脂フィルムなどの汎用フィルムを基材に使用した場合、難燃性は劣るものの、前述しているように、熱伝導率が高く、厚みの厚い熱輸送能力に優れたグラファイトフィルムと複合することで難燃性を向上させることができる。ただし、何度も記述したように、燃焼を抑制するためには、複合材の燃え難さと厚み、グラファイトフィルムの熱輸送能力のバランスなどが重要であり、本願発明のように、複合材の厚みをグラファイトフィルムの熱輸送能力に応じて制限するなどの工夫をしなければならない。ここに示した基材の材質は、あくまでも一例であり、これらに限定されるものではない。

＜基材の厚み＞
本願発明の基材の厚みが１μｍ以上３０μｍ以下、好ましくは３μｍ以上２５μｍ以下、さらに好ましくは５μｍ以上２０μｍ以下である。基材の厚みが３０μｍより厚い場合、グラファイトフィルムの熱輸送能力に対する粘着層を有する材料の厚みが増加するため、難燃性が悪くなる場合がある。また、粘着層を有する材料の厚みが増加すると、発熱体の熱をグラファイトにスムーズに伝えることができないために、グラファイト複合フィルムの放熱特性が劣化してしまうためによくない。また、基材の厚みが１μｍより薄い場合は、基材（支持体）または保護層としての役割を果たさなくなるためによくない。

＜グラファイト複合フィルムの主な構成＞
本願発明のグラファイト複合フィルムの主な構成として、図４のように、片面（粘着層を有する材料／グラファイトフィルム）、両面（粘着層を有する材料／グラファイトフィルム／粘着層を有する材料）がある。

前述したように、粘着層を有する材料はの一例として、基材なしの両面テープ、片面のプラスチックテープ、基材ありの両面テープなどがある。

したがって、片面では（基材なしの両面テープ／グラファイトフィルム）、（片面のプラスチックテープ／グラファイトフィルム）、（基材ありの両面テープ／グラファイトフィルム）がある。また両面では、それらを組み合わせた（基材なしの両面テープ／グラファイトフィルム／基材なしの両面テープ）、（片面のプラスチックテープ／グラファイトフィルム／片面のプラスチックテープ）、（基材ありの両面テープ／グラファイトフィルム／基材ありの両面テープ）、（基材なしの両面テープ／グラファイトフィルム／片面のプラスチックテープ）、（基材なしの両面テープ／グラファイトフィルム／基材ありの両面テープ）、（片面のプラスチックテープ／グラファイトフィルム／基材ありの両面テープ）の６種類などの構成が考えられる。

また上述した２層構造（粘着層を有する材料／グラファイトフィルム）、３層構造（粘着層を有する材料／グラファイトフィルム／粘着層を有する材料）に限らず、グラファイトフィルムの片面に粘着層を有する材料が２層以上形成された構造でもよい。一例としては、（片面のプラスチックテープ／グラファイトフィルム／片面のプラスチックテープ／基材なしの両面テープ）などが考えられる。ただし、ここに示したグラファイト複合フィルムの主な構成は、あくまでも一例であり、これらに限定されるものではない。
＜グラファイト複合フィルムの他の材料との貼り合わせ方法＞
本願発明のグラファイト複合フィルムと他材料との貼り合わせ方法として、前項に示したいくつかのグラファイト複合フィルムにおいて、両面テープが表面に形成されたものは、その両面テープを介して他の材料と貼り合わせてもよいし、新たな粘着層を介して貼り合わせてもよい。前項の（片面のプラスチックテープ／グラファイトフィルム／片面のプラスチックテープ）は、グラファイト複合フィルム表面に両面テープが露出していないため、新たな粘着層を介して他の材料との貼り合わせをおこなってもよい。

ただし、ここに示したグラファイト複合フィルムの他の材料との貼り合わせ方法は、あくまでも一例であり、これらに限定されるものではない。

＜ＵＬ９４で規定される難燃試験＞
ＵＬは世界の安全規格（ＳＡＦＥＴＹＳＴＡＮＤＡＲＤＳ）を代表するものであり、米国のＵＮＤＥＲＷＲＩＴＥＲＳＬＡＢＯＲＡＴＯＲＩＥＳＩＮＣ．社が制定、認可している電気機器に関する安全性の規格である。ＵＬの認定を受けることがすなわち安全の証であるとさえいわれており、電気製品、火災予防機器、プラスチック材料、リチウム電池、電気自動車関係機器などさまざまな分野の製品に対してＵＬが適用されている。

ＵＬ９４のカテゴリーは“装置及び器具部品用のプラスチック材燃焼性試験”であり、水平及び垂直燃焼試験の２種類がある
＜ＵＬ９４水平試験ＨＢ規格＞
短冊状の試験片を水平に置いて燃焼させ、その燃焼が進む速度で合否判定するものである。試験片の厚みに応じて、４０ｍｍ／分と７５ｍｍ／分の２種類の基準がある。

＜ＵＬ９４垂直試験Ｖ−０、Ｖ−１、Ｖ−２＞
Ｖ−０，Ｖ−１，Ｖ−２ともに試験方法は共通で、５本の試験片を用いて判定する。垂直に支持した短冊状の試験片の下端にバーナー炎をあてて１０秒間保ち、その後バーナー炎を試験片から離す。炎が消えれば直ちにバーナー炎を更に１０秒間あてたのちバーナー炎を離す。

Ｖ−０，Ｖ−１，Ｖ−２の判定は、１回目と２回目の接炎終了後の有炎燃焼持続時間、２回目の接炎終了後の有炎燃焼持続時間及び無炎燃焼持続時間の合計、５本の試験片の有炎燃焼時間の合計、並びに燃焼滴下物（ドリップ）の有無で判定する。１回目，２回目ともにＶ−０は１０秒以内、Ｖ−１とＶ−２は３０秒以内に有炎燃焼を終えなければならない。更に２回目の有炎燃焼持続時間と無炎燃焼時間の合計が、Ｖ−０は３０秒以内、Ｖ−１とＶ−２は６０秒以内で消えることとなっている。更に５本の試験片の有炎燃焼時間の合計が、Ｖ−０は５０秒以内、Ｖ−１とＶ−２は２５０秒以内となっている。また、燃焼落下物はＶ−２のみに許容される。なお、すべての試験片は燃え尽きてはいけない。

＜ＵＬ９４垂直試験ＶＴＭ−０、ＶＴＭ−１、ＶＴＭ−２＞
薄膜のプラスチックフィルムなどに適用される試験であり、筒状サンプルを使用する。判定方法はＶ−０，Ｖ−１，Ｖ−２と同様である。

＜ＵＬ９４５ＶＡ、５ＶＢ＞
５ＶＡと５ＶＢは、Ｖ−０，Ｖ−１，Ｖ−２試験のバーナー炎よりおよそ１０倍大きい燃焼エネルギーのバーナー炎を使用して判定する最高部類の燃焼性クラスである。５ＶＡと５ＶＢの試験方法は同じで、Ｂａｒ（短冊状試験片）試験とＰｌａｑｕｅ（板状試験片）試験の両方で判定する。Ｂａｒ（短冊状試験片）試験による難燃性能基準は同じであるが、Ｐｌａｑｕｅ（板状試験片）試験での穴開きに関する判定で、５ＶＡ：開口なきこと、５ＶＢ：開口があっても良い、と判定する。

＜ＵＬ９４各種規格合格の難易度＞
上述したＵＬ９４難燃試験の各規格の合格の難易度は、ＨＢ規格、Ｖ−２（ＶＴＭ−２）規格、Ｖ−１（ＶＴＭ−１）規格、Ｖ−０（ＶＴＭ−０）規格、５Ｖ規格の順で難しくなる。電気・電子部品、機械機構部品、自動車部品などの工業用材料としてはＵＬ−９４のＶ−２（ＶＴＭ−２）規格以上を示す難燃性が求められる場合が多い。

＜本発明のグラファイト複合フィルムのＵＬ９４難燃試験＞
本発明のグラファイト複合フィルムは、ＵＬ９４の難燃試験に水平試験にて、ＨＢ規格に合格するとよい。ＨＢ規格に合格できないと、電子機器などに求められる難燃性は達成できない。

また、本発明のグラファイト複合フィルムは、ＵＬ９４の難燃試験に垂直円筒試験にて、ＶＴＭ−２に合格する、好ましくはＶＴＭ−１に合格する、さらに好ましくはＶＴＭ−０に合格するとよい。ＶＴＭ−２に合格できないと、電子機器などに求められる難燃性は達成できない。

さらに、本発明のグラファイト複合フィルムは、ＵＬ９４の難燃試験に垂直短冊試験にて、Ｖ−２に合格する、好ましくはＶ−１に合格する、さらに好ましくはＶ−０に合格するとよい。Ｖ−２に合格できないと、電子機器などに求められる難燃性は達成できない。

＜グラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gと粘着層を有する材料の厚みＴ_Aの比Ｔ_G・λ_G／Ｔ_A＞
前述したように、グラファイト複合フィルムの燃焼を抑制するためには、グラファイトフィルムの熱輸送能力に対して複合材の量が十分にすくなければ達成できる。グラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gはグラファイトフィルムの熱輸送能力を示す値であり、粘着層を有する材料の厚みＴ_Aは複合材の量に対応する値となっている。Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aの値が大きいと、つまり複合材の量に対してグラファイトフィルムの熱輸送能力が大きいと、複合材の燃焼熱をグラファイトが拡散してくれるために、グラファイト複合フィルムの難燃性が向上する。一方、Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aの値が小さいと、つまり複合材の量に対してグラファイトフィルムの熱輸送能力が小さいと、グラファイトが熱を拡散しきれず、局所的に温度が上昇するので、グラファイト複合フィルムの難燃性は悪くなる。
また、一方、Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aの値が大きすぎても、つまり粘着層を有する材料の厚みが薄すぎても、グラファイトフィルムと粘着材を有する材料の密着力が悪くなるためによくない。

本願発明のグラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gと粘着層を有する材料の厚みＴ_Aの比Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aは、１５０以上３０００００以下、好ましくは２５０以上２５００００以下、さらに好ましくは３００以上２０００００以下であるとよい。

Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aが１５０より小さいとグラファイト複合フィルムの難燃性は悪くなる。Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aの値が０、つまり、グラファイトフィルムと貼り合わせていない、複合材単体は非常に燃えやすい。一方、Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aが１５０以上であると、グラファイト複合フィルムの難燃性は向上する。具体的には、ＵＬ９４で規定する難燃試験のＶＴＭ−２の試験に合格できるほどの難燃性が発現する。

また、Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aが３０００００より大きい場合は、粘着層を有する材料の厚みが薄すぎても、グラファイトフィルムと粘着材を有する材料の密着力が悪くなる。

＜グラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gと粘着層を有する材料の厚みＴ_Aの比Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aと難燃性（ＵＬ９４）の相関＞
Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aが１５０より小さいとグラファイト複合フィルムの難燃性は悪くなる。Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aの値が０、つまり、グラファイトフィルムと貼り合わせていない、複合材単体は非常に燃えやすく、ＨＢ、ＶＴＭ、Ｖ規格のすべてに到達できない。また、Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aが１５０以上であると、ＵＬ９４規格の水平試験ＨＢ規格に合格できるようになる。さらに、Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aが２５０以上であると、ＵＬ９４規格の垂直筒状評価でＶＴＭ−０規格に合格できるようになる。さらに、Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aが３００以上であると、ＵＬ９４規格の垂直短冊状評価でＶ−０規格に合格できるようになる。

＜グラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gと粘着層を有する材料の厚みＴ_Aと難燃性を示す係数β_Aの積の比Ｔ_G・λ_G／Ｔ_A・β_A＞
前述したように、グラファイト複合フィルムの燃焼を抑制するためには、グラファイトフィルムの熱輸送能力に対する、複合材の燃えにくさと厚みのバランスが重要となる。グラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gはグラファイトフィルムの熱輸送能力を示す値であり、粘着層を有する材料の厚みＴ_Aと難燃性を示す係数β_Aの積の比Ｔ_G・λ_G／Ｔ_A・β_Aは、複合材の燃えにくさと厚みの積となっている。Ｔ_G・λ_G／Ｔ_A・β_Aの値が大きいと、つまり複合材の燃えにくさと厚みに対してグラファイトフィルムの熱輸送能力が大きいと、複合材の燃焼熱をグラファイトが拡散してくれるために、グラファイト複合フィルムの難燃性が向上する。一方、Ｔ_G・λ_G／Ｔ_A・β_Aの値が小さいと、つまり複合材の燃えにくさと厚みに対してグラファイトフィルムの熱輸送能力が小さいと、グラファイトが熱を拡散しきれず、局所的に温度が上昇するので、グラファイト複合フィルムの難燃性は悪くなる。

本願発明のグラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gと粘着層を有する材料の厚みＴ_Aと難燃性を示す係数β_Aの積の比Ｔ_G・λ_G／Ｔ_A・β_Aの具体的レベルは、６００以上、好ましくは２０００以上、さらに好ましくは２５００以上であるとよい。Ｔ_G・λ_G／Ｔ_A・β_Aが６００より小さいとグラファイト複合フィルムの難燃性は悪い。一方、Ｔ_G・λ_G／Ｔ_A・β_Aが６００以上であると、グラファイト複合フィルムの難燃性は向上する。具体的には、ＵＬ９４で規定する難燃試験のＶＴＭ−０の試験に合格できるほどの難燃性が発現する。また、Ｔ_G・λ_G／Ｔ_A・β_Aが２０００以上であると、グラファイト複合フィルムの難燃性はさらに向上し、具体的には、ＵＬ９４で規定する難燃試験のＶ−２の試験に合格できるほどの難燃性を有するようになる。

＜スモールパーツによる難燃試験＞
ＵＬ９４規格に基づいた試験では、サンプルの形状が１５ｍｍ×１２５ｍｍである。このサンプルサイズより小さなサンプルの場合、以下の方法で難燃性を判断する。

測定試料のサイズは長さ４０±１ｍｍ、幅２０±０．５ｍｍとし、図５のように端部１０ｍｍはグラファイト層をむき出しにする。グラファイト層をむき出しにする方法は、アセトンなどの溶媒で粘着層を溶かし、粘着層及びプラスチックフィルム層を剥がす。

次に、図６に示すような、５０ｍｍ×５０ｍｍ×厚さ１ｍｍの銅板（四隅にφ５ｍｍのボルト固定用の穴が空いている）２枚で測定試料のグラファイト層がむき出しになっている部分を挟みボルトで固定する。銅板の表面粗さはＲａ０．５μｍ以下とする。詳細なサイズ、位置関係は図７に示す。

バーナーへのメタン・ガス供給は、１分当り５０ｍｌになるように調節し、バーナーからの高さ１０±１ｍｍの青炎が出るように調節する。

バーナーは、毎秒約３００ｍｍの割合で、幅が広い方の面に水平に試料に近づけなければならない。図８のように、バーナーの先端が試料の下端より下５±１ｍｍになるようにして、試料の下端の縁の中央部分に炎を当て、炎の長さ又は位置の如何なる変化に応じて必要なだけバーナーを移動する。もし、試料が縮むか、ゆがむか、又は融ける場合、接炎点はその試料の主要な部分と接触のある状態を保たなければならない。

接炎中、試料が材料を滴下させる場合、試料の幅広の面に対して垂直方向に４５±５°の角度でバーナーを傾けて、バーナーの先端の中心点と損傷を受けた試料の残っている主要部分（溶けた材料の垂れている部分は無視する）との間の間隔５±１ｍｍを維持している間、材料がバーナーの円筒部に落ちるのを防止するために試料の下からちょうど良い程度にバーナーを引っ込める。

試料への接炎を３±０．５秒間行なった後、直ちに毎秒約３００ｍｍの割合で少なくとも試料から１５０ｍｍバーナーを遠ざけ、試料が銅板の下部まで燃えるか否かを確認する。もし、接炎を３±０．５秒間行なっても燃えなかった場合、試料の残炎が消滅した時点で、直ちにバーナーを試料の下に再び持ってきて、試料の残りの主要部分から５±１ｍｍ離れた箇所にバーナーを５±０．５秒間保持し、直ちに毎秒約３００ｍｍの割合で少なくとも試料から１５０ｍｍバーナーを遠ざけ、試料が銅板の下部まで燃えるか否かを確認する。さらに、接炎を５±０．５秒間行なっても燃えなかった場合、試料の残炎が消滅した時点で、直ちにバーナーを試料の下に再び持ってきて、試料の残りの主要部分から５±１ｍｍ離れた箇所にバーナーを１０±０．５秒間保持し、直ちに毎秒約３００ｍｍの割合で少なくとも試料から１５０ｍｍバーナーを遠ざけ、試料が銅板の下部まで燃えるか否かを確認する。測定は各サンプルにつき、５回実施し最も悪い結果を測定結果とする。試験室換気フードは各試料の試験終了後に排気されなければならない。

＜グラファイトフィルムの厚みＴ_Gと熱伝導率λ_Gの積Ｔ_G・λ_Gと粘着層を有する材料の厚みＴ_Aの比Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aと難燃性（スモールパーツ用）の相関＞
Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aが１５０より小さいとグラファイト複合フィルムの難燃性は悪くなる。Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aの値が０、つまり、グラファイトフィルムと貼り合わせていない、複合材単体は非常に燃えやすく３秒の接炎ですべて燃焼する。一方、Ｔ_G・λ_G／Ｔ_Aが１５０以上であると、３秒の接炎でも燃えない。

＜本発明のグラファイト複合フィルムのスモールパーツによる難燃試験＞
本発明のグラファイト複合フィルムは、スモールパーツによる難燃試験に対して、３秒間接炎で合格する、好ましくは５秒接炎で合格する、さらに好ましくは１０秒接炎で合格するとよい。３秒接炎で合格しない複合フィルムであれば、その難燃性は悪く、近年の電子機器に求められるＵＬ９４の難燃基準（ＨＢ、ＶＴＭ、Ｖ規格）に合格できない。

＜本願発明のグラファイト複合フィルムの総厚＞
本願発明のグラファイト複合フィルムの総厚みは６００μｍ以下、好ましくは４００μｍ以下、特に好ましくは３００μｍ以下である。ただし、小型電子機器に搭載されるもの、屈曲部分で使用されるものについては総厚みが２００μｍ以下、好ましくは１５０μｍ以下、特に好ましくは９０μｍ以下である。

２００μｍ以下になると、小型化された電子機器の小スペースに搭載することができる。また、グラファイト複合フィルムの強度が低くなり、少ない力で折り曲げることが可能となり、その結果、折り曲げや屈曲でグラファイト複合フィルムに加わる応力が小さくなり、折れ・皺が発生しにくくなる。
＜本願発明で使用する特に優れたグラファイトフィルムの製造方法＞
本願発明に使用するグラファイトフィルムは、ポリイミドなどの高分子を熱処理して得られるグラファイトフィルムが特に適している。なぜなら、高分子分解法で得られるグラファイトフィルムは、熱伝導性に優れたものが得られやすく、複合フィルムを作製した際、燃焼ポイントの熱をグラファイトフィルムがすばやく拡散してくれるために、グラファイト複合フィルムの難燃性は高くなる。
＜ポリイミドフィルム＞
本願発明のグラファイトフィルムの原料フィルムは、ポリイミド、ポリアミド、ポリオキサジアゾール、ポリベンゾチアゾール、ポリベンゾビスチアゾール、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾビスオキサゾール、ポリパラフェニレンビニレン、ポリベンゾイミダゾル、ポリベンゾビスイミダゾール、ポリチアゾールのうちから選ばれた少なくとも一種類以上の高分子からなるフィルムである。

特に、本願発明のグラファイトフィルムの原料フィルムは、ポリイミドフィルムである。ポリイミドフィルムは、他の有機材料を原料とする原料フィルムよりもフィルムの炭化、黒鉛化が進行しやすいため、フィルムの熱拡散率、熱伝導率、電気伝導度が低温で均一に高くなりやすく、かつ熱拡散率、熱伝導率、電気伝導度そのものも高くなりやすい。また、厚みが薄い場合に加え、厚い場合においても熱伝導性の高いグラファイトとなる。また、出来上がるグラファイトの結晶性が優れ、耐熱性、折り曲げ性優れ、保護フィルムと貼り合わせた場合に、表面から黒鉛が落ちにくいグラファイトフィルムが得られやすい。

＜ポリイミドフィルムの厚み＞
本願発明のグラファイトフィルムの原料であるポリイミドフィルムの厚みは、１０μｍ以上２２５μｍ以下、好ましくは１５μｍ以上１７５μｍ以下、更に好ましくは２５μｍ以上１２５μま以下である。厚みが１０μｍ以下であると出来上がりのグラファイトフィルムの厚みが薄く、加熱点の熱を十分に輸送できずに、難燃性が悪くなる。一方、厚みが２２５μｍ以上のフィルムであると、表面性のよいグラファイトフィルムが得られない。

＜炭素化した高分子フィルム＞
本願発明で用いられる炭素化した高分子フィルムとしては、出発物質である高分子フィルムを減圧下もしくは不活性ガス中で予備加熱処理して得られる。この予備加熱は通常１０００℃程度の温度で行い、例えば１０℃／分の速度で昇温した場合には１０００℃の温度領域で３０分程度の温度保持を行うことが望ましい。

＜ポリイミドフィルムの製造方法＞
次に、ポリイミドの製造方法には、前駆体であるポリアミド酸を加熱でイミド転化する熱キュア法、またはポリアミド酸に無水酢酸等の酸無水物に代表される脱水剤やピコリン、キノリン、イソキノリン、ピリジン等の第３級アミン類をイミド化促進剤として用いてイミド転化するケミカルキュア法のいずれを用いてもよい。中でも、イソキノリンのように沸点の高いものほど好ましい。というのは、フィルム作製中の初期段階では蒸発せず、乾燥の最後の過程まで、触媒効果が発揮されやすいため好ましい。特に、得られるフィルムの線膨張係数が小さく、弾性率が高く、複屈折が大きくなりやすく、また比較的低温で迅速なグラファイト化が可能で、品質のよいグラファイトを得ることができるという観点からケミカルキュアの方が好ましい。特に、脱水剤とイミド化促進剤を併用することは、得られるフィルムの線膨張係数が小さく、弾性率が大きく、複屈折が大きくなり得るので好ましい。また、ケミカルキュア法は、イミド化反応がより速く進行するので加熱処理においてイミド化反応を短時間で完結させることができ、生産性に優れた工業的に有利な方法である。

具体的なケミカルキュアによるフィルムの製造においては、まずポリアミド酸溶液に化学量論以上の脱水剤と触媒からなるイミド化促進剤を加えて、支持板、ＰＥＴ等の有機フィルム、ドラム、またはエンドレスベルト等の支持体上に流延または塗布して膜状にし、有機溶媒を蒸発させることによって自己支持性を有する膜を得る。次いで、この自己支持性膜をさらに加熱して乾燥させつつイミド化させてポリイミド膜を得る。この加熱の際の温度は、１５０℃から５５０℃の範囲内にあることが好ましい。加熱の際の昇温速度には特に制限はないが、連続的もしくは段階的に、徐々に加熱して最高温度がその所定温度範囲内になるようにするのが好ましい。加熱時間はフィルム厚みや最高温度によって異なるが、一般的には最高温度に達してから１０秒から１０分の範囲が好ましい。さらに、ポリイミドフィルムの製造工程中に、収縮を防止するためにフィルムを容器に接触させたり固定・保持したり延伸したりする工程を含めば、得られるフィルムの線膨張係数が小さく、弾性率が高く、複屈折が大きくなりやすい傾向にあるので好ましい。

＜グラファイト化反応＞
グラファイト化処理では、熱処理により炭素化した後、グラファイト構造に転化させられるが、その際には炭素−炭素結合の開裂と再結合が起きなければならない。グラファイト化をできる限り起こしやすくするためには、その開裂と再結合が最小のエネルギーで起こるようにする必要がある。出発原料フィルム（例えば、上記に列記した高分子フィルム、特にポリイミドフィルム）の分子配向は炭素化フィルム中の炭素原子の配列に影響を与え、その分子配向はグラファイト化の際に炭素−炭素結合の開裂と再結合化のエネルギーを少なくする効果を生じ得る。したがって、高度な分子配向が生じやすくなるように分子設計を行うことによって、比較的低温でのグラファイト化が可能になる。この分子配向の効果は、フィルム面に平行な二次元的分子配向とすることによって一層顕著になる。

グラファイト化反応における第二の特徴は、原料フィルムが厚ければ低温でグラファイト化が進行しにくいということである。したがって、厚い原料フィルムをグラファイト化する場合には、表面層ではグラファイト構造が形成されているのに内部ではまだグラファイト構造になっていないという状況が生じ得る。原料フィルムの分子配向性はフィルム内部でのグラファイト化を促進し、結果的により低温で良質のグラファイトへの転化を可能にする。

原料フィルムの表面層と内部とでほぼ同時にグラファイト化が進行するということは、内部から発生するガスのために表面層に形成されたグラファイト構造が破壊されるという事態を避けることにも役立ち、より厚いフィルムのグラファイト化を可能にする。本願発明において作製される原料フィルム（例えば、上記に列記した高分子フィルム、特にポリイミドフィルム）は、まさにこのような効果を生じるのに最適な分子配向を有していると考えられる。

＜グラファイト化工程＞
本願発明のグラファイト化工程は、炭素化工程により炭素化した高分子フィルムを一度炭素化工程用の炉から取り出した後、黒鉛化用の炉に移し変えてからおこなっても良いし、炭素化工程、及びグラファイト化工程を連続的に同一の炉でおこなっても良い。

＜グラファイト化工程雰囲気＞
グラファイト化工程は、減圧下もしくは不活性ガス中でおこなわれるが、不活性ガスとしてはアルゴン、ヘリウムが適当である。

＜グラファイト化工程温度＞
本願発明のグラファイトフィルムの製造方法においてその熱処理温度としては、最低でも２０００℃以上が必要で、最終的には２４００℃以上、より好ましくは、２６００℃以上さらに好ましくは２８００℃以上であり、このような熱処理温度にすることにより、熱伝導性に優れたグラファイトを得ることができる。熱処理温度が高いほど良質のグラファイトへの転化が可能であるが、経済性の観点からはできるだけ低温で良質のグラファイトに転化できることが好ましい。２５００℃以上の超高温を得るには、通常はグラファイトヒーターに直接電流を流して、そのジュ−ル熱を利用した加熱が行なわれる。グラファイトヒーターの消耗は２７００℃以上で進行し、２８００℃ではその消耗速度が約１０倍になり、２９００℃ではさらにその約１０倍になる。したがって、原材料の高分子フィルムの改善によって、良質のグラファイトへの転化が可能な温度を例えば２８００℃から２７００℃に下げることは大きな経済的効果を生じる。なお、現状一般に入手可能な工業的炉において、熱処理可能な最高温度は３０００℃が限界である。

なお、本明細書に記載の「温度」は、例えばヒーターや処理容器の一部などにおいて、放射温度計などを使用して計測することができる。本明細書で使う「熱処理」という言葉は、減圧下での加熱や、ガス雰囲気での加熱を意味する。

＜フィルム状媒質＞
前記グラファイトフィルム以外のフィルム状媒質としては、天然黒鉛から得られたグラファイトフィルムや、樹脂フィルムや、金属箔等が例示される。具体的には、天然黒鉛から得られたグラファイトフィルム、緩衝ゴム材、鉄板、テフロン（登録商標）フィルム等が挙げられる。

前記「フィルム状媒質とともに」とは、下記のような態様が例示される。
例えば、（グラファイトフィルム以外の媒質／１枚の前記グラファイトフィルム／グラファイトフィルム以外の媒質／１枚の前記グラファイトフィルム／グラファイトフィル以外の媒質／・・・）などのようにサンドイッチ状に挟む場合、（グラファイトフィルム以外の媒質／複数枚の前記グラファイトフィルム／グラファイトフィルム以外の媒質／複数枚の前記グラファイトフィルム／グラファイトフィルム以外の媒質／・・・）などのようにサンドイッチ状で挟む場合、などである。

＜用途など＞
本願発明に係るグラファイト複合フィルムは、熱伝導性に優れるため、あらゆる熱に関わる用途に使用することが可能である。さらに、放熱特性を損なわず難燃性を付与されているために、高度な難燃性が必要とされる電気・電子部品、機械機構部品、自動車部品などの工業用材料として使用可能である。また、本発明のグラファイト複合フィルムは、複合材の厚みを制限しているために、総厚が薄く柔軟性にも優れるため、この特徴を活かした用途、例えば、小スペース部分での使用や、折り曲げ部分などの用途に適している。グラファイトフィルムの熱伝導に優れるという特徴は、熱を移動させる、熱を逃がす、熱を広げる、熱を均一にする、熱応答を早くする、早く暖める、早く冷ますといった効果が必要な用途には適している。熱を瞬時に広げることで急激な温度変化を防止緩和したり、局所的な熱の集中を回避したりすることが可能である。またその逆で、急激な変化を起こさせたり、わずかな熱の変化を検知したりする用途に使用することが可能である。熱が緩和されることで高温環境化においても強度、接着性を確保できる。また、均一かつ正確に熱を伝えることにより、高精度、高品位、高画質といった特性改善も可能になる。製造装置に用いた場合には、熱を早く、大量に輸送できる特長を活かし、タクトタイム短縮、加熱・冷却効率改善、乾燥効率改善、高速化、待ち時間短縮といった生産性の向上が可能になる。また、熱の均一化や素早い輸送により、不良低減、保温機能も高めることが可能となる。また、様々な機器に採用することで、省スペース化、薄膜化、軽量化、機構の単純化、設置の自由度改善を可能とし、余計な部品を無くすことで、省電力化、静音化も可能となる。また、熱を逃がすことが可能なため、ヒートサイクル環境試験やアニ−ル処理でも特性劣化なく、半田耐熱、接着層の密着性、耐熱性、信頼性、耐久性が改善でき、また断熱性を高めたり、熱に弱い部品から守ったりすることも可能となる。その結果、メンテナンスレス、コストダウンにつながり、安全性も改善することが可能となる。

具体的な用途として、以下のものがあげられる。例えば、サーバー、サーバー用パソコン、デスクトップパソコン、ワードプロセッサ、キーボード、ゲーム等の電子機器、ノートパソコン、電子辞書、ＰＤＡ、携帯電話、携帯ゲーム機器、ポータブル音楽プレイヤー等の携帯電子機器。液晶ディスプレイ、透過型液晶表示装置、反射型ＬＣＤパネル、プラズマディスプレイ、ＳＥＤ、ＬＥＤ、有機ＥＬ、無機ＥＬ、液晶プロジェクター、リアプロジェクター、液晶パネル、バックライト装置（ばらつき防止、温度ムラ改善）、ＴＦＴ基板、電子放出素子、電子源基板とフェースプレート（軽量化）、表示パネルフレームとの複合、発光素子、電荷注入型発光素子、時計等の光学・表示機器及びその部品。レーザー、半導体レーザー、発光ダイオード、蛍光灯、白熱電球、発光ドット、発行素子アレー、照明ユニット、平面発光装置、原稿照明装置等の発光・照明装置。インクジェット（熱エネルギーを利用してインクを途出する）用の単体もしくは複数からなる記録ヘッド（ヒーター、断熱材、蓄熱層等）、ラインヘッド、長尺インクヘッド、固体インクジェット装置、インクジェットヘッド用放熱板、インクカートリッジ、インクジェットヘッド用シリコン基板、インクジェット駆動ドライバ、インクジェット記録紙を加熱するための加熱源（ハロゲンランプヒータ）等のインクジェットプリンタ（インクヘッド）装置及びその部品。トナーカートリッジ、レーザー光源を有する装置、走査光学装置（光線出射ユニット、偏向走査ポリゴンミラー、ポリゴンミラー回転駆動モーター、感光体ドラムへ導く光学部品）、露光装置、現像装置（感光ドラム、光受容部材、現像ローラ、現像スリーブ、クリーニング装置）、転写装置（転写ロール、転写ベルト、中間転写ベルト等）、定着装置（定着ロール（芯、外周部材、ハロゲンヒーター等）、サーフヒーター、電磁誘導加熱ヒーター、セラミックヒーター、定着フィルム、フィルム加熱装置、加熱ローラ、加圧ローラ・加熱体、加圧部材、ベルトニップ）、シート冷却装置、シート載置装置、シート排出装置、シート処理装置等からなる電子写真装置・画像形成装置及びその部品。定着装置ではグラファイトフィルムの使用による熱特性の改善効果は顕著であり、幅方向の画質ムラ、画質欠陥、連続通紙における画質バラツキ、立ち上がり・下がり時間、リアルタイム対応、温度の高追従性、通紙部と非通紙部の温度差、皺、強度、省電力、オンデマンド加熱、高温オフセット及び低温オフセット、ヒーター周辺部材の過昇温、ヒーター割れが大幅に改善できる。熱転写式記録装置（リボン）、ドットプリンタ、昇華プリンタ等のその他記録装置。半導体素子、半導体パッケージ、半導体封止ケース、半導体ダイボンディング、液晶表示素子駆動用半導体チップ、ＣＰＵ、ＭＰＵ、メモリ、パワートランジスタ、パワートランジスタケース等の半導体関連部品。プリント基板、リジッド配線板、フレキシブル配線板、セラミック配線板、ビルドアップ配線板、実装基板、高密度実装プリント基板、（テープキャリアパッケージ）、ＴＡＢ、ヒンジ機構、摺動機構、スルーホール、樹脂パッケージング、封止材、多層樹脂成形体、多層基板等の配線基板。ＣＤ、ＤＶＤ（光ピックアップ、レーザー発生装置、レーザー受光装置）、ブルーレイディスク、ＤＲＡＭ、フラッシュメモリ、ハードディスクドライブ、光記録再生装置、磁気記録再生装置、光磁気記録再生装置、情報記録媒体、光記録ディスク、光磁気記録媒体（透光性基板、光干渉層、磁壁移動層、中間層、記録層、保護フィルム層、放熱層、情報トラック）、受光素子、光検出素子、光ピックアップ装置、磁気ヘッド、光磁気記録用磁気ヘッド、半導体レーザチップ、レーザダイオード、レーザー駆動ＩＣ等の記録装置、記録再生装置及びその部品。デジタルカメラ、アナログカメラ、デジタル一眼レフカメラ、アナログ一眼レフカメラ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、カメラ一体型ＶＴＲ用、カメラ一体型ＶＴＲ用ＩＣ、ビデオカメラ用ライト、電子閃光装置、撮像装置、撮像管冷却装置、撮像装置、撮像素子、ＣＣＤ素子、レンズ鏡筒、イメージセンサ及びそれを用いた情報処理装置、Ｘ線吸収体パターン、Ｘ線マスク構造体、Ｘ線撮影装置、Ｘ線露光装置、Ｘ線平面検出器、Ｘ線デジタル撮影装置、Ｘ線エリアセンサー基板、電子顕微鏡用試料冷却ホルダ、電子ビーム描画装置（電子銃、電子銃、電子ビーム描画装置）、放射線検出装置及び放射線撮像システム、スキャナー、画像読取装置、動画用撮像素子と静止画用撮像素子、顕微鏡等の画像記録装置及びその部品。アルカリ電池、マンガン電池等の一次電池、リチウムイオン電池、ニッケル水素、鉛蓄電池等の二次電池、電気二重層キャパシタ、電解コンデンサ、組電池、太陽電池、太陽電池モジュール設置構造体、光電変換基板、光起電力素子アレー、発電素子、燃料電池（発電セル、筐体外部、燃料タンク内部）等のバッテリー機器等の放熱材料。電源（整流ダイオード、トランス）、ＤＣ／ＤＣコンバータ、スイッチング電源装置（フォワード型）、電流リ−ド、超電導装置システム等の電源及びその部品。モーター、リニアモーター、平面モーター、振動波モーター、モーターコイル、回転制御駆動用の回路ユニット、モータドライバ、インナーロータモーター、振動波アクチュエーター等のモーター及びその部品。真空処理装置、半導体製造装置、蒸着装置、薄膜単結晶半導体層製造装置、プラズマＣＶＤ、マイクロ波プラズマＣＶＤ、スパッタリング装置、減圧チャンバー、真空ポンプ、クライオトラップ・クライオポンプ等の真空排気装置、静電チャック、真空バキュームチャック、ピンチャック型ウエハチャック、スパッタリング用ターゲット、半導体露光装置、レンズ保持装置及び投影露光装置、フォトマスク、等の堆積膜製造装置（温度一定、品質安定）及びその部品。抵抗加熱・誘導加熱・赤外線加熱による熱処理装置、乾燥機、アニール装置、ラミネート装置、リフロー装置、加熱接着（圧着）装置、射出成型装置（ノズル・加熱部）、樹脂成形金型、ＬＩＭ成型、ローラ成型装置改質ガス製造（改質部、触媒部、加熱部等）スタンパ、（フィルム状、ロール状、記録媒体用）、ボンディングツール、触媒反応器、チラー、カラーフィルタ基板の着色装置、レジストの加熱冷却装置、溶接機器、磁気誘導加熱用フィルム、結露防止ガラス、液体残量検知装置、熱交換装置等の種々製造装置及びその部品。断熱材、真空断熱材、輻射断熱材等の断熱装置。各種電子・電気機器、製造装置のシャーシ、筐体、外装カバー。放熱器、開口部、ヒートパイプ、ヒートシンク、フィン、ファン、放熱用コネクタ等の放熱部品。ペルチェ素子、電気熱変換素子、水冷部品等の冷却部品。温度調節装置、温度制御装置、温度検出装置及び部品。サーミスタ、サーモスイッチ、サーモスタット、温度ヒューズ、過電圧防止素子、サーモプロテクタ、セラミックヒーター、フレキシブルヒーター、ヒーターと熱伝導板と断熱材の複合品、ヒーターコネクタ・電極端子部品等の発熱体関連部品。高放射率を有する放射部品、電磁波遮蔽、電磁波吸収体等の電磁シールド部品、アルミ、銅、シリコン等の金属との複合品、窒化ケイ素、窒化ホウ素、アルミナ等のセラミックとの複合品として好適である。

以下に実施例により発明の実施態様、効果を示すが、本願発明はこれに限られるものではない。

＜グラファイトフィルムＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ＞
［ポリイミドフィルムＡの作製方法］
４，４’−オキシジアニリンの１当量を溶解したＤＭＦ（ジメチルフォルムアミド）溶液に、ビロメリット酸二無水物の１当量を溶解してポリアミド酸溶液（１８．５ｗｔ％）を得た。

この溶液を冷却しながら、ポリアミド酸に含まれるカルボン酸基に対して、１当量の無水酢酸、１当量のイソキノリン、およびＤＭＦを含むイミド化触媒を添加し脱泡した。次にこの混合溶液が、乾燥後に所定の厚さになるようにアルミ箔上に塗布した。アルミ箔上の混合溶液層を、熱風オーブン、遠赤外線ヒーターを用いて乾燥した。

以下に出来上がり厚みが７５μｍの場合におけるフィルム作製をする場合の乾燥条件を示す。アルミ箔上の混合溶液層は、熱風オーブンで１２０℃において２４０秒乾燥して、自己支持性を有するゲルフィルムにした。そのゲルフィルムをアルミ箔から引き剥がし、フレームに固定した。さらに、ゲルフィルムを、熱風オーブンにて１２０℃で３０秒、２７５℃で４０秒、４００℃で４３秒、４５０℃で５０秒、および遠赤外線ヒーターにて４６０℃で２３秒段階的に加熱して乾燥した。

以上のようにして、厚さ７５μｍのポリイミドフィルムＡ（弾性率３．１ＧＰａ、吸水率２．５％、複屈折０．１０、線膨張係数３．０×１０^-5／℃）を製造した。

［ポリイミドフィルムＢの作製方法］
出来上がり厚みが厚さ５０μｍとなるように、アルミ箔上に塗布し、７５μｍの場合よりも焼成時間を２／３倍に設定した以外は、ポリイミドフィルムＡと同様にして、ポリイミドフィルムＢを得た。

［ポリイミドフィルムＣの作製方法］
出来上がり厚みが厚さ１２５μｍとなるように、アルミ箔上に塗布し、７５μｍの場合よりも焼成時間を５／２倍に設定した以外は、ポリイミドフィルムＡと同様にして、ポリイミドフィルムＢを得た。

［ポリイミドフィルムＨの作製方法］
出来上がり厚みが厚さ２５μｍとなるように、アルミ箔上に塗布し、７５μｍの場合よりも焼成時間を１／３倍に設定した以外は、ポリイミドフィルムＡと同様にして、ポリイミドフィルムＨを得た。

［炭素化フィルムＡの作製方法］
厚さ５０μｍのポリイミドフィルムＢを黒鉛板に挟み、電気炉を用いて、１０００℃まで昇温して炭化処理（炭素化処理）をおこなった。この炭素化フィルムを炭素化フィルムＡとした。

［炭素化フィルムＢの作製方法］
厚さ７５μｍのポリイミドフィルムＡをセットすること以外は、炭素化フィルムＡと同様にして炭素化フィルムＢを作製した。
［炭素化フィルムＣの作製方法］
厚さ１２５μｍのポリイミドフィルムＣをセットすること以外は、炭素化フィルムＡと同様にして炭素化フィルムＣを作製した。
［炭素化フィルムＨの作製方法］
厚さ２５μｍのポリイミドフィルムＨをセットすること以外は、炭素化フィルムＡと同様にして炭素化フィルムＨを作製した。

［グラファイトフィルムＡの作製方法］
炭素化処理により得られた炭素化フィルムＡを黒鉛板に挟み、黒鉛化炉を用いて、２９００℃以上に昇温して黒鉛化処理をおこなった。熱処理後のグラファイトを、単板プレスで厚み方向に圧縮して、グラファイトフィルムＡ（厚み４０μｍ、密度１．８６ｇ／ｃｍ³、熱拡散率９．１ｃｍ²／ｓ、熱伝導率１２００Ｗ／ｍ・Ｋ）を得た。

［グラファイトフィルムＢの作製方法］
炭素化処理により得られた炭素化フィルムＢをセットすること以外はグラファイトフィルムＡと同様にしてグラファイトフィルムＢ（厚み２５μｍ、密度１．８６ｇ／ｃｍ³、熱拡散率９．５ｃｍ²／ｓ、熱伝導率１２００Ｗ／ｍ・Ｋ）を得た。

［グラファイトフィルムＣの作製方法］
炭素化処理により得られた炭素化フィルムＣをセットすること以外はグラファイトフィルムＡと同様にしてグラファイトフィルムＣ（厚み６０μｍ、密度１．８６ｇ／ｃｍ³、熱拡散率９．５ｃｍ²／ｓ、熱伝導率１２００Ｗ／ｍ・Ｋ）を得た。

［グラファイトフィルムＤの作製方法］
グラファイトフィルムＤは、松下電器産業（株）製のＰＧＳグラファイトフィルム「ＥＹＧＳ１８２３０３」である。

［グラファイトフィルムＥの作製方法］
グラファイトフィルムＥは、松下電器産業（株）製のＰＧＳグラファイトフィルム「ＥＹＧＳ１８２３０７」である。

［グラファイトフィルムＦの作製方法］
酸化剤（過酸化水素、過塩素酸等）の存在下、天然鱗状黒鉛の層間に硫酸、硝酸等を挿入し、形成された層間化合物を９００〜１２００℃程度の５高温で急激に加熱することで分解ガス化し、このときのガス圧によって黒鉛の層間を拡げて黒鉛を膨張させた。以上のようにして得られた膨張黒鉛を圧縮予備成形し、その後ロールで圧延する事によりグラファイトフィルムＦ（厚み７５μｍ、密度１．６７ｇ／ｃｍ³、熱拡散率３．０ｃｍ²／ｓ、熱伝導率４００Ｗ／ｍ・Ｋ）を得た。

［グラファイトフィルムＧの作製方法］
酸化剤（過酸化水素、過塩素酸等）の存在下、天然鱗状黒鉛の層間に硫酸、硝酸等を挿入し、形成された層間化合物を９００〜１２００℃程度の５高温で急激に加熱することで分解ガス化し、このときのガス圧によって黒鉛の層間を拡げて黒鉛を膨張させた。以上のようにして得られた膨張黒鉛を圧縮予備成形し、その後ロールで圧延する事によりグラファイトフィルムＧ（厚み１４０μｍ、密度１．６７ｇ／ｃｍ³、熱拡散率３．０ｃｍ²／ｓ、熱伝導率４００Ｗ／ｍ・Ｋ）を得た。

［グラファイトフィルムＨの作製方法］
炭素化処理により得られた炭素化フィルムＨをセットすること以外はグラファイトフィルムＡと同様にしてグラファイトフィルムＨ（厚み１０μｍ、密度１．９９ｇ／ｃｍ³、熱拡散率９．２ｃｍ²／ｓ、熱伝導率１２００Ｗ／ｍ・Ｋ）を得た。

＜グラファイトフィルムの厚み測定＞
グラファイトフィルムの厚みの測定方法としては、５０ｍｍ×５０ｍｍのフィルムを厚みゲージ（ハイデンハイン（株）社製、ＨＥＩＤＥＮＨＡＩＮ−ＣＥＲＴＯ）を用い、室温２５℃の恒温室にて、任意の１０点を測定し、平均して測定値とした。

＜グラファイトフィルムの密度測定＞
グラファイトフィルムの密度は、グラファイトフィルムの重量（ｇ）をグラファイトフィルムの縦、横、厚みの積で算出した体積（ｃｍ³）の割り算により算出した。なお、グラファイトフィルムの厚みは、任意の１０点で測定した平均値を使用した。密度が高いほど、グラファイト化が顕著であることを意味している。

＜光交流法によるフィルム面方向の熱拡散率測定＞
グラファイトフィルムの熱拡散率は、光交流法による熱拡散率測定装置（アルバック理工（株）社から入手可能な「ＬａｓｅｒＰｉｔ」）を用いて、グラファイトフィルムを４×４０ｍｍのサンプル形状に切り取り、２０℃の雰囲気下、１０Ｈｚにおいて測定した。グラファイト化の進行状況を、フィルム面方向の熱拡散率を測定することによって判定した。熱拡散率が高いほど、グラファイト化が顕著であることを意味している。

＜グラファイトフィルムの比熱＞
グラファイトフィルムの５０℃における比熱測定は、ＤＳＣ（示差走差熱量計）法で測定した。測定はＰｅｒｋｉｎ−Ｅｌｍｅｒ社製示差走査熱量計ＤＳＣ−７で実施した。昇温速度は１０℃／ｍｉｎで標準試料としてはα−アルミナを用い、乾燥窒素気流中で実施した。また、測定温度は５０℃であり、試験片を替え、２回測定した際の平均値を有効数字３桁に丸めた値を示した。比熱の測定精度は±１％程度である。

＜グラファイトフィルムの熱伝導率の算出＞
グラファイトフィルムの熱伝導率は、下式のように熱拡散率・密度・比熱を掛け合わせることによって、算出できる。

λ＝αｄＣ
λ：熱伝導率（Ｗ／ｍＫ）
α：熱拡散率（ｍ²／ｓ）
ｄ：密度（ｋｇ／ｍ³）
Ｃ：比熱（Ｊ／ｋｇ・Ｋ）
実施例、比較例で使用するグラファイトフィルムの熱伝導率、厚みのデータ表１にまとめた。

＜両面テープ１〜１１＞
＜両面テープ１＞
両面テープ１の構成は、アクリル酸エステル共重合体液体アクリル系粘着剤（以下アクリル系粘着剤と言う）に、リン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが１８μｍの両面テープである。

＜両面テープ２＞
両面テープ２の構成は、アクリル系粘着剤にリン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが３０μｍの両面テープである。

＜両面テープ３＞
両面テープ３の構成は、アクリル系粘着剤にリン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが４５μｍの両面テープである。

＜両面テープ４＞
両面テープ４の構成は、アクリル系粘着剤にリン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが９０μｍの両面テープである。

＜両面テープ５＞
両面テープ５の構成は、アクリル系粘着剤にリン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが１８μｍの粘着層と、厚み４μｍのＰＥＴ基材と、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された４μｍの粘着層の３層構造からなる両面テープである。

＜両面テープ６＞
両面テープ６の構成は、アクリル系粘着剤にリン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが３０μｍの粘着層と、厚み４μｍのＰＥＴ基材と、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された４μｍの粘着層の３層構造からなる両面テープである。

＜両面テープ７＞
両面テープ７の構成は、アクリル系粘着剤にリン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが３０μｍの粘着層と、厚み１２μｍのＰＩ基材と、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された１８μｍの粘着層の３層構造からなる両面テープである。

＜両面テープ８＞
両面テープ８の構成は、アクリル系粘着剤にリン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが３０μｍの粘着層と、厚み１２μｍのＰＩ基材と、難燃剤を含まないシリコーン系粘着剤で形成された１８μｍの粘着層の３層構造からなる両面テープである。

＜両面テープ９＞
両面テープ９の構成は、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された４μｍの粘着層である。

＜両面テープ１０＞
両面テープ１０の構成は、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された、厚みが８μｍの粘着層と、厚み４μｍのＰＥＴ基材と、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された８μｍの粘着層の３層構造からなる両面テープである。

＜両面テープ１１＞
両面テープ１１の構成は、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された、厚みが１３μｍの粘着層と、厚み１２μｍのＰＥＴ基材と、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された１３μｍの粘着層の３層構造からなる両面テープである。

＜両面テープ１２＞
両面テープ１２の構成は、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された、厚みが６３μｍの粘着層と、厚み２４μｍのＰＥＴ基材と、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された６３μｍの粘着層の３層構造からなる両面テープである。

＜両面テープ１３＞
両面テープ１２の構成は、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された、厚みが４４μｍの粘着層と、厚み４μｍのＰＥＴ基材と、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された４４μｍの粘着層の３層構造からなる両面テープである。

＜保護テープ１〜１１＞
＜保護テープ１＞
保護テープ１の構成は、アクリル系粘着剤にリン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが１８μｍと、厚み１２μｍのＰＥＴフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ２＞
保護テープ２の構成は、アクリル系粘着剤にリン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが３０μｍと、厚み１２μｍのＰＥＴフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ３＞
保護テープ３の構成は、難燃剤を含まないシリコーン系粘着剤で形成された厚みが３０μｍの粘着層と、厚み１２μｍのＰＥＴフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ４＞
保護テープ４の構成は、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された厚みが１８μｍの粘着層と、厚み１２μｍのＰＩフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ５＞
保護テープ５の構成は、難燃剤を含まないシリコーン系粘着剤で形成された厚みが１８μｍの粘着層と、厚み１２μｍのＰＩフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ６＞
保護テープ６の構成は、アクリル系粘着剤にリン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが１８μｍの粘着層と、厚み１２μｍのＰＩフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ７＞
保護テープ７の構成は、アクリル系粘着剤にリン酸エステル系難燃剤を混合された、厚みが３０μｍの粘着層と、厚み１２μｍのＰＩフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ８＞
保護テープ８の構成は、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された厚みが６μｍの粘着層と、厚み４μｍのＰＥＴフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ９＞
保護テープ９の構成は、ポリエステル系の熱可塑性樹脂接着剤で形成された厚みが３４μｍの接着層と、厚み１２μｍのＰＥＴフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ１０＞
保護テープ１０の構成は、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された厚みが１８μｍの粘着層と、厚み１２μｍのＰＥＴフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ１１＞
保護テープ１１の構成は、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された厚みが１３μｍの粘着層と、厚み１２μｍのＰＥＴフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ１２＞
保護テープ１２の構成は、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された厚みが７５μｍの粘着層と、厚み２５μｍのＰＥＴフィルムの２層構造からなる保護テープである。

＜保護テープ１３＞
保護テープ１３の構成は、難燃剤を含まないアクリル系粘着剤で形成された厚みが２５μｍの粘着層と、厚み２５μｍのＰＥＴフィルムの２層構造からなる保護テープである。

実施例、比較例で使用した両面テープ、保護テープの構成と難燃性を示す係数ついて表２〜表３にまとめた。

以下実施例、比較例のグラファイト複合フィルムの構成などを表４〜表７にまとめた。

（実施例１）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例２）
グラファイトフィルムＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆの片面に、それぞれ両面テープ２をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例３）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ５の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例４）
グラファイトフィルムＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆの片面に、それぞれ両面テープ６の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例５）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ７の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例６）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ８のシリコーン系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例７）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ９をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例８）
グラファイトフィルムＡの片面に、保護テープ１をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例９）
グラファイトフィルムＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆの片面に、それぞれ保護テープ２をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例１０）
グラファイトフィルムＡの片面に、保護テープ３をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例１１）
グラファイトフィルムＡの片面に、保護テープ４をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例１２）
グラファイトフィルムＡの片面に、保護テープ５をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例１３）
グラファイトフィルムＡの片面に、保護テープ６をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表８にまとめた。
（実施例１４）
グラファイトフィルムＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆの片面に、それぞれ保護テープ７をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例１５）
グラファイトフィルムＡの片面に、保護テープ８をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例１６）
グラファイトフィルムＡの片面に、保護テープ９を熱ラミネーターを用いて貼り合わせた（１５０℃）。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例１７）
グラファイトフィルムＡの両面に、両面テープ１をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例１８）
グラファイトフィルムＡの両面に、両面テープ２をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例１９）
グラファイトフィルムＡの両面に、両面テープ５の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例２０）
グラファイトフィルムＡの両面に、両面テープ６の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例２１）
グラファイトフィルムＡの両面に、両面テープ７の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例２２）
グラファイトフィルムＡの両面に、両面テープ８のシリコーン系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例２３）
グラファイトフィルムＡの両面に、両面テープ９をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例２４）
グラファイトフィルムＡの両面に、保護テープ４をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例２５）
グラファイトフィルムＡの両面に、保護テープ５をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例２６）
グラファイトフィルムＡの両面に、保護テープ６をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例２７）
グラファイトフィルムＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆの片面に、それぞれ両面テープ６の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、それぞれ保護テープ１をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例２８）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ６の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ３をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例２９）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ６の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ４をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例３０）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ６の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ５をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例３１）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ６の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ６をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表９にまとめた。
（実施例３２）
グラファイトフィルムＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆの片面に、それぞれ両面テープ６の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、それぞれ保護テープ７をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例３３）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ１をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例３４）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ２をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例３５）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ４をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例３６）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ５をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例３７）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ６をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例３８）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ７をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例３９）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ５の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ１０をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例４０）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ６の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例４１）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ６の難燃剤を含まないアクリル系粘着層側をグラファイト面とラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ１０をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例４２）
グラファイトフィルムＡの両面に、両面テープ３をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例４３）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１０をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例４４）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例４５）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ４をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例４６）
グラファイトフィルムＡの片面に、保護テープ１０をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例４７）
グラファイトフィルムＡの片面に、保護テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例４８）
グラファイトフィルムＡの両面に、両面テープ１０をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例４９）
グラファイトフィルムＡの両面に、両面テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例５０）
グラファイトフィルムＡの両面に、保護テープ１０をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例５１）
グラファイトフィルムＡの両面に、保護テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例５２）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１０をラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ１０をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例５３）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ１１をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（実施例５４）
グラファイトフィルムＡの片面に、両面テープ１２をラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ１３をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１０にまとめた。
（比較例１）
両面テープ１の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例２）
両面テープ２の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例３）
両面テープ５の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例４）
両面テープ６の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例５）
両面テープ７の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例６）
両面テープ８の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例７）
両面テープ９の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例８）
保護テープ１の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例９）
保護テープ２の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例１０）
保護テープ３の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例１１）
保護テープ４の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例１２）
保護テープ５の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例１３）
保護テープ６の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例１４）
保護テープ７の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例１５）
保護テープ８の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例１６）
保護テープ９の幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例１７）
グラファイトフィルムＨの両面に、両面テープ１２をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例１８）
グラファイトフィルムＨの両面に、両面テープ１３をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例１９）
グラファイトフィルムＨの両面に、保護テープ１３をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。
（比較例２０）
グラファイトフィルムＨの片面に、両面テープ１２をラミネーターを用いて貼り合わせた。さらにもう一方の面に、保護テープ１３をラミネーターを用いて貼り合わせた。その後、幅１２．５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの形状のサンプルを切り取った。ＵＬ９４記載の難燃試験およびスモールパーツ用の難燃試験、放熱特性について評価を実施した。結果を表１１にまとめた。

本発明の実施例、比較例では、水平試験、垂直試験を実施した。詳細はＵＬ９４で規定される難燃試験の手法に基づいて実施した。スモールパーツ用の難燃試験は以下の手法に基づき実施した。

＜スモールパーツによる燃焼試験＞
ＵＬ９４規格に基づいた試験では、サンプルの形状が１５ｍｍ×１２５ｍｍである。このサンプルサイズより小さなサンプルの場合、以下の方法で難燃性を判断する。

バーナーは、毎秒約３００ｍｍの割合で、幅が広い方の面に水平に試料に近づけなければならない。図８のように、バーナーの先端が試料の下端より下５±１ｍｍになるようにして、試料の下端の縁の中央部分に炎を当て、炎の長さ又は位置の如何なる変化に応じて必要なだけバーナーを移動すること。もし、試料が縮むか、ゆがむか、又は融ける場合、接炎点はその試料の主要な部分と接触のある状態を保たなければならない。

試験結果は、銅板の下部まで燃えたものを×、燃えなかったものを○と記載した。

＜グラファイト複合フィルムの垂直難燃試験の燃焼の程度＞
また、ＵＬ９４の短冊状のサンプルを使用した垂直試験において、燃焼の程度を確認した。試験後サンプルが燃えた長さを測定し、元のサンプルの長さに対して、燃焼の部分の割合が７割より小さければ○、７割以上１０割未満燃焼したものを△、１０割燃えて試験に不合格したものを×として表８〜表１１に記載した。

＜グラファイト複合フィルムの放熱性テスト＞
グラファイト複合フィルムの放熱性テストは、図９に示すように、幅１２．５ｍｍ×１２５ｍｍのグラファイト複合フィルムの端に、発熱体として１ｃｍ角セラミックヒーター（坂口電熱製）を接続した。接続する面は、複合材の厚みが厚い面側へ接続をおこなった。例えば、グラファイトフィルムの片側に３０μｍの粘着層と、もう一面に５０μｍのＰＥＴテープが形成させていた場合は、ＰＥＴテープ側に発熱体を接続した。接続には、ヒートシンクとＣＰＵ間の接触などに使用される高熱拡散性シリコーンゴムシート（ＧＥＬＴＥＣ製、６．５Ｗ／ｍＫ）を使用した。また、室温は２２．５±０．５℃に調節し、対流（風）による冷却効果をできるだけ一定とするため、測定領域を発泡スチロールで覆い測定をおこなった。電源のワット数を１Ｗに保ち測定をおこなった。定常状態（ヒーター温度が±１℃以下）になったところで、ヒーター温度を計測した。ヒーターの測定は、発熱体から発生する赤外線を読み取る放射温度計を用いて測定をおこなった。実際には、（株）ＮＥＣ三栄社製、サーモトレサＴＨ９１００ＭＶ／ＷＶを用いヒーター温度の測定をおこなった。ヒーターの温度が低いほど発熱体の熱をグラファイトへスムーズに伝えており、放熱性能が高いと言える。

複合材を貼り付けない単体のグラファイトでも同様の試験を実施し、複合材を形成した場合と形成しない場合のヒーター温度の差が１℃未満なら○、１℃以上３℃未満なら△、３℃以上である場合は×と表８〜表１１に記載した。

実施例、比較例で使用した実施例、比較例のグラファイト複合フィルムの難燃試験および放熱特性についての評価結果を表８〜表１１にまとめた。

＜グラファイト複合フィルムの難燃性試験＞
＜垂平試験＞
実施例１〜５４および比較例１７〜２０では、ＨＢ規格に合格した。一方、比較例１〜１６は、ＨＢ規格に合格しなかった。これは、実施例１〜５４および比較例１７〜２０では複合しているグラファイトフィルムが、燃焼試験の際、熱を拡散してために燃焼が抑制されたと考えられる。

＜垂直試験＞
○筒状サンプル
実施例１〜５４は、ＶＴＭ−０規格に合格した。一方、比較例１〜２０は、ＶＴＭ−０規格に合格しなかった。これは、実施例１〜５４では複合しているグラファイトフィルムが、燃焼試験の際、熱を拡散してために燃焼が抑制されたと考えられる。一方、比較例１〜２０は、複合材の燃えにくさと厚みに対してグラファイトの熱輸送能力が足りなかったためＶＴＭ規格に合格できなかった。また、比較例１７〜２０はＨＢ規格には合格したものの水平試験より、規格合格が困難な本試験には合格できなかった。

○短冊状サンプル
実施例１〜３２は、Ｖ−０規格に合格した。一方、実施例３３〜５４および比較例１〜２０は、Ｖ−０規格に合格しなかった。これは、実施例１〜３２では複合しているグラファイトフィルムが、燃焼試験の際、熱を拡散してために燃焼が抑制されたと考えられる。一方、実施例３３〜５４および比較例１〜２０は、複合材の燃えにくさと厚みに対してグラファイトの熱輸送能力が足りなかったためＶ規格に合格できなかった。

また、Ｖ−０に合格した実施例について、燃焼の程度を確認すると実施例２−４、２−６、４−１、４−４、４−６、９−１、９−４、９−６、１５、１８、１９、２０、２１、２３、２７−１、２７−４、２７−６、２９、３２−４、３２−６のサンプルは△であり、その他の実施例と比較して若干難燃性が低かった。これも、複合材の燃えにくさと厚みに対してグラファイトの熱輸送能力が足りなかったために、難燃性が低くなった。同じ複合材を用いた構成でも、グラファイトＡ、グラファイトＤ、グラファイトＦを使用した場合、グラファイトフィルムの熱輸送能力が他のグラファイトフィルムと比較して小さいために、難燃性は低い傾向にある。また、グラファイトフィルムの熱輸送能力に対して複合材の燃えやすさと厚みが大きいほど、グラファイト複合フィルムの難燃性が悪くなっていることがわかる。

また、グラファイトフィルムの片面に粘着層を有する材料が２層以上形成された構造でも難燃試験を実施した。一例として（ｉ）（両面テープ１１／保護テープ１１／グラファイトＡ／保護テープ１１）、（ｉｉ）（両面テープ１１／保護テープ８／グラファイトＡ／保護テープ１１）、（ｉｉｉ）（両面テープ２／保護テープ８／グラファイトＡ／保護テープ１）、（ｉＶ）（両面テープ２／保護テープ８／グラファイトＡ／保護テープ６）の結果も示す。（ｉ）（ｉｉ）はＶ−０不合格であったが、（ｉｉｉ）（ｉＶ）は達成した。

＜スモールパーツ難燃試験＞
実施例１〜５４は、スモールパーツ難燃試験について、３秒接炎で合格した。一方、比較例１〜２０は、３秒接炎に合格しなかった。これは、実施例１〜５４では複合しているグラファイトフィルムが、燃焼試験の際、熱を拡散してために燃焼が抑制されたと考えられる。一方、比較例１〜２０は、複合材の燃えにくさと厚みに対してグラファイトの熱輸送能力が足りなかったため３秒接炎に合格しなかった。

また、実施例１〜３１、３２（２、３、５、６、７）は、５秒接炎に合格したものの、実施例３２（１）、３２（４）および３３〜５４は合格しなかった。

さらに、５秒接炎に合格した実施例１〜３１、３２（２、３、５、６、７）のうち、実施例１、２（１、２、３、５）、３、４（２、３、５、７）、５、６、７、８、９（２、３、５、７）、１０、１１、１２、１３、１４、１６、１７、１９、２３、２７（２、３、７）は、１０秒接炎に対しても合格した。

＜放熱性テスト＞
放熱性テストを実施した結果、実施例５、６、１６、２１、２２、４２で△、実施例４５、５４、比較例１７〜２０で×、その他の実施例、比較例では○の評価を得た。放熱性が劣化したグラファイト複合フィルムは、複合する複合材の厚み厚いことが確認できる。そのため、発熱体から発生した熱をグラファイトにスムーズに伝達することができず、放熱特性が劣化したものと推定できる。

このように、グラファイト複合フィルムを作製する場合、放熱特性の劣化を考えると使用する複合材（粘着層、保護フィルム層）の厚みはできるだけ薄いほうがよい。通常考えられる難燃剤を多量に添加した燃えない複合材を用いてグラファイト複合フィルムに難燃性を発現させる手法では、厚みの厚い複合材を使用しなければならず、放熱特性の劣化を招いてしまう。しかしながら、本願発明の難燃性の発現メカニズム（複合材の燃えにくさおよび厚みとグラファイトの熱輸送能力のバランスを考える）では、厚みの薄い複合材を用いてもグラファイト複合フィルムに難燃性を寄与できるために、放熱特性を損なわないグラファイト複合フィルムを作製することができる。

Claims

グラファイトフィルムと粘着層を有する材料を含むグラファイト複合フィルムにおいて、前記グラファイトフィルムの熱伝導率が１０００Ｗ／ｍＫ以上であり、前記グラファイトフィルムの厚みが１０μｍ以上１５０μｍ以下であり、かつ、前記グラファイトフィルムの厚みＴ_Ｇと熱伝導率λ_Ｇの積Ｔ_Ｇ・λ_Ｇと前記粘着層を有する材料の厚みＴ_Ａの比Ｔ_Ｇ・λ_Ｇ／Ｔ_Ａが１５０以上３０００００以下であり、
前記グラファイトフィルムの厚みＴ_Ｇと熱伝導率λ_Ｇの積Ｔ_Ｇ・λ_Ｇと前記粘着層を有する材料の厚みＴ_Ａと難燃性を示す係数β_Ａの積の比Ｔ_Ｇ・λ_Ｇ／Ｔ_Ａ・β_Ａが２５００以上であり、
前記粘着層を有する材料が以下の(i)もしくは(ii)またはそれらの組み合わせであることを特徴とするグラファイト複合フィルム：
(i)粘着層を有する材料は、粘着層からなり、前記粘着層はアクリル系であり、前記粘着層を有する材料の総厚みが４μｍである、
(ii)粘着層を有する材料は、粘着層／基材からなり、前記粘着層はアクリル系であり、前記基材はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系樹脂であり、粘着層を有する材料の総厚みが１０μｍである。
総厚みが２００μｍ以下であることを特徴とする、請求項１に記載のグラファイト複合フィルム。
グラファイトフィルムと粘着層を有する材料を含むグラファイト複合フィルムの製造方法において、前記グラファイトフィルムの熱伝導率が１０００Ｗ／ｍＫ以上であり、前記グラファイトフィルムの厚みが１０μｍ以上１５０μｍ以下であり、かつ、前記グラファイトフィルムの厚みＴ_Ｇと熱伝導率λ_Ｇの積Ｔ_Ｇ・λ_Ｇと前記粘着層を有する材料の厚みＴ_Ａの比Ｔ_Ｇ・λ_Ｇ／Ｔ_Ａが１５０以上３０００００以下であり、
前記グラファイトフィルムの厚みＴ_Ｇと熱伝導率λ_Ｇの積Ｔ_Ｇ・λ_Ｇと前記粘着層を有する材料の厚みＴ_Ａと難燃性を示す係数β_Ａの積の比Ｔ_Ｇ・λ_Ｇ／Ｔ_Ａ・β_Ａが２５００以上であり、
前記粘着層を有する材料が以下の(i)もしくは(ii)またはそれらの組み合わせであることを特徴とするグラファイト複合フィルムの製造方法：
(i)粘着層を有する材料は、粘着層からなり、前記粘着層はアクリル系であり、前記粘着層を有する材料の総厚みが４μｍである、
(ii)粘着層を有する材料は、粘着層／基材からなり、前記粘着層はアクリル系であり、前記基材はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系樹脂であり、粘着層を有する材料の総厚みが１０μｍである。