JP5701831B2 - パスゲートを備えた半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
図1(a)は、N型のトンネルトランジスタの構造を示す断面図であり、図1(b)は、N型のトンネルトランジスタの回路記号を示す図である。
P型のトンネルトランジスタを用いても、第1の実施形態と同様にパスゲートを構成できる。
本実施形態は、第1の実施形態のパスゲートを備えるSRAM(Static Random Access Memory)に関する。
ゲート電極11〜14は、第1の実施形態で説明したように構成される。
ここで、発明者等が知得する比較例のSRAMセルについて説明する。
本実施形態は、第1及び第2のトランスファゲートTG1,TG2が、それぞれ第1の実施形態の図1(b)のパスゲートで構成されている点が、第2の実施形態と異なる。
本実施形態は、SRAMセル5がSOI基板に形成されている点が、第2の実施形態と異なる。
本実施形態は、SRAMセル5がSOI基板に形成されている点が、第3の実施形態と異なる。つまり、第1及び第2のトランスファゲートTG1,TG2は、それぞれ第1の実施形態の図1(b)のパスゲートで構成されている。
T2,T4 第2のトンネルトランジスタ
TG1,TG2 第1及び第2のトランスファゲート
L1,L2 第1及び第2のロードトランジスタ
D1,D2 第1及び第2のドライバトランジスタ
1 半導体基板(半導体層)
2 素子分離領域
5 SRAMセル
11 ゲート電極(第1の共有ゲート電極)
12 ゲート電極(第2の共有ゲート電極)
13,15 ゲート電極(第3の共有ゲート電極)
14 ゲート電極(第4の共有ゲート電極)
21,22 P型ドレイン領域
23〜27 P型ソース領域
31,32 N型ソース領域
33〜38 N型ドレイン領域
51,52 シェアードコンタクトプラグ
Claims (6)
- 半導体層に形成されたSRAMセルを備え、
前記SRAMセルは、
N型ソース領域とP型ドレイン領域を各々有する第1及び第2のロードトランジスタと、
P型ソース領域とN型ドレイン領域を各々有する第1及び第2のドライバトランジスタと、
パスゲートで各々構成された第1及び第2のトランスファゲートと、を有し、
前記パスゲートは、
ソース又はドレイン領域としての第1導電型の第1拡散領域と、ドレイン又はソース領域としての第2導電型の第2拡散領域と、制御電圧が供給されるゲート電極と、を有する第1のトンネルトランジスタと、
ソース又はドレイン領域としての第1導電型の第1拡散領域と、前記第1のトンネルトランジスタの前記第2拡散領域に電気的に接続されたドレイン又はソース領域としての第2導電型の第2拡散領域と、前記第1のトンネルトランジスタの前記ゲート電極に電気的に接続されたゲート電極と、を有する第2のトンネルトランジスタと、を有し、
前記第1及び第2のロードトランジスタ、並びに、前記第1及び第2のドライバトランジスタは、トンネルトランジスタであり、
さらに、
前記第1及び第2のトランスファゲートの前記第2のトンネルトランジスタの前記第1拡散領域に接続されたビット線と、
前記第1及び第2のトランスファゲートの前記ゲート電極に接続され、前記ビット線と交差するワード線と、
前記第1のロードトランジスタと前記第1のドライバトランジスタに共有された第1の共有ゲート電極と、
前記第2のロードトランジスタと前記第2のドライバトランジスタに共有された第2の共有ゲート電極と、を備え、
前記第1および第2のロードトランジスタの前記N型ソース領域には、電源電圧が印加され、
前記第1および第2のドライバトランジスタの前記P型ソース領域には、基準電源電圧が印加され、
前記第2の共有ゲート電極、前記第1のロードトランジスタの前記P型ドレイン領域、前記第1のドライバトランジスタの前記N型ドレイン領域、及び、前記第1のトランスファゲートの前記第1のトンネルトランジスタの前記第1拡散領域は、互いに電気的に接続され、
前記第1の共有ゲート電極、前記第2のロードトランジスタの前記P型ドレイン領域、前記第2のドライバトランジスタの前記N型ドレイン領域、及び、前記第2のトランスファゲートの前記第1のトンネルトランジスタの前記第1拡散領域は、互いに電気的に接続され、
前記第1及び第2のトランスファゲートの4つの前記第1拡散領域は、前記第1及び第2のトランスファゲートの4つの前記第2拡散領域のうちの任意の2つの領域の間以外の領域に設けられ、
前記第1及び第2のトランスファゲートの前記ゲート電極は、一体的に形成されて前記ワード線の長さ方向に延びた第3の共有ゲート電極となっており、
前記第1のトランスファゲートの2つの前記第1拡散領域は、素子分離領域を挟んで隣り合うと共に前記第3の共有ゲート電極の一方の側に設けられ、
前記第1のトランスファゲートの2つの前記第2拡散領域は、前記素子分離領域を挟んで隣り合うと共に前記第3の共有ゲート電極の他方の側に設けられ、
前記第2のトランスファゲートの2つの前記第1拡散領域は、前記素子分離領域を挟んで隣り合うと共に前記第3の共有ゲート電極の前記一方の側に設けられ、
前記第2のトランスファゲートの2つの前記第2拡散領域は、前記素子分離領域を挟んで隣り合うと共に前記第3の共有ゲート電極の前記他方の側に設けられ、
前記第1のトランスファゲートの2つの前記第2拡散領域の端部は一体的に形成され、
前記第2のトランスファゲートの2つの前記第2拡散領域の端部は一体的に形成されている
半導体記憶装置。 - 半導体層に形成されたSRAMセルを備え、
前記SRAMセルは、
N型ソース領域とP型ドレイン領域を各々有する第1及び第2のロードトランジスタと、
P型ソース領域とN型ドレイン領域を各々有する第1及び第2のドライバトランジスタと、
パスゲートで各々構成された第1及び第2のトランスファゲートと、を有し、
前記パスゲートは、
ソース又はドレイン領域としての第1導電型の第1拡散領域と、ドレイン又はソース領域としての第2導電型の第2拡散領域と、制御電圧が供給されるゲート電極と、を有する第1のトンネルトランジスタと、
ソース又はドレイン領域としての第1導電型の第1拡散領域と、前記第1のトンネルトランジスタの前記第2拡散領域に電気的に接続されたドレイン又はソース領域としての第2導電型の第2拡散領域と、前記第1のトンネルトランジスタの前記ゲート電極に電気的に接続されたゲート電極と、を有する第2のトンネルトランジスタと、を有し、
前記第1及び第2のロードトランジスタ、並びに、前記第1及び第2のドライバトランジスタは、トンネルトランジスタである
半導体記憶装置。 - 前記第1及び第2のトランスファゲートの前記第2のトンネルトランジスタの前記第1拡散領域に接続されたビット線と、
前記第1及び第2のトランスファゲートの前記ゲート電極に接続され、前記ビット線と交差するワード線と、
前記第1のロードトランジスタと前記第1のドライバトランジスタに共有された第1の共有ゲート電極と、
前記第2のロードトランジスタと前記第2のドライバトランジスタに共有された第2の共有ゲート電極と、を備え、
前記第1および第2のロードトランジスタの前記N型ソース領域には、電源電圧が印加され、
前記第1および第2のドライバトランジスタの前記P型ソース領域には、基準電源電圧が印加され、
前記第2の共有ゲート電極、前記第1のロードトランジスタの前記P型ドレイン領域、前記第1のドライバトランジスタの前記N型ドレイン領域、及び、前記第1のトランスファゲートの前記第1のトンネルトランジスタの前記第1拡散領域は、互いに電気的に接続され、
前記第1の共有ゲート電極、前記第2のロードトランジスタの前記P型ドレイン領域、前記第2のドライバトランジスタの前記N型ドレイン領域、及び、前記第2のトランスファゲートの前記第1のトンネルトランジスタの前記第1拡散領域は、互いに電気的に接続されている
請求項2の半導体記憶装置。 - 前記第1及び第2のトランスファゲートの4つの前記第1拡散領域は、前記第1及び第2のトランスファゲートの4つの前記第2拡散領域のうちの任意の2つの領域の間以外の領域に設けられている
請求項2の半導体記憶装置。 - 前記第1及び第2のトランスファゲートの前記ゲート電極は、一体的に形成されて前記ワード線の長さ方向に延びた第3の共有ゲート電極となっており、
前記第1のトランスファゲートの2つの前記第1拡散領域は、素子分離領域を挟んで隣り合うと共に前記第3の共有ゲート電極の一方の側に設けられ、
前記第1のトランスファゲートの2つの前記第2拡散領域は、前記素子分離領域を挟んで隣り合うと共に前記第3の共有ゲート電極の他方の側に設けられ、
前記第2のトランスファゲートの2つの前記第1拡散領域は、前記素子分離領域を挟んで隣り合うと共に前記第3の共有ゲート電極の前記一方の側に設けられ、
前記第2のトランスファゲートの2つの前記第2拡散領域は、前記素子分離領域を挟んで隣り合うと共に前記第3の共有ゲート電極の前記他方の側に設けられている
請求項4の半導体記憶装置。 - 前記第1のトランスファゲートの2つの前記第2拡散領域の端部は一体的に形成され、
前記第2のトランスファゲートの2つの前記第2拡散領域の端部は一体的に形成されている
請求項5の半導体記憶装置。
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