JP5700784B2 - エッチング液組成物 - Google Patents
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Description
表1に記載した濃度の2−ヒドロキシエタンスルホン酸と、表1に記載のフッ化化合物をカッコ内に記載した濃度で含むエッチング液組成物No.1〜No.10を調製した。なお、残量は全て水である。30℃に調温したそれぞれのエッチング液に、PETフィルム上にスパッタリングにより膜厚125μmのITO膜を成膜した基材を浸漬し、ITO膜が除去されるまでの時間を測定した。
表2に記載の溶質を溶解させた水溶液からなる比較用エッチング液組成物A〜Lを調製した。上記実施例と同様の操作を行い、ITO膜が除去されるまでの時間を測定した。
上記実施例1に記載のエッチング液No.6と比較例1に記載のエッチング液Fについて、アルミニウムおよびチタニウムに対する腐食試験を行った。腐食試験は、各基材のテストピース(5cm×2.5cm×厚さ1mm)を40℃のエッチング液に7時間浸漬し、浸漬後の質量減少で評価した。結果を表3に示す。
上記、実施例1に記載のエッチング液No.6及びNo.7を使用して、50nmの酸化イットリウム膜、30nmの酸化珪素膜の各被膜についてエッチング試験を行った。具体的には、それぞれの膜基材を45℃のエッチング液浸漬し、15分浸漬した。この結果、それぞれの膜が除去したことが確認された。
Claims (4)
- (A)2−ヒドロキシエタンスルホン酸又はその塩を、2−ヒドロキシエタンスルホン酸換算で5〜20質量%と、
(B)フッ化カリウム、フッ化ナトリウム及びフッ化リチウムから選ばれる少なくとも1種類のフッ化化合物0.05〜5質量%とを含む水溶液からなる
ことを特徴とする金属酸化物被膜のエッチング液組成物。 - 前記(B)フッ化化合物が、フッ化カリウムである請求項1に記載のエッチング液組成物。
- 前記金属酸化物被膜が、酸化インジウム系被膜である請求項1又は2に記載のエッチング液組成物。
- 前記(A)2−ヒドロキシエタンスルホン酸又はその塩を、2−ヒドロキシエタンスルホン酸換算で7〜20質量%と、(B)フッ化カリウム0.1〜2質量%とを含む請求項1〜3のいずれか1項に記載のエッチング液組成物。
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