JP5696349B2 - 裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
(2)前記ポリシリコンプラグの厚さを前記複合層の厚さの50〜70%および、前記ポリシリコンプラグの総上部面積を前記支持基板用ウェーハの上部面積の70〜90%とする前記(1)に記載の裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。
上記(4)または(5)の裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。
図1は、本発明に従う裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法を説明するためのフローチャートであり、図2(a),(b)は、それぞれ本発明に従う裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法において用いられる支持基板用ウェーハおよび活性層用ウェーハの断面を模式的に示した図である。また、図3(a)〜(c)は、図1(c)のポリシリコンプラグの形状の例を模式的に示した平面図である。
図2(a)に示される前記支持基板用ウェーハ10は、ゲッタリング能力強化の点から炭素(C)を含有するn型半導体材料からなるのが好ましく、比抵抗は、1〜20Ω・cmであるのが好ましい。
前記活性層用ウェーハ20は、図2(b)に示されるように、n型半導体層からなる活性層用基板21上に、Siからなるエピタキシャル膜22を形成してなるエピタキシャルウェーハ20であるのが好ましい。また、前記活性層用基板21は、ゲッタリング能力強化の点からCを含有し、比抵抗が、3〜15Ω・cmであるのが好ましい。Cを含有するn型半導体材料からなる活性層用基板21上に形成した前記エピタキシャル膜22は、Cを含有する前記活性層用基板21のゲッタリング効果により、欠陥が少なく高品質のエピタキシャル膜22を得ることができるからであり、このエピタキシャル膜22を前記複合層60上に形成すれば、固体撮像素子を製造した際、白傷欠陥および重金属汚染の発生の抑制効果がさらに向上されるためである。
前記BOX酸化層30は、Wet酸化により形成されるのが好ましい。緻密な膜が形成でき貼り合わせに適した界面を形成できるためである。
(実施例1)
実施例1は、図1および図2に示すように、支持基板用ウェーハ10(図1(a)および図2(a))に、Wet酸化によりBOX酸化層30を形成し(図1(b))、このBOX酸化層30に、ドライエッチングにより複数の円柱形状の凹部40を形成し、これら凹部40に、CVD法により複数のポリシリコンプラグを埋設して複合層を形成した(図1(c))。また、活性層用基板21上に、CVD法によりSiからなるエピタキシャル膜22を形成してなるエピタキシャルウェーハを活性層用ウェーハ20として用意した(図1(d)および図2(b))。
実施例2は、前記ポリシリコンプラグの厚さを変化させたこと以外は、実施例1と同様の方法により、サンプルとなる裏面照射型固体撮像素子用ウェーハを作製した。
実施例3は、前記ポリシリコンプラグの総上部面積を変化させたこと以外は、実施例1と同様の方法により、サンプルとなる裏面照射型固体撮像素子用ウェーハを作製した。
実施例4は、前記ポリシリコンプラグの総上部面積を変化させたこと以外は、実施例2と同様の方法により、サンプルとなる裏面照射型固体撮像素子用ウェーハを作製した。
前記シリコンプラグ50を形成しないこと以外は、実施例1と同様の方法により、サンプルとなる裏面照射型固体撮像素子用ウェーハを作製した。
上記実施例1〜4および比較例1で作製した各サンプルについて評価を行った。評価方法を以下に示す。
上記実施例1〜4および比較例1で作製した各サンプルを用いて裏面照射型固体撮像素子を作製し、その後、該裏面照射型固体撮像素子について、半導体パラメータ解析装置を用いて、フォトダイオードの暗時リーク電流を測定し画素データ(白傷欠陥の個数データ)に変換することで、単位面積(1cm2)あたりの白傷欠陥の個数を測定し、白傷欠陥の発生の抑制について評価した。以下に評価基準を示し、測定結果及び評価結果を表1に示す。
◎:5個以下
○:5個超え、50個以下
×:50個超え
得られたサンプルについて、スピンコート汚染法により、サンプルの表面をニッケル(1.0×1012atoms/cm2)で汚染させた後、900℃で1時間熱処理を施し、その後、サンプルの表面を選択エッチングすることによりサンプル表面の欠陥密度(個/cm2)を測定した。評価結果は以下の通りであり、測定結果及び評価結果を表1に示す。
◎:5個未満
○:5個以上、50個未満
×:50個以上
20 活性層用ウェーハ
21 活性層用基板
22 エピタキシャル膜
30 BOX酸化層
40 凹部
50 ポリシリコンプラグ
60 複合層
100 裏面照射型固体撮像素子用ウェーハ
D 複合層の厚さ
d ポリシリコンプラグの厚さ
S 支持基板用ウェーハの上部面積
s ポリシリコンプラグの上部面積
Claims (10)
- 表面側に光電変換素子および電荷転送トランジスタを含む複数の画素を有し、裏面を受光面とする、裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法であって、
該方法は、支持基板用ウェーハおよび活性層用ウェーハの少なくとも一方に、BOX酸化層を形成する工程と、
前記支持基板用ウェーハと、前記活性層用ウェーハとを張り合わせる工程と、
前記活性層用ウェーハを薄膜化する工程と
を具え、
前記支持基板用ウェーハと、前記活性層用ウェーハとを張り合わせる工程の前に、前記BOX酸化層の前記張り合わせ面側に開口する、複数の凹部を前記BOX酸化層内に当該BOX酸化層を貫通させずに設け、該凹部に、ポリシリコンプラグを埋設して複合層を形成する工程をさらに具えることを特徴とする裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。 - 前記ポリシリコンプラグの厚さを前記複合層の厚さの50〜70%および、前記ポリシリコンプラグの総上部面積を前記支持基板用ウェーハの上部面積の70〜90%とする請求項1に記載の裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。
- 前記複合層と、他方のウェーハとの間に、単一酸化層を有する請求項1または2に記載の裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。
- 前記支持基板用ウェーハは、Cを含有するn型半導体材料からなる請求項1、2または3に記載の裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。
- 前記活性層用ウェーハは、n型半導体層からなる活性層用基板上に、Siからなるエピタキシャル膜を形成してなるエピタキシャルウェーハである請求項1〜4のいずれか一項に記載の裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。
- 前記支持基板用ウェーハのC濃度は、1×10 16 〜1×10 17 atoms/cm 3 の範囲である請求項4または5に記載の裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。
- 前記BOX酸化層を形成する工程の前に、前記支持基板用ウェーハおよび前記活性層用ウェーハの少なくとも一方の、前記張り合わせ面となるべき面とは反対の面に、ポリシリコン膜を形成する工程をさらに具える請求項1〜6のいずれか一項に記載の裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。
- 前記BOX酸化層を形成する工程の前に、それぞれのウェーハに対して600〜800℃の熱処理を施す工程をさらに有する請求項1〜7のいずれか一項に記載の裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。
- 前記BOX酸化層を形成する工程の後、かつ前記支持基板用ウェーハと、前記活性層用ウェーハとを張り合わせる工程の前に、前記BOX酸化層の、他方のウェーハとの張り合わせ面に、所定の有機物を吸着させる工程をさらに具える請求項1〜8のいずれか一項に記載の裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。
- 前記有機物は、有機炭素化合物である請求項9に記載の裏面照射型固体撮像素子用ウェーハの製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8841201B2 (en) * | 2013-02-20 | 2014-09-23 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for post-bonding wafer edge seal |
JP2015088698A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | 信越半導体株式会社 | シリコンウェーハ及びその製造方法 |
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Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04304653A (ja) * | 1991-04-02 | 1992-10-28 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH1126735A (ja) * | 1997-07-04 | 1999-01-29 | Texas Instr Japan Ltd | 結合soiウェハ |
JP2000323484A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及び半導体記憶装置 |
JP2001144275A (ja) | 1999-08-27 | 2001-05-25 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 貼り合わせsoiウエーハの製造方法および貼り合わせsoiウエーハ |
US6992257B2 (en) * | 2001-04-06 | 2006-01-31 | Adc Telecommunications, Inc. | Electronic signal transmission and switching jack |
DE10124038A1 (de) * | 2001-05-16 | 2002-11-21 | Atmel Germany Gmbh | Verfahren zur Herstellung vergrabener Bereiche |
EP1542269B1 (en) * | 2002-07-17 | 2016-10-05 | Sumco Corporation | A method of manufacturing a high-resistance silicon wafer |
JP4773697B2 (ja) * | 2004-06-30 | 2011-09-14 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | Soi基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
JP4940667B2 (ja) * | 2005-06-02 | 2012-05-30 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2007059755A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Sony Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2007095951A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Denso Corp | 半導体基板およびその製造方法 |
JP2007227601A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Seiko Epson Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
GB2437995A (en) * | 2006-05-11 | 2007-11-14 | X Fab Semiconductor Foundries | Semiconductor processing |
JP5315596B2 (ja) * | 2006-07-24 | 2013-10-16 | 株式会社Sumco | 貼合せsoiウェーハの製造方法 |
US7781715B2 (en) * | 2006-09-20 | 2010-08-24 | Fujifilm Corporation | Backside illuminated imaging device, semiconductor substrate, imaging apparatus and method for manufacturing backside illuminated imaging device |
JP4639212B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2011-02-23 | 富士フイルム株式会社 | 裏面照射型撮像素子の製造方法 |
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