JP4639212B2 - 裏面照射型撮像素子の製造方法 - Google Patents
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(1) 半導体基板の電極が形成される表面側に対し反対の裏面側から入射する光を受光し、前記光に応じて前記半導体基板内で発生した電荷を、前記半導体基板の表面側から読み出して撮像を行う裏面照射型撮像素子を製造するための裏面照射型撮像素子の製造方法であって、
第1半導体支持基板と該第1半導体支持基板上に絶縁層を介して形成された導電型半導体層とから成るSOI基板に対して、前記導電型半導体層内に受光部を含む光電変換領域および該光電変換領域で生成された信号電荷を転送するための転送部を形成する第1ステップと、
前記SOI基板の前記第1半導体支持基板とは反対側の面を第2半導体支持基板に固定する第2ステップと、
前記SOI基板から前記第1半導体支持基板及び前記絶縁層を除去する第3ステップと、
前記導電型半導体層の表面にゲッタリング領域を露出させ、300〜500℃の環境で低温アニール処理を行うことにより低温酸化膜を形成する第4ステップと、
前記第4ステップの後、前記SOI基板の露出面に形成された低温酸化膜を前記ゲッタリング領域と共に除去する第5ステップと、
前記SOI基板上に、CVD処理により薄膜を堆積させて光入射側面とする第7ステップと、
を少なくとも含む裏面照射型撮像素子の製造方法。
また、この裏面照射型撮像素子の製造方法によれば、300〜500℃の低温アニール処理で低温酸化膜を形成することにより、第4ステップを実施する前にデバイスに形成されるメタル配線層に悪影響が及ぶことが回避される。
また、この裏面照射型撮像素子の製造方法によれば、必要最小限の工数としてプロセスの簡略化が図られる。
前記第5ステップの後、前記SOI基板の露出面に対して再度の酸化処理を行う第6ステップと、を含み
前記第7ステップが、前記SOI基板上の前記酸化処理された面に対して、CVD処理により薄膜を堆積させる裏面照射型撮像素子の製造方法。
前記第4ステップが、酸素ラジカルまたは高濃度オゾンを用いて前記導電型半導体層を酸化させることを特徴とする裏面照射型撮像素子の製造方法。
以下、本発明の第1の実施の形態について図1〜図6を参照して説明する。
図1は、本発明の実施形態を説明するためのインターライン型の裏面照射型撮像素子の部分断面模式図である。
図1に示す裏面照射型撮像素子100は、p型のシリコン層(以下、p層という)1とp層1よりも不純物濃度の高いp++型のシリコン層(以下、p++層という)2とからなるp型の半導体基板(以下、p基板という)30を備える。裏面照射型撮像素子100は、図中下方から上方に向かって光を入射させて撮像を行うものである。本明細書では、p基板30の光入射方向に対して垂直な2つの面のうち、光入射側の面を裏面といい、その反対面を表面という。また、裏面照射型撮像素子100を構成する各構成要素を基準にしたときに、入射光が進む方向を、その構成要素の上方と定義し、入射光が進む方向の反対方向を、その構成要素の下方と定義する。また、p基板30の裏面及び表面に直交する方向を垂直方向、p基板30の裏面及び表面に平行な方向を水平方向と定義する。
n+層6に移動した電荷は、n+層6の露出面に接続された電極7とこれに接続された電極8に移動するため、これにより、n+層6をオーバーフロードレインとして機能させることができる。
・電荷転送チャネル12には光がほとんど到達しなくなるため、p基板30内に、電荷転送チャネル12を遮光するための遮光層を設けることなく、また、裏面照射型撮像素子をフレームインターライン型にすることなく、インターライン型でも十分スミアの低い撮像素子を実現することができる。
・量子効率が高まり、感度が向上する。
・長波長の感度が高くなる。
・近赤外の感度が飛躍的に高くなる。
(1)n層4とp++層2との間の中間層に、1×1014/cm3以下のn層またはp層、或いはi層を少なくとも含む構成
(2)上記中間層に、2×1014/cm3以下のn層と、2×1014/cm3以下のp層とを含む構成
(3)(2)のn層とp層の間に、1×1014/cm3以下のn層、1×1014/cm3以下のp層、及びi層のうちの少なくとも1つを含む構成
図2に示すように、n+層6と光電変換領域においてそれぞれ電位井戸が形成され、p+層5がこれらの電位井戸同士の間のバリアとして機能していることが分かる。光電変換領域に形成される電位井戸の飽和容量を超えた電荷は、n+層6に形成される電位井戸に流れ込み、流れ込んだ電荷は電極7に移動することで、外部に排出される。このため、n+層6に接続される電極7に印加する電圧を変化させてp+層5のバリアの高さを調整することで、n層4の飽和容量の制御が可能となる。例えば、信号を加算して読み出す動画撮影モード時においては、n層4の飽和容量を減少させる制御を行うことで、電荷転送チャネル12でのオーバーフローを防ぐことができる。
図3において、符号aは電荷転送チャネル12の空乏層の垂直方向の長さを示し、符号bは、電荷転送チャネル12の空乏層の水平方向の長さを示し、符号cは、p基板30の垂直方向の長さを示し、符号dは、n層4の配列ピッチを示している。図3に示すモデルでは、絶縁層9の変わりに、光を吸収する光吸収層21を設けたものとしている。
図5は、裏面照射型撮像素子100に用いるSOI基板の製造工程を説明するための図である。図5において、図1と同様の構成には同一符号を付してある。
まず、シリコン等のベース基板22上に、エピタキシャル成長等によってp層1を形成する(図5(a))。図5(a)においてp層1の露出している面が、p基板30の裏面となる。次に、p層1の上方からイオン注入を行ってp++層2を形成する(図5(b))。これにより、p基板30が形成される。
裏面照射型撮像素子100のオーバーフロードレインの特性を不安定にする要因として、p+層5とn+層6との合わせずれ、n+層6と電極7との合わせずれ、絶縁層9内に形成されたコンタクトホールへの電極7の被覆不良等が考えられる。このような合わせずれや被覆性の改善のためには、平面視において、p+層5とn+層6の面積を大きくし、電極7の面積を大きくすることが最も簡単な策であるが、このような策は、画素の微細化を進める上で大きな障害となってしまう。そこで、本実施形態では、合わせずれや被覆性の改善と、画素の微細化とを同時に実現可能な方法を提案する。
ための図である。図6において、図1と同様の構成には同一符号を付してある。
まず、図5(f)の状態から、p基板30の表面上方からイオン注入等によってn層4とその上のp+層5を形成した後、p基板30表面上に絶縁層9を形成し、平面視において、p+層5と重なる絶縁層9の領域の一部に、フォトリソフラフィ法とエッチングによってコンタクトホールHを形成する(図6(a))。
・p基板30と絶縁層3との界面にゲッタリングサイトを形成し、絶縁層3側からSIMOX(Separation by IMplanted OXgen)を行って絶縁層3内に汚染不純物を固着する。
・p基板30と絶縁層3との界面にゲッタリングサイトを形成する方法としては、この界面に絶縁層3側からフッ素や炭素を注入する方法がある。
・p基板30と絶縁層3との界面にゲッタリングサイトを形成し、その後、エッチング等で絶縁層3、ゲッタリングサイトまでを除去した後、低温酸化(ラジカル酸化等)を行って絶縁層3の代わりとなる絶縁層を形成する。
・遮光部材17を、特定のカラーフィルタ18については、そのカラーフィルタ18と高屈折率層16との間の全面に設けておく。このような構成により、特定のカラーフィルタ18を透過した光を検出する光電変換領域を、光学的黒レベルを検出するための光電変換領域とすることができる。特定のカラーフィルタ18の位置を、裏面照射型撮像素子100の周辺とすれば、通常の撮像素子と同様に、スミア補正や黒レベル補正が可能となる。また、この場合、カラーフィルタ層と絶縁層3との間に遮光部材17を設ける構成であるため、この製造が容易である。
・p++層2をp型のアモルファスSiCからなる層に変更し、絶縁層3をITO等の入射光に対して透明な透明電極とし、この透明電極に電圧を印加できる構成としておく。
・p基板1を複数の不純物拡散層で構成する場合には、各不純物拡散層を、プロセスを分けて形成する。
・p基板1を複数の不純物拡散層で構成する場合には、各不純物拡散層を、プロセスを分けて形成し、その後、アニール処理してポテンシャル段差を丸める。
・p基板1を複数の不純物拡散層で構成する場合には、各不純物拡散層を同一プロセスでガス雰囲気濃度をアナログ的に変化させながら形成する。
次に、第1の実施の形態における裏面照射型撮像素子の製造工程に関するより詳細な具体例を、第2の実施の形態として図7〜図13を参照しながら以下に説明する。
図7は第2の実施の形態における裏面照射型撮像素子の主要な製造プロセスの処理手順を示すフローチャートである。図8〜図12は、第2の実施の形態における裏面照射型撮像素子およびその製造途中の各工程でのデバイスの厚み方向の構成を示す断面図である。
上記構成によれば、最終形状で半導体基板となる半導体層51は、受光部を含む光電変換領域63および光電変換領域63で生成された信号電荷を転送する転送部が形成され、光入射側となる裏面側の表面層、すなわちP+層61の表面には、低温酸化膜76と、該酸化膜の外側にCVD膜77とがこの順で形成されている。CVD膜77は半導体基板への光入射側面となり、その外側に平坦化層91を介して、カラーフィルタ92、マイクロレンズ93が形成される。
具体例1
温度:300〜500℃
圧力:100〜200Pa
使用するガス:Ar/O2/H2(混合比は100/1/1)
の条件で、マイクロ波を用いて酸素ガスをプラズマ化する。これにより、酸素ガスが非常に活性に富んだ酸素ラジカルとなり、これによりSOI基板の露出している表面近傍を犠牲酸化させることができる。実際には、マイクロ波を150秒間照射することにより、10nmの膜厚の良質な酸化膜が生成される。但し、使用するガスの中で酸素以外は必要不可欠ではない。アルゴン(Ar)は不活性なキャリアガスであり、水素は酸化促進を目的として使用している。
温度:400℃
圧力:100〜200Pa
使用するガス:高濃度オゾン
の条件で低温酸化処理を行う。この場合も形成する膜厚については10nm程度が実用領域である。
ステップS18でCVD膜77を形成する際は、例えば常圧プラズマ等の低温(400℃)CVD処理を行えばよい。すなわち、原料物質を含むガスを高周波でプラズマ化することにより、原料物質がラジカル化して反応性に富むようになり、基板上に吸着されて堆積する。
図13は第2の実施の形態における裏面照射型撮像素子の主要な製造プロセスの処理手順の変形例を示すフローチャートである。
図7に示した上述の製造工程を図13に示すように変更することも考えられる。例えば、図7に示したステップS16及びS17は省略することもできる。
図15は本発明に係る裏面照射型撮像素子を搭載したデジタルカメラのブロック図である。
図示するデジタルカメラは、撮影レンズ141と、前述の裏面照射型撮像素子100と、この両者の間に設けられた絞り142と、赤外線カットフィルタ145と、光学ローパスフィルタ147とを備える。
なお、上記のデジタルカメラは、静止画撮影、動画撮影のいずれにも適用ができるものであり、したがって、本発明に係る撮像装置は、デジタルスチルカメラ、ビデオカメラなど、種々の撮像手段に適用することができる。
2 p++層
3,9,14 絶縁層
4 n層
5 p+層(オーバーフローバリア)
6 n+層(オーバーフロードレイン)
7,8 電極
10 保護層
11 p層
12 電荷転送チャネル
13 電荷転送電極兼電荷読み出し電極
15 素子分離層
16 高屈折率透明層
17 遮光部材
18 カラーフィルタ
19 マイクロレンズ
20 ゲート絶縁膜
50 半導体基板
51 半導体層(SOI層)
52 絶縁層
53 第1半導体支持基板
61 p+層
62 p層
63 光電変換領域(n型半導体領域)
64 p+層
65 n+領域
66 電荷転送領域(n−領域)
67 n+ポリシリコン領域
68 絶縁層
69 電極(タングステン)
70 電極(アルミニウム)
71 絶縁層
75,76 酸化膜
77 CVD膜
80 第2半導体支持基板
81,82 境界面
91 平坦化層(レジスト)
92 カラーフィルタ
93 マイクロレンズ
Claims (3)
- 半導体基板の電極が形成される表面側に対し反対の裏面側から入射する光を受光し、前記光に応じて前記半導体基板内で発生した電荷を、前記半導体基板の表面側から読み出して撮像を行う裏面照射型撮像素子を製造するための裏面照射型撮像素子の製造方法であって、
第1半導体支持基板と該第1半導体支持基板上に絶縁層を介して形成された導電型半導体層とから成るSOI基板に対して、前記導電型半導体層内に受光部を含む光電変換領域および該光電変換領域で生成された信号電荷を転送するための転送部を形成する第1ステップと、
前記SOI基板の前記第1半導体支持基板とは反対側の面を第2半導体支持基板に固定する第2ステップと、
前記SOI基板から前記第1半導体支持基板及び前記絶縁層を除去する第3ステップと、
前記導電型半導体層の表面にゲッタリング領域を露出させ、300〜500℃の環境で低温アニール処理を行うことにより低温酸化膜を形成する第4ステップと、
前記第4ステップの後、前記SOI基板の露出面に形成された低温酸化膜を前記ゲッタリング領域と共に除去する第5ステップと、
前記SOI基板上に、CVD処理により薄膜を堆積させて光入射側面とする第7ステップと、
を少なくとも含む裏面照射型撮像素子の製造方法。 - 請求項1記載の裏面照射型撮像素子の製造方法であって、
前記第5ステップの後、前記SOI基板の露出面に対して再度の酸化処理を行う第6ステップと、を含み
前記第7ステップが、前記SOI基板上の前記酸化処理された面に対して、CVD処理により薄膜を堆積させる裏面照射型撮像素子の製造方法。 - 請求項1又は請求項2記載の裏面照射型撮像素子の製造方法であって、
前記第4ステップが、酸素ラジカルまたは高濃度オゾンを用いて前記導電型半導体層を酸化させることを特徴とする裏面照射型撮像素子の製造方法。
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