JP5680299B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
図7に示すように、半導体装置は、その裏面全体にカソード層511が形成されており、点状のコレクタ層512がカソード層511内に分布している半導体基板510を備えるものであってもよい。この場合、隣接するコレクタ層512の間隔(ピッチ)であるP1が、半導体基板510の平面中央部で疎となり、半導体基板510の周縁部に向かうほど密となるように配置する。これによって、コレクタ層512の半導体基板510の平面方向の面積S1と、カソード層511の半導体基板510の平面方向の面積S2との比である、S2/S1は、半導体基板510の平面中央部よりも、周縁部の方が小さくなる。
半導体装置は、図8に示すように、四角形の枠状のカソード層521とコレクタ層522がレイアウトされている半導体基板520を備えていてもよい。図8では、コレクタ層522の間に形成されているカソード層521の幅はほぼ同一である。コレクタ層522の幅Q1は、半導体基板520の平面中央部よりも、周縁部の方が大きくなっている。これによって、コレクタ層522の半導体基板520の平面方向の面積S1と、カソード層521の半導体基板520の平面方向の面積S2との比である、S2/S1は、半導体基板520の平面中央部よりも、周縁部の方が小さくなる。
半導体装置は、図9に示すように、ライン状のカソード層とコレクタ層が交互に形成されている半導体基板530を備えるものであってもよい。図9では、コレクタ層532の間に形成されているカソード層531の幅はほぼ同一である。コレクタ層532の幅Q1は、半導体基板530の平面中央部よりも、周縁部の方が大きくなっている。これによって、コレクタ層532の半導体基板530の平面方向の面積S1と、カソード層531の半導体基板530の平面方向の面積S2との比である、S2/S1は、半導体基板530の平面中央部よりも、周縁部の方が小さくなる。
11、21、31 素子部
12、22,32 周辺耐圧部
100,200,300 半導体基板
101,201,301 カソード層
102,202,302 コレクタ層
103,203,303 バッファ層
104,204,304 ドリフト層
105,205,305 ボディ層
106,206,306 エミッタ層
107,207,307 ボディコンタクト層
120,220,320 絶縁ゲート
121,221,321 トレンチ
122,222,322 絶縁膜
123,223,323 ゲート電極
510,520,530,540,550,560,570 半導体基板
511,521,531,541,551,561,571 カソード層
512,522,532,542,552,562,572 コレクタ層
Claims (4)
- IGBTが形成されている半導体基板を備えている半導体装置であって、
半導体基板は、
第1導電型のドリフト層と、
ドリフト層の表面側に設けられており、少なくともその一部が半導体基板の表面に露出している第2導電型のボディ層と、
ボディ層の表面に設けられており、ボディ層によってドリフト層と隔離されている第1導電型のエミッタ層と、
エミッタ層とドリフト層との間に位置するボディ層に接する絶縁ゲートと、
半導体基板の厚み方向において、ドリフト層を介してボディ層もしくは絶縁ゲートと対向する位置に設けられている、第1導電型のカソード/アノード層および第2導電型のコレクタ層とを備えており、
半導体基板を平面視した場合に、複数のカソード/アノード層が間隔を空けて配置されると共に、隣接するカソード/アノード層間にコレクタ層が配置されており、
複数の隣接するカソード/アノード層の間隔P2は、半導体基板を平面視した場合の中央に近いほど密であり、周縁に向かうほど疎である、半導体装置。 - IGBTが形成されている半導体基板を備えている半導体装置であって、
半導体基板は、
第1導電型のドリフト層と、
ドリフト層の表面側に設けられており、少なくともその一部が半導体基板の表面に露出している第2導電型のボディ層と、
ボディ層の表面に設けられており、ボディ層によってドリフト層と隔離されている第1導電型のエミッタ層と、
エミッタ層とドリフト層との間に位置するボディ層に接する絶縁ゲートと、
半導体基板の厚み方向において、ドリフト層を介してボディ層もしくは絶縁ゲートと対向する位置に設けられている、第1導電型のカソード/アノード層および第2導電型のコレクタ層とを備えており、
半導体基板を平面視した場合に、複数のカソード/アノード層が間隔を空けて配置されると共に、隣接するカソード/アノード層間にコレクタ層が配置されており、
カソード/アノード層の半導体基板を平面視した場合の中央から周縁に向かう方向の幅Q2は、半導体基板を平面視した場合の中央に近いほど大きく、周縁に近いほど小さくなっている、半導体装置。 - IGBTが形成されている半導体基板を備えている半導体装置であって、
半導体基板は、
第1導電型のドリフト層と、
ドリフト層の表面側に設けられており、少なくともその一部が半導体基板の表面に露出している第2導電型のボディ層と、
ボディ層の表面に設けられており、ボディ層によってドリフト層と隔離されている第1導電型のエミッタ層と、
エミッタ層とドリフト層との間に位置するボディ層に接する絶縁ゲートと、
半導体基板の厚み方向において、ドリフト層を介してボディ層もしくは絶縁ゲートと対向する位置に設けられている、第1導電型のカソード/アノード層および第2導電型のコレクタ層とを備えており、
半導体基板を平面視した場合に、複数のコレクタ層が間隔を空けて配置されると共に、隣接するコレクタ層間にカソード/アノード層が配置されており、
複数の隣接するコレクタ層の間隔P1は、半導体基板を平面視した場合の中央に近いほど疎であり、周縁に近いほど密である、半導体装置。 - IGBTが形成されている半導体基板を備えている半導体装置であって、
半導体基板は、
第1導電型のドリフト層と、
ドリフト層の表面側に設けられており、少なくともその一部が半導体基板の表面に露出している第2導電型のボディ層と、
ボディ層の表面に設けられており、ボディ層によってドリフト層と隔離されている第1導電型のエミッタ層と、
エミッタ層とドリフト層との間に位置するボディ層に接する絶縁ゲートと、
半導体基板の厚み方向において、ドリフト層を介してボディ層もしくは絶縁ゲートと対向する位置に設けられている、第1導電型のカソード/アノード層および第2導電型のコレクタ層とを備えており、
半導体基板を平面視した場合に、複数のコレクタ層が間隔を空けて配置されると共に、隣接するコレクタ層間にカソード/アノード層が配置されており、
コレクタ層の半導体基板を平面視した場合の中央から周縁に向かう方向の幅Q1は、半導体基板を平面視した場合の中央に近いほど小さく、周縁に近いほど大きくなっている、半導体装置。
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