JP5640920B2 - チタニアドープ石英ガラス及びその製造方法 - Google Patents
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 120
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 63
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 56
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 37
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 claims description 30
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 29
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 21
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 21
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 17
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 9
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 5
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 125
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 11
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 7
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 5
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 4
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 206010040925 Skin striae Diseases 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 titanium halides Chemical class 0.000 description 3
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 2
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 2
- 238000004017 vitrification Methods 0.000 description 2
- 108010053481 Antifreeze Proteins Proteins 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- FPCJKVGGYOAWIZ-UHFFFAOYSA-N butan-1-ol;titanium Chemical compound [Ti].CCCCO.CCCCO.CCCCO.CCCCO FPCJKVGGYOAWIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001364 causal effect Effects 0.000 description 1
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- XGZNHFPFJRZBBT-UHFFFAOYSA-N ethanol;titanium Chemical compound [Ti].CCO.CCO.CCO.CCO XGZNHFPFJRZBBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000005055 methyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N methyltrichlorosilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)Cl JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013081 microcrystal Substances 0.000 description 1
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003856 thermoforming Methods 0.000 description 1
- UBZYKBZMAMTNKW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrabromide Chemical compound Br[Ti](Br)(Br)Br UBZYKBZMAMTNKW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilane Chemical compound CO[SiH](OC)OC YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
(1)ケイ素源原料ガス及びチタン源原料ガスを混合し、200〜400℃で加熱した後、可燃性ガス及び支燃性ガスにより酸化又は火炎加水分解させることを特徴とするチタニアドープ石英ガラスの製造方法。
(2)ケイ素源原料ガスとチタン源原料ガスとの原料混合ガス、可燃性ガス及び支燃性ガスを噴出させるバーナの上記原料混合ガスの噴出用中心管とガラス製配管又はガラスライニング製配管の下流側端部とを接続し、このガラス製配管又はガラスライニング製配管において上記原料混合ガスを200〜400℃に加熱保持するようにした(1)記載のチタニアドープ石英ガラスの製造方法。
(3)上記ガラス製配管又はガラスライニング製配管の上流側端部に金属製配管を接続すると共に、この金属製配管と接続するガラス製配管又はガラスライニング製配管の上流側端部を100〜130℃に保持するようにした(2)記載のチタニアドープ石英ガラスの製造方法。
(4)ケイ素源原料ガス及びチタン源原料ガスの原料混合ガスを、中心多重管部及びマルチノズル部から構成されたバーナの上記中心多重管の中心管から噴出させると共に、この中心管を取り囲む2管目から支燃性ガスを200〜400℃に加熱した状態で噴出させることを特徴とする(1)〜(3)のいずれか1項記載のチタニアドープ石英ガラスの製造方法。
(5)EUV光の反射面における有効領域において、表面に体積30,000nm3以上、アスペクト比10以下の凹状欠陥がないことを特徴とするチタニアドープ石英ガラス。
(6)内包物がないことを特徴とする(5)記載のチタニアドープ石英ガラス。
(7)(5)又は(6)記載のチタニアドープ石英ガラスから形成されることを特徴とするEUVリソグラフィ用部材。
(8)EUVリソグラフィフォトマスク用基板であることを特徴とする(7)記載のEUVリソグラフィ用部材。
図2に記載の石英ガラス製バーナをターゲット材に対して、距離280mm及び角度128°に設置し、表1に記載のガスをそれぞれのノズルに供給して、酸水素炎による四塩化ケイ素、四塩化チタンの酸化又は火炎加水分解反応により生成したSiO2、TiO2を石英製バーナの先方に設置した50rpmで回転しながら10mm/hrで後退するターゲット材に付着と同時に溶融させることでチタニアドープ石英ガラスのインゴットを製造した。この時、バーナの直前かつ原料ガス用フィルタの直後に図1に示す石英ガラス製原料混合ガス高温加熱部を設置し、[加熱部(1)]及び[加熱部(2)]の温度をそれぞれ375℃及び125℃に保持した。また、バーナ中心多重管部2管目の酸素ガス温度を375℃に保持した。なお、金属配管としてはステンレス配管を用い、ステンレス配管の温度は125℃に保持した。
石英ガラス製原料混合ガス高温加熱部の加熱部(1)における温度を300℃とした。その他の条件は実施例1と同一とした。
石英ガラス製原料混合ガス高温加熱部の加熱部(1)における温度を220℃とした。バーナ中心多重管部2管目の酸素ガス温度を室温(20℃)に保持した。その他の条件は実施例1と同一とした。
石英ガラス製原料混合ガス高温加熱部の加熱部(2)における温度を375℃とした。その他の条件は実施例1と同一とした。
石英ガラス製原料混合ガス高温加熱部を取り外し、ステンレス配管と石英ガラス製バーナを直接接続した。この時、ステンレス配管の温度は125℃に保持した。また、バーナ中心多重管部2管目の酸素ガス温度は室温にした。その他の条件は実施例1と同一とした。
図2に記載の石英ガラス製バーナを使用し、表1に記載のガスをそれぞれのノズルに供給してチタニアドープ石英ガラスインゴットを作製した。その他の条件は実施例1と同一とした。
2a 高温加熱部
2b 上流側端部
3 金属配管部
4 フィルタ
10 バーナ
A 中心多重管部
B マルチノズル部
11 原料混合ガス噴出用中心管(ノズル)
12 第1の支燃性ガス供給管
13 第1の可燃性ガス供給管
14 第2の支燃性ガス供給管
15 第2の可燃性ガス供給管
16 第1の外殻管
17 第2の外殻管
18 第3の支燃性ガス供給管
19 第4の支燃性ガス供給管
Claims (8)
- ケイ素源原料ガス及びチタン源原料ガスを混合し、200〜400℃で加熱した後、可燃性ガス及び支燃性ガスにより酸化又は火炎加水分解させることを特徴とするチタニアドープ石英ガラスの製造方法。
- ケイ素源原料ガスとチタン源原料ガスとの原料混合ガス、可燃性ガス及び支燃性ガスを噴出させるバーナの上記原料混合ガスの噴出用中心管とガラス製配管又はガラスライニング製配管の下流側端部とを接続し、このガラス製配管又はガラスライニング製配管において上記原料混合ガスを200〜400℃に加熱保持するようにした請求項1記載のチタニアドープ石英ガラスの製造方法。
- 上記ガラス製配管又はガラスライニング製配管の上流側端部に金属製配管を接続すると共に、この金属製配管と接続するガラス製配管又はガラスライニング製配管の上流側端部を100〜130℃に保持するようにした請求項2記載のチタニアドープ石英ガラスの製造方法。
- ケイ素源原料ガス及びチタン源原料ガスの原料混合ガスを、中心多重管部及びマルチノズル部から構成されたバーナの上記中心多重管の中心管から噴出させると共に、この中心管を取り囲む2管目から支燃性ガスを200〜400℃に加熱した状態で噴出させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のチタニアドープ石英ガラスの製造方法。
- EUV光の反射面における有効領域において、表面に体積30,000nm3以上、アスペクト比10以下の凹状欠陥がないことを特徴とするチタニアドープ石英ガラス。
- 内包物がないことを特徴とする請求項5記載のチタニアドープ石英ガラス。
- 請求項5又は6記載のチタニアドープ石英ガラスから形成されることを特徴とするEUVリソグラフィ用部材。
- EUVリソグラフィフォトマスク用基板であることを特徴とする請求項7記載のEUVリソグラフィ用部材。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011178758A JP5640920B2 (ja) | 2011-08-18 | 2011-08-18 | チタニアドープ石英ガラス及びその製造方法 |
US13/569,429 US9346700B2 (en) | 2011-08-18 | 2012-08-08 | Titania-doped quartz glass and making method |
EP12179819.3A EP2559669B1 (en) | 2011-08-18 | 2012-08-09 | Titania-doped quartz glass and method for its manufacture |
TW101129920A TWI554478B (zh) | 2011-08-18 | 2012-08-17 | 摻雜二氧化鈦的石英玻璃及其製造方法 |
KR1020120089896A KR101970015B1 (ko) | 2011-08-18 | 2012-08-17 | 티타니아 도핑 석영 유리 및 그의 제조 방법 |
US15/137,954 US9612525B2 (en) | 2011-08-18 | 2016-04-25 | Titania-doped quartz glass and making method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011178758A JP5640920B2 (ja) | 2011-08-18 | 2011-08-18 | チタニアドープ石英ガラス及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013040080A JP2013040080A (ja) | 2013-02-28 |
JP5640920B2 true JP5640920B2 (ja) | 2014-12-17 |
Family
ID=46650411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011178758A Active JP5640920B2 (ja) | 2011-08-18 | 2011-08-18 | チタニアドープ石英ガラス及びその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9346700B2 (ja) |
EP (1) | EP2559669B1 (ja) |
JP (1) | JP5640920B2 (ja) |
KR (1) | KR101970015B1 (ja) |
TW (1) | TWI554478B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5640920B2 (ja) * | 2011-08-18 | 2014-12-17 | 信越化学工業株式会社 | チタニアドープ石英ガラス及びその製造方法 |
WO2013047834A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体及びガラス母材の製造方法 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4661140A (en) * | 1985-02-06 | 1987-04-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Gas reaction apparatus and multi-wall pipe type burner therefor |
US4976943A (en) * | 1988-05-19 | 1990-12-11 | Degussa Aktiengesellschaft | Spherical, hydrophilic silica, method of its preparation and use |
WO1999054259A1 (en) | 1998-04-22 | 1999-10-28 | Corning Incorporated | Methods for making ultra-low expansion silica-titania glasses |
EP1010672A1 (en) * | 1998-12-17 | 2000-06-21 | PIRELLI CAVI E SISTEMI S.p.A. | Method and apparatus for forming an optical fiber preform by combustionless hydrolysis |
AU2001245816A1 (en) | 2000-05-25 | 2001-12-11 | Corning Incorporated | Method of making a titania-doped fused silica preform |
US8047023B2 (en) * | 2001-04-27 | 2011-11-01 | Corning Incorporated | Method for producing titania-doped fused silica glass |
JP2006327916A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Nikon Corp | 石英ガラスの製造装置、並びに、それを用いた石英ガラスの製造方法 |
JP5035516B2 (ja) | 2005-12-08 | 2012-09-26 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスク用チタニアドープ石英ガラスの製造方法 |
JP5042714B2 (ja) | 2007-06-06 | 2012-10-03 | 信越化学工業株式会社 | ナノインプリントモールド用チタニアドープ石英ガラス |
JP2011505318A (ja) * | 2007-11-30 | 2011-02-24 | コーニング インコーポレイテッド | 低い膨張係数勾配を有する低膨張性ガラス材料 |
JP5105165B2 (ja) | 2007-12-18 | 2012-12-19 | カシオ計算機株式会社 | 光源装置及びプロジェクタ |
JP2009145288A (ja) | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Yokogawa Electric Corp | 時間測定回路 |
CN101959820A (zh) * | 2008-02-26 | 2011-01-26 | 旭硝子株式会社 | 含TiO2的石英玻璃和使用高能量密度的EUV光刻用光学部件以及用于其制造的特别温度控制方法 |
JP5365248B2 (ja) * | 2008-02-26 | 2013-12-11 | 旭硝子株式会社 | TiO2を含有するシリカガラスおよびEUVリソグラフィ用光学部材 |
JP2011162359A (ja) | 2008-05-29 | 2011-08-25 | Asahi Glass Co Ltd | TiO2を含有するシリカガラスおよびそれを用いたリソグラフィ用光学部材 |
US20100243950A1 (en) | 2008-06-11 | 2010-09-30 | Harada Daijitsu | Polishing agent for synthetic quartz glass substrate |
JP2010135732A (ja) | 2008-08-01 | 2010-06-17 | Asahi Glass Co Ltd | Euvマスクブランクス用基板 |
JP2010131662A (ja) | 2008-12-08 | 2010-06-17 | Uht Corp | レーザ加工装置 |
EP2463250B2 (en) | 2009-05-13 | 2019-09-25 | Asahi Glass Company, Limited | Methods for producing and for heat-treating a tio2-sio2 glass body |
JP5476982B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-04-23 | 信越化学工業株式会社 | チタニアドープ石英ガラスの選定方法 |
JP5793834B2 (ja) * | 2010-07-15 | 2015-10-14 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体製造方法およびガラス体製造方法 |
JP5640920B2 (ja) * | 2011-08-18 | 2014-12-17 | 信越化学工業株式会社 | チタニアドープ石英ガラス及びその製造方法 |
-
2011
- 2011-08-18 JP JP2011178758A patent/JP5640920B2/ja active Active
-
2012
- 2012-08-08 US US13/569,429 patent/US9346700B2/en active Active
- 2012-08-09 EP EP12179819.3A patent/EP2559669B1/en active Active
- 2012-08-17 TW TW101129920A patent/TWI554478B/zh active
- 2012-08-17 KR KR1020120089896A patent/KR101970015B1/ko active IP Right Grant
-
2016
- 2016-04-25 US US15/137,954 patent/US9612525B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2559669B1 (en) | 2016-05-04 |
US20130045439A1 (en) | 2013-02-21 |
EP2559669A3 (en) | 2014-01-08 |
US9612525B2 (en) | 2017-04-04 |
TWI554478B (zh) | 2016-10-21 |
JP2013040080A (ja) | 2013-02-28 |
US20160306271A1 (en) | 2016-10-20 |
EP2559669A2 (en) | 2013-02-20 |
KR101970015B1 (ko) | 2019-04-17 |
US9346700B2 (en) | 2016-05-24 |
KR20130020619A (ko) | 2013-02-27 |
TW201328999A (zh) | 2013-07-16 |
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---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130626 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131017 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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