JP5629782B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
101 Rステージ
102 Zステージ
103 θステージ
104 照明光
105 レンズ
106 フーリエレンズ
107 背景散乱除去部
108 結像レンズ
109 マイクロレンズアレイ
110 ミラー
111 フォトダイオード
112,118 光ファイバ
113 センサ
115 A/D変換部
116 画像処理部
117 パルス光源
119 装置筐体
120 第1の結像光学系
121 第2の結像光学系
122 第1の部分
123 第2の部分
124 波形調整部
125 フィルタ制御部
201 空間フィルタ
202 第1の遮光板
203 第2の遮光板
204 第1の開口
205 第2の開口
301 フィルタの開口部
302 第1の遮光部
401 フーリエレンズの開口
701 アテネータ
702 半波長板
703 偏光ビームスプリッタ
704 ダンパー
Claims (6)
- 基板を搭載する搭載部と、
前記基板に光を照射する照射部と、
前記基板からの光を集光して結像する検出部と、
前記検出部の検出結果を用いて前記欠陥を検出する処理部と、を有し、
さらに、前記検出部は、
前記結像された像を検出する検出器と、
前記検出器よりも前に配置された前記基板からの背景散乱光を除去するための背景散乱光除去部と、を有し、
前記背景散乱光除去部は、検出すべき欠陥の種類、および前記基板の表面状態に応じて前記背景散乱光を除去し、
前記背景散乱光除去部は、第1の開口を有する第1の遮光板、及び前記第1の遮光板の後ろに配置された第2の開口を有する第2の遮光板を有し、
前記第1の開口の開口径、及び前記第2の開口の開口径は可変であることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記検出部は、前記背景散乱光除去部より前に、高NAのレンズを備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項2に記載の検査装置において、
前記レンズは、前記基板に対して仰角方向のNAよりも方位角方向のNAが高い楕円形状のレンズであることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記第1の遮光板の位置を変える第1の移動部を備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記第2の遮光板の位置を変える第2の移動部を備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記背景散乱光除去部と前記検出器との間に、前記像を前記検出器へ伝搬するための光ファイバアレイを有することを特徴とする検査装置。
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