JP5237874B2 - 欠陥検査方法および欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
(1)メモリ部とロジック部で異なる空間フィルタを設定する必要がある
(2)ロジック部ではパターンからの散乱光を完全には遮光することが不可能なため、パターン像の明るさ変動が検査感度を阻害する要因となる。このため、ロジックパターン像を安定検出する必要がある。
(3)メモリ部に対してロジック部では、パターンが明るく検出されるため、照明光を一定として画像を検出すると、メモリ部に対してロジック部の明るさが光検出器の飽和レベルに達してしまい、ロジック部が実質非検査になってしまう。
図1〜図4により、本発明の実施の形態1に係る欠陥検査装置の構成および動作について説明する。図1は本発明の実施の形態1に係る欠陥検査装置の構成を示す構成図、図2は本発明の実施の形態1に係る欠陥検査装置における散乱光を説明するための説明図、図3は本発明の実施の形態1に係る欠陥検査装置における回転ストロボ照明を説明するための説明図、図4は本発明の実施の形態1に係る欠陥検査装置における空間変調素子の遮光パターンを説明するための説明図である。
実施の形態2は、実施の形態1においては、インコヒーレント照明光学系は光源としてLEDを用いたが、他の光源を用いたものである。
実施の形態3は、実施の形態1において、照明光学系のレーザ光の干渉性を低減した照明方法としたものである。
実施の形態4は、実施の形態1において、イメージセンサを照明光学系とインコヒーレント照明光学系共に、2個ずつ使用して位置合せ処理を行うものである。
Claims (9)
- 回路パターンが形成された試料の欠陥を検出する欠陥検査方法であって、
ステージにより、前記試料を水平な面内にて走査し、
コヒーレント光と複数のインコヒーレント光の2系統の照明により、前記試料の法線に対して斜方より照明し、
前記複数のインコヒーレント光は、前記試料の法線に対して斜方より複数方向から照明し、それぞれのインコヒーレント光が順次移動して時間的に変化し、
前記試料にて散乱した光が捕捉されて、前記2系統の照明に対応する光のそれぞれが分岐された2系統の検出光路のそれぞれに配置された空間フィルタにより、前記試料からの散乱光の一部を遮光し、
前記複数のインコヒーレント光の照明に対応する前記空間フィルタによる前記散乱光の遮光は、前記複数のインコヒーレント光の時間的な変化に対応して異なる遮光パターンを使用し、
前記2系統の検出光路に配置されたイメージセンサにより、前記2系統の検出光路のそれぞれに配置された前記空間フィルタを透過した散乱光を結像させ、
画像処理部により、前記イメージセンサにて検出された散乱画像を比較処理し、欠陥候補を判定することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項1記載の欠陥検査方法において、
前記コヒーレント光の波長とインコヒーレント光の波長が異なることを特徴とする欠陥検査方法。 - 回路パターンが形成された試料の欠陥を検出する欠陥検査方法であって、
ステージにより、前記試料を水平な面内にて走査し、
複数の照明により、複数の方位より前記試料を時間的に分割して順次移動させて照明し、
検出手段により、前記試料からの散乱光を捕捉し、時間的に分割した照明のそれぞれに対応して、異なる空間フィルタリングを行い、前記試料からの散乱光の一部を異なる遮光パターンで遮光し、
イメージセンサにより、前記検出手段にて前記空間フィルタリングされた散乱光を結像させ、
画像処理部により、前記イメージセンサにて検出された散乱画像を比較処理し、欠陥候補を判定することを特徴とする欠陥検査方法。 - 回路パターンが形成された試料の欠陥を検出する欠陥検査方法であって、
ステージにより、前記試料を水平な面内にて走査し、
コヒーレント光の照明により、前記試料の法線に対して斜方より線状に照明し、
時間的波面変調素子により、前記コヒーレント光の光束内の波面を時間的に変動させ、
検出手段により、前記試料からの散乱光を捕捉し、
イメージセンサにより、前記検出手段にて捕捉された散乱光を結像させ、
画像処理部により、前記イメージセンサにて検出された散乱画像を比較処理し、欠陥候補を判定し、
前記コヒーレント光の光束内の波面の時間的な変動は、前記イメージセンサの蓄積時間より高速であることを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項4記載の欠陥検査方法において、
前記時間的波面変調素子は、液晶或いは電気光学素子或いは磁気光学素子或いはMEMSを用いたことを特徴とする欠陥検査方法。 - 回路パターンが形成された試料の欠陥を検出する欠陥検査装置であって、
前記試料を水平な面内にて走査するステージと、
レーザを光源として前記試料の法線に対して斜方よりコヒーレント照明する第1の照明手段と、
前記第1の照明手段とは異なる波長のインコヒーレント光を複数の方向から照明する複数の第2の照明手段と、
前記試料からの散乱光を捕捉する検出系と、
前記検出系において前記第1の照明手段と第2の照明手段に対応した波長に分岐した検出光路の少なくとも一方に配置され、前記試料からの散乱光の一部を遮光する空間フィルタと、
前記それぞれの検出光路に配置され、前記試料の散乱像を検出するイメージセンサと、
前記イメージセンサにて検出された散乱画像を比較処理し、欠陥候補を判定する画像処理部とを備え、
前記複数の第2の照明手段は、それぞれ照明するインコヒーレント光を順次移動させ、時間的に変化させて照明し、
前記空間フィルタによる前記散乱光の遮光は、順次移動する前記インコヒーレント光の時間的な変化に対応して異なる遮光パターンを使用することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項6記載の欠陥検査装置において、
前記第2の照明手段は、レーザを光源として光を時間的位相変調してから前記試料を照明するものであり、時間的位相変調手段として2次元状にマイクロミラーを配置したMEMSデバイスであることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項6記載の欠陥検査装置において、
前記第2の照明手段は、前記試料の主な配線方向に対して45度傾いた複数の方位から照明し、時間的に照明方位を変更し、
前記空間フィルタの遮光パターンは、前記時間的に変更された照明方位と同期して変更されることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項8記載の欠陥検査装置において、
前記空間フィルタが、2次元状にシャッタを複数配置したMEMSシャッタアレイであることを特徴とする欠陥検査装置。
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