JP5628949B2 - 半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Description
板や紙といったフレキシブル基板に形成できる薄膜トランジスタ(Thin Film
Transisor(TFT))の開発が活発に行われている。
膜などの各種薄膜を基板上に積層し、適宜フォトリソグラフィ技術により所定のパターン
を形成して製造されている。
材料で形成した回路等のパターンを、光を利用して目的とする基板上に転写する技術であ
り、半導体集積回路等の製造工程において広く用いられている。
性の有機樹脂材料を用いて形成されるレジストマスクの取り扱いだけでも、露光、現像、
焼成、剥離といった多段階の工程が必要になる。従って、フォトリソグラフィ工程の回数
が増える程、製造コストは必然的に上がってしまうことになる。このような問題点を改善
するために、フォトリソグラフィ工程を削減してTFTを製造することが試みられている
(例えば、特許文献1参照)。
ZnO)半導体を活性層とするTFT(以下「ZnO−TFT」ともいう)が注目されて
きている。
アモルファスシリコン(a−Si)を活性層とするTFT(以下「a−Si TFT」と
もいう)よりも数十倍高い。
がある。そのため酸化亜鉛のエッチングは非常に困難であった。
エッチングを行うと、プラズマによる電気的なダメージが生じ、TFT特性が劣化する問
題がある。
劣化しない半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
n Patterning(LAP))及びレーザアドヘッションアブレーションパター
ニング(Laser Ablation Adhesion Patterning(L
AAP))により、酸化亜鉛(ZnO)を用いることによって、レジスト塗布・剥離工程
なしに、活性層、電極、配線等の形成を行うことを特徴とする。これにより、作製工程が
減少して、製造コストの小さい半導体装置を得ることが可能となる。
ることを特徴とする。また、酸化亜鉛等の酸化物半導体はレーザビームの照射によって昇
華しやすく、この特性を利用して電極や配線のパターン形成を行う加工技術を加えること
もできる。いずれにしても本発明は、レーザビームを酸化物半導体膜に照射して、薄膜の
パターンを形成する工程を、半導体装置の製造工程の少なくとも一部に含ませることを特
徴としている。それにより、従来必要であったレジストの塗布、露光、現像、剥離といっ
た煩雑な工程を省略することができる。
とを、レーザアブレーションパターニング(Laser Ablation Patte
rning、以下「LAP」ともいう)と呼ぶ。
及び第1の膜上に第2の膜を形成し、第2の基板上に前記第2の膜を転写することを、レ
ーザアドヘッションアブレーションパターニング(Laser Adhesion Ab
lation Patterning、以下「LAAP」ともいう)と呼ぶ。
酸化亜鉛を昇華させるのに十分なエネルギーを有するレーザ光、例えばKrFエキシマレ
ーザを照射すると、酸化亜鉛膜は昇華してしまい、レーザの照射された領域が除去される
。
atterning(LAP))を応用すれば、レーザ光を照射して不必要な酸化亜鉛膜
を昇華させることができ、レジスト塗布・剥離工程なしに、酸化亜鉛膜の成形を行うこと
ができる。
ではプラズマダメージは生じないため、TFT特性を劣化させることもない。
って、酸化亜鉛膜を昇華させて除去し、成膜したい材料を別の基板に成膜する、レーザア
ドヘッションアブレーションパターニング)Laser Adhesion Ablat
ion Patterning(LAAP))を用いることで、レジスト塗布・剥離工程
なしに所望の膜を形成することができる。
ームを遮蔽する遮蔽物を有するフォトマスクを通して、前記第1の半導体膜にレーザビー
ムを照射し、前記フォトマスク中の遮蔽物が形成されない領域を通して、前記レーザビー
ムが照射された前記第1の半導体膜中の第1の領域は昇華し、前記フォトマスク中の遮蔽
物が形成された領域をマスクとして、前記レーザビームが照射されなかった前記第1の半
導体膜中の第2の領域は昇華せずに残存することにより、島状半導体膜が形成され、前記
島状半導体膜上に、ソース電極またはドレイン電極の一方である第1の電極と、ソース電
極またはドレイン電極の他方である第2の電極が形成され、前記島状半導体膜、前記第1
の電極及び前記第2の電極上に、ゲート絶縁膜が形成され、前記ゲート絶縁膜上にゲート
電極が形成されることを特徴とする半導体装置の作製方法に関するものである。
ーザビームを遮蔽する遮蔽物が形成されたものをフォトマスクとし、透光性を有する基板
上に、第2の半導体膜を第1の層として形成し、及び金属膜を第2の層として形成された
ものをソース基板として、前記フォトマスクを介して前記レーザビームを前記ソース基板
に照射させることにより、前記第2の半導体膜を昇華させることにより、前記金属膜をソ
ース電極またはドレイン電極として前記島状半導体膜上に形成する。
、第1の半導体膜を形成し、レーザビームを遮蔽する遮蔽物を有するフォトマスクを通し
て、前記第1の半導体膜にレーザビームを照射し、前記遮蔽物が形成されなかった領域を
通って、前記レーザビームが照射された前記第1の半導体膜の一部の領域が昇華されて溝
を形成し、前記溝によって前記第1の半導体膜が、活性層となる島状半導体膜と活性層と
して機能しない領域に分断され、前記島状半導体膜及び前記活性層として機能しない領域
上に、絶縁膜を形成し、前記絶縁膜上に、前記島状半導体膜と電気的に接続されるソース
電極またはドレイン電極を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法に関するもの
である。
る遮蔽物が形成されたものをフォトマスクとし、透光性を有する基板上に、第2の半導体
膜を第1の層として形成し、及び金属膜を第2の層として形成されたものをソース基板と
して、前記フォトマスクを介して前記レーザビームを前記ソース基板に照射させることに
より、前記第2の半導体膜を昇華させることにより、前記金属膜を前記ゲート電極として
前記基板上に形成する。
のいずれか1つである。
のいずれか1つである。
晶半導体、硫化亜鉛(ZnS)のいずれか1つを含む。
する素子を含む装置全体も半導体装置と呼ぶ。
T特性が変化することはなく、ブラックマトリックス(Black Matrix(BM
))のような遮光物は必要ない。
ることができる。
半導体装置の製造工程において、フォトリソグラフィ工程の回数を削減し、製造工程を簡
略化し、低いコストで歩留まり良く製造すること可能となる。
異なる態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することな
くその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って
、本実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に示す図面に
おいて、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を付し、その繰り返しの説
明は省略する。
本実施の形態を、図1(A)〜図1(B)、図2(A)〜図2(D)、図3(A)〜図
3(C)、図4(A)〜図4(E)、図13(A)〜図13(B)、図14を用いて説明
する。
aser Ablation Adhesion Patterning)用のフォトマ
スクとして、透光性を有する基板を用いる。透光性を有する基板としては、後に照射する
レーザビームに対して透光性を有する基板を用いることができる。このため、後に形成す
るレーザビームの波長を吸収しない基板を適宜選択すればよい。ここでは、透光性を有す
る基板の代表例としては、石英基板、ガラス基板、樹脂基板等がある。
ムが照射される領域と照射されない領域の形状を決定する。
ビームを適宜選択して照射する。昇華させたい半導体に応じて、レーザビームの波長、振
幅、エネルギー密度、パワー密度等を変えればよい。
F、XeCl、Xe等のエキシマレーザ発振器、He、He−Cd、Ar、He−Ne、
HF等の気体レーザ発振器、単結晶のYAG、YVO4、フォルステライト(Mg2Si
O4)、YAlO3、GdVO4、若しくは多結晶(セラミック)のYAG、Y2O3、
YVO4、YAlO3、GdVO4に、ドーパントとしてNd、Yb、Cr、Ti、Ho
、Er、Tm、Taのうち1種または複数種添加されているものを媒質とする固体レーザ
発振器、GaN、GaAs、GaAlAs、InGaAsP等の半導体レーザ発振器を用
いることができる。なお、固体レーザ発振器においては、基本波〜第5高調波を適宜適用
するのが好ましい。
用することができる。パルス発振のレーザビームにおいては、通常、数十Hz〜数百Hz
の周波数帯を用いるが、それよりも著しく高い10MHz以上の発振周波数、パルス幅を
ピコ秒台の周波数、或いはフェムト秒(10−15秒)台の周波数を有するパルス発振レ
ーザを用いてもよい。
状)を適宜用いればよい。また、このような断面形状となるように光学系で加工すると好
ましい。
程度が好ましい。
料を選択する必要がある。
シリサイドが考えられる。または、紫外光の反射率が高いアルミニウム(Al)(反射率
>90%)やAl合金を用いてもよい。さらに、屈折率を変えた積層膜による反射膜と組
み合わせてもよい。
、フォトマスクを作製することができる。このフォトマスクによって、半導体膜あるいは
配線材料膜の成膜及び成形を同時に行うことが可能となる。
を例に挙げて説明するが、酸化亜鉛の他に、酸化亜鉛を含む混晶半導体、硫化亜鉛(Zn
S)などの亜鉛化合物半導体膜、あるいは、酸化物半導体膜を用いることができる。
導体膜を形成する工程を以下に示す。
101上に成膜した酸化亜鉛膜102に照射する。フォトマスク105は、石英基板10
3上に紫外線遮蔽材料104を設けた構成となっている。すなわちフォトマスク105は
、紫外線遮蔽材料104を設けた領域にはレーザが通過せず、紫外線遮蔽材料104を設
けない領域にはレーザが通過するように形成されている。
照射されない領域の酸化亜鉛膜が残り、島状酸化亜鉛膜106が形成される。なお、基板
101と酸化亜鉛膜102との間に下地膜が形成されていてもよい。
膜106を得ることができる。
となる金属膜としては、タングステン、アルミニウム、チタン、タンタル等の単層膜およ
びそれらの組み合わせによる多層膜を使うことができる。
。配線材料となる金属膜をレーザアブレーションさせることは難しいが、レーザアブレー
ションしやすい材料、例えば酸化亜鉛を介することで、成膜及び成形することができる。
112を成膜し、さらにその上に金属膜113を成膜する。これが金属膜113のソース
基板となる。
4に向け、石英基板111の酸化亜鉛(ZnO)膜112及び金属膜113が形成されて
いない面から、フォトマスク117を介してレーザを照射する。フォトマスク117は、
石英基板115上に紫外線遮蔽材料116が設けられているが、酸化亜鉛膜112の昇華
させたい領域には紫外線遮蔽材料116は設けられていない。
ザが照射された領域が昇華すると同時に、酸化亜鉛膜112の昇華した領域上に存在して
いた金属膜113の一部が、基板114上に成膜される。このようにして、基板114上
に、島状配線領域118及び島状酸化亜鉛膜119を得ることができる。
グレートは非常に速い(1/100HF液で1000nm/min)ため、フッ酸で容易
に除去することができる(図2(D)参照)。
(TFT))を作製する工程を、図3(A)〜図3(C)、図4(A)〜図4(E)、図
13(A)〜図13(B)、図14を用いて以下に説明する。
00nm成膜する。なお基板301と酸化亜鉛膜302との間に、下地膜を形成してもよ
い。
てKrFエキシマレーザを照射する(図3(A)参照)。これにより活性層となる島状酸
化亜鉛膜303となる領域以外を除去し、島状酸化亜鉛膜303を形成する(図3(B)
参照)。
、酸化亜鉛を含む混晶半導体、硫化亜鉛(ZnS)などの亜鉛化合物半導体膜や酸化物半
導体膜を用いることができる。
蔽物312としては、このような材料として、例えばAlGaN系半導体やSiC半導体
、MoSi2などのシリサイドが考えられる。ここではSiCを用いればよい。
ば、石英基板以外にガラス基板、樹脂基板等がある。
うに、酸化亜鉛膜302を50〜200nm成膜した石英基板331をソース基板として
、フォトマスク313を用いて、石英基板331側からKrFエキシマレーザを照射すれ
ばよい。フォトマスク313は、透光性を有する基板311と、遮蔽物312を有してい
る。基板311上の遮蔽物312は、レーザ光が通過するように島状酸化亜鉛膜303が
形成される領域に対応する領域は形成されていない。
続するソース電極及びドレイン電極等を形成する。
うことができる。LAAPのソース基板は、石英基板355上に酸化亜鉛膜356をスパ
ッタ等を用いて50〜100nm成膜し、その上にスパッタ等を用いて、金属膜、例えば
アルミニウム(Al)とチタン(Ti)の積層膜(以下「Al−Ti膜」ともいう)35
7を100〜200nm成膜する。
射する。フォトマスク317は、透光性を有する基板315と、遮蔽物316を有してい
る。基板315上の遮蔽物316は、レーザ光が通過するようにソース電極及びドレイン
電極が形成される領域に対応する領域は形成されていない。これによりレーザ光が通過し
た領域の酸化亜鉛膜356が昇華され、積層膜357により、ソース電極またはドレイン
電極の一方である電極304a、ソース電極またはドレイン電極の他方である電極304
b、さらに容量素子を形成する場合は、電極305を形成することができる(図4(A)
参照)。また図示していないが、ソース電極及びドレイン電極上の酸化亜鉛膜は絶縁物と
して残すことができる。
ミニウム(Al)とチタン(Ti)の積層膜(Al−Ti膜)を100〜200nm成膜
してもよい。
装置の場合の画素電極は、タングステン、アルミニウム、チタン、タンタル等の単層膜お
よびそれらの組み合わせによる多層膜を使うことができる。または銀、金等のメタルナノ
ペーストをインクジェット等の装置を用いて成膜することもできる。
m成膜する(図4(B)参照)。本実施の形態では、ゲート絶縁膜306として窒化珪素
(SiN)膜を用いる。
、窒素を含む酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸化アルミニウム膜などの単層膜およびそれらの
組み合わせによる多層膜を使うことができる。
法として、金属膜、例えばモリブデン(Mo)をスパッタ等を用いて100〜300nm
の厚さで成膜し、ウエットエッチングあるいはドライエッチングを用いてエッチングする
方法がある。これにより薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor
(TFT))309が形成される。
もできる。図14に示すように、LAAPのソース基板は、石英基板391上に、レーザ
照射により昇華される材料、例えば酸化亜鉛膜392をスパッタ等を用いて50〜100
nm成膜し、その上にスパッタ等を用いて、金属膜393、例えばモリブデン(Mo)を
100〜300nm成膜する。そして遮蔽物382を有するフォトマスク383を通して
、ソース基板の裏面からレーザービーム、例えばKrFエキシマレーザを照射する。フォ
トマスク383は、透光性を有する基板381と、遮蔽物382を有している。基板38
1上の遮蔽物382は、レーザ光が通過するようにゲート配線307が形成される領域に
対応する領域は形成されていない。これによりレーザ光が通過した領域の酸化亜鉛膜39
2が昇華され、金属膜がゲート配線307として形成される。
フッ酸で容易に除去することができる。または絶縁物として残すこともできる。
いて説明する。
イン電極の他方である電極304bを露出させて開口部を形成する(図4(D)参照)。
マスクを露光装置またはインクジェット装置等を用いて形成し、ウエットエッチングある
いはドライエッチングを用いて、ゲート絶縁膜306をエッチングすればよい。またこれ
によりTFT309が分離される。
きる。ゲート絶縁膜306に、開口部を形成するためのフォトマスクを通して赤外のYA
Gレーザを照射する。これによりゲート絶縁膜306をアブレーションさせて除去するこ
とができる。この際にレーザの出力を調整すればゲート絶縁膜306下の電極304a、
電極304b、電極305はアブレーションせず残存させることができる。
あれば、透光性を有する導電膜を用いて形成し、反射型表示装置を作製する場合であれば
反射性を有する導電膜を用いて形成すればよい。例えば、スパッタ等を用いてインジウム
錫酸化物(Indium Tin Oxide(ITO))を100〜200nm成膜し
、ウエットエッチングあるいはドライエッチングを用いてエッチングすることにより、画
素電極308を形成すればよい。
成される。
TO)、珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSOともいう)、有機インジウム、有機ス
ズ、酸化亜鉛、窒化チタンの単層膜あるいはこれらの積層膜を用いることが可能である。
ン(Ti)、タンタル(Ta)、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)等の単層膜および
それらの組み合わせによる多層膜を使うことができる。または銀、金等のメタルナノペー
ストをインクジェット等の装置を用いて成膜することもできる。
3(B)に示すように、石英基板371上に、酸化亜鉛膜372及びITO膜373を1
00〜200nm成膜したものをソース基板として、フォトマスク363を用いて、石英
基板371側からKrFエキシマレーザを照射すればよい。フォトマスク363は、透光
性を有する基板361と、遮蔽物362を有している。基板361上の遮蔽物362は、
レーザ光が通過するように画素電極308が形成される領域に対応する領域は形成されて
いない。これによりレーザ光が通過した領域の酸化亜鉛膜372が昇華され、ITO膜が
画素電極308として形成される。
にも同様に適用することができる。
本実施の形態では、本発明を用いてボトムゲート型TFTを作製した例について、図1
5(A)〜図15(C)、図16(A)〜図16(B)、図17(A)〜図17(C)、
図18(A)〜図18(B)を用いて説明する。
に遮光層472を形成する。ここでは、遮光層472として、透光性を有する基板471
上にスパッタリング法により厚さ10〜1000nm以上のタングステン層を形成する。
金属膜476を形成し、ソース基板をフォトマスク473と基板401との間に設置する
。金属膜476としては、実施の形態1のゲート配線307と同様の材料を用いればよい
。
、図15(B)に示すように、ゲート電極402及び電極412を形成する。
出して所定の形状の層を形成する液滴吐出法を用いて形成してもよい。また、印刷法を用
いて形成してもよい。また、CVD法、PVD法、塗布法等により基板上に導電層を形成
した後、フォトリソグラフィ工程により選択的に導電層をエッチングして、ゲート電極4
02及び電極412を形成してもよい。
ート絶縁膜403を形成する。ここでは、プラズマCVD法により、50〜200nmの
窒化珪素膜を形成する。
)に示す、以下の2つの方法のいずれかを用いて形成すればよい。
ク443を通してレーザビームを照射する。フォトマスク443は、透光性を有する基板
441と、遮光層442を有している。遮光層442は、島状半導体膜404に対応する
領域にのみ形成されている。
レーザビームが遮光された領域は、酸化亜鉛膜が昇華せず、島状半導体膜404が形成さ
れる(図17(A)参照)。一方遮光層442が形成されない領域を通ったレーザビーム
により、酸化亜鉛膜は昇華される。
ソース基板とする。ここでは、酸化亜鉛膜449は、10〜50nmの厚さで成膜される
。
ものを用いる。遮光層446は、島状半導体膜404に対応する領域には形成されず、レ
ーザビームが通るように形成される。
を設置し、フォトマスク447を通してソース基板にレーザビームを照射する。
、島状半導体膜404が形成される(図17(A)参照)。
された組成物の液滴を微細な孔から吐出して所定の形状の層を形成する液滴吐出法を用い
て形成してもよい。また、印刷法を用いて形成してもよい。また、CVD法、PVD法、
塗布法等により基板上に半導体層を形成した後、フォトリソグラフィー工程により選択的
に半導体層をエッチングして、島状半導体膜404を形成してもよい。
5a、及びソース領域またはドレイン領域の他方である領域405bを形成する。
遮光層452は、領域405a及び405bに対応する領域には設けられず、レーザビー
ムを透過させるように配置されている。
を有する半導体膜456、例えばリンがドープされた非晶質珪素膜を形成する(図17(
B)参照)。
、酸化亜鉛膜455が昇華され、導電性を有する半導体膜456が島状半導体膜404及
びゲート絶縁膜403上に転写され、領域405a及び405bが形成される(図17(
C)参照)。
形状の層を形成する液滴吐出法を用いて形成してもよい。また、印刷法を用いて形成して
もよい。また、CVD法、PVD法、塗布法等により基板上に形成した後、フォトリソグ
ラフィ工程により選択的にエッチングして、領域405a及び405bを形成してもよい
。
成すればよい。
遮光層462は、画素電極406に対応する領域には設けられず、レーザビームを透過さ
せるように配置されている。
466を形成する(図18(A)参照)。
よい。透光性を有する導電膜として、インジウム錫酸化物(ITO)、珪素を含むインジ
ウム錫酸化物(ITSOともいう)、有機インジウム、有機スズ、酸化亜鉛、窒化チタン
の単層膜あるいはこれらの積層膜を用いることが可能である。
ン(Ti)、タンタル(Ta)、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)等の単層膜および
それらの組み合わせによる多層膜を用いることが可能である。
463を通してソース基板にレーザビームを照射する。
05b上に導電膜466が転写され、画素電極406が形成される。以上により、TFT
411と、容量素子421が形成される(図18(B)参照)。
形状の層を形成する液滴吐出法を用いて形成してもよい。また、印刷法を用いて形成して
もよい。また、CVD法、PVD法、塗布法等により基板上に導電層を形成した後、フォ
トリソグラフィ工程により当該導電層を選択的にエッチングして、画素電極406を形成
してもよい。
を、液滴吐出法という。
型TFTを作製することができる。
本実施の形態では、トップゲートZnO−TFTを使った液晶表示装置の例を、図5、
図6(A)〜図6(C)を用いて説明する。なお実施の形態1と同じものは同じ符号で表
している。
tor(TFT))201、ゲート線(ゲート配線)202、データ線(データ配線)2
03、液晶素子204、容量素子205を有している。
膜トランジスタ201を形成する。
薄膜トランジスタ201の、島状半導体膜213、ソース電極またはドレイン電極の一方
である電極206、ソース電極またはドレイン電極の他方である電極214、ゲート絶縁
膜215、ゲート電極207は、それぞれ実施の形態1の島状酸化亜鉛膜303、電極3
04a、電極304b、ゲート絶縁膜306、ゲート配線307に対応している。
硫化亜鉛(ZnS)などの亜鉛化合物半導体膜や酸化物半導体膜を用いることができる。
6とデータ線203は、別の材料及び別の工程で形成し、電気的に接続させてもよい。
ート電極207とゲート線202は、別の材料及び別の工程で形成し、電気的に接続させ
てもよい。
法により組成物を塗布し焼成してポリイミドで形成される絶縁膜216を形成する。
面に、画素電極217を形成する。
製することができる。また反射性を有する材料を用いることにより、反射型表示装置を作
製することができる。
ついては、実施の形態1を援用する。
一画素ごとに形成することで、半透過型表示装置を作製することができる。
8を形成する。なお、配向膜218は、斜方蒸着法により形成することもできる。
れた対向基板221において、画素部の周辺の領域に液滴吐出法により閉ループ状のシー
ル材(図示しない。)を形成する。シール材には、フィラーが混入されていてもよく、さ
らに、対向基板221にはカラーフィルタや遮蔽膜(ブラックマトリクス)などが形成さ
れていても良い。
材料を滴下したのち、真空中で、対向基板221と基板211とを貼り合わせ、紫外線硬
化を行って、液晶材料が充填された液晶層225を形成する。なお、液晶層225を形成
する方法として、ディスペンサ式(滴下式)の代わりに、対向基板を貼り合わせてから毛
細管現象を用いて液晶材料を注入するディップ式(汲み上げ式)を用いることができる。
基板、代表的にはFPC(Flexible Print Circuit)を貼り付け
る。以上の工程により、液晶表示装置を形成することができる。
は他の方式の液晶表示装置に対しても同様に適用することができる。例えば、ガラス基板
と平行に電界を印加して液晶を配向させる横電界方式(IPS方式)の液晶表示装置に本
実施の形態を適用することができる。また、VA(Vertical Alignmen
t)方式の液晶表示装置に本実施の形態を適用することができる。
タ線やゲート線の間または画素部に設けてもよい。この場合、上記したTFTと同様の工
程で作製し、画素部のゲート配線層とダイオードのドレイン又はソース配線層とを接続す
ることにより、静電破壊を防止することができる。
複雑なフォトリソグラフィ工程を軽減し、簡略化された工程で表示装置を作製することが
できるので、材料のロスが少なく、コストダウンも達成できる。よって高性能、高信頼性
の表示装置を歩留まりよく作製することができる。
本実施の形態では、本発明を用いて作製した発光表示パネルについて、図7(A)〜図
7(C)、図8(A)〜図8(E)、図9(A)〜図9(C)、図10(A)〜図10(
C)を用いて以下説明する。
)参照)。なお実施の形態1〜実施の形態2と同じものは同じ符号で表している。
としては、絶縁膜216及び画素電極217上に図示しない絶縁膜を形成し、画素電極2
17上の絶縁膜を除去することで形成することができる。
形成し、その上に第2の画素電極233を形成する。以上の工程により画素電極217、
発光物質を有する層232、及び画素電極233を有する発光素子234を形成すること
ができる。
43と示す)を形成することで、発光素子234は有機EL素子として機能する。
略称:DNA)、2−tert−ブチル−9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(
略称:t−BuDNA)、4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル(略
称:DPVBi)、クマリン30、クマリン6、クマリン545、クマリン545T、ペ
リレン、ルブレン、ペリフランテン、2,5,8,11−テトラ(tert−ブチル)ペ
リレン(略称:TBP)、9,10−ジフェニルアントラセン(略称:DPA)、5,1
2−ジフェニルテトラセン、4−(ジシアノメチレン)−2−メチル−6−[p−(ジメ
チルアミノ)スチリル]−4H−ピラン(略称:DCM1)、4−(ジシアノメチレン)
−2−メチル−6−[2−(ジュロリジン−9−イル)エテニル]−4H−ピラン(略称
:DCM2)、4−(ジシアノメチレン)−2,6−ビス[p−(ジメチルアミノ)スチ
リル]−4H−ピラン(略称:BisDCM)等が挙げられる。また、ビス[2−(4’
,6’−ジフルオロフェニル)ピリジナト−N,C2](ピコリナト)イリジウム(略称
:FIrpic)、ビス{2−[3’,5’−ビス(トリフルオロメチル)フェニル]ピ
リジナト−N,C2}(ピコリナト)イリジウム(略称:Ir(CF3ppy)2(pi
c))、トリス(2−フェニルピリジナト−N,C2)イリジウム(略称:Ir(ppy
)3)、(アセチルアセトナト)ビス(2−フェニルピリジナト−N,C2)イリジウム
(略称:Ir(ppy)2(acac))、(アセチルアセトナト)ビス[2−(2’−
チエニル)ピリジナト−N,C3]イリジウム(略称:Ir(thp)2(acac))
、(アセチルアセトナト)ビス(2−フェニルキノリナト−N,C2)イリジウム(略称
:Ir(pq)2(acac))、(アセチルアセトナト)ビス[2−(2’−ベンゾチ
エニル)ピリジナト−N,C3]イリジウム(略称:Ir(btp)2(acac))な
どの燐光を放出できる化合物を用いることもできる。
正孔注入層341、正孔輸送性材料で形成される正孔輸送層342、発光性の有機化合物
で形成される発光層343、電子輸送性材料で形成される電子輸送層344、電子注入性
材料で形成される電子注入層345により形成された発光物質を含む層232、及び第2
の画素電極233で発光素子234を形成してもよい。
uPc)、バナジルフタロシアニン(略称:VOPc)の他、4,4’,4’’−トリス
(N,N−ジフェニルアミノ)トリフェニルアミン(略称:TDATA)、4,4’,4
’’−トリス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ]トリフェニルアミン
(略称:MTDATA)、1,3,5−トリス[N,N−ジ(m−トリル)アミノ]ベン
ゼン(略称:m−MTDAB)、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフ
ェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(略称:TPD)、4,4’−ビ
ス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:NPB)、4,4
’−ビス{N−[4−ジ(m−トリル)アミノ]フェニル−N−フェニルアミノ}ビフェ
ニル(略称:DNTPD)、4,4’−ビス[N−(4−ビフェニリル)−N−フェニル
アミノ]ビフェニル(略称:BBPB)、4,4’,4’’−トリ(N−カルバゾリル)
トリフェニルアミン(略称:TCTA)などが挙げられるが、これらに限定されることは
ない。また、上述した化合物の中でも、TDATA、MTDATA、m−MTDAB、T
PD、NPB、DNTPD、BBPB、TCTAなどに代表される芳香族アミン化合物は
、正孔を発生しやすく、有機化合物として好適な化合物群である。ここに述べた物質は、
主に10−6cm2/Vs以上の正孔移動度を有する物質である。
施した材料もあり、ポリスチレンスルホン酸(略称:PSS)をドープしたポリエチレン
ジオキシチオフェン(略称:PEDOT)やポリアニリン(略称:PAni)などを用い
ることもできる。また、酸化モリブデン、酸化バナジウム、酸化ニッケル(NiOx)な
どの無機半導体の薄膜や、酸化アルミニウム(Al2O3)などの無機絶縁体の超薄膜も
有効である。
3)、トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Almq3)、ビ
ス(10−ヒドロキシベンゾ[h]−キノリナト)ベリリウム(略称:BeBq2)、ビ
ス(2−メチル−8−キノリノラト)−4−フェニルフェノラト−アルミニウム(略称:
BAlq)等キノリン骨格またはベンゾキノリン骨格を有する金属錯体等からなる材料を
用いることができる。また、この他、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾオキ
サゾラト]亜鉛(略称:Zn(BOX)2)、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベ
ンゾチアゾラト]亜鉛(略称:Zn(BTZ)2)などのオキサゾール系、チアゾール系
配位子を有する金属錯体などの材料も用いることができる。さらに、金属錯体以外にも、
2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキ
サジアゾール(略称:PBD)、1,3−ビス[5−(p−tert−ブチルフェニル)
−1,3,4−オキサジアゾール−2−イル]ベンゼン(略称:OXD−7)、3−(4
−tert−ブチルフェニル)−4−フェニル−5−(4−ビフェニリル)−1,2,4
−トリアゾール(略称:TAZ)、3−(4−tert−ブチルフェニル)−4−(4−
エチルフェニル)−5−(4−ビフェニリル)−1,2,4−トリアゾール(略称:p−
EtTAZ)、バソフェナントロリン(略称:BPhen)、バソキュプロイン(略称:
BCP)等を用いることができる。ここに述べた物質は、主に10−6cm2/Vs以上
の電子移動度を有する物質である。
リ金属ハロゲン化物や、CaF2のようなアルカリ土類金属ハロゲン化物、Li2Oなど
のアルカリ金属酸化物のような絶縁体の超薄膜がよく用いられる。また、リチウムアセチ
ルアセトネート(略称:Li(acac))や8−キノリノラト−リチウム(略称:Li
q)などのアルカリ金属錯体も有効である。さらに、上述した電子輸送性材料と、Mg、
Li、Cs等の仕事関数の小さい金属とを共蒸着等により混合した材料を使用することも
できる。
対して電子受容性を有する無機化合物で形成される正孔輸送層346、発光性の有機化合
物で形成される発光層343、及び発光性の有機化合物に対して電子供与性を有する無機
化合物で形成される電子輸送層347により形成された発光物質を含む層232、並びに
第2の画素電極233で発光素子234を形成してもよい。
で形成される正孔輸送層346は、有機化合物として、上記した正孔輸送性の有機化合物
を適宜用いて形成する。また、無機化合物として、有機化合物から電子を受け取りやすい
ものであれば何であってもよく、種々の金属酸化物または金属窒化物が可能であるが、周
期表第4族乃至第12族のいずれかの遷移金属酸化物が電子受容性を示しやすく好適であ
る。具体的には、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸
化タングステン、酸化レニウム、酸化ルテニウム、酸化亜鉛などが挙げられる。また、上
述した金属酸化物の中でも、周期表第4族乃至第8族のいずれかの遷移金属酸化物は電子
受容性の高いものが多く、好ましい一群である。特に酸化バナジウム、酸化モリブデン、
酸化タングステン、酸化レニウムは真空蒸着が可能で扱いやすいため、好適である。
で形成される電子輸送層347は、有機化合物として上記した電子輸送性の有機化合物を
適宜用いて形成する。また、無機化合物として、有機化合物に電子を与えやすいものであ
れば何であってもよく、種々の金属酸化物または金属窒化物が可能であるが、アルカリ金
属酸化物、アルカリ土類金属酸化物、希土類金属酸化物、アルカリ金属窒化物、アルカリ
土類金属窒化物、希土類金属窒化物が電子供与性を示しやすく好適である。具体的には、
酸化リチウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウム、酸化エルビウム、窒化リチウム、窒
化マグネシウム、窒化カルシウム、窒化イットリウム、窒化ランタンなどが挙げられる。
特に酸化リチウム、酸化バリウム、窒化リチウム、窒化マグネシウム、窒化カルシウムは
真空蒸着が可能で扱いやすいため、好適である。
6は、電子注入・輸送特性が優れているため、第1の画素電極217、第2の画素電極2
33共に、ほとんど仕事関数の制限を受けることなく、種々の材料を用いることができる
。また駆動電圧を低減することが可能である。
、発光層349という)を有することで、発光素子234は無機EL素子として機能する
。無機EL素子は、その素子構成により、分散型無機EL素子と薄膜型無機EL素子とに
分類される。前者は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光物質を有する層を有
し、後者は、発光材料の薄膜からなる発光物質を有する層を有している点に違いはあるが
、高電界で加速された電子を必要とする点では共通である。なお、得られる発光のメカニ
ズムとしては、ドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー−アクセプター再結合型
発光と、金属イオンの内殻電子遷移を利用する局在型発光とがある。分散型無機ELでは
ドナー−アクセプター再結合型発光、薄膜型無機EL素子では局在型発光である場合が多
い。以下に、無機EL素子の構造について示す。
とで構成される。含有させる不純物元素を変化させることで、様々な色の発光を得ること
ができる。発光材料の作製方法としては、固相法や液相法(共沈法)などの様々な方法を
用いることができる。また、噴霧熱分解法、複分解法、プレカーサーの熱分解反応による
方法、逆ミセル法やこれらの方法と高温焼成を組み合わせた方法、凍結乾燥法などの液相
法なども用いることができる。
、電気炉で加熱、焼成を行い反応させ、母体材料に不純物元素を含有させる方法である。
焼成温度は、700〜1500℃が好ましい。温度が低すぎる場合は固相反応が進まず、
温度が高すぎる場合は母体材料が分解してしまうからである。なお、粉末状態で焼成を行
ってもよいが、ペレット状態で焼成を行うことが好ましい。比較的高温での焼成を必要と
するが、簡単な方法であるため、生産性がよく大量生産に適している。
素を含む化合物を溶液中で反応させ、乾燥させた後、焼成を行う方法である。発光材料の
粒子が均一に分布し、粒径が小さく低い焼成温度でも反応が進むことができる。
ことができる。硫化物としては、例えば、硫化亜鉛(ZnS)、硫化カドミウム(CdS
)、硫化カルシウム(CaS)、硫化イットリウム(Y2S3)、硫化ガリウム(Ga2
S3)、硫化ストロンチウム(SrS)、硫化バリウム(BaS)等を用いることができ
る。また、酸化物としては、例えば、酸化亜鉛(ZnO)、酸化イットリウム(Y2O3
)等を用いることができる。また、窒化物としては、例えば、窒化アルミニウム(AlN
)、窒化ガリウム(GaN)、窒化インジウム(InN)等を用いることができる。さら
に、セレン化亜鉛(ZnSe)、テルル化亜鉛(ZnTe)等も用いることができ、硫化
カルシウム−ガリウム(CaGa2S4)、硫化ストロンチウム−ガリウム(SrGa2
S4)、硫化バリウム−ガリウム(BaGa2S4)等の3元系の混晶であってもよい。
テルビウム(Tb)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、ユーロピウム(Eu)、
セリウム(Ce)、プラセオジウム(Pr)などを用いることができる。なお、電荷補償
として、フッ素(F)、塩素(Cl)などのハロゲン元素が添加されていてもよい。
1の不純物元素及びアクセプター準位を形成する第2の不純物元素を含む発光材料を用い
ることができる。第1の不純物元素は、例えば、フッ素(F)、塩素(Cl)、アルミニ
ウム(Al)等を用いることができる。第2の不純物元素としては、例えば、銅(Cu)
、銀(Ag)等を用いることができる。
料と、第1の不純物元素又は第1の不純物元素を含む化合物と、第2の不純物元素又は第
2の不純物元素を含む化合物をそれぞれ秤量し、乳鉢で混合した後、電気炉で加熱、焼成
を行う。母体材料としては、上述した母体材料を用いることができ、第1の不純物元素又
は第1の不純物元素を含む化合物としては、例えば、フッ素(F)、塩素(Cl)、硫化
アルミニウム(Al2S3)等を用いることができる。また、第2の不純物元素又は第2
の不純物元素を含む化合物としては、例えば、銅(Cu)、銀(Ag)、硫化銅(Cu2
S)、硫化銀(Ag2S)等を用いることができる。焼成温度は、700〜1500℃が
好ましい。温度が低すぎる場合は固相反応が進まず、温度が高すぎる場合は母体材料が分
解してしまうからである。なお、粉末状態で焼成を行ってもよいが、ペレット状態で焼成
を行うことが好ましい。
元素で構成される化合物を組み合わせて用いてもよい。この場合、不純物元素が拡散され
やすく、固相反応が進みやすくなるため、均一な発光材料を得ることができる。さらに、
余分な不純物元素が入らないため、純度の高い発光材料が得ることができる。第1の不純
物元素と第2の不純物元素で構成される化合物としては、例えば、塩化銅(CuCl)、
塩化銀(AgCl)等を用いることができる。
ればよく、好ましくは0.05〜5atom%の範囲である。
第2の絶縁層350で構成される無機EL素子の断面を示す。
法、電子ビーム蒸着(EB蒸着)法等の真空蒸着法、スパッタリング法等の物理気相成長
法(PVD)、有機金属CVD法、ハイドライド輸送減圧CVD法等の化学気相成長法(
CVD)、原子層エピタキシ法(Atomic Layer Epitaxy(ALE)
法)等を用いて形成することができる。
圧が高く、緻密な膜質であることが好ましく、さらには、誘電率が高いことが好ましい。
例えば、酸化シリコン(SiO2)、酸化イットリウム(Y2O3)、酸化チタン(Ti
O2)、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化ハフニウム(HfO2)、酸化タンタル
(Ta2O5)、チタン酸バリウム(BaTiO3)、チタン酸ストロンチウム(SrT
iO3)、チタン酸鉛(PbTiO3)、窒化シリコン(Si3N4)、酸化ジルコニウ
ム(ZrO2)等やこれらの混合膜又は2種以上の積層を用いることができる。第1の絶
縁層348及び第2の絶縁層350は、スパッタリング、蒸着、CVD等により成膜する
ことができる。膜厚は特に限定されることはないが、好ましくは10〜1000nmの範
囲である。なお、本実施の形態の発光素子は、必ずしもホットエレクトロンを必要とはし
ないため、薄膜にすることもでき、駆動電圧を低下できる長所を有する。好ましくは、5
00nm以下の膜厚、より好ましくは100nm以下の膜厚であることが好ましい。
電極217、233の間にバッファ層を設けても良い。このバッファ層はキャリアの注入
を容易にし、かつ両層の混合を抑制する役割をもつ。バッファ層としては、特に限定され
ることはないが、例えば、発光層の母体材料であるZnS、ZnSe、ZnTe、CdS
、SrS、BaS等、又はCuS、Cu2S、又はハロゲン化アルカリであるLiF、C
aF2、BaF2、MgF2等を用いることができる。
絶縁層348で構成されてもよい。この場合、図8(D)においては、第1の絶縁層34
8は第2の画素電極233及び発光層349の間に設けられている形態を示す。なお、第
1の絶縁層348は第1の画素電極217及び発光層349の間に設けられていてもよい
。
、第1の画素電極217、発光物質を有する層232、第2の画素電極233で発光素子
234を構成してもよい。
を有する層を形成する。発光材料の作製方法によって、十分に所望の大きさの粒子が得ら
れない場合は、乳鉢等で粉砕などによって粒子状に加工すればよい。バインダとは、粒状
の発光材料を分散した状態で固定し、発光物質を有する層としての形状に保持するための
物質である。発光材料は、バインダによって発光物質を有する層中に均一に分散し固定さ
れる。
する層を形成できる液滴吐出法や、印刷法(スクリーン印刷やオフセット印刷など)、ス
ピンコート法などの塗布法、ディッピング法、ディスペンサ法などを用いることもできる
。膜厚は特に限定されることはないが、好ましくは、10〜1000nmの範囲である。
また、発光材料及びバインダを含む発光物質を有する層において、発光材料の割合は50
wt%以上80wt%以下とするよい。
の画素電極233を有し、発光物質を有する層232が、発光材料352がバインダ35
1に分散された発光層及び絶縁層348で構成される。なお、絶縁層348は、図8(E
)においては、第2の画素電極233に接する構造となっているが、第1の画素電極21
7に接する構造でもよい。また、素子は、第1の画素電極217及び第2の画素電極23
3それぞれに接する絶縁層を有してもよい。さらには、素子は、第1の画素電極217及
び第2の画素電極233に接する絶縁層を有さなくてもよい。
とができる。また、有機材料及び無機材料の混合材料を用いてもよい。有機材料としては
、シアノエチルセルロース系樹脂のように、比較的誘電率の高いポリマーや、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリスチレン系樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フッ化ビニ
リデンなどの樹脂を用いることができる。また、芳香族ポリアミド、ポリベンゾイミダゾ
ール(polybenzimidazole)などの耐熱性高分子、又はシロキサン樹脂
を用いてもよい。なお、シロキサン樹脂とは、Si−O−Si結合を含む樹脂に相当する
。シロキサンは、シリコン(Si)と酸素(O)との結合で骨格構造が構成される。置換
基として、少なくとも水素を含む有機基(例えばアルキル基、芳香族炭化水素)が用いら
れる。置換基として、フルオロ基を用いてもよい。または置換基として、少なくとも水素
を含む有機基と、フルオロ基とを用いてもよい。また、ポリビニルアルコール、ポリビニ
ルブチラールなどのビニル樹脂、フェノール樹脂、ノボラック樹脂、アクリル樹脂、メラ
ミン樹脂、ウレタン樹脂、オキサゾール樹脂(ポリベンゾオキサゾール)等の樹脂材料を
用いてもよい。また光硬化型樹脂などを用いることができる。これらの樹脂に、チタン酸
バリウム(BaTiO3)やチタン酸ストロンチウム(SrTiO3)などの高誘電率の
微粒子を適度に混合して誘電率を調整することもできる。
x)、酸素及び窒素を含む珪素、窒化アルミニウム(AlN)、酸素及び窒素を含むアル
ミニウムまたは酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化チタン(TiO2)、BaTiO
3、SrTiO3、チタン酸鉛(PbTiO3)、ニオブ酸カリウム(KNbO3)、ニ
オブ酸鉛(PbNbO3)、酸化タンタル(Ta2O5)、タンタル酸バリウム(BaT
a2O6)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、酸化イットリウム(Y2O3)、酸
化ジルコニウム(ZrO2)、ZnSその他の無機性材料を含む物質から選ばれた材料で
形成することができる。有機材料に、誘電率の高い無機材料を含ませる(添加等によって
)ことによって、発光材料及びバインダよりなる発光物質を有する層の誘電率をより制御
することができ、より誘電率を大きくすることができる。
いることのできるバインダを含む溶液の溶媒としては、バインダ材料が溶解し、発光層を
形成する方法(各種ウエットプロセス)及び所望の膜厚に適した粘度の溶液を作製できる
ような溶媒を適宜選択すればよい。有機溶媒等を用いることができ、例えばバインダとし
てシロキサン樹脂を用いる場合は、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEAともいう)、3−メトシキ−3
メチル−1−ブタノール(MMBともいう)などを用いることができる。
とで発光が得られるが、直流駆動又は交流駆動のいずれにおいても動作することができる
。
第1の画素電極217として、膜厚125nmの酸化珪素を含むITO層を形成する。ま
た、発光物質を有する層232として、DNTPDを50nm、NPBを10nm、ビス
[2,3−ビス(4−フルオロフェニル)キノキサリナト]イリジウム(アセチルアセト
ナート)(略称:Ir(Fdpq)2(acac))が添加されたNPBを30nm、A
lq3を30nm、Alq3を30nm、及びLiFを1nm積層して形成する。第2の
画素電極233として、膜厚200nmのAl層を形成する。
厚125nmの酸化珪素を含むITO層を形成する。また、発光物質を有する層232と
して、DNTPDを50nm、NPBを10nm、クマリン545T(C545T)が添
加されたAlq3を40nm、Alq3を30nm、及びLiFを1nm積層して形成す
る。第2の画素電極233として、膜厚200nmのAl層を形成する。
酸化珪素を含むITO層を形成する。また、発光物質を有する層232として、DNTP
Dを50nm、NPBを10nm、2,5,8,11−テトラ(tert−ブチル)ペリ
レン(略称:TBP)が添加された、9−[4−(N−カルバゾリル)]フェニル−10
−フェニルアントラセン(略称:CzPA)を30nm、Alq3を30nm、及びLi
Fを1nm積層して形成する。第2の画素電極233として、膜厚200nmのAl層を
形成する。
PC(Flexible Printed Circuit)を貼り付ける。以上の工程
により、発光表示パネルを形成することができる。
配線(ゲート配線)の間または画素部に設けてもよい。
ルにおいて、基板211側に放射する場合、つまり下方放射を行う場合について、図9(
A)を用いて説明する。
ス電極またはドレイン電極の他方である電極214に接して、透光性を有する導電層によ
り形成される第1の画素電極217、発光物質を有する層232、遮光性または反射性を
有する導電層により形成される第2の画素電極233が順に積層される。光が透過する基
板211は少なくとも可視領域の光に対して透光性を有する必要がある。
(B)を用いて説明する。薄膜トランジスタ201は、前述した薄膜トランジスタと同様
に形成することができる。
たはドレイン電極の他方である電極214が、遮光性または反射性を有する導電層で形成
される第1の画素電極217と接し、電気的に接続する。遮光性または反射性を有する導
電層で形成される第1の画素電極217、発光物質を有する層232、透光性を有する導
電層で形成される第2の画素電極233が順に積層される。
は反射性を有する金属層であり、発光素子から放射される光を矢印で示されるように上面
に反射する。なお、遮光性または反射性を有する導電層で形成される第1の画素電極21
7上に透光性を有する導電層を形成してもよい。
透過して放出されるので、透光性を有する導電層は、少なくとも可視領域において透光性
を有する材料で形成する。
合について、図9(C)を用いて説明する。薄膜トランジスタ201に電気的に接続する
ソース電極またはドレイン電極の他方である電極214に、第1の透光性を有する導電層
で形成される第1の画素電極217が電気的に接続している。第1の透光性を有する導電
層で形成される第1の画素電極217、発光物質を有する層232、第2の透光性を有す
る導電層で形成される第2の画素電極233が順に積層される。
くとも可視領域において透光性を有する材料、又は光を透過できる厚さで形成すると、両
方放射が実現する。この場合、光が透過する絶縁層や基板211も少なくとも可視領域の
光に対して透光性を有する必要がある。
いて、図10(A)〜図10(C)を用いて説明する。
されるビデオ信号が電圧で規定されるのものと、電流で規定されるものとがある。ビデオ
信号が電圧によって規定されるものには、発光素子に印加される電圧が一定のもの(CV
CV)と、発光素子に印加される電流が一定のもの(CVCC)とがある。また、ビデオ
信号が電流によって規定されるものには、発光素子に印加される電圧が一定のもの(CC
CV)と、発光素子に印加される電流が一定のもの(CCCC)とがある。本実施の形態
では、CVCV動作をする画素を図10(A)及び図10(B)用いて説明する。また、
CVCC動作をする画素を図10(C)を用いて説明する。
11、行方向に走査線3714が配置される。また、スイッチング用TFT3701、駆
動用TFT3703、容量素子3702及び発光素子3705を有する。
は線形領域で動作する。また駆動用TFT3703は発光素子3705に電圧を印加する
か否かを制御する役目を有する。両TFTは同じ導電型を有していると作製工程上好まし
い。また駆動用TFT3703には、エンハンスメント型だけでなく、ディプリーション
型のTFTを用いてもよい。また、駆動用TFT3703のチャネル幅Wとチャネルと長
Lの比(W/L)は、TFTの移動度にもよるが1〜1000であることが好ましい。W
/Lが大きいほど、TFTの電気特性が向上する。
、画素に対するビデオ信号の入力を制御するものであり、スイッチング用TFT3701
がオンとなると、画素内にビデオ信号が入力される。すると、容量素子3702にそのビ
デオ信号の電圧が保持される。
dの場合、発光素子の対向電極は陽極であり、駆動用TFT3703に接続される電極は
陰極である。この場合、駆動用TFT3703の特性バラツキによる輝度ムラを抑制する
ことが可能である。
sの場合、発光素子の対向電極は陰極であり、駆動用TFT3703に接続される電極は
陽極である。この場合、Vddより電圧の高いビデオ信号を信号線3710に入力するこ
とにより、容量素子3702にそのビデオ信号の電圧が保持され、駆動用TFT3703
が線形領域で動作するので、TFTの特性バラツキによる輝度ムラを改善することが可能
である。
図10(A)に示す画素構成と同じである。
。TFT3706がオンとなると、容量素子3702に保持された電荷は放電し、駆動用
TFT3703がオフとなる。つまり、TFT3706の配置により、強制的に発光素子
3705に電流が流れない状態を作ることができる。そのためTFT3706を消去用の
TFTと呼ぶことができる。従って、図10(B)の構成は、全ての画素に対する信号の
書き込みを待つことなく、書き込み期間の開始と同時又は直後に点灯期間を開始すること
ができるため、発光のデューティ比を向上することが可能となる。
る駆動用TFT3703により決定することができる。上記構成により、TFTの特性の
バラツキを抑制することが可能であり、TFT特性のバラツキに起因した発光素子の輝度
ムラを改善して、画質を向上させた表示装置を提供することができる。
画素は、図10(A)に示す画素構成に、電源線3712、電流制御用TFT3704が
設けられている。なお、図10(C)に示す画素において、駆動用TFT3703のゲー
ト電極を、列方向に配置された電源線3712に接続してもよい。
和領域で動作する。また駆動用TFT3703は発光素子3705に流れる電流値を制御
する役目を有し、電流制御用TFT3704は飽和領域で動作し発光素子3705に対す
る電流の供給を制御する役目を有する。
能である。また、図10(C)に示される動作構成を有する画素は、図10(A)及び図
10(B)と同様に、発光素子の電流の流れる方向によって、Vdd及びVssを適宜変
えることが可能である。
流制御用TFT3704のVgsの僅かな変動は、発光素子3705の電流値に影響を及
ぼさない。つまり、発光素子3705の電流値は、飽和領域で動作する駆動用TFT37
03により決定することができる。上記構成により、TFTの特性バラツキに起因した発
光素子の輝度ムラを改善して、画質を向上させた表示装置を提供することができる。
体膜の面積を大きくすると、TFTの特性バラツキの低減が可能であるため好ましい。ま
た、図10(A)及び図10(B)に示す画素は、TFTの数が少ないため開口率を増加
させることが可能である。
信号を保持する容量がゲート容量などで、まかなうことが可能な場合には、容量素子37
02を設けなくてもよい。
を画素内又は画素周辺に設けてもよい。
FTが設けられているため低電圧駆動でき、有利であると考えられている。一方、パッシ
ブマトリクス型の発光装置を形成することもできる。パッシブマトリクス型の発光装置は
、各画素にTFTが設けられていないため、高開口率となる。
順次駆動方法や線順次駆動方法や面順次駆動方法などを用いればよい。代表的には、線順
次駆動方法とし、時分割階調駆動方法や面積階調駆動方法を適宜用いればよい。また、表
示装置のソース線に入力する映像信号は、アナログ信号であってもよいし、デジタル信号
であってもよく、適宜、映像信号に合わせて駆動回路などを設計すればよい。
本実施の形態では、実施の形態2とは別の方法でボトムゲート型TFT及び画素電極を
形成する方法について、図19(A)〜図19(B)、図20(A)〜図20(C)を用
いて説明する。
行う。なお、図20(A)において、基板501、ゲート電極502、ゲート絶縁膜50
3は、それぞれ図15(C)の基板401、ゲート電極402、ゲート絶縁膜403に対
応している。さらにゲート絶縁膜503上に、半導体膜531を形成する(図20(A)
参照)。
鉛(ZnS)を含む亜鉛化合物半導体膜、酸化物半導体膜のいずれか1つであり、本実施
の形態では酸化亜鉛を用いる。
ォトマスク537は、透光性を有する基板535と遮光層536を有している。遮光層5
36は、溝521と対応する領域には形成されておらず、レーザビームが透過するように
設けられている。
ーザビームが半導体膜531に照射され、半導体膜531の一部が昇華され、溝521が
形成される。溝521により、半導体膜531が、活性層となる島状半導体膜504と活
性層として機能しない領域509に分断される。
として、窒化珪素膜、酸化珪素膜、窒素を含む酸化珪素膜、酸素を含む窒化珪素膜を、ス
パッタ法やCVD法用いて形成すればよい。
ホールを介して島状半導体膜504に電気的に接続される、ソース電極またはドレイン電
極の一方である電極506及びソース電極またはドレイン電極の他方である電極507を
形成する。
る。画素電極508は、図18(A)及び図18(B)に示す画素電極406と同様の材
料、同様の方法で形成すればよい。
)、断面図を図19(B)に示す。なお、図19(A)では見やすくするために一部の素
子を省略している。また図19(A)では4つのTFTしか示されていないが、この数に
限定されないのはいうまでもない。
上記実施の形態に示される半導体装置を有する電子機器として、テレビジョン装置(単
にテレビ、又はテレビジョン受信機ともよぶ)、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ
、携帯電話装置(単に携帯電話機、携帯電話ともよぶ)、PDA等の携帯情報端末、携帯
型ゲーム機、コンピュータ用のモニター、コンピュータ、カーオーディオ等の音響再生装
置、家庭用ゲーム機等の記録媒体を備えた画像再生装置等が挙げられる。その具体例につ
いて、図11(A)〜図11(F)及び図12を参照して説明する。
表示部9202に、上記実施の形態に示すものを適用することにより、携帯情報端末を安
価に提供することができる。
んでいる。表示部9701に、上記実施の形態に示すものを適用することにより、デジタ
ルビデオカメラを安価に提供することができる。
部9102に、上記実施の形態に示すものを適用することにより、携帯端末を安価に提供
することができる。
含んでいる。表示部9302に、上記実施の形態に示すものを適用することにより、携帯
型のテレビジョン装置を安価に提供することができる。このようなテレビジョン装置は携
帯電話などの携帯端末に搭載する小型のものから、持ち運びをすることができる中型のも
の、また、大型のもの(例えば40インチ以上)まで、幅広く適用することができる。
でいる。表示部9402に、上記実施の形態に示すものを適用することにより、携帯型の
コンピュータを安価に提供することができる。
る。表示部9602に、上記実施の形態に示すものを適用することにより、テレビジョン
装置を安価に提供することができる。
は映像信号と音声信号を受信する。映像信号は、映像検波回路9512と、そこから出力
される信号を赤、緑、青の各色に対応した色信号に変換する映像信号処理回路9513と
、その映像信号をドライバICの入力仕様に変換するためのコントロール回路9514に
より処理される。コントロール回路9514は、表示パネル9515の走査線駆動回路9
516と信号線駆動回路9517にそれぞれ信号が出力する。デジタル駆動する場合には
、信号線側に信号分割回路9518を設け、入力デジタル信号をm個に分割して供給する
構成としても良い。
その出力は音声信号処理回路9522を経てスピーカ9523に供給される。制御回路9
524は受信局(受信周波数)や音量の制御情報を入力部9525から受け、チューナ9
511や音声信号処理回路9522に信号を送出する。
ジョン装置の低消費電力を図ることが可能である。またテレビジョン装置を作製すること
が可能である。
め、鉄道の駅や空港などにおける情報表示盤や、街頭における広告表示盤など特に大面積
の表示媒体として様々な用途に適用することができる。
、フォトリソグラフィ工程の回数を削減し、製造工程を簡略化し、低いコストで歩留まり
良く製造すること可能となる。
102 酸化亜鉛膜
103 石英基板
104 紫外線遮蔽材料
105 フォトマスク
106 島状酸化亜鉛膜
111 基板
112 酸化亜鉛膜
113 金属膜
114 基板
115 石英基板
116 紫外線遮蔽材料
117 フォトマスク
118 島状配線領域
119 島状酸化亜鉛膜
201 TFT
202 ゲート線
203 データ線
204 液晶素子
205 容量素子
206 電極
207 ゲート電極
211 基板
212 下地膜
213 島状半導体膜
214 電極
215 ゲート絶縁膜
216 絶縁膜
217 画素電極
218 配向膜
221 対向基板
222 着色層
223 画素電極
224 配向膜
225 液晶層
231 絶縁膜
232 発光物質を有する層
233 画素電極
234 発光素子
301 基板
302 酸化亜鉛膜
303 島状酸化亜鉛膜
304a 電極
304b 電極
305 電極
306 ゲート絶縁膜
307 ゲート配線
308 画素電極
309 TFT
311 基板
312 遮蔽物
313 フォトマスク
315 基板
316 遮蔽物
317 フォトマスク
321 容量素子
331 基板
341 正孔注入層
342 正孔輸送層
343 発光層
344 電子輸送層
345 電子注入層
346 正孔輸送層
347 電子輸送層
348 絶縁層
349 発光層
350 絶縁層
351 バインダ
352 発光材料
355 基板
356 酸化亜鉛膜
357 積層膜
361 基板
362 遮蔽物
363 フォトマスク
371 基板
372 酸化亜鉛膜
373 ITO膜
381 基板
382 遮蔽物
383 フォトマスク
391 石英基板
392 酸化亜鉛膜
393 金属膜
401 基板
402 ゲート電極
403 ゲート絶縁膜
404 島状半導体膜
405a 領域
405b 領域
406 画素電極
411 TFT
412 電極
421 容量素子
431 酸化亜鉛膜
441 基板
442 遮光層
443 フォトマスク
445 基板
446 遮光層
447 フォトマスク
448 基板
449 酸化亜鉛膜
451 基板
452 遮光層
453 フォトマスク
454 基板
455 酸化亜鉛膜
456 半導体膜
461 基板
462 遮光層
463 フォトマスク
464 基板
465 酸化亜鉛膜
466 導電膜
471 基板
472 遮光層
473 フォトマスク
474 基板
475 酸化亜鉛膜
476 金属膜
501 基板
502 ゲート電極
503 ゲート絶縁膜
504 島状半導体膜
505 絶縁膜
506 電極
507 電極
508 画素電極
509 領域
511 TFT
521 溝
531 半導体膜
535 基板
536 遮光層
537 フォトマスク
3701 スイッチング用TFT
3702 容量素子
3703 駆動用TFT
3704 電流制御用TFT
3705 発光素子
3706 TFT
3710 信号線
3711 電源線
3712 電源線
3714 走査線
3715 走査線
9101 本体
9102 表示部
9201 本体
9202 表示部
9301 本体
9302 表示部
9401 本体
9402 表示部
9511 チューナ
9512 映像検波回路
9513 映像信号処理回路
9514 コントロール回路
9515 表示パネル
9516 走査線駆動回路
9517 信号線駆動回路
9518 信号分割回路
9521 音声検波回路
9522 音声信号処理回路
9523 スピーカ
9524 制御回路
9525 入力部
9601 本体
9602 表示部
9701 表示部
9702 表示部
Claims (1)
- 第1の基板上に第1の酸化物半導体膜を成膜し、
遮蔽物を有する第1のフォトマスクを通して、前記第1の酸化物半導体膜にレーザビームを照射して、前記第1の基板上に島状の酸化物半導体膜を残存させ、
前記島状の酸化物半導体膜上にゲート絶縁膜を形成し、
第2の酸化物半導体膜と、前記第2の酸化物半導体膜上の金属膜とを有する第2の基板の前記金属膜が設けられた面を前記ゲート絶縁膜に向け、前記第2の基板の前記酸化物半導体膜と前記金属膜とが設けられていない面から、遮蔽物を有する第2のフォトマスクを介してレーザビームを照射して、前記ゲート絶縁膜上に前記金属膜から転写された電極を形成し、
前記島状の酸化物半導体膜の残存は、前記第1の酸化物半導体膜をレーザアブレーションさせて行い、
前記金属膜の転写は、前記第2の酸化物半導体膜をレーザアブレーションさせて行い、
前記第2の基板は、紫外光を透過することを特徴とする半導体装置の作製方法。
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