JP5624425B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 57
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 29
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 188
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 186
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 186
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 106
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 78
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 41
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 37
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 26
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 10
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 3
- 239000000370 acceptor Substances 0.000 claims 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 134
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 27
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 27
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 13
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 13
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 12
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 10
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 10
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 9
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 5
- 238000010574 gas phase reaction Methods 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- -1 for example Chemical compound 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- UGACIEPFGXRWCH-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ti] Chemical compound [Si].[Ti] UGACIEPFGXRWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/04—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their crystalline structure, e.g. polycrystalline, cubic or particular orientation of crystalline planes
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
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- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02441—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/0245—Silicon, silicon germanium, germanium
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- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02494—Structure
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- H01L21/02502—Layer structure consisting of two layers
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
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- H01L21/02516—Crystal orientation
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- H01L21/02518—Deposited layers
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- H01L21/02524—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02532—Silicon, silicon germanium, germanium
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
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- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
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- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
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- H10B63/20—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having two electrodes, e.g. diodes
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- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
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- H10B63/80—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays
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- H10B63/80—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays
- H10B63/84—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays arranged in a direction perpendicular to the substrate, e.g. 3D cell arrays
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/061—Shaping switching materials
- H10N70/063—Shaping switching materials by etching of pre-deposited switching material layers, e.g. lithography
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
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- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
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Description
先ず、第1の実施形態について説明する。
図1は、本実施形態に係る半導体装置を例示する斜視図であり、
図2は、本実施形態に係る半導体装置を例示する断面図であり、
図3は、シリコン結晶の(311)面を示す分子モデル図である。
本実施形態に係る半導体装置はReRAMである。
ピラー16には、下方にワード線WLが配置され、上方にビット線BLが配置されたピラーと、下方にビット線BLが配置され、上方にワード線WLが配置されたピラーの2種類がある。図2においては、下方にワード線WLが配置され、上方にビット線BLが配置されたピラーが示されている。このピラー16においては、下方(ワード線側)から上方(ビット線側)に向かって、下部電極膜21、シリコン膜22、シリサイド層23、バリアメタル層24、抵抗変化膜25、上部電極膜26及びストッパ膜27がこの順に積層されている。下部電極膜21はワード線WLに接し、ストッパ膜27はビット線BLに接している。
抵抗変化膜25は、例えば金属酸化物により形成されており、2水準以上の抵抗値をとることができ、且つ、所定の電気信号を入力することにより、抵抗値を切り替えることができる。これにより、抵抗変化膜25は、記憶膜として機能する。
図4は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する工程断面図であり、
図5(a)〜(d)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する工程断面図であり、特に、シリコン膜の成膜方法を示し、
図6は、横軸に温度をとり、縦軸に圧力をとって、シリコン膜の各層の堆積条件を模式的に示すグラフ図であり、
図7〜図11は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する工程断面図である。
本実施形態においては、シリコン膜22を成膜する際に、アモルファスシリコンを堆積させ、その後結晶化させている。アモルファスシリコンを堆積させることにより、シリコン膜22の上面を平坦にすることができる。これにより、各シリコン膜22に形成されたpin形ダイオードの特性を良好にできると共に、ピラー16間でシリコン膜22の膜厚をほぼ等しくすることができ、選択素子膜の特性を均一にすることができる。また、シリコン膜22を固相成長によって結晶化させることにより、上面の平滑性を保ったまま、シリコン膜22を多結晶構造とすることができる。これにより、シリコン膜22中のキャリアの移動度が高くなり、特性が優れたpin形ダイオードを得ることができる。
前述の第1の実施形態においては、シリコン膜22の堆積と結晶化を別の工程で実施したが、本実施形態においては、シリコン膜22の成膜工程において、シリコン膜22の結晶化を完了させる。
本実施形態は、前述の第1の実施形態と比較して、シリコン膜22の上層部分を構成する不純物拡散層を、イオン注入によって形成する点が異なっている。
本実施形態は、前述の第1の実施形態と比較して、シリコンの結晶化及び不純物の活性化のための熱処理を、ピラー16の形成毎には行わず、クロスポイント型構造を作製した後に、一括して行う点が異なっている。これにより、熱処理の回数を低減することができると共に、メモリセル部13(図1参照)の下部に配置されたシリコン膜22と、上部に配置されたシリコン膜22との間で、熱履歴を揃えることができる。すなわち、先に形成されたシリコン膜22ほど熱処理を数多く受け、不純物がより多く拡散してしまうことを抑制できる。
本実施形態に係る半導体装置は、各ピラー16中に、選択素子として、pin形ダイオードの替わりに、MIS(metal-insulator-semiconductor:金属−絶縁物−半導体)形ダイオードが形成されている点が異なっている。
Claims (15)
- 同一平面上に配置され、不純物を含有するポリシリコンからなる複数のシリコン膜と、
前記シリコン膜の上面に対して平行な第1の方向に延びる複数本の第1配線からなる第1配線層と、
前記シリコン膜の上面に対して平行であり、前記第1の方向に対して交差する第2の方向に延びる複数本の第2配線からなる第2配線層と、
を備え、
各前記シリコン膜の結晶配向は(311)配向であり、
前記第1配線層及び前記第2配線層は交互に積層されており、
各前記シリコン膜は、各前記第1配線と各前記第2配線との間に配置されていることを特徴とする半導体装置。 - 各前記シリコン膜においては、不純物濃度が膜厚方向に沿って変化していることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記シリコン膜は、ダイオード又はダイオードの一部であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記シリコン膜に積層された記憶膜をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記記憶膜は抵抗変化膜であることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
- 半導体基板上にシリコン膜を形成する工程を備え、
前記シリコン膜を形成する工程は、
アモルファスシリコンを堆積させる第1工程と、
アモルファスシリコンを堆積させると共にシリコン結晶粒を生成し、前記シリコン結晶粒の成長速度よりも前記アモルファスシリコンの堆積速度を高くする第2工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記シリコン膜を形成する工程において、その濃度が前記シリコン膜の膜厚方向に沿って変化するように不純物を導入することを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アモルファスシリコンを結晶化させる工程をさらに備えたことを特徴とする請求項6または7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン膜を形成する工程において、前記アモルファスシリコンを結晶化させることを特徴とする請求項6または7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン膜を形成する工程は、
アモルファスシリコンを堆積させる第3工程をさらに有し、
前記第1工程、前記第2工程及び前記第3工程をこの順に実施することを特徴とする請求項6〜9のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1工程においては、ドナー又はアクセプタとなる不純物を前記アモルファスシリコン中に導入し、
前記第3工程においては、アクセプタ又はドナーとなる不純物を前記アモルファスシリコン中に導入する
ことを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。 - 半導体基板上に、不純物が導入された第1のアモルファスシリコン層を堆積させる第1工程と、
前記第1のアモルファスシリコン層上に、シリコン結晶粒を含有する第2のアモルファスシリコン層を堆積させる第2工程と、
前記第2のアモルファスシリコン層上に、不純物が導入された第3のアモルファスシリコン層を堆積させる第3工程と、
熱処理を施すことにより、前記シリコン結晶粒を核として前記第2のアモルファスシリコン層を結晶化させる第4工程と、
を備え、
前記第2工程において、前記シリコン結晶粒の成長速度よりも前記第2のアモルファスシリコン層の堆積速度を高くすることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第2工程における堆積温度を、前記第1工程における堆積温度よりも高くすることを特徴とする請求項6〜12のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板の上面に対して平行な第1の方向に延びる複数本の第1配線からなる第1配線層を形成する工程と、
前記半導体基板の上面に対して平行であり、前記第1の方向に対して交差する第2の方向に延びる複数本の第2配線からなる第2配線層を形成する工程と、
前記シリコン膜を選択的に除去することにより、ピラーを形成する工程と、
をさらに備え、
前記第1配線層を形成する工程及び前記第2配線層を形成する工程を交互に実施し、
前記ピラーを各前記第1配線と各前記第2配線との間に形成することを特徴とする請求項6〜13のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記シリコン膜に積層するように、記憶膜を形成する工程をさらに備え、
前記ピラーを形成する工程において、前記記憶膜も選択的に除去し、前記記憶膜を前記ピラーの一部とすることを特徴とする請求項14記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010231911A JP5624425B2 (ja) | 2010-10-14 | 2010-10-14 | 半導体装置及びその製造方法 |
US13/052,143 US8558354B2 (en) | 2010-10-14 | 2011-03-21 | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010231911A JP5624425B2 (ja) | 2010-10-14 | 2010-10-14 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012084813A JP2012084813A (ja) | 2012-04-26 |
JP5624425B2 true JP5624425B2 (ja) | 2014-11-12 |
Family
ID=45933349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010231911A Expired - Fee Related JP5624425B2 (ja) | 2010-10-14 | 2010-10-14 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8558354B2 (ja) |
JP (1) | JP5624425B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102051529B1 (ko) * | 2013-03-25 | 2020-01-08 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조방법, 그리고 반도체 장치를 포함하는 마이크로프로세서, 프로세서, 시스템, 데이터 저장 시스템 및 메모리 시스템 |
KR20200052994A (ko) * | 2017-10-09 | 2020-05-15 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 금속 증착을 위한 핵형성 층으로서의 등각 도핑된 비정질 실리콘 |
US10658297B2 (en) * | 2018-06-30 | 2020-05-19 | Intel Corporation | Metal-nitride-free via in stacked memory |
JP2021027290A (ja) * | 2019-08-08 | 2021-02-22 | キオクシア株式会社 | 半導体記憶装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0513337A (ja) * | 1991-06-29 | 1993-01-22 | Toshiba Corp | 半導体薄膜製造方法 |
JPH07176745A (ja) * | 1993-12-17 | 1995-07-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体素子 |
US5888853A (en) * | 1997-08-01 | 1999-03-30 | Advanced Micro Devices, Inc. | Integrated circuit including a graded grain structure for enhanced transistor formation and fabrication method thereof |
JP3461277B2 (ja) * | 1998-01-23 | 2003-10-27 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
TW434866B (en) * | 1999-08-13 | 2001-05-16 | Taiwan Semiconductor Mfg | Manufacturing method for contact plug |
JP2003031806A (ja) * | 2001-05-09 | 2003-01-31 | Hitachi Ltd | Mosトランジスタ及びその製造方法 |
US20020196651A1 (en) * | 2001-06-22 | 2002-12-26 | Rolf Weis | Memory cell layout with double gate vertical array transistor |
DE10143235A1 (de) * | 2001-09-04 | 2003-03-27 | Infineon Technologies Ag | Halbleiterspeicherelement, Halbleiterspeicherelement-Anordnung, Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterspeicherelementes und Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterspeicherelementes |
DE102008032067A1 (de) | 2007-07-12 | 2009-01-15 | Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon | Verfahren zum Bilden von Phasenänderungsspeichern mit unteren Elektroden |
JP2010087259A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Toshiba Corp | 不揮発性記憶装置の製造方法 |
JP2010157583A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Toshiba Corp | 縦型ダイオード及びその製造方法並びに半導体記憶装置 |
JP5044586B2 (ja) | 2009-02-24 | 2012-10-10 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
JP5641779B2 (ja) * | 2010-05-18 | 2014-12-17 | 株式会社日立製作所 | 不揮発性記憶装置およびその製造方法 |
-
2010
- 2010-10-14 JP JP2010231911A patent/JP5624425B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-03-21 US US13/052,143 patent/US8558354B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012084813A (ja) | 2012-04-26 |
US8558354B2 (en) | 2013-10-15 |
US20120091414A1 (en) | 2012-04-19 |
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