JP5621271B2 - 逆阻止形絶縁ゲート型バイポーラトランジスタの製造方法 - Google Patents
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Description
前記活性基板の鏡面側の前記熱酸化膜を、一般的なホトリソグラフィ技術を用いて部分的に開口したエッチング用熱酸化膜マスクパターン(格子状パターン)23を形成する(図5(c))。熱酸化膜開口部は、<110>方向と等価な方向に沿って所定のチップサイズで格子状に繰り返すパターン23を有する。熱酸化膜開口部の幅は170μmとする。
この時、活性基板で前記V字溝21を形成していない裏面と、前記研削平坦化面とは平行に仕上げられていることが望ましい。研削に使用される砥石を構成する材質や砥粒の番手は指定しないが、余り大きな砥粒のみで仕上げると、次工程で堆積する第三のポリシリコン膜を、厚く成膜する必要が生じる。そのため、比較的厚さ方向への研削送りを大きくできる低番手(たとえば#300、ビトリファイド砥石)で厚さを減じた後、研削送りは小さいが仕上がり面の面粗度が小さくできる高番手(たとえば#2000、レジンボンド砥石)などを使用することが望ましい。
ここで、第三のポリシリコン膜の生成の際のCVDには材料ガスとしてモノシラン、ジシランを常圧または減圧下で用いることができるが、成膜温度が900℃を越えると成長する第三のポリシリコン膜の多結晶粒が比較的大きくなり、後の機械的化学的研磨によって粒界の浸食が生じ易くなり好ましくない。その理由は、後工程の機械的化学的研磨によって粒界の浸食が著しくなると研磨面の平坦性が損なわれ、後述する支持基板28との接合において、接合界面に気泡が残存し、ボイドの原因となり接合強度の低下を招くからである。
シリコン接合基板の活性基板20側研削(図5(n))では、まず、粗研削として#320のビトリファイド砥石を用い、研削後残し厚を支持基板28の厚さ525μm+(活性基板+ポリシリコン膜)厚さ140μmとし、次に精研削を#2000のレジンボンド砥石を用い、取り代厚さとして20μm減じる。
図5に図示する工程を順に追って実施した。各工程条件を示す。第一のポリシリコン膜形成から第二のポリシリコン膜の形成工程までは実施例1と同じであるので、記載を省く。
2 pコレクタ層
3 pベース領域
4 nエミッタ領域
5 ゲート酸化膜
5a 層間絶縁膜
6 ゲート電極
7 エミッタ電極
8 コレクタ電極
9 ガードリング
12 絶縁保護膜
14 p型拡散分離層
20 半導体基板
21 V字溝
22 シリコン島
23 格子状パターン
24 オリエンテーションフラット
25 絶縁膜(熱酸化膜)
26 p型拡散層
27 ポリシリコン膜
28 支持基板
Claims (3)
- (100)面を主面とするシリコン半導体基板の少なくとも一方の主面が鏡面加工され、該鏡面加工面に形成された絶縁膜に、<110>方向に沿った方向と、この<110>方向に直交する方向とに沿ってチップ寸法に対応するピッチと所要の線幅で開口される格子状の開口パターン部を形成し、アルカリ溶液で湿式異方性エッチングして側壁が主に(111)面からなるV字溝を形成する第1工程と、
前記絶縁膜を除去した後、前記鏡面加工面および前記V字溝面とに第2導電型拡散層を形成する第2工程と、
前記第2導電型拡散層上に熱酸化膜を形成し、該熱酸化膜の表面に1000℃を超えない温度で第一のポリシリコン膜を形成する第3工程と、
前記第一のポリシリコン膜の表面に1000℃以上で第二のポリシリコン膜を、前記V字溝の深さ以上の厚さに堆積する第4工程と、
前記第二のポリシリコン膜の表面を研磨により鏡面平坦化する第5工程と
を備えるシリコン半導体活性基板の作成工程を有し、
該シリコン半導体活性基板とは別に、少なくとも一方の面が鏡面平坦化されたシリコン単結晶を主要材料とする支持基板を用意し、該支持基板と前記第5工程を経たシリコン半導体活性基板にそれぞれ親水性処理を施す第6工程と、
前記シリコン半導体活性基板と前記支持基板を、鏡面側を対向させ貼り合わせて200℃乃至1300℃の温度範囲から選ばれる温度の熱処理を施し、接合基板とする第7工程と、
該接合基板の、前記シリコン半導体活性基板側を逆阻止形絶縁ゲートバイポーラトランジスタとして必要な厚さに研削研磨して前記V字溝の底部を露出させ、鏡面化する第8工程と、
前記露出したV字溝に囲まれる領域の表層にMOSゲート構造を形成する第9工程と、
前記支持基板を研削研磨により除去して上記熱酸化膜を露出させ、該熱酸化膜を弗酸により除去して前記鏡面加工面に形成された前記第2導電型拡散層を露出させて第2導電型コレクタ層とし、コレクタ電極を被覆する第10工程と
を有することを特徴とする逆阻止形絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法。 - 前記第5工程を、前記第二のポリシリコン膜の表面を研磨により鏡面平坦化し、この平坦化した第二のポリシリコン膜の表面に900℃以下で第三のポリシリコン膜を形成し、該第三ポリシリコン膜の表面を研磨により鏡面平坦化する第5工程とすることを特徴とする請求項1記載の逆阻止形絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法。
- 前記第7工程と第8工程の間に、接合基板のシリコン半導体活性基板側の外周を傾斜状に面取り加工を行う工程を加えることを特徴とする請求項1乃至請求項2のいずれか一項に記載の逆阻止形絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法。
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