JP5585971B1 - チップコンベヤ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 回転式フィルターと搬送トレーとを組み合わせたチップコンベヤ装置において、円筒ドラムの欠点をなくした新規な構造のチップコンベヤ装置を提供する。
【解決手段】 回転軸周りに配されたメッシュ３１によってダーティ液を濾過する回転式フィルター３と、回転式フィルター３に挿通された搬送トレー５ｃ内で切り屑を圧縮しながら搬送し搬送路の排出口から排出するコイルコンベヤ５１と、これらを駆動する駆動手段８Ｍを備え、前記回転式フィルター３が回転軸方向で正多角形状とされており、回転式フィルター３内に供給されたダーティ液が前記メッシュ３１にて濾過されクリーン液となって取り出され、かつ、前記回転式フィルター３内の切り屑が前記回転式フィルター３の回転に伴って上に運ばれて前記搬送トレー５１内に落下しコイルコンベヤ５１にて搬送され圧縮された切り屑として機外に排出される。
【選択図】 図２

Description

この発明は、旋盤やフライス盤等の工作機械から切り屑が混ざって排出された使用済みクーラント液からクリーン液を取り出すチップコンベヤ装置に関する。

旋盤やフライス盤等の工作機械においては、バイト、カッタ等の切削工具と被加工物（ワーク）とが接触する加工部位に切削液（クーラント液）を供給し当該加工部位の発熱を抑えながら加工を行う湿式タイプが主流になっている。この湿式タイプの工作機械には濾過手段を備えたチップコンベヤ装置が常設されている。チップコンベヤ装置は、工作機械から切り屑が混ざって排出された使用済みクーラント液（ダーティ液）から切り屑（被加工物から除去された不要物）を分離して排出するとともに、装置内の濾過手段によって切り屑が取り除かれたクリーンなクーラント液（クリーン液）に再生して工作機械に返送する。本明細書では、工作機械の加工によってワークから除去された金属屑若しくは金属を含んだ屑全般を切り屑と定義しており、ヒゲ状、カール状、小塊状、粉状、汚泥状に関わらず切り屑と表現している。

チップコンベヤ装置に配されて、工作機械から切り屑が混ざって排出された使用済みクーラント液（ダーティ液）からクリーン液を取り出す濾過機としては、回転ドラムフィルター、サイクロン分離器、マグネットフィルター等が挙げられる。回転ドラムフィルターは、メタルワイヤ（ウェッジワイヤ）やパンチングメタル等によってその外周にメッシュを形成した円筒形状の回転ドラムを、ダーティ液の入ったダーティ槽内で水平軸まわりに回転させることで回転ドラム外周のメッシュ面に切り屑を留めながら切削液を回転ドラムの内側に濾過してクリーン液とし、回転ドラムの内側から濾過済みのクリーン液を水平軸方向（横方向）に排出して隣接したクリーン槽内に排出する。サイクロン分離器は、工作機械から切り屑が混ざって排出されたダーティ液を筐体側面の入口から圧力をかけて流し込み、筐体内部に螺旋流（サイクロン）を発生させ、クリーン液を分離してサイクロン分離器の上方に排出しつつ、濃縮されたダーティ液を筐体下端の分離排出口（ダーティ液排出口）から下方に吐き出す。マグネットフィルターは、筐体に内蔵された磁力体に鉄の切り屑を留めながらクリーン液をマグネットフィルターの外に排出する。これらの濾過機はいずれも、ダーティ液の一部からクリーン液を分離して取り出すものである。

チップコンベヤ装置において、工作機械から切り屑が混ざって排出された使用済みクーラント液から切り屑を分離して搬送する搬送機構としては、チェーンコンベヤ、コイル式コンベヤ、スクリュー式コンベヤ等が挙げられる。チェーンコンベヤは、工作機械から切り屑が混ざって排出されたダーティ液を搬送する複数のプレート板が連続的に配されて駆動軸と従動軸との間に掛け渡され、切り屑を複数のプレート板上で搬送しながらコンベヤ上方の総排出口から排出しつつ、切削液を複数のプレート板の下方に通過させる。チェーンコンベヤの切り屑搬送機構としては、プレート板以外に、搬送ベルトに切り屑を掻き上げる掻き取り部材（掻き板）が取り付けられたスクレーパ式コンベヤや、マグネットが取り付けられたマグネット式コンベヤがある。スクリュー式コンベヤは回転軸上に螺旋プロペラが形成されたスクリューを回転させることで、切り屑を搬送しながら圧縮してコンベヤ上方の排出口から排出しつつ、切り屑が取り除かれた切削液を重力にてコンベヤの下方に移動させるものである。コイル式コンベヤは、螺旋コイル状に形成された回転軸により切り屑を搬送しながら圧縮してコンベヤ上方の排出口から排出しつつ、切り屑が取り除かれた切削液を重力にてコンベヤの下方に移動させるものである。これらの搬送機構はいずれも、切り屑をコンベヤ上方の排出口に移動させながら、切削液をコンベヤの下方に移動させ、ダーティ液から切り屑を分離して取り出すものである。

従来のチップコンベヤ装置では、切り屑が混ざって排出された使用済み液の処理能力を高めるために、搬送路のサイズ（面積）が大きくなっている。その一方で、工作機械が加工する被加工物（ワーク）の形状、材質、面粗さ等の仕様が多種多様であり、また、加工の進行段階によってワークからの切り屑の発生の仕方が大きく異なり、ワークの発熱量に応じて供給する切削液（クーラント）の量が大きく増減する。つまり、工作機械から切り屑が混ざって排出されたダーティなクーラント液の排出量は急激に増減し、また、ダーティなクーラント液に占める切り屑の割合も大きく変動することが通例である。このダーティなクーラント液の排出量の急激な増減に対応するためには、工作機械から排出されたダーティなクーラント液の排出量の瞬間最大値に合わせて、余裕を持たせた大きなサイズの搬送路とするか、ダーティなクーラント液を一時的に溜めるダーティ液槽の容量を充分大きくするか、その両方を実施しなければならず、いずれにしても既知の方法によれば大型のチップコンベヤ装置となってしまう懸念がある。

回転ドラムフィルターは、メッシュが目詰まりし易いという難点があるが、ダーティ液を濾過してクリーン液を取り出すのに適している。スクリュー式コンベヤ等の搬送機構は、切り屑を搬送しながら圧縮した切り屑として排出するのに適している。このため、これら両者を組み合わせたうえで、エア噴射ノズルや洗浄液噴射ノズルによってメッシュの目詰まりを解消するようにしたチップコンベヤ装置が検討されている（特許文献１と特許文献２）。

特許文献１には、円筒形状の外周にメッシュが形成された回転ドラムを備え、スクリュー式コンベヤを前記回転ドラムと同軸配置し、前記回転ドラムの内周側には回転方向に所定間隔で切粉すくい板を配設するとともに前記スクリュー式コンベヤの下方には流入管に連通した桶を配置した構成の装置が記載されている。特許文献１には、前記流入管から供給されたダーティ液が前記桶の抜孔から抜けて前記回転ドラムのメッシュにて濾過されてクリーン液となって下方に配されたクリーンタンクに集められ、かつ、前記回転ドラムの内周側に配された切粉すくい板が堆積した切粉をすくって上部になったときに前記切粉が落下して前記スクリュー式コンベヤにて受け取り搬送されて排出されるとの記述があり、そして、前記回転ドラムの外側には、エア噴射ノズルと洗浄液噴射ノズルのいずれかないしは両方を設けて、エアや洗浄液を噴射することで前記回転ドラムのメッシュの目詰まりを解消するとの記述がある（その考案の詳細な説明を参照）。

特許文献２には、円筒形状の外周にメッシュが形成された回転ドラムを備え、搬送ベルトに掻き板が取り付けられたスクレーパ式コンベヤを前記回転ドラムに貫通させて、前記搬送ベルトの下方に中間板を配置した構成の装置が記載されている。特許文献２には、供給されたダーティ液が前記中間板の抜孔から抜けて前記回転ドラムのメッシュにて濾過されてクリーン液となって下方に配されたクリーンタンクに集められ、かつ、前記回転ドラムの内周側に堆積した切粉が上部になったときに前記切粉が前記中間板に落下して前記スクレーパ式コンベヤにて受け取り搬送されて排出されるとの記述があり、そして、前記回転ドラムの外側には、エア噴射ノズルと洗浄液噴射ノズルのいずれかないしは両方を設けて、エアや洗浄液を噴射することで前記回転ドラムのメッシュの目詰まりを解消するとの記述がある（その段落００１７〜段落００２０等を参照）。

実開昭６１−１３２０１５号公報 特開２０１０−０６４２１０号公報

しかしながら、特許文献１や特許文献２等に示されているように従来のチップコンベヤ装置は、いずれも円筒形状の外周にメッシュが形成された回転ドラムフィルターを用いており、円筒ドラム内の切り屑は重力の影響を受けて円筒ドラム内で下方に移動し易く、円筒ドラム内で滞留してしまう切り屑が少なからずあり、円筒ドラム内で滞留した切り屑によってメッシュが目詰まりし易いという問題点がある。

そこで本発明の目的は、回転式フィルターと搬送トレーとを組み合わせたチップコンベヤ装置において、円筒ドラムの欠点をなくした新規な構造のチップコンベヤ装置を提供することにある。

本発明のチップコンベヤ装置は、旋盤やフライス盤等の工作機械から切り屑が混ざって排出された使用済みクーラント液（ダーティ液）を濾過してクリーン液を取り出すとともに切り屑を排出するチップコンベヤ装置であって、回転軸周りに配されたメッシュによってダーティ液を濾過する回転式フィルターと、当該回転式フィルターに挿通された搬送トレー内で切り屑を圧縮しながら搬送し搬送路の排出口から排出する回転式コンベヤと、これらを駆動する駆動手段を備え、前記回転式フィルターが回転軸方向で正偶数角形とそれと同一でその内角の１／２だけ同軸で回動させた正偶数角形とを重ね合わせた外形となっており、前記回転式フィルター内に供給されたダーティ液が前記メッシュにて濾過されクリーン液となって取り出され、かつ、前記回転式フィルター内の切り屑が前記回転式フィルターの回転に伴って上に運ばれて前記搬送トレー内に落下し前記回転式コンベヤにて搬送され圧縮された切り屑として機外に排出されることを特徴とする。

本発明によれば、前記回転式フィルターが回転軸方向で多角形状となっているので、当該多角形状の各頂部を利用して前記回転式フィルター内の切り屑を前記回転式フィルターの回転に伴って上に運んで前記搬送トレー内に落下させることができる。また、多角形状は、円筒形状に対して濾過面積を大きくしつつクーラント液の表面張力を低下させる作用があり、濾過能力を高めることができる。

本発明によれば、上述の作用効果に加えて、前記回転式フィルターの回転に伴って上に運ばれて前記搬送トレー内に落下した切り屑が前記回転式コンベヤにて搬送され圧縮された切り屑として機外に排出されるので、クリーンなクーラント液を再生しつつ、圧縮された切り屑を排出することができる。また、正偶数多角形状は、回転対称形状であるから、回転時の外力を分散しつつ強度を高める構造である。

前記回転式フィルターは、回転軸方向で多角形状となっている。前記多角形状としては、三角形状、四角形状、五角形状、六角形状、八角形状、十二角形状、十六角形状、二十角形状等が挙げられる。

前記回転式フィルターは、回転軸方向で正偶数角形状となっている。前記正偶数多角形状としては、正四角形状、正六角形状、正八角形状、正十二角形状、正十六角形状、正二十角形状等が挙げられる。また、前記正偶数多角形状としては、前記回転軸方向で、正偶数角形状と、それと同一でその内角の１/２だけ同軸で回動させた正偶数角形状とを重ね合わせた外形となっているものを含む。この形状は、星型正多角形状とも呼称される。これら正偶数多角形状は、回転時の外力を分散しつつ強度を高めるため、回転対称形状となっている。

本発明は、前記回転式フィルターが回転軸方向で正四角形とそれと同一でその内角の１／２だけ同軸で回動させた正四角形とを重ね合わせた外形となっていることを特徴とする。

本発明によれば、各頂部の配置数を増大させつつ濾過面積を大きくすることが容易となる。

本発明は、前記回転式フィルター内には、前記搬送トレー内に落下するまでの期間、前記切り屑を堰き止める突起板が前記回転軸周に所定間隔で可動可能に配されており、前記回転式フィルターの回転に伴って前記切り屑が前記搬送トレーよりも高い位置に運ばれると、前記突起板が作動して前記切り屑が搬送トレー内に落下することを特徴とする。

本発明によれば、前記回転式フィルター内には、前記回転軸周りに所定間隔で突起板が配されており、前記搬送トレー内に落下するまでの期間、前記切り屑を堰き止める構成であるから、前記切り屑をより確実に前記搬送トレー内に落下させることとなる。

本発明は、前記回転式フィルター内にダーティ液を供給する流入管が前記回転式コンベヤの入口側の下方で前記回転式フィルターの回転軸方向に挿入されており、前記回転式コンベヤがスクリューコンベヤ又はコイルコンベヤであることを特徴とする。

本発明によれば、前記切り屑を搬送しながら圧縮した切り屑として機外に排出することが容易となる。

本発明は、前記回転式フィルターの上方には、メッシュ洗浄用配管及びノズルが配されており、前記回転式フィルターの各頂部が前記搬送トレーの真上となるタイミングで前記回転式フィルターのメッシュを外側から下向きにエア噴射するか又は洗浄液噴射することを特徴とする。

本発明によれば、前記回転式フィルターの回転に伴って上に運ばれた前記切り屑を確実に前記搬送トレー内に落下させつつ前記回転式フィルターのメッシュ面を周期的に洗浄することとなる。

前記フィルターの材質としては、金属メッシュ、パンチングメタル、樹脂メッシュ等が挙げられ、工作機械から切り屑が混ざって排出されたダーティなクーラント液の濾過精度によってその網目の大きさや外周側面の厚みが適宜設定される。また、複数の材質を組み合わせた複合フィルターとしてもよい。

本発明のチップコンベヤ装置によれば、前記回転式フィルターが回転軸方向で正偶数角形状となっているので、当該正偶数角形状の各頂部を利用して前記回転式フィルター内の切り屑を前記回転式フィルターの回転に伴って上に運んで前記搬送トレー内に落下させることができる。また、正偶数角形状は、円筒形状に対して濾過面積を大きくしつつクーラント液の表面張力を低下させる作用があり、濾過能力が高くなる。特に、前記回転式フィルターを、前記回転軸方向で、前記正偶数角形状と、それと同一の前記正偶数角形状をその内角の１/２だけ同軸で回動させた正偶数角形状とを重ね合わせた外形とすることで、各頂部の配置数を増大させつつ濾過面積を大きくすることが容易となる。そして、前記回転式フィルターの回転に伴って上に運ばれた前記切り屑を確実に前記搬送トレー内に落下させつつ前記回転式フィルターのメッシュ面を周期的に洗浄することで、濾過性能のみならずメンテナンス性に優れたチップコンベヤ装置となる。

本発明の第１の実施形態のチップコンベヤ装置をその内部構造を側面側から示す構造図である。 上記実施形態のチップコンベヤ装置をその内部構造を背面側から示す構造図である。 上記実施形態のチップコンベヤ装置に係る回転式フィルターを示す図であり、図３（ａ）が正面図であり、図３（ｂ）が側面図である。 上記実施形態のチップコンベヤ装置に係る回転式フィルターの他の例を示す図であり、図４（ａ）が正面図であり、図４（ｂ）が側面図である。 上記実施形態のチップコンベヤ装置の他の例をその内部構造を背面側から示す構造図である。 本発明の第２の実施形態のチップコンベヤ装置をその内部構造を側面側から示す構造図である。

以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。本実施形態では、旋盤やフライス盤等の工作機械から切り屑が混ざって排出された使用済みクーラント液（ダーティ液）を符号Ｌ１で示す濾過対象として説明する。

（第１の実施の形態）
図１は、本発明の実施形態のチップコンベヤ装置１をその内部構造を側面側から示す構造図である。図２は、本実施形態のチップコンベヤ装置１をその内部構造を背面側から示す構造図である。図３は、本実施形態のチップコンベヤ装置１に係る回転式フィルター３を示す図であり、図３（ａ）が正面図であり、図３（ｂ）が側面図である。本実施形態のチップコンベヤ装置１は、箱形状の筐体２と、筐体２内に配された回転式フィルター３と、回転式フィルター３に挿通された搬送トレー５ｃ内で切り屑を圧縮しながら搬送し搬送路５の排出口から排出する回転式コンベヤ５１と、これらを駆動する駆動手段（モータ）８Ｍを備える。回転式フィルター３は、回転軸周りに配されたメッシュ３１によってダーティ液Ｌ１を濾過するものであり、回転軸方向で正偶数角形状とされている。図２と図３に示す例では、回転式フィルター３は正八角形状となっている。

特に詳細は図示しないが、モータ８Ｍと回転フィルター３とはベルト駆動、ギヤ駆動又はチェーン駆動されている。同様に、モータ８Ｍと回転コンベヤ５１とはベルト駆動、ギヤ駆動又はチェーン駆動されている。

図２と図３に示す例では、回転式フィルター３は正八角形状となっているが、これ以外に、例えば正十二角形状、正十六角形状、正二十角形状等が挙げられる。

図１に示す例では、前記回転式コンベヤ５１は、コイルコンベヤである。そして、回転式フィルター３の上方には、メッシュ洗浄用配管８１及びノズル８１１が配されており、エアＡ９によって回転式フィルター３のメッシュ３１を外側から下向きにエア噴射する構成である（図１）。本実施形態によれば、回転式フィルター３の回転に伴って上に運ばれた前記切り屑を確実に前記搬送トレー５ｃ内に落下させつつ回転式フィルター３のメッシュ面３１を周期的に洗浄することとなる。

本実施形態では、回転式フィルター３の各頂部が搬送トレー５ｃの真上となるタイミングで所定時間エアＡ９を吐出する構成とすることで、より正確な位置で搬送トレー５ｃ内に落下させ易くしている。前記タイミングは、例えばマイクロスイッチなどの接触式センサや光センサなどの非接触式センサを回転式フィルター３の上側付近に配しておくことで所定の前記タイミングを検出することが容易にできる。

本実施形態では、流入管１１から回転式フィルター３内に供給されたダーティ液Ｌ１がメッシュ３１にて濾過されクリーン液Ｌ９となってクリーンタンク２９に貯水され排出管９１から取り出され、かつ、回転式フィルター３内の切り屑が回転式フィルター３の回転に伴って上に運ばれて搬送トレー５ｃ内に落下し、コイルコンベヤ５１にて搬送され圧縮された切り屑Ｌ５として機外に排出される構成となっている（図１、図２）。

本実施形態によれば、回転式フィルター３が回転軸方向で正偶数角形状となっているので、当該正偶数角形状の各頂部を利用して回転式フィルター３内の切り屑を回転式フィルター３の回転に伴って上に運んで搬送トレー５ｃ内に落下させることができる。また、正偶数角形状は、円筒形状に対して濾過面積を大きくしつつクーラント液の表面張力を低下させる作用があり、濾過能力が高くなる。さらに、これら正偶数角形状は、回転時の外力を分散しつつ強度を高める構造といえる。

図４は、上記実施形態のチップコンベヤ装置１に係る回転式フィルター３の他の例を示す図であり、図４（ａ）が正面図であり、図４（ｂ）が側面図である。図４に示す例では、回転式フィルター３が、回転軸方向で、正四角形状と、それと同一の正四角形状をその内角の１/２だけ同軸で回動させた正四角形状とを重ね合わせた外形となっている。

本実施形態によれば、回転式フィルター３における、各頂部の配置数を増大させつつ濾過面積を大きくすることが容易となる。図４に示す例では、正四角形状の組み合わせとなっているが、これに限られず、正六角形状の組み合わせ、正八角形状の組み合わせ、正十二角形状の組み合わせ、正十六角形状の組み合わせ、正二十角形状の組み合わせ等が挙げられる。

図５は、回転式フィルター３が、回転軸方向で、正四角形状と、それと同一の正四角形状をその内角の１/２だけ同軸で回動させた正四角形状とを重ね合わせた外形となっている場合の実施形態のチップコンベヤ装置１の例を、その内部構造を背面側から示す構造図である。

本実施形態では、回転式フィルター３の各頂部から少し離れた位置で、各頂部同士の接する位置の内側にＬ形状の突起板７を配している（図５）。本実施形態によれば、突起板７を配することで、流入管１１から回転式フィルター３内に供給されたダーティ液Ｌ１がメッシュ３１にて捕捉されて切り屑Ｌ３となり、回転式フィルター３の回転に伴って上に運ばれる切り屑Ｌ３が前記搬送トレー５ｃよりも高い位置に運ばれるまでの期間、切り屑Ｌ３を一時的に堰き止めてその落下を防ぐ構成となっており、切り屑Ｌ３をより確実に搬送トレー５ｃ内に落下させる。図５に示す例では、突起板７は回転式フィルター３内の所定箇所に所定間隔で固定されている。前記突起板７は、Ｌ形状に限定されず、平板形状としても良い。また、前記突起板７が可動可能でシーソーのような動作をする構成とすれば、回転式フィルター３の回転に伴って上に運ばれる前記切り屑が前記搬送トレー５ｃよりも高い位置に運ばれると、前記突起板が倒れて前記切り屑が搬送トレー５ｃ内に落下するようにすることもできる。

（第２の実施の形態）
図６は、本発明の第２の実施形態のチップコンベヤ装置１をその内部構造を側面側から示す構造図である。ここで、同一の符号は同じ機能を指しており、その説明を適宜省略する。本実施形態のチップコンベヤ装置１は、箱形状の筐体２と、筐体２内に配された多角形状の回転式フィルター３と、回転式フィルター３に挿通された搬送トレー５ｃを搬送路５としている（図６）。搬送トレー５ｃは前傾しており、入口側に対して排出口側が２度〜３０度傾斜している。本実施形態によれば、コイルコンベヤやスクリューコンベヤなどの回転式コンベヤを用いずに簡易的な構成で濾過機能と切り屑排出機能を備えることとなる。

以上、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではない。上述の実施形態では、回転式コンベヤ３としてコイルコンベヤを例示して説明したが、回転式コンベヤ３としてスクリューコンベヤを適用してもよい。上述の実施形態では、エアＡ９によって回転式フィルター３のメッシュ３１を外側から下向きにエア噴射する構成であるとしたが、洗浄液噴射する構成とする場合もあり、この場合には、クリーン液Ｌ９の一部を前記洗浄液に用いることができる。このように、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能であることは言うまでもない。

１ 本発明のチップコンベヤ装置、
２ 筐体、
３ 回転フィルター、
３１ メッシュ面、
５１ 回転コンベヤ（コイルコンベヤ）、
７ 突起板、
Ｌ１ 使用済み液（工作機械から排出された使用済みクーラント液）、
Ｌ９ クリーン液（回転フィルターにて濾過されたクリーン液）

Claims (5)

1. 旋盤やフライス盤等の工作機械から切り屑が混ざって排出された使用済みクーラント液（ダーティ液）を濾過してクリーン液を取り出すとともに切り屑を排出するチップコンベヤ装置であって、回転軸周りに配されたメッシュによってダーティ液を濾過する回転式フィルターと、当該回転式フィルターに挿通された搬送トレー内で切り屑を圧縮しながら搬送し搬送路の排出口から排出する回転式コンベヤと、これらを駆動する駆動手段を備え、前記回転式フィルターが回転軸方向で正偶数角形とそれと同一でその内角の１／２だけ同軸で回動させた正偶数角形とを重ね合わせた外形となっており、前記回転式フィルター内に供給されたダーティ液が前記メッシュにて濾過されクリーン液となって取り出され、かつ、前記回転式フィルター内の切り屑が前記回転式フィルターの回転に伴って上に運ばれて前記搬送トレー内に落下し前記回転式コンベヤにて搬送され圧縮された切り屑として機外に排出されることを特徴とするチップコンベヤ装置。
2. 前記回転式フィルターが回転軸方向で正四角形とそれと同一でその内角の１／２だけ同軸で回動させた正四角形とを重ね合わせた外形となっていることを特徴とする請求項１記載のチップコンベヤ装置。
3. 前記回転式フィルター内には、前記搬送トレー内に落下するまでの期間、前記切り屑を堰き止める突起板が前記回転軸周に所定間隔で可動可能に配されており、前記回転式フィルターの回転に伴って前記切り屑が前記搬送トレーよりも高い位置に運ばれると、前記突起板が作動して前記切り屑が搬送トレー内に落下することを特徴とする請求項１または２記載のチップコンベヤ装置。
4. 前記回転式フィルターの上方には、メッシュ洗浄用配管及びノズルが配されており、前記回転式フィルターの各頂部が前記搬送トレーの真上となるタイミングで前記回転式フィルターのメッシュを外側から下向きにエア噴射するか又は洗浄液噴射することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項項記載のチップコンベヤ装置。
5. 前記回転式フィルター内にダーティ液を供給する流入管が前記回転式コンベヤの入口側の下方で前記回転式フィルターの回転軸方向に挿入されており、前記回転式コンベヤがスクリューコンベヤ又はコイルコンベヤであることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載のチップコンベヤ装置。

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