JP5569824B2 - 放電ランプ、光源装置、及び露光装置 - Google Patents
放電ランプ、光源装置、及び露光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5569824B2 JP5569824B2 JP2012199226A JP2012199226A JP5569824B2 JP 5569824 B2 JP5569824 B2 JP 5569824B2 JP 2012199226 A JP2012199226 A JP 2012199226A JP 2012199226 A JP2012199226 A JP 2012199226A JP 5569824 B2 JP5569824 B2 JP 5569824B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge lamp
- base
- ring
- light source
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/52—Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/56—Cooling arrangements using liquid coolants
- F21V29/58—Cooling arrangements using liquid coolants characterised by the coolants
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/70—Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks
- F21V29/83—Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks the elements having apertures, ducts or channels, e.g. heat radiation holes
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J5/50—Means forming part of the tube or lamps for the purpose of providing electrical connection to it
- H01J5/54—Means forming part of the tube or lamps for the purpose of providing electrical connection to it supported by a separate part, e.g. base
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J5/50—Means forming part of the tube or lamps for the purpose of providing electrical connection to it
- H01J5/54—Means forming part of the tube or lamps for the purpose of providing electrical connection to it supported by a separate part, e.g. base
- H01J5/62—Connection of wires protruding from the vessel to connectors carried by the separate part
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/52—Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
- H01J61/523—Heating or cooling particular parts of the lamp
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
Description
また、放電ランプには、固定側の口金と自由端側の口金とがあり、従来の冷却機構を用いて自由端側の口金を冷却する場合には、口金の周囲にも送風用の配管等を設置する必要があり、放電ランプからの光が多く遮光されるという問題があった。
さらに、本発明は、そのような光源装置に適用できる放電ランプ及び接続用ケーブル、並びにそのような光源装置を用いる露光技術を提供することをも目的とする。
本発明の第2の態様によれば、電源と冷却用媒体の供給源とに接続される光源装置であって、第1の態様の放電ランプを備える光源装置が提供される。
本発明の第3の態様によれば、光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、その光源装置として第2の態様の光源装置を用いる露光装置が提供される。
また、本明細書には以下の発明の態様も記載されている。
端が固定され、かつ可撓性材料より形成されて、その冷却用媒体の流路を有する管状部材と、その管状部材とは別に設けられ、その中継部材に一端が固定され、かつ導電性を持つ可撓性材料より形成された導電部材とを備えたものである。
本発明の接続用ケーブルによれば、電源からの電力は、可撓性を持つ導電部材、及び中継部材を介して装置側に供給され、供給源からの冷却用媒体は、可撓性を持つ管状部材及び中継部材を介して装置側に供給される。
図1は、本例の露光光源30を備えた投影露光装置(露光装置)を示し、この図1において、アーク放電型の水銀ランプよりなる放電ランプ1が、取り付け部材31を介して絶縁物よりなる固定板29に固定されている。また、放電ランプ1内の陽極側及び陰極側の電極には、それぞれ電源32から可撓性を持つ電力ケーブル33D及び33Bを介して電力が供給されている。また、放電ランプ1の2つの口金には可撓性を持つ送風用配管35D及び35Bを介して送風装置34から、防塵フィルタを通して冷却された空気(以下、冷風と言う。)が供給されている。送風装置34としては、外気を取り込んで除塵及び冷却を行って得られた空気(又は窒素ボンベから取り込んだ窒素ガス等でもよい)を所定の風量で供給する機構が使用できる。送風装置34としては、それ以外に、工場内でエアーシリンダ等のために圧縮空気を供給する圧縮空気供給部を使用してもよい。その冷風は、室温程度でもよく、必ずしも室温以下にまで冷却されていなくともよい。
光学系PLの露光フィールド内に移動する動作と、露光光源30からの光束を照明光学系13を介してレチクルRに照射して、レチクルRのパターンを投影光学系PLを介してウエハW上の当該ショット領域に露光する動作とがステップ・アンド・リピート方式で繰り返される。これによって、レチクルRのパターンの像がウエハW上の各ショット領域に転写される。
図2(A)は、図1の露光光源30中の放電ランプ1及びその取り付け機構を示す一部を切り欠いた図であり、この図2(A)において、放電ランプ1は、バルブ部25a及びこれを挟むように固定されたほぼ対称で円筒状の2つの棒状部25b,25cからなるガラス管25と、一方の固定側の棒状部25bの端部に連結された陰極側の口金部26と、他方の外側に向けて階段状に直径が小さくなる自由端側の棒状部25cの端部に連結された陽極側の口金部28とを備えている。そのバルブ部25a内に発光部を形成するための陽極EL1及び陰極EL2が対向して固定され、陰極EL2及び陽極EL1はそれぞれ口金部26及び28に接続され、口金部26及び28は電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属製である。口金部26、ガラス管25、及び口金部28は、ガラス管25の棒状部25b,25cの中心軸を結び発光部の中心を通る一つの直線上に配置されている。その棒状部25b,25cの中心軸を結ぶ直線に平行な方向が放電ランプ1の長手方向Lである。
放電ランプ1を固定する際には、放電ランプ1の軸部26bを2点鎖線で示す取り付け部材31の開口部31bに嵌合させて、フランジ部26aを取り付け部材31の上面31aに載置する。図2(B)に示すように、フランジ部26aには円形の開口27A,27Bが形成されており、これらの開口27A,27Bに図2(A)の上面31aに固定されている円柱状の突部(不図示)を挿通することで、放電ランプ1の回転方向の位置決めが行われる。
り付け部材31に形成された送風路31cを介して冷風が供給されている。また、導電性の良好な金属製の取り付け部材31に端子38がボルト39によって固定され、端子38が電力ケーブル33Bによって電源32に接続されている。この構成により、電源32から、電力ケーブル33B、端子38、取り付け部材31、及び口金部26のフランジ部26aを介して放電ランプ1の陰極EL2に電力が供給される。
ブ部25a側に送風される。これによって、口金部28及びガラス管25が効率的に冷却される。
さらに、第2連結機構73Bは、第1連結機構73Aと同じく、貫通孔74Baを有する導電性の良好な金属製のリング状部材74Bと、これに連結されてすり割り部74Bbを締め付けるレバー75Bと、リング状部材74B内のT字型の送風路74Bcの第3開放端を塞ぐための止めねじ79Bとを備えている。
さらに、図4(A)の連結ケーブル72から第2連結機構73Bを省略してもよい。この場合には、電力ケーブル33Dの第2端子77Bを図1の電源32の端子等に直接接続し、送風用配管35Dの第2送風用端子76Bを図1の送風装置34の送風用の配管に直接接続してもよい。
aから外側に突き出た円柱状の嵌合部47bとを有し、平板部47aの底面から嵌合部47bの中間程度の高さの位置まで伸びてから嵌合部47bの側面の開口に連通するように送風路47cが形成されている。送風路47cには、取り付け部材40の凹部40a及び送風路に配置された配管45を介して送風装置34から冷風が供給される。
(1)図3(B)の放電ランプ1の流路折り曲げ部材71に図4(A)の第1連結機構73A(リング状部材74A)を連結した状態のランプは、ガラス管25に連結された口金部28と、この口金部28に(流路折り曲げ部材71を介して)取り付けられ、導電性材料で形成されるリング状部材74Aと、リング状部材74Aに固定され、リング状部材
74Aを介して口金部28に放電用の電力を供給可能な電力ケーブル33Dと、リング状部材74Aに設けられ、口金部28に冷風を供給するための送風路74Acと、リング状部材74Aに固定され、送風路74Acを介して口金部28に冷風を供給可能な送風用配管35Dとを備えている。
(2)また、図4(A)のリング状部材74Aは、電力ケーブル33Dが接続される上面74Af(第1の端子部)と、送風用配管35Dが接続されるとともに、送風路74Acと連通する開口が形成されたねじ部74Ad(第2の端子部)とを有する。従って、電力ケーブル33D及び送風用配管35Dを容易に接続できる。
(4)また、図4(A)のリング状部材74Aのねじ部74Adは、送風用配管35Dの第1送風用端子76Aのねじ部76Abに係合する。従って、リング状部材74Aに送風用配管35Dをねじの螺合によって迅速に、かつ安定に連結できる。
(6)また、本例では、図3(A)の口金部28上にカバー部材50を介して嵌合部71bを持つ流路折り曲げ部材71が設けられ、図4(A)のリング状部材74Aは、嵌合部71bに嵌合(係合)する貫通孔74Aaとこの貫通孔74Aaを横切るように設けられたすり割り部74Abとを有し、嵌合部71bに貫通孔74Aaを嵌合させた状態で、すり割り部74Abを締め付けるレバー75Aを備えている。従って、レバー75Aを締め付け又は緩めるだけで、流路折り曲げ部材71に対するリング状部材74Aの着脱を容易に、かつ短時間に行うことができる。
(8)また、本例では、図3(B)のカバー部材50と口金部28との間を介してガラス管25側に冷風を供給している。このように口金部28を冷却した空気をガラス管25側に供給することによって、ガラス管25をも冷却できる。これに関して、カバー部材50の円筒部50cの先端部50caを口金部28よりも延ばすことによって、ガラス管25に対する冷却効果を高めることが可能である。ただし、例えば送風量が多いような場合には、先端部50caを必ずしも口金部28よりも延ばす必要はない。
(9)また、図3(B)のカバー部材50と口金部28との間の、口金部28の軸部28aの表面には送風路としての溝部28bが螺旋状に形成されている。このように口金部28の表面に螺旋状に送風することによって、口金部28の冷却効率を向上できる。
(10)また、図3(B)の口金部28の上端にマウント部28cが設けられ、螺旋状の溝部28bは、マウント部28cの側面に設けられた溝部28eに連通している。従って、そのマウント部28c上にカバー部材50及び流路折り曲げ部材71、リング状部材74A等を設置できるとともに、リング状部材74Aの送風路74Ac、及び流路折り曲げ部材71の送風路71cからの冷風をカバー部材50の開口50b及びその溝部28eを介して口金部28の側面の溝部28bに導くことができる。
なお、電力ケーブル33Dの外側を可撓性を持つ絶縁材料で被覆してもよい。さらに、電力ケーブル33Dとしては、通常の絶縁材料で被覆されたリード線等を使用してもよい。
(14)また、リング状部材74Aは、中央部に貫通孔74Aaが形成された円板状部材であり、その円板状部材の側面に送風用配管35Dが連結されるねじ部74Adが形成されている。従って、リング状部材74Aを放電ランプ1に装着した場合に、放電ランプ1の長手方向L(図2(A)参照)に直交する方向、即ち図1の楕円鏡2の第2焦点P2から遠ざかる方向に送風用配管35Dを連結できるため、送風用配管35Dによる放電ランプ1からの光の遮光量を少なくできる。
風用端子76Aが固定され、リング状部材74Aのねじ部74Adは第1送風用端子76Aのねじ部76Abに螺合する。従って、リング状部材74Aに第1送風用端子76Aを介して送風用配管35Dを容易に連結できる。
(16)また、電力ケーブル33Dの一端に、開口が形成された平板部を含む第1端子77Aが固定され、リング状部材74Aの上面74Afは、その第1端子77Aの平板部をねじ止めするためのねじ部74Agが形成された平坦部である。従って、その上面74Afに、その平板部を介して電力ケーブル33Dを容易に、かつ安定期に固定できる。
に検査ステップ等を経て製造される。
また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置に限らず、液晶表示素子やプラズマディスプレイなどを含むディスプレイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスプレート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられるデバイスパターンをセラミックスウエハ上に転写する露光装置、並びに撮像素子(CCDなど)、有機EL、マイクロマシーン、MEMS(Microelectromechanical Systems)、及びDNAチップなどの製造に用いられる露光装置などにも適用することができる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置及びEUV露光装置などで使用されるマスクを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。
このように本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。また、明細書、請求の範囲、図面、及び要約を含む2007年4月12日付け提出の米国仮出願第60/907,654号の全ての開示内容は、そっくりそのまま引用して本願に組み込まれている。
Claims (9)
- ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプであって、
前記ガラス部材に連結された口金部材と、
前記口金部材に取り付けられ、かつ導電性材料で形成され、前記口金部材の少なくとも一部を覆うカバー部材と、
前記カバー部材に、着脱可能に取り付けられる中継部材と、
前記中継部材に取り付けられ、前記中継部材及び前記カバー部材を介して前記口金部材に放電用の電力を供給可能な第1のケーブルと、
前記中継部材に形成され、前記カバー部材と前記口金部材との間に冷却用媒体を供給するための流路と、
前記中継部材に取り付けられ、前記流路を介して前記カバー部材と前記口金部材との間に冷却用媒体を供給可能な第2のケーブルとを備えることを特徴とする放電ランプ。 - 前記中継部材は、前記第1のケーブルが接続される第1の端子部と、前記第2のケーブルが接続されるとともに、前記流路と連通する開口が形成された第2の端子部とを有することを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。
- 前記カバー部材は突部を有し、
前記中継部材は前記突部に係合する開口部と、すり割り部とを有し、
前記カバー部材の前記突部に前記中継部材の前記開口部を嵌合させた状態で、前記すり割り部を締め付けるレバー部材をさらに備えたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の放電ランプ。 - 前記カバー部材は、前記口金部材の側面を覆う円筒部を有し、
前記冷却用媒体は、前記流路を介して前記円筒部と前記口金部材との間に供給されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の放電ランプ。 - 前記冷却用媒体は冷却された気体であり、
前記円筒部と前記口金部材との間を介して前記ガラス部材側に前記冷却された気体を供給することを特徴とする請求項4に記載の放電ランプ。 - 前記気体は、前記円筒部と、前記口金部材との間を螺旋状に流れることを特徴とする請求項5に記載の放電ランプ。
- 前記口金部材の表面には、螺旋状の溝部が形成されていることを特徴とする請求項6に記載の放電ランプ。
- 電源と冷却用媒体の供給源とに接続される光源装置であって、
請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の放電ランプを備えることを特徴とする光源装置。 - 光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、
前記光源装置として請求項8に記載の光源装置を用いることを特徴とする露光装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US90765407P | 2007-04-12 | 2007-04-12 | |
US60/907,654 | 2007-04-12 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008097606A Division JP5131468B2 (ja) | 2007-04-12 | 2008-04-03 | 放電ランプ、光源装置、及び露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012253041A JP2012253041A (ja) | 2012-12-20 |
JP5569824B2 true JP5569824B2 (ja) | 2014-08-13 |
Family
ID=39875459
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008097606A Active JP5131468B2 (ja) | 2007-04-12 | 2008-04-03 | 放電ランプ、光源装置、及び露光装置 |
JP2012199226A Active JP5569824B2 (ja) | 2007-04-12 | 2012-09-11 | 放電ランプ、光源装置、及び露光装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008097606A Active JP5131468B2 (ja) | 2007-04-12 | 2008-04-03 | 放電ランプ、光源装置、及び露光装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5131468B2 (ja) |
KR (8) | KR101881789B1 (ja) |
CN (1) | CN101548133B (ja) |
TW (2) | TWI478205B (ja) |
WO (1) | WO2008129931A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101881789B1 (ko) * | 2007-04-12 | 2018-07-25 | 가부시키가이샤 니콘 | 방전램프, 접속용 케이블, 광원장치 및 노광장치 |
JP4991834B2 (ja) | 2009-12-17 | 2012-08-01 | シャープ株式会社 | 車両用前照灯 |
JP5232815B2 (ja) | 2010-02-10 | 2013-07-10 | シャープ株式会社 | 車両用前照灯 |
US8733996B2 (en) | 2010-05-17 | 2014-05-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Light emitting device, illuminating device, and vehicle headlamp |
JP5053415B2 (ja) * | 2010-05-17 | 2012-10-17 | シャープ株式会社 | 発光装置、照明装置および車両用前照灯 |
US9816677B2 (en) | 2010-10-29 | 2017-11-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | Light emitting device, vehicle headlamp, illumination device, and laser element |
TWI711892B (zh) * | 2014-03-28 | 2020-12-01 | 日商尼康股份有限公司 | 放電燈之更換方法及點亮方法、放電燈以及其製造方法 |
DE102016102187B3 (de) * | 2016-02-09 | 2017-08-10 | Heraeus Noblelight Gmbh | Vorrichtung für die Behandlung eines Substrats mit UV-Strahlung und Verwendung der Vorrichtung |
KR102334956B1 (ko) | 2018-11-01 | 2021-12-02 | 주식회사 엘지화학 | 차량용 램프 및 이의 제조 방법 |
JP7178240B2 (ja) * | 2018-11-14 | 2022-11-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 光照射装置 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5611897Y2 (ja) * | 1976-07-02 | 1981-03-18 | ||
JPS5744570Y2 (ja) * | 1978-06-29 | 1982-10-01 | ||
JPS60154435A (ja) * | 1984-01-24 | 1985-08-14 | Nec Corp | 超高圧水銀ランプ用ハウジング |
EP0181667B1 (en) * | 1984-11-06 | 1991-01-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Circuit arrangement for operating a high-pressure discharge lamp |
JPH0411326Y2 (ja) * | 1985-08-15 | 1992-03-19 | ||
JPS63160192A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | 株式会社明電舎 | 高周波加熱装置の接続導体 |
US4965484A (en) * | 1989-03-10 | 1990-10-23 | Tencor Instruments | Vapor discharge lamp with gradient temperature control |
JPH0432154A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-04 | Iwasaki Electric Co Ltd | メタルハライドランプ装置 |
JPH0528968A (ja) * | 1991-07-18 | 1993-02-05 | Iwasaki Electric Co Ltd | メタルハライドランプ装置 |
JPH07288112A (ja) * | 1994-04-15 | 1995-10-31 | Ushio Inc | 誘電体バリヤ放電ランプ装置 |
JPH08102298A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 照明装置 |
JP3189661B2 (ja) | 1996-02-05 | 2001-07-16 | ウシオ電機株式会社 | 光源装置 |
JPH1055713A (ja) * | 1996-08-08 | 1998-02-24 | Ushio Inc | 紫外線照射装置 |
DE19701195A1 (de) * | 1997-01-15 | 1998-07-16 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Kompakte Niederdruckentladungslampe |
JP3517583B2 (ja) | 1998-03-27 | 2004-04-12 | キヤノン株式会社 | 露光装置、デバイス製造方法及び放電灯 |
JP3041298B2 (ja) | 1998-05-12 | 2000-05-15 | ウシオ電機株式会社 | 高圧放電ランプ |
CA2267674C (en) * | 1999-03-31 | 2010-03-30 | Imax Corporation | Method for cooling an arc lamp |
DE50112946D1 (de) * | 2000-01-14 | 2007-10-18 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Reflektor-hochdruckentladungslampen-einheit |
JP3606149B2 (ja) | 2000-02-01 | 2005-01-05 | ウシオ電機株式会社 | 光源装置 |
TW514955B (en) * | 2000-09-21 | 2002-12-21 | Ushio Electric Inc | Short-arc discharge lamp |
TW543074B (en) * | 2000-09-28 | 2003-07-21 | Harison Toshiba Lighting Corp | Discharge lamp and ultra-violet light irradiation apparatus |
JP2002150995A (ja) | 2000-11-15 | 2002-05-24 | Harison Toshiba Lighting Corp | 直流高圧放電ランプおよび半導体露光装置 |
KR20040020974A (ko) * | 2001-08-02 | 2004-03-09 | 코닌클리즈케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 저압 가스 방전 램프 |
JP3910910B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2007-04-25 | ハリソン東芝ライティング株式会社 | 外部電極放電ランプ |
DE10163166A1 (de) * | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Kompakte Niederdruckentladungslampe |
DE10218827A1 (de) * | 2002-04-26 | 2003-11-06 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Niederdruckentladungslampe mit Abschaltvorrichtung am Lebensdauerende |
DE10231258A1 (de) * | 2002-07-11 | 2004-01-22 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Entladungslampe mit Kühleinrichtung |
JP4027849B2 (ja) * | 2003-06-19 | 2007-12-26 | ハリソン東芝ライティング株式会社 | 低圧放電ランプ |
JP4407519B2 (ja) * | 2004-01-20 | 2010-02-03 | ソニー株式会社 | 放電灯、放電灯用電極の製造方法および照明装置 |
KR101881789B1 (ko) * | 2007-04-12 | 2018-07-25 | 가부시키가이샤 니콘 | 방전램프, 접속용 케이블, 광원장치 및 노광장치 |
-
2008
- 2008-04-03 KR KR1020177004663A patent/KR101881789B1/ko active IP Right Grant
- 2008-04-03 KR KR1020197018340A patent/KR102144972B1/ko active IP Right Grant
- 2008-04-03 KR KR1020167004734A patent/KR101834803B1/ko active IP Right Grant
- 2008-04-03 KR KR1020147030351A patent/KR101599180B1/ko active IP Right Grant
- 2008-04-03 WO PCT/JP2008/056718 patent/WO2008129931A1/ja active Application Filing
- 2008-04-03 KR KR1020097000773A patent/KR101549670B1/ko active IP Right Grant
- 2008-04-03 KR KR1020217021643A patent/KR20210090288A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-04-03 JP JP2008097606A patent/JP5131468B2/ja active Active
- 2008-04-03 CN CN200880000918.9A patent/CN101548133B/zh active Active
- 2008-04-03 KR KR1020187020801A patent/KR101994887B1/ko active IP Right Grant
- 2008-04-03 KR KR1020207023071A patent/KR102277930B1/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-04-10 TW TW101141748A patent/TWI478205B/zh active
- 2008-04-10 TW TW097113076A patent/TWI411003B/zh active
-
2012
- 2012-09-11 JP JP2012199226A patent/JP5569824B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20200097819A (ko) | 2020-08-19 |
KR101881789B1 (ko) | 2018-07-25 |
KR20140141694A (ko) | 2014-12-10 |
KR102277930B1 (ko) | 2021-07-16 |
KR20180086282A (ko) | 2018-07-30 |
CN101548133A (zh) | 2009-09-30 |
CN101548133B (zh) | 2014-03-12 |
JP2012253041A (ja) | 2012-12-20 |
KR20190077613A (ko) | 2019-07-03 |
KR102144972B1 (ko) | 2020-08-14 |
KR101549670B1 (ko) | 2015-09-03 |
TW201308393A (zh) | 2013-02-16 |
KR101994887B1 (ko) | 2019-07-02 |
KR101599180B1 (ko) | 2016-03-03 |
TWI478205B (zh) | 2015-03-21 |
WO2008129931A1 (ja) | 2008-10-30 |
KR20210090288A (ko) | 2021-07-19 |
KR20170021913A (ko) | 2017-02-28 |
KR20100014216A (ko) | 2010-02-10 |
KR101834803B1 (ko) | 2018-03-06 |
KR20160025634A (ko) | 2016-03-08 |
JP5131468B2 (ja) | 2013-01-30 |
TWI411003B (zh) | 2013-10-01 |
JP2008262910A (ja) | 2008-10-30 |
TW200905719A (en) | 2009-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5569824B2 (ja) | 放電ランプ、光源装置、及び露光装置 | |
JP5605666B2 (ja) | 放電ランプ、光源装置及び露光装置 | |
JP2017224626A (ja) | 放電ランプ | |
US9165738B2 (en) | Discharge lamp, connecting cable, light source apparatus, and exposure apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121010 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130730 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130927 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140530 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140612 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5569824 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |